蓋板自動定位裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及定位【技術領域】，尤其涉及一種蓋板自動定位裝置。該裝置包括：蓋板主體和下部電極板；基板設置于下部電極板上，基板的面積小于下部電極板的面積；蓋板主體為邊框形，其覆蓋基板的邊緣區(qū)域，蓋板主體下表面設有臺柱，臺柱接觸下部電極板；臺柱上設有朝向下部電極板的凸起，下部電極板上設有與凸起相對應的凹槽。本實用新型提供的蓋板自動定位裝置，采用在蓋板的臺柱上設置凸起以及在下部電極板上設置凹槽的設計，通過兩者之間的配合，使得在重力作用下，實現(xiàn)蓋板與下部電極板間不會發(fā)生相對位移，確保蓋板覆蓋玻璃基板邊緣的有效率，進而最大程度地延長部件的使用壽命，進而節(jié)省加工成本。
【專利說明】蓋板自動定位裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及定位【技術領域】，尤其涉及一種蓋板自動定位裝置。
【背景技術】
[0002]陣列基板PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等離子體增強化學氣相沉積法)工藝中，需要將玻璃基板放置在下部電極板上，四邊被蓋板覆蓋住邊緣才能完成工藝，參考圖1，圖中標注“a”代表蓋板，標注“b”代表玻璃基板，標注“c”代表下部電極板，本文所有附圖中關于標注“a”、“b”、“c”代表的含義都一致。
[0003]而每一張玻璃基板在PECVD完成一次工藝時，都會在下部電極與蓋板之間，在垂直方向完成一次放置，分離循環(huán)。
[0004]由于PECVD工藝工程中具有高溫、導電、強腐蝕等特性，蓋板只能憑借自身重力放置在下部電極板上。但是若蓋板和下部電極板之間長期循環(huán)分離、放置動作會導致蓋板與下部電極板之間發(fā)生不可預計的位移，導致蓋板不能有效地覆蓋住玻璃邊緣，參考圖2，當玻璃沒有被蓋板覆蓋而出現(xiàn)縫隙時，在此位置的下部電極與蓋板間則容易發(fā)生異常放電，導致兩者報廢，造成加工成本的增加。
實用新型內(nèi)容
[0005](一)要解決的技術問題
[0006]本實用新型的目的是提供一種蓋板自動定位裝置，以克服現(xiàn)有技術中沒有特定的蓋板定位裝置，導致蓋板和下部電極板之間因出現(xiàn)縫隙而容易發(fā)生異常放電，造成兩者報廢的缺陷。
[0007](二)技術方案
[0008]為解決上述問題，本實用新型提供一種蓋板自動定位裝置，包括:蓋板主體和下部電極板；
[0009]基板設置于所述下部電極板上，所述基板的面積小于下部電極板的面積；
[0010]所述蓋板主體為邊框形，其覆蓋所述基板的邊緣區(qū)域，所述蓋板主體下表面設有臺柱，所述臺柱接觸所述下部電極板；
[0011]所述臺柱上設有朝向下部電極板的凸起，所述下部電極板上設有與凸起相對應的凹槽，通過所述凸起置于所述凹槽中，使得蓋板主體與下部電極板進行對位。
[0012]進一步地，所述凸起的端部為圓角設計。
[0013]進一步地，所述凹槽的截面為梯形。
[0014]進一步地,所述凹槽的內(nèi)表面底角采用圓角設計。
[0015]進一步地，所述下部電極板連接驅動單元，在驅動單元的作用下，所述下部電極板進行上升或下降運動。
[0016](三)有益效果
[0017]本實用新型提供的蓋板自動定位裝置，采用在蓋板的臺柱上設置凸起以及在下部電極板上設置凹槽的設計，通過兩者之間的配合，使得在重力作用下，實現(xiàn)蓋板與下部電極板間不會發(fā)生相對位移，確保蓋板覆蓋玻璃基板邊緣的有效率，進而最大程度地延長部件的使用壽命，進而節(jié)省加工成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0018]圖1為現(xiàn)有技術PECVD工藝中蓋板對位示意圖；
