專利名稱：一種硅片投料模塊及對(duì)應(yīng)的清洗設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)電池制造領(lǐng)域，特別涉及一種硅片投料模塊及對(duì)應(yīng)的清洗設(shè)備。
背景技術(shù)：
在晶硅太陽(yáng)電池的制造過(guò)程中，諸多工藝步驟的硅片投料均為手工作業(yè)例如制絨、清洗、擴(kuò)散、刻蝕、鍍減反膜(通常通過(guò)PECVD工藝)、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)、分類檢測(cè)、包裝等，人工投料存在著成本高和過(guò)程異常追蹤困難等諸多問(wèn)題，為解決人工投料存在的問(wèn)題業(yè)界多用機(jī)器投料取代手工投料，機(jī)械投料模塊設(shè)計(jì)緊湊，無(wú)人工投料的空間。具有機(jī)械投料模塊的機(jī)臺(tái)(例如清洗設(shè)備)通常具有用于將硅片傳輸進(jìn)其內(nèi)部的滾輪等傳輸模塊以及用于將硅片抓取置放至傳輸模塊上的機(jī)械手，當(dāng)機(jī)械手發(fā)生損壞但滾輪等傳輸模塊仍可使用時(shí)，就因其沒(méi)有人工投料的作業(yè)空間無(wú)法進(jìn)行人工投料，只能等將機(jī)械手修理好后再進(jìn)行投料，導(dǎo)致僅通過(guò)機(jī)械投料存在著可靠性差的問(wèn)題。另外現(xiàn)有的一些制絨或清洗設(shè)備在完成制絨或清洗工藝后并未進(jìn)行干燥處理就直接傳輸至下一個(gè)清洗機(jī)臺(tái)進(jìn)行下一道清洗工藝，所述下一個(gè)清洗機(jī)臺(tái)上傳輸模塊的前端的下面并未設(shè)置任何容納滴液的設(shè)計(jì)，從而導(dǎo)致在對(duì)沾染有液體的濕硅片進(jìn)行投料時(shí)，會(huì)有滴液滴至清洗機(jī)臺(tái)的機(jī)架上且流至其他位置，導(dǎo)致清洗設(shè)備具有較大的安全隱患。再者現(xiàn)有技術(shù)的傳輸滾輪上通常會(huì)設(shè)置有用于對(duì)硅片進(jìn)行導(dǎo)向的導(dǎo)向輪，但導(dǎo)向輪容易磨損，導(dǎo)向輪磨損 后就需將傳輸滾輪整體更換，存在著成本較高的問(wèn)題。因此，如何提供一種硅片投料模塊及對(duì)應(yīng)的清洗設(shè)備以結(jié)合人工投料和機(jī)器投料的優(yōu)點(diǎn)且提高投料的效率、可靠性及安全性，并降低成本，已成為業(yè)界亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是要提供一種硅片投料模塊及對(duì)應(yīng)的清洗設(shè)備，通過(guò)所述硅片投料模塊及設(shè)備可提高投料的效率、可靠性及安全性，并可降低成本。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種硅片投料模塊，用于將硅片投送進(jìn)清洗設(shè)備，所述清洗設(shè)備包括位于清洗設(shè)備外側(cè)的外主動(dòng)滾輪，所述硅片投料模塊包括投料機(jī)架、設(shè)置在所述投料機(jī)架上的從動(dòng)滾輪和投料臺(tái)，所述從動(dòng)滾輪和投料臺(tái)分別位于靠近和遠(yuǎn)離所述外主動(dòng)滾輪的一側(cè)，所述待投料的硅片放置在投料臺(tái)上，所述從動(dòng)滾輪通過(guò)多條傳送帶連接在外主動(dòng)滾輪上且在外主動(dòng)滾輪的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，所述多條傳送帶頂端形成一硅片傳送面，所述硅片傳送面上垂直并列設(shè)置有多條導(dǎo)向條，所述硅片被限定在導(dǎo)向條間且在硅片傳送面上進(jìn)行導(dǎo)向傳送。在一較佳實(shí)施例中，所述硅片為沾染有液體的濕硅片，所述投料機(jī)架下端對(duì)應(yīng)設(shè)置有集液托盤，所述集液托盤用于匯集從所述濕硅片上滴落的液體。