一種晶圓片自動刮邊的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種晶圓片自動刮邊機(jī)，包括用于安放晶圓片的安放裝置、用于移動晶圓片的移動裝置及用于給晶圓片刮邊的刮邊裝置，所述安放裝置包括第一安放裝置和第二安放裝置，所述刮邊裝置設(shè)在第一安放裝置和第二安放裝置之間，所述移動裝置設(shè)有用于取放晶圓片的取放裝置，移動裝置可從第一安放裝置取晶圓片后，移動到刮邊裝置進(jìn)行對晶圓片刮邊，然后再移動至第二安放裝置放刮邊后的晶圓片，最后回到初始位置。本實(shí)用新型可以自動地、連續(xù)地進(jìn)行刮邊，達(dá)到不僅刮出來的產(chǎn)品美觀、均勻、不容易破片，而且能大大地減輕工人的勞動強(qiáng)度、節(jié)省人力成本、大大提升效率。
【專利說明】—種晶圓片自動刮邊機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及LED光電領(lǐng)域，特別是指一種應(yīng)用于LED光電行業(yè)的晶圓片邊角刮邊的晶圓片自動刮邊機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]在LED光電行業(yè)里，生產(chǎn)出來的晶圓片通常都要進(jìn)行一項工作:對晶圓片邊角進(jìn)行刮邊，然后才能進(jìn)一步的應(yīng)用。因為在生產(chǎn)過程中鍍膜等工藝會造成芯片邊緣部分導(dǎo)電物質(zhì)的粘連。長外延時，因氣流問題導(dǎo)致外延片邊緣壘金8-15微米，產(chǎn)生晶片邊緣微觀不平整，在后工藝(將前工藝做成的含有數(shù)目眾多管芯的晶片減薄，然后用激光切割成一顆顆獨(dú)立的管芯。)研磨切割過程造成研磨厚度不均勻，切片暗裂等不良出現(xiàn)。
[0003]晶圓片是先將二氧化矽經(jīng)過純化，融解，蒸餾之后，制成矽晶棒，晶圓廠再拿這些矽晶棒研磨，拋光和切片成為晶圓母片；由于圓形的晶圓片本身沒有方向性，不適合電子的傳輸，因此這些晶圓還必須切出一個邊，當(dāng)做類似三角形的“底”，所以晶圓片的形狀是在圓形上通過該圓上的弦切掉一個邊，成為有“底”的圓。
[0004]在現(xiàn)有技術(shù)中，通常晶圓片的刮邊全部由人工用刀片來完成，刮完后的產(chǎn)品有以下幾種缺陷:1、不美觀，不均勻；2、容易破片；3、費(fèi)用、費(fèi)時、人工勞動強(qiáng)度大。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]鑒于此，為克服上述人工帶來的技術(shù)缺陷，本實(shí)用新型的目的在于提出一種效率高、刮出來的產(chǎn)品美觀、均勻而且不容易破片的自動刮邊機(jī)。
[0006]所采用的技術(shù)方案為:
[0007]—種晶圓片自動刮邊機(jī)，包括用于安放晶圓片的安放裝置、用于移動晶圓片的移動裝置及用于給晶圓片刮邊的刮邊裝置，所述安放裝置包括第一安放裝置和第二安放裝置，所述刮邊裝置設(shè)在第一安放裝置和第二安放裝置之間，所述移動裝置設(shè)有用于取放晶圓片的取放裝置，移動裝置可從第一安放裝置取晶圓片后，移動到刮邊裝置進(jìn)行對晶圓片刮邊，然后再移動至第二安放裝置放刮邊后的晶圓片，最后回到初始位置。
[0008]優(yōu)選地，所述第一安放裝置或第二安放裝置包括料盒支架、晶圓料盒、伺服電機(jī)和精密導(dǎo)軌，所述伺服電機(jī)設(shè)有精密絲桿；所述晶圓料盒安放在料盒支架內(nèi)，所述料盒支架安裝在精密絲桿上，所述精密絲桿與精密導(dǎo)軌相配合。
[0009]進(jìn)一步地，所述料盒支架設(shè)有兩個用于安放晶圓料盒的空腔。
[0010]進(jìn)一步地，所述第一安放裝置或第二安放裝置還包括用于感應(yīng)晶圓片有無的傳感器。
[0011 ] 優(yōu)選地，所述移動裝置包括可左右移動的機(jī)械臂左右軸、可前后移動的機(jī)械臂前后軸和可上下移動的機(jī)械臂上下軸；所述機(jī)械臂前后軸和機(jī)械臂上下軸固定連接后，可在機(jī)械臂左右軸左右移動；所述機(jī)械臂左右軸的長度至少不小于從第一安放裝置到第二安放裝置之間的距離。[0012]進(jìn)一步地，所述機(jī)械臂左右軸包括精密步進(jìn)電機(jī)和與精密步進(jìn)電機(jī)相配合的左右精密導(dǎo)軌滑塊，所述機(jī)械臂前后軸包括汽缸、前后絲桿和前后精密導(dǎo)軌滑塊；所述機(jī)械臂上下軸包括伺服電機(jī)、精密導(dǎo)軌和上下精密絲桿。
[0013]進(jìn)一步地，所述取放裝置為第一吸盤，所述第一吸盤安裝在前后絲桿上。
[0014]優(yōu)選地，所述刮邊裝置包括用于接收晶圓片的接收裝置和對接收裝置上的晶圓片進(jìn)行工作的刮邊部件。
[0015]進(jìn)一步地，所述接收裝置包括要用于接收晶圓片的升降軸、用于定位晶圓片的晶圓片定位塊、第二吸盤、安裝在第二吸盤下方用于旋轉(zhuǎn)該第二吸盤的一旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及第三傳感器，所述升降軸與一升降汽缸連接，所述升降軸與晶圓片定位塊對應(yīng)安裝在第二吸盤周邊。
