一種作業(yè)軌道用新型墊塊的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種作業(yè)軌道用新型墊塊，包括軌道主體，所述軌道主體的下方設(shè)有真空槽，所述真空槽內(nèi)設(shè)有真空孔，所述軌道主體的中央設(shè)有第一定位孔，所述軌道主體的中央覆蓋有墊塊，所述墊塊上設(shè)有第二定位孔，所述第二定位孔與所述第一定位孔對齊固定。本實用新型提供的一種作業(yè)軌道用新型墊塊，通過更換墊塊來實現(xiàn)了不同產(chǎn)品在軌道上的作業(yè)需求，降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】一種作業(yè)軌道用新型墊塊
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導體產(chǎn)品的作業(yè)軌道，具體涉及一種作業(yè)軌道用新型墊塊。
【背景技術(shù)】
[0002]半導體產(chǎn)品在機臺作業(yè)軌道上加工時，由于不同產(chǎn)品所對應(yīng)的軌道高度不同，故在作業(yè)不同產(chǎn)品時需要更換軌道，但該軌道屬于熱軌道，故其在更換軌道前需等待冷卻，這樣耗費的時間一般較長，同時也降低了企業(yè)的生產(chǎn)速率，不利于企業(yè)實現(xiàn)快速生產(chǎn)。
[0003]申請?zhí)枮?00880105619.1的中國專利公開了名稱為“機臺裝置”的發(fā)明專利，其包括主底座板，分別連接于主底座板上的第一、第二主軌道且使第一、第二主軌道延長的副軌道設(shè)置于各個副底座板上，其兩片副底座板能夠相互分離，主底座板上配置有作為移動部件的起重機架，其作業(yè)過程中較為復雜，且較為費時。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型目的在于提供一種作業(yè)軌道用新型墊塊，通過更換墊塊來實現(xiàn)了不同產(chǎn)品在軌道上的作業(yè)需求，降低了生產(chǎn)成本。
[0005]為了實現(xiàn)以上目的，本實用新型一種作業(yè)軌道用新型墊塊，包括軌道主體，所述軌道主體的下方設(shè)有真空槽，所述真空槽內(nèi)設(shè)有真空孔，所述軌道主體的中央設(shè)有第一定位孔，本實用新型的改進之處在于，所述軌道主體的中央覆蓋有墊塊，所述墊塊上設(shè)有第二定位孔，所述第二定位孔與所述第一定位孔對齊固定。
[0006]作為一種實施方式，所述墊塊為A墊塊，所述A墊塊的數(shù)量為2塊，且兩A墊塊設(shè)置在同一水平直線上緊貼于接合處。
[0007]作為另一種實施方式，所述墊塊為B墊塊，所述B墊塊的數(shù)量為2塊，且兩B墊塊設(shè)置在同一水平直線上緊貼于接合處。
[0008]進一步的，所述A、B兩墊塊的長度相同。
[0009]進一步的，所述兩A墊塊的長度之和與所述軌道主體的長度相等。
[0010]進一步的，所述A墊塊的高度大于所述B墊塊的高度。
[0011]本實用新型提供的一種作業(yè)軌道用新型墊塊，采用兩高度不同的墊塊實現(xiàn)在同一軌道上作業(yè)的需求，解決了現(xiàn)有的不同半導體產(chǎn)品所對應(yīng)的軌道高度不同時，需更換相應(yīng)軌道的狀況，提升了生產(chǎn)效率，同時降低了生產(chǎn)成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1為軌道主體的結(jié)構(gòu)示意圖；[0014]圖2為本實用新型提供的實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖3為本實用新型提供的實施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖4為本實用新型提供的一種作業(yè)軌道用新型墊塊結(jié)構(gòu)側(cè)視示意圖。
【具體實施方式】
[0017]本實用新型提供一種作業(yè)軌道用新型墊塊，通過更換墊塊來實現(xiàn)了不同產(chǎn)品在軌道上的作業(yè)需求，降低了生產(chǎn)成本。
[0018]下面將結(jié)合本實用新型中的附圖，對本實用新型中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0019]實施例一