[0019]圖2為現(xiàn)有技術中蓋板對位時出現(xiàn)的縫隙示意圖；
[0020]圖3為本實用新型實施例蓋板自動定位裝置結構示意圖；
[0021]圖4為本實用新型實施例蓋板自動定位裝置對位過程示意圖。
【具體實施方式】
[0022]下面通過實施例，并結合附圖，對本實用新型的技術方案做進一步詳細的描述，但不僅僅限于下面的實例。
[0023]如圖3所示，本實用新型提供一種蓋板自動定位裝置，包括:蓋板主體和下部電極板；
[0024]基板設置于所述下部電極板上，所述基板的面積小于下部電極板的面積；
[0025]蓋板主體為邊框形，其覆蓋所述基板的邊緣區(qū)域，所述蓋板主體下表面設有臺柱，所述臺柱接觸所述下部電極板；
[0026]臺柱上設有朝向下部電極板的凸起，所述下部電極板上設有與凸起相對應的凹槽，通過所述凸起置于所述凹槽中，使得蓋板主體與下部電極板進行對位。
[0027]其中，為了降低蓋板和下部電極板兩者之間的靜止摩擦力，設置凸起的端部為圓角，其中，凹槽的截面為梯形，凹槽的內(nèi)表面底角采用圓角設計。
[0028]其中，下部電極板連接驅動單元，在驅動單元的作用下，所述下部電極板進行上升或下降運動。
[0029]具體實施工藝方法如下:
[0030]參考圖4，工藝前:玻璃基板放置在下部電極板上。蓋板未與下部電極板接觸，懸掛于下部電極板的正上方。
[0031]參考圖3，工藝時:下部電極板在驅動單元的驅動下進行上升，將懸掛在工藝腔壁上的蓋板托起，凸起接觸到凹槽的斜壁，蓋板在自身重力的作用下，自動地下滑到凹槽槽底，實現(xiàn)自動定位功能。
[0032]本實用新型提供的蓋板自動定位裝置，采用在蓋板的臺柱上設置凸起以及在下部電極板上設置凹槽的設計，通過兩者之間的配合，使得在重力作用下，實現(xiàn)蓋板與下部電極板間不會發(fā)生相對位移，確保蓋板覆蓋玻璃基板邊緣的有效率，進而最大程度地延長部件的使用壽命，進而節(jié)省加工成本。
[0033]以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和變型，這些改進和變型也應視為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種蓋板自動定位裝置，其特征在于，包括:蓋板主體和下部電極板； 基板設置于所述下部電極板上，所述基板的面積小于下部電極板的面積； 所述蓋板主體為邊框形，其覆蓋所述基板的邊緣區(qū)域，所述蓋板主體下表面設有臺柱，所述臺柱接觸所述下部電極板； 所述臺柱上設有朝向下部電極板的凸起，所述下部電極板上設有與凸起相對應的凹槽，通過所述凸起置于所述凹槽中，使得蓋板主體與下部電極板進行對位。
2.如權利要求1所述的蓋板自動定位裝置，其特征在于，所述凸起的端部為圓角設計。
3.如權利要求1所述的蓋板自動定位裝置，其特征在于，所述凹槽的截面為梯形。
4.如權利要求1所述的蓋板自動定位裝置，其特征在于，所述凹槽的內(nèi)表面底角采用圓角設計。
5.如權利要求1所述的蓋板自動定位裝置，其特征在于，所述下部電極板連接驅動單元，在驅動單元的作用下，所述下部電極板進行上升或下降運動。
【文檔編號】H01L21/68GK203456429SQ201320400806
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年7月5日 優(yōu)先權日:2013年7月5日
【發(fā)明者】王丹名, 孫泉欽, 林偉, 黃力 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 成都京東方光電科技有限公司