[0016]進(jìn)一步地,所述刮邊部件包括電動磨頭以及分別與電動磨頭連接的用于控制電動磨頭位置的水平軸、垂直軸和角度軸。
[0017]相對于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)是:
[0018]本實(shí)用新型通過設(shè)置安放晶圓片的第一安放裝置和第二安放裝置、用于移動晶圓片的移動裝置及用于給晶圓片刮邊的刮邊裝置，所述移動裝置設(shè)有用于取放晶圓片的取放裝置，然后根據(jù)這些裝置設(shè)計一套可循環(huán)工作的動作，使得:通過該取放裝置，移動裝置可從第一安放裝置取晶圓片后，移動到刮邊裝置進(jìn)行對晶圓片刮邊，然后再移動至第二安放裝置放刮邊后的晶圓片，最后回到初始位置。從而可以使本實(shí)用新型可以自動地、連續(xù)地進(jìn)行刮邊，從而可以達(dá)到不僅刮出來的產(chǎn)品美觀、均勻、不容易破片，而且能大大地減輕工人的勞動強(qiáng)度、節(jié)省人力成本、大大提升效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0020]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2為本實(shí)用新型的第一安放裝置或第二安放裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖3為本實(shí)用新型的移動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖4為本實(shí)用新型刮邊裝置的接收裝置主視的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖5為本實(shí)用新型刮邊裝置的接收裝置俯視的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖6為本實(shí)用新型刮邊裝置的接收裝置立體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖7為本實(shí)用新型刮邊裝置的刮邊部件主視的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖8為本實(shí)用新型刮邊裝置的刮邊部件立體的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型優(yōu)選的實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0029]參見圖1，一種晶圓片自動刮邊機(jī)，包括用于安放晶圓片的安放裝置、用于移動晶圓片的移動裝置2及用于給晶圓片刮邊的刮邊裝置3，所述安放裝置包括第一安放裝置I和第二安放裝置4，所述刮邊裝置3設(shè)在第一安放裝置I和第二安放裝置4之間，所述移動裝置2設(shè)有用于取放晶圓片的取放裝置，移動裝置2可從第一安放裝置I取晶圓片后，移動到刮邊裝置3進(jìn)行對晶圓片刮邊，然后再移動至第二安放裝置4放刮邊后的晶圓片，最后回到初始位置。
[0030]其中，針對安放裝置:
[0031]參見圖2，本自動刮邊機(jī)的第一安放裝置I或第二安放裝置4包括料盒支架41、晶圓料盒42、第一伺服電機(jī)43和第一精密導(dǎo)軌44，所述第一伺服電機(jī)43設(shè)有精密絲桿45 ；所述晶圓料盒42安放在料盒支架41內(nèi)，所述料盒支架41安裝在精密絲桿45上，所述精密絲桿45與精密導(dǎo)軌44相配合。優(yōu)選第一安放裝置I和第二安放裝置4的結(jié)構(gòu)相同。第一安放裝置用于安放刮邊前的晶圓片46，第二安放裝置用于安放刮邊后的晶圓片46。
[0032]可以進(jìn)一步地，所述料盒支架41設(shè)有兩個用于安放晶圓料盒的空腔。當(dāng)然也可以只設(shè)置一個，還可以設(shè)置三個用于安放晶圓料盒的空腔?？梢愿鶕?jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置。
[0033]可以再進(jìn)一步地，所述第一安放裝置或第二安放裝置還包括用于感應(yīng)晶圓片有無的傳感器。以所述料盒支架設(shè)有兩個用于安放晶圓料盒的空腔為例，兩盒的晶圓料盒安放于料盒支架上，晶圓料盒內(nèi)裝有多個晶圓片。該晶圓料盒內(nèi)部相對兩側(cè)設(shè)有多個配對的并列的凹槽，晶圓片安裝在配對的凹槽內(nèi)，形成層疊狀。然后，用于感應(yīng)晶圓片有無的傳感器分為第一傳感器47和第二傳感器48，第二傳感器48安裝在晶圓料盒的下方，用來感應(yīng)對應(yīng)晶圓料盒上是否裝有晶圓片；第一傳感器47安裝在凹槽的下方，用來感應(yīng)該晶圓料盒上是否有晶片存在。第一傳感器47可以是一限定反射型的光纖，它能檢測感應(yīng)固定的距離。當(dāng)伺服電機(jī)帶動料盒支架往下移動時，下降到第一感應(yīng)器的檢測距離時，伺服電機(jī)就停止。第二傳感器48可以是一種機(jī)械式的導(dǎo)通開關(guān)，當(dāng)晶圓料盒放置在料盒支架里面時會擠壓第二傳感器而產(chǎn)生信號，從而檢測料盒支架有沒有放晶圓料盒。
[0034]于是，該第一安放裝置工作時的動作流程可以為:
[0035]人工放置有晶圓片的晶圓料盒