[0020]結(jié)合圖1、圖2、圖4，一種作業(yè)軌道用新型墊塊，包括軌道主體1，所述軌道主體I的下方設(shè)有真空槽2，所述真空槽2內(nèi)設(shè)有真空孔3，所述軌道主體I的中央設(shè)有第一定位孔4，所述軌道主體I的中央覆蓋有墊塊5，所述墊塊5上設(shè)有第二定位孔6，所述第二定位孔6與所述第一定位孔4對齊固定，所述墊塊為A墊塊51，所述A墊塊51的數(shù)量為2塊，且兩A墊塊設(shè)置在同一水平直線上緊貼于接合處，所述兩A兩墊塊的長度相同，且所述兩A墊塊51的長度之和與所述軌道主體I的長度相等，由于不同高度半導體產(chǎn)品需對應(yīng)不同高度軌道，需更換軌道時，參見實施例二 ；
[0021]實施例二
[0022]結(jié)合圖1、圖3、圖4，一種作業(yè)軌道用新型墊塊，包括軌道主體1，所述軌道主體I的下方設(shè)有真空槽2，所述真空槽2內(nèi)設(shè)有真空孔3，所述軌道主體I的中央設(shè)有第一定位孔4，所述軌道主體I的中央覆蓋有墊塊5，所述墊塊5上設(shè)有第二定位孔6，所述第二定位孔6與所述第一定位孔4對齊固定，所述墊塊為B墊塊52，所述B墊塊52的數(shù)量為2塊，且兩B墊塊52設(shè)置在同一水平直線上緊貼于接合處，所述B墊塊52與實施例一中A墊塊的長度相同，所述兩B墊塊的長度之和與所述軌道主體的長度相等，所述B墊塊的高度小于所述A墊塊的高度，這樣能滿足不同高度的半導體產(chǎn)品所需對應(yīng)的不同高度的作業(yè)軌道。
[0023]通過以上描述可知，本實用新型提供的一種作業(yè)軌道用新型墊塊，采用兩高度不同的墊塊實現(xiàn)在同一軌道上作業(yè)的需求，解決了現(xiàn)有的不同半導體產(chǎn)品所對應(yīng)的軌道高度不同時，需更換相應(yīng)軌道的狀況，提升了生產(chǎn)效率，同時降低了生產(chǎn)成本。
[0024]以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實施方式對本實用新型所作的進一步詳細說明，不能認定本實用新型的具體實施只局限于這些說明。對于本實用新型所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應(yīng)當視為屬于本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種作業(yè)軌道用新型墊塊，包括軌道主體，所述軌道主體的下方設(shè)有真空槽，所述真空槽內(nèi)設(shè)有真空孔，所述軌道主體的中央設(shè)有第一定位孔，其特征在于，所述軌道主體的中央覆蓋有墊塊，所述墊塊上設(shè)有第二定位孔，所述第二定位孔與所述第一定位孔對齊固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種作業(yè)軌道用新型墊塊，其特征在于，所述墊塊為A墊塊，所述A墊塊的數(shù)量為2塊，且兩A墊塊設(shè)置在同一水平直線上緊貼于接合處。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種作業(yè)軌道用新型墊塊，其特征在于，所述墊塊為B墊塊，所述B墊塊的數(shù)量為2塊，且兩B墊塊設(shè)置在同一水平直線上緊貼于接合處。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種作業(yè)軌道用新型墊塊，其特征在于，所述A、B兩墊塊的長度相同。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種作業(yè)軌道用新型墊塊，其特征在于，所述兩A墊塊的長度之和與所述軌道主體的長度相等。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種作業(yè)軌道用新型墊塊，其特征在于，所述A墊塊的高度大于所述B墊塊的高度。
【文檔編號】H01L21/67GK203562408SQ201320561109
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年9月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月11日
【發(fā)明者】敖利波 申請人:杰群電子科技（東莞）有限公司