一種大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置制造方法
【專利摘要】一種大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置，該裝置包括有箱體和箱蓋；具體而言，箱體包括倍頻裝置安裝孔、分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器的分隔板、溫控爐安裝孔、調(diào)Q控制器安裝孔、出水口分水器安裝孔、入水口分水器安裝孔、泵浦模塊電極安裝孔、分隔板支撐桿a、分隔板支撐桿b、出光口；箱蓋上設有調(diào)Q控制器通風口；本發(fā)明的優(yōu)點在于可以將整形光學系統(tǒng)、電極、冷卻裝置、工作頭一體化集成，無需后期調(diào)整和維護。
【專利說明】一種大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種激光器固定集成裝置，屬于激光【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]大功率三倍頻紫外固體激光器由LD側(cè)泵式聚集能量，然后通過倍頻晶體與合頻晶體使激光波長縮短至原有的1/3。然而，大功率三倍頻紫外固體激光器的泵浦源、倍頻晶體與合頻晶體的位置要嚴格的在一條水平線上，所以我們需要進一步對其位置進行固定。與此同時，激光器在工作是會產(chǎn)生大量熱量，需要利用冷卻系統(tǒng)對其進行溫度控制。這樣，大功率三倍頻紫外固體激光器在工業(yè)上應用時，除了激光器內(nèi)部需要多個鏡架、支撐架，冷卻裝置也增大了整個激光裝置的尺寸，而且由于工業(yè)加工的時候會產(chǎn)生振動，常常需要調(diào)整光路。這樣就在一定程度上限制了大功率三倍頻紫外固體激光器在加工方面的應用。因此，縮小整個激光裝置的尺寸并將激光器的倍頻裝置、冷卻裝置、工作頭一體化集成裝配的方法，對于大功率三倍頻紫外固體激光器在加工上應用非常重要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供了一種可以將大功率三倍頻紫外固體激光、冷卻裝置、工作頭都裝配在一起的輕便型大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為一種大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置，該裝置包括有箱體和箱蓋；具體而言，箱體包括倍頻裝置安裝孔、分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器的分隔板、溫控爐安裝孔、調(diào)Q控制器安裝孔、出水口分水器安裝孔、入水口分水器安裝孔、泵浦模塊電極安裝孔、分隔板支撐桿a、分隔板支撐桿b、出光口 ；箱蓋上設有調(diào)Q控制器通風口 ；箱體的底部配有倍頻裝置安裝孔、溫控爐安裝孔、入水口分水器安裝孔、泵浦模塊電極安裝孔、分隔板支撐桿a、分隔板支撐桿b ;箱體內(nèi)部配有分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板；分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板上設有調(diào)Q控制器安裝孔、出水口分水器安裝孔；箱體側(cè)面設有出光口，箱蓋上設有調(diào)Q控制器通風口。
[0005]倍頻裝置下表面與箱體連接并通過螺絲固定；溫控爐下表面與箱體連接并通過螺絲固定；入水口分水器下表面與箱體連接并通過螺絲固定；分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板的側(cè)面與箱體兩側(cè)連接并通過螺絲固定；分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板的下表面與分隔板支撐桿a、分隔板支撐桿b上表面連接并通過螺絲固定；調(diào)Q控制器的下表面與分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板的上表面連接并用螺絲固定，出水口分水器下表面與分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板上表面連接并通過螺絲固定；最后再將箱蓋蓋上并用螺絲緊固來密閉空間。
[0006]冷卻換能器、電極和整形光學系統(tǒng)固定在一個緊湊的箱體內(nèi)部，減小整機體積；箱體配有倍頻裝置安裝孔可以使光學系統(tǒng)固定無需后期調(diào)整和維護；箱體加工有進水口分水器安裝孔、出水口分水器安裝孔、電極安裝孔、出光口 ；出光口可裝配聚焦鏡組或工業(yè)用加工頭；箱蓋配有調(diào)Q控制器通風口，可實現(xiàn)對箱體內(nèi)的溫度控制功能。