在進(jìn)一步的較佳實(shí)施例中，所述清洗設(shè)備具有清洗槽，所述集液托盤與所述清洗槽相鄰的一端為簸箕口且開放延伸至所述清洗槽，所述集液托盤中的液體匯集流入所述清洗槽。在進(jìn)一步的較佳實(shí)施例中，所述集液托盤、導(dǎo)向條、外主動(dòng)滾輪和從動(dòng)滾輪的材質(zhì)為聚乙烯、聚丙烯、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯、聚偏氟乙烯或聚四氟乙烯，所述傳送帶的材質(zhì)為橡膠。在一較佳實(shí)施例中，所述從動(dòng)滾輪和外主動(dòng)滾輪間并列設(shè)置有支撐柱或輔助從動(dòng)滾輪，所述支撐柱或輔助從動(dòng)滾輪用于支撐傳送帶及其上的硅片。在一較佳實(shí)施例中，所述外主動(dòng)滾輪和從動(dòng)滾輪上對(duì)應(yīng)開設(shè)有凹槽，所述傳送帶設(shè)置在對(duì)應(yīng)的凹槽中。在一較佳實(shí)施例中，所述傳送帶的設(shè)置數(shù)量確保每片硅片在傳送帶上傳送時(shí)，至少通過(guò)兩條傳送帶傳送，所述娃片為125_X 125mm或156_X 156mm的娃片。在一較佳實(shí)施例中，所述導(dǎo)向條與傳送帶間隔設(shè)置，每?jī)蓚€(gè)相鄰的導(dǎo)向條間至少有兩條傳送帶。在一較佳實(shí)施例中，所述投料臺(tái)架設(shè)在所述硅片傳送面上端，且位于所述從動(dòng)滾輪和外主動(dòng)滾輪之間，所述多條導(dǎo)向條的頂端固定設(shè)置在所述投料臺(tái)的底端。本實(shí)用新型還提供一種包括上面任一項(xiàng)所述的硅片投料模塊的清洗設(shè)備。與現(xiàn)有技術(shù)中單一使用人工投料或機(jī)械投料存在著效率低或可靠性較低相比，本實(shí)用新型的清洗設(shè)備在自動(dòng)投料的基礎(chǔ)上增加了能人工投料的硅片投料模塊，其包括投料機(jī)架和設(shè)置在所述投料機(jī)架上的從動(dòng)滾輪和投料臺(tái)，所述待投料的硅片放置在投料臺(tái)上，所述從動(dòng)滾輪通過(guò)多條傳送帶連接在外主動(dòng)滾輪上且在外主動(dòng)滾輪的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)用新型結(jié)合了人工投料和機(jī)械投料的優(yōu)點(diǎn)，即可提高投料效率又可提高投料的可靠性。
與現(xiàn)有技術(shù)中未在傳輸模塊下設(shè)置容納滴液的模塊易導(dǎo)致滴液浸染清洗設(shè)備相t匕，本實(shí)用新型的硅片投料模塊在不具清洗槽但有滴液滴落的部分設(shè)置集液托盤，所述集液托盤一端延伸至清洗設(shè)備的清洗槽，從而有效提高了投料的安全性和可靠性。與現(xiàn)有技術(shù)中采用滾輪上的限位輪來(lái)對(duì)所投的硅片進(jìn)行限位，在通過(guò)皮帶輪連接從動(dòng)滾輪和主動(dòng)滾輪傳送硅片時(shí)，易造成限位輪的變形導(dǎo)致經(jīng)常更換相比，本實(shí)用新型的硅片投料模塊通過(guò)連接在從動(dòng)滾輪和主動(dòng)滾輪上的多條傳送帶形成硅片傳送面，并在硅片傳送面上垂直并列設(shè)置多條導(dǎo)向條來(lái)進(jìn)行限位，當(dāng)導(dǎo)向條磨損時(shí)僅更換導(dǎo)向條而無(wú)需更換從動(dòng)滾輪。本實(shí)用新型可有效降低成本。

圖1為安裝有本實(shí)用新型的硅片投料模塊的清洗設(shè)備的組成結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中未安裝投料臺(tái)4和導(dǎo)向條6時(shí)的組成結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方案下面結(jié)合具體實(shí)施例及附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的目的及功效。