一種硅片盒的制作方法
【專利摘要】本實用新型屬于半導(dǎo)體制造裝備【技術(shù)領(lǐng)域】，本實用新型公開了一種硅片盒，包括有載片彎板、與之兩端連接在一起的支撐擋板組成，其特征在于：在所述硅片盒內(nèi)設(shè)置減震層、防滑層。本實用新型的有益效果是：硅片數(shù)量不受刻槽數(shù)量的限制，增加硅片的存放量，而且易于清洗、具有減震功能，且結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、操作安全，提高轉(zhuǎn)運效率。
【專利說明】一種娃片盒
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于半導(dǎo)體制造裝備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及在半導(dǎo)體生產(chǎn)中用于存放硅片的娃片盒改進。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體硅片在生產(chǎn)過程中因其特性需要特殊的承載治具進行存放及轉(zhuǎn)運，而目前使用的硅片盒的存放及轉(zhuǎn)運效率成為提高生產(chǎn)效率的制約因素。目前，普遍使用的刻槽硅片盒缺點如下:其一，刻槽硅片盒存放硅片的數(shù)量少，受制于刻槽的數(shù)量，所以影響生產(chǎn)效率；其二，硅片在轉(zhuǎn)運、放入及取出過程中特別容易造成碎片；其三，不易清洗，容易污染硅片。這是現(xiàn)有技術(shù)的不足之處。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于，克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種結(jié)構(gòu)簡單、增加硅片的存放量、具有減震功能、易清洗及提高轉(zhuǎn)運效率的一種硅片盒。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案為:一種硅片盒，包括有載片彎板、與之兩端連接在一起的支撐擋板組成，其特征在于:在所述硅片盒內(nèi)設(shè)置減震層、防滑層。載片彎板的承載曲面是光滑的，減震層、防滑層與載片彎板的連接設(shè)置成可拆卸的，硅片數(shù)量不受刻槽數(shù)量的限制，而且易于清洗、搬運。
[0005]本實用新型的進一步改進有，所述防滑層設(shè)置有齒狀條紋、鋪設(shè)在所述減震層的上面。目的是對硅片起到阻尼的作用，防止硅片滑落摔碎。
[0006]本實用新型的進一步改進還有，在所述支撐擋板的外端設(shè)置把手。利用把手轉(zhuǎn)運方便。
[0007]說明書中沒有描述的結(jié)構(gòu)屬于現(xiàn)有技術(shù)。
[0008]本方案的有益效果可根據(jù)對上述方案的敘述得知，一種硅片盒，包括有載片彎板、與之兩端連接在一起的支撐擋板組成，其特征在于:在所述硅片盒內(nèi)設(shè)置減震層、防滑層。本實用新型的有益效果是:硅片數(shù)量不受刻槽數(shù)量的限制，增加硅片的存放量，而且易于清洗、具有減震功能，且結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、操作安全，提高轉(zhuǎn)運效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意主視圖，圖2本實用新型的結(jié)構(gòu)示意俯視圖，圖3本實用新型的結(jié)構(gòu)示意左視圖。圖中:1是支撐擋板，2是載片彎板，3是硅片，4是把手，5是減震層，6是防滑層。
【具體實施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細說明。
[0011]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細說明，通過附圖可以看出，本方案的一種硅片盒，包括有載片彎板2、與之兩端連接在一起的支撐擋板I組成，其特征在于:在硅片盒內(nèi)設(shè)置減震層5、防滑層6。防滑層6設(shè)置有齒狀條紋、鋪設(shè)在減震層5的上面。支撐擋板I的外端設(shè)置把手4。
[0012]當然，上述說明并非對本實用新型的限制，本實用新型也不僅限于上述舉例，本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員在本實用新型的實質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種娃片盒，包括有載片彎板、與之兩端連接在一起的支撐擋板組成，其特征在于:在所述硅片盒內(nèi)設(shè)置減震層、防滑層，所述防滑層設(shè)置有齒狀條紋、鋪設(shè)在所述減震層的上面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片盒，其特征在于:在所述支撐擋板的外端設(shè)置把手。
【文檔編號】H01L21/673GK203521384SQ201320552167
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年9月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月6日
【發(fā)明者】郭城, 呂明, 徐明星, 郭英云, 紀大鵬 申請人:濟南科盛電子有限公司