[0007]倍頻裝置安裝孔安裝倍頻裝置，在溫控爐安裝孔安裝溫控爐控制器并和箱體底板上表面緊密連接在一起；在調(diào)Q控制器安裝孔安裝調(diào)Q控制器并和分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板上表面緊密連接在一起；在出水口分水器安裝孔安裝分水器并和箱體底板上表面緊密連接在一起，出水口分水器安裝孔冷卻流體管道引出并與制冷裝置連接；進水口分水器安裝孔安裝分水器并和箱體底板上表面緊密連接在一起，進水口分水器安裝孔安裝冷卻流體管道并與制冷裝置連接；在電極安裝孔安裝泵浦模塊電極連接頭并與泵浦模塊相連。
[0008]本發(fā)明的優(yōu)點在于可以將整形光學系統(tǒng)、電極、冷卻裝置、工作頭一體化集成，無需后期調(diào)整和維護。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置箱體示意圖。
[0010]圖2為大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置箱蓋示意圖。
[0011]圖3為大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置主體主視圖。
[0012]圖4、圖5為大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置主體剖視圖。
[0013]圖中:1、箱體，2、箱蓋，3、倍頻裝置安裝孔，4、分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器的分隔板，5、溫控爐安裝孔，6、調(diào)Q控制器安裝孔，7、出水口分水器安裝孔，8、入水口分水器安裝孔，9、泵浦模塊電極安裝孔，10、分隔板支撐桿a，11、分隔板支撐桿b，12、出光口，13、調(diào)Q控制器通風口。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖內(nèi)容，詳細介紹
【發(fā)明內(nèi)容】
。
[0015]如圖1-5所示，一種大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置，該裝置包括有箱體I和箱蓋2 ;具體而言，箱體I包括倍頻裝置安裝孔3、分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器的分隔板4、溫控爐安裝孔5、調(diào)Q控制器安裝孔6、出水口分水器安裝孔7、入水口分水器安裝孔8、泵浦模塊電極安裝孔9、分隔板支撐桿alO、分隔板支撐桿bll、出光口 12 ;箱蓋2上設有調(diào)Q控制器通風口 13 ;箱體I的底部配有倍頻裝置安裝孔3、溫控爐安裝孔5、入水口分水器安裝孔8、泵浦模塊電極安裝孔9、分隔板支撐桿alO、分隔板支撐桿bll ;箱體I內(nèi)部配有分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板4 ;分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板4上設有調(diào)Q控制器安裝孔6、出水口分水器安裝孔7 ;箱體I側(cè)面設有出光口 12，箱蓋2上設有調(diào)Q控制器通風口 13。
[0016]倍頻裝置下表面與箱體I連接并通過螺絲固定；溫控爐下表面與箱體I連接并通過螺絲固定；入水口分水器下表面與箱體I連接并通過螺絲固定；分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板4的側(cè)面與箱體I兩側(cè)連接并通過螺絲固定；分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板4的下表面與分隔板支撐桿alO、分隔板支撐桿bll上表面連接并通過螺絲固定；調(diào)Q控制器的下表面與分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板4的上表面連接并用螺絲固定，出水口分水器下表面與分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板4上表面連接并通過螺絲固定；最后再將箱蓋2蓋上并用螺絲緊固來密閉空間。[0017]冷卻換能器、電極和整形光學系統(tǒng)固定在一個緊湊的箱體I內(nèi)部，減小整機體積；箱體I配有倍頻裝置安裝孔3可以使光學系統(tǒng)固定無需后期調(diào)整和維護；箱體I加工有進水口分水器安裝孔8、出水口分水器安裝孔7、電極安裝孔9、出光口 12 ;出光口 12可裝配聚焦鏡組或工業(yè)用加工頭；箱蓋2配有調(diào)Q控制器通風口 13，可實現(xiàn)對箱體I內(nèi)的溫度控制功能。