參見圖1，本實(shí)用新型的清洗設(shè)備包括位于最外側(cè)的外主動(dòng)滾輪10、內(nèi)主動(dòng)滾輪11和硅片投料模塊，所述外主動(dòng)滾輪10和內(nèi)主動(dòng)滾輪11均設(shè)置在清洗機(jī)架12上，所述硅片投料模塊設(shè)置在清洗機(jī)架12靠近外主動(dòng)滾輪10的一側(cè)。所述硅片投料模塊包括投料機(jī)架2、設(shè)置在所述投料機(jī)架2上的從動(dòng)滾輪3、投料臺(tái)4、集液托盤5和導(dǎo)向條6，所述投料機(jī)架2與清洗機(jī)架12并列設(shè)置且可連接起來(lái)。所述待投料的硅片放置在投料臺(tái)4上。在本實(shí)施例中，所述娃片為沾染有液體的濕娃片，其規(guī)格為為125_X 125mm或156_X 156mm的
單晶或多晶硅片。所述從動(dòng)滾輪3通過(guò)多條傳送帶30連接在外主動(dòng)滾輪10上且在外主動(dòng)滾輪10的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，所述外主動(dòng)滾輪3和從動(dòng)滾輪10上對(duì)應(yīng)開設(shè)有凹槽G，所述傳送帶30設(shè)置在對(duì)應(yīng)的凹槽G中。所述從動(dòng)滾輪3和外主動(dòng)滾輪I間并列設(shè)置有支撐柱或輔助從動(dòng)滾輪32，所述支撐柱或輔助從動(dòng)滾輪用于支撐傳送帶30及其上的硅片7。所述多條傳送帶30頂端形成一硅片傳送面，所述多條導(dǎo)向條6垂直并列設(shè)置在所述硅片傳送面上，所述導(dǎo)向條6與傳送帶30間隔設(shè)置，所述硅片被限定在導(dǎo)向條6間且在硅片傳送面上進(jìn)行導(dǎo)向傳送。所述傳送帶30的設(shè)置數(shù)量確保每片硅片7在傳送帶30上傳送時(shí)，至少通過(guò)兩條傳送帶30傳送，且每?jī)蓚€(gè)相鄰的導(dǎo)向條6間至少有兩條傳送帶30。所述投料臺(tái)4架設(shè)在所述硅片傳送面上端，且位于所述從動(dòng)滾輪3和外主動(dòng)滾輪10之間，所述操作人員將投料臺(tái)4上的硅片放置至從動(dòng)滾輪3和投料臺(tái)4之間的傳送帶30上，所述投料機(jī)架2可針對(duì)投料臺(tái)4設(shè)置有對(duì)應(yīng)的支撐肋條，投料臺(tái)4的兩端也可直接固定在投料機(jī)架2的兩側(cè)壁上。所述多條導(dǎo)向條6的頂端固定設(shè)置在所述投料臺(tái)4的底端，從而使得導(dǎo)向條的最底端略低于(小于Imm)或等于硅片傳送面。所述集液托盤5對(duì)應(yīng)設(shè)置在所述投料機(jī)架2的下端，所述集液托盤5用于匯集從所述硅片7上滴落的液體。所述清洗設(shè)備具有清洗槽(未圖示)，所述集液托盤5的形狀為簸箕形，所述集液托盤5與所述清洗槽相鄰的一端為開放結(jié)構(gòu)且傾斜(傾角可為5度)且開放延伸至所述清洗槽(未圖示)，其另一端具有側(cè)壁將液體封閉在集液托盤5中，所述集液托盤5中的液體匯集流入所述清洗槽。所述集液托盤5、導(dǎo)向條6、外主動(dòng)滾輪10和從動(dòng)滾輪3的材質(zhì)可為聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚對(duì)苯二·甲酸丁二醇酯(PBT)、聚偏氟乙烯(PVDF)或聚四氟乙烯(PTFE)等，所述傳送帶30的材質(zhì)為橡膠。在本實(shí)施例中，所述集液托盤5、導(dǎo)向條6、外主動(dòng)滾輪10和從動(dòng)滾輪3的材質(zhì)為聚丙烯。為詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的作用與功效，以將125mmX 125mm的帶水多晶硅片進(jìn)行投料且在清洗設(shè)備中清洗來(lái)說(shuō)明本實(shí)用新型的目的及功效，所述125mmX 125mm的多晶硅片批量設(shè)置在承載盒中，所述承載盒設(shè)置在投料臺(tái)4上，所述操作人員在面對(duì)投料臺(tái)4及硅片傳送面的一側(cè)進(jìn)行操作，通過(guò)石英吸管等工具將所述操作人員將投料臺(tái)4上的硅片放置至從動(dòng)滾輪3和投料臺(tái)4之間的傳送帶30上，之后硅片7在由外主動(dòng)滾輪10和從動(dòng)滾輪3驅(qū)動(dòng)的傳送帶30傳送至清洗設(shè)備的內(nèi)主動(dòng)滾輪11并經(jīng)其傳送至清洗設(shè)備中進(jìn)行清洗，另外硅片7在放置或傳輸過(guò)程中，其表面的水可滴落在集液托盤5中，于是可避免滴液對(duì)清洗機(jī)臺(tái)的潛在損壞。