[0018]倍頻裝置安裝孔3安裝倍頻裝置，在溫控爐安裝孔5安裝溫控爐控制器并和箱體I底板上表面緊密連接在一起；在調(diào)Q控制器安裝孔6安裝調(diào)Q控制器并和分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板4上表面緊密連接在一起；在出水口分水器安裝孔7安裝分水器并和箱體I底板上表面緊密連接在一起，出水口分水器安裝孔7冷卻流體管道引出并與制冷裝置連接；進水口分水器安裝孔8安裝分水器并和箱體I底板上表面緊密連接在一起，進水口分水器安裝孔8安裝冷卻流體管道并與制冷裝置連接；在電極安裝孔9安裝泵浦模塊電極連接頭并與泵浦模塊相連。
[0019]以某折疊形激光產(chǎn)生裝置為例，其中蓋子高16mm，箱體高216mm，箱板側(cè)板厚度為12mm，箱板底板厚度為16mm，材料為鋁；倍頻裝置底板長450mm，寬250mm，材料為鋁；分水器長80mm,寬40mm,高50mm,材料為銅。
【權(quán)利要求】
1.一種大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置，其特征在于:該裝置包括有箱體(I)和箱蓋(2 );具體而言，箱體(I)包括倍頻裝置安裝孔(3 )、分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器的分隔板(4)、溫控爐安裝孔(5)、調(diào)Q控制器安裝孔(6)、出水口分水器安裝孔(7)、入水口分水器安裝孔(8)、泵浦模塊電極安裝孔(9)、分隔板支撐桿a (10)、分隔板支撐桿b (11)、出光口(12);箱蓋(2)上設有調(diào)Q控制器通風口(13);箱體(I)的底部配有倍頻裝置安裝孔(3)、溫控爐安裝孔(5)、入水口分水器安裝孔(8)、泵浦模塊電極安裝孔(9)、分隔板支撐桿a (10)、分隔板支撐桿b (11);箱體(I)內(nèi)部配有分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板(4);分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板(4)上設有調(diào)Q控制器安裝孔(6)、出水口分水器安裝孔(7);箱體(I)側(cè)面設有出光口(12)，箱蓋(2)上設有調(diào)Q控制器通風口(13)； 倍頻裝置下表面與箱體(I)連接并通過螺絲固定；溫控爐下表面與箱體(I)連接并通過螺絲固定；入水口分水器下表面與箱體(I)連接并通過螺絲固定；分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板(4)的側(cè)面與箱體(I)兩側(cè)連接并通過螺絲固定；分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板(4)的下表面與分隔板支撐桿a (10)、分隔板支撐桿b (11)上表面連接并通過螺絲固定；調(diào)Q控制器的下表面與分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板(4)的上表面連接并用螺絲固定，出水口分水器下表面與分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板(4)上表面連接并通過螺絲固定；最后再將箱蓋(2)蓋上并用螺絲緊固來密閉空間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大功率三倍頻紫外固體激光器集成裝置，其特征在于:冷卻換能器、電極和整形光學系統(tǒng)固定在一個緊湊的箱體(I)內(nèi)部，減小整機體積；箱體(I)配有倍頻裝置安裝孔(3)可以使光學系統(tǒng)固定無需后期調(diào)整和維護；箱體(I)加工有進水口分水器安裝孔(8)、出水口分水器安裝孔(7)、電極安裝孔(9)、出光口(12);出光口(12)可裝配聚焦鏡組或工業(yè)用加工頭；箱蓋(2)配有調(diào)Q控制器通風口(13)，可實現(xiàn)對箱體(I)內(nèi)的溫度控制功能； 倍頻裝置安裝孔(3)安裝倍頻裝置，在溫控爐安裝孔(5)安裝溫控爐控制器并和箱體(I)底板上表面緊密連接在一起；在調(diào)Q控制器安裝孔(6)安裝調(diào)Q控制器并和分離調(diào)Q控制器和溫控爐控制器分隔板(4)上表面緊密連接在一起；在出水口分水器安裝孔(7)安裝分水器并和箱體(I)底板上表面緊密連接在一起，出水口分水器安裝孔(7)冷卻流體管道引出并與制冷裝置連接；進水口分水器安裝孔(8)安裝分水器并和箱體(I)底板上表面緊密連接在一起，進水口分水器安裝孔(8)安裝冷卻流體管道并與制冷裝置連接；在電極安裝孔(9)安裝泵浦模塊電極連接頭并與泵浦模塊相連。
【文檔編號】H01S3/11GK103701017SQ201310689327
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年12月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月16日
【發(fā)明者】王旭葆, 劉俊, 吳丹, 王小磊, 米慶改 申請人:北京工業(yè)大學