另外，所述清洗設(shè)備中還設(shè)置有機(jī)械手，所述機(jī)械手用于將硅片傳送至外主動(dòng)滾輪10和內(nèi)主動(dòng)滾輪11上進(jìn)行機(jī)械上料，當(dāng)操作人員緊張時(shí)，也可開啟機(jī)械手來(lái)進(jìn)行機(jī)械上料。再者，導(dǎo)向條6可延伸至內(nèi)主動(dòng)滾輪11上對(duì)硅片7進(jìn)行導(dǎo)向。需說(shuō)明的是，本清洗設(shè)備的清洗機(jī)架12上針對(duì)外主動(dòng)滾輪、內(nèi)主動(dòng)滾輪11設(shè)置有對(duì)應(yīng)的軸承驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，投料機(jī)架2上也針對(duì)所述從動(dòng)滾動(dòng)3設(shè)置有軸承機(jī)構(gòu)使其在外主動(dòng)滾輪的驅(qū)動(dòng)下順利轉(zhuǎn)動(dòng)。該些軸承或軸承驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為業(yè)界常用技術(shù)，故在此不再詳述。[0031]綜上所述，本實(shí)用新型的硅片投料模塊包括投料機(jī)架、設(shè)置在所述投料機(jī)架上的從動(dòng)滾輪和投料臺(tái)，所述從動(dòng)滾輪和投料臺(tái)分別位于靠近和遠(yuǎn)離所述外主動(dòng)滾輪的一側(cè)，所述待投料的硅片放置在投料臺(tái)上，所述從動(dòng)滾輪通過(guò)多條傳送帶連接在外主動(dòng)滾輪上且在外主動(dòng)滾輪的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，所述多條傳送帶頂端形成一硅片傳送面，所述硅片傳送面上垂直并列設(shè)置有多條導(dǎo)向條，所述硅片被限定在導(dǎo)向條間且在硅片傳送面上進(jìn)行導(dǎo)向傳送。本實(shí)用新型結(jié)合了人工投料和機(jī)械投料的優(yōu)點(diǎn)，即可提高投料效率又可提高投料的安全性和可靠性 ，且可降低成本。
權(quán)利要求1.一種硅片投料模塊，用于將硅片投送進(jìn)清洗設(shè)備，所述清洗設(shè)備包括位于清洗設(shè)備外側(cè)的外主動(dòng)滾輪，其特征在于，所述硅片投料模塊包括投料機(jī)架、設(shè)置在所述投料機(jī)架上的從動(dòng)滾輪和投料臺(tái)，所述從動(dòng)滾輪和投料臺(tái)分別位于靠近和遠(yuǎn)離所述外主動(dòng)滾輪的一偵U，所述待投料的硅片放置在投料臺(tái)上，所述從動(dòng)滾輪通過(guò)多條傳送帶連接在外主動(dòng)滾輪上且在外主動(dòng)滾輪的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，所述多條傳送帶頂端形成一硅片傳送面，所述硅片傳送面上垂直并列設(shè)置有多條導(dǎo)向條，所述硅片被限定在導(dǎo)向條間且在硅片傳送面上進(jìn)行導(dǎo)向傳送。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片投料模塊，其特征在于，所述硅片為沾染有液體的濕硅片，所述投料機(jī)架下端對(duì)應(yīng)設(shè)置有集液托盤，所述集液托盤用于匯集從所述濕硅片上滴落的液體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片投料模塊，其特征在于，所述清洗設(shè)備具有清洗槽，所述集液托盤為簸箕形，所述集液托盤與所述清洗槽相鄰的一端為簸箕口且開放延伸至所述清洗槽，所述集液托盤中的液體匯集流入所述清洗槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片投料模塊，其特征在于，所述集液托盤、導(dǎo)向條、外主動(dòng)滾輪和從動(dòng)滾輪的材質(zhì)為聚乙烯、聚丙烯、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯、聚偏氟乙烯或聚四氟乙烯，所述傳送帶的材質(zhì)為橡膠。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片投料模塊，其特征在于，所述從動(dòng)滾輪和外主動(dòng)滾輪間并列設(shè)置有支撐柱或輔助從動(dòng)滾輪，所述支撐柱或輔助從動(dòng)滾輪用于支撐傳送帶及其上的娃片。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片投料模塊，其特征在于，所述外主動(dòng)滾輪和從動(dòng)滾輪上對(duì)應(yīng)開設(shè)有凹槽，所述傳送帶設(shè)置在對(duì)應(yīng)的凹槽中。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片投料模塊，其特征在于，所述傳送帶的設(shè)置數(shù)量確保每片娃片在傳送帶上傳送時(shí)，至少通過(guò)兩條傳送帶傳送，所述娃片為125mmX 125mm或156mm X 156mm 的娃片·。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅片投料模塊，其特征在于，所述導(dǎo)向條與傳送帶間隔設(shè)置，每?jī)蓚€(gè)相鄰的導(dǎo)向條間至少有兩條傳送帶。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片投料模塊，其特征在于，所述投料臺(tái)架設(shè)在所述硅片傳送面上端，且位于所述從動(dòng)滾輪和外主動(dòng)滾輪之間，所述多條導(dǎo)向條的頂端固定設(shè)置在所述投料臺(tái)的底端。
10.一種包括權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的硅片投料模塊的清洗設(shè)備。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種硅片投料模塊及對(duì)應(yīng)的清洗設(shè)備?，F(xiàn)有技術(shù)僅使用人工投料或機(jī)械投料存在著效率或可靠性較低等問(wèn)題，且沒(méi)有容納滴液的設(shè)計(jì)易導(dǎo)致設(shè)備腐蝕損壞，再者通過(guò)滾輪上的限位輪導(dǎo)向存在易磨損和更換成本高等問(wèn)題。本實(shí)用新型的硅片投料模塊用于將硅片投送進(jìn)具有外主動(dòng)滾輪的清洗設(shè)備，包括投料機(jī)架、從動(dòng)滾輪和投料臺(tái)，待投料的硅片放置在投料臺(tái)上，從動(dòng)滾輪通過(guò)多條傳送帶連接在外主動(dòng)滾輪上且由其帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，多條傳送帶頂端形成硅片傳送面，該硅片傳送面上垂直并列設(shè)置有多條導(dǎo)向條，硅片被限定在導(dǎo)向條間且在硅片傳送面上進(jìn)行導(dǎo)向傳送。本實(shí)用新型結(jié)合了人工投料和機(jī)械投料的優(yōu)點(diǎn)，可提高投料效率及其安全性和可靠性，且可降低成本。
文檔編號(hào)H01L31/18GK203127758SQ20132004251
公開日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2013年1月23日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月23日
發(fā)明者劉成龍, 張前, 何雙權(quán), 張永健, 肖偉, 沈永勝 申請(qǐng)人:尚德太陽(yáng)能電力有限公司, 無(wú)錫尚德太陽(yáng)能電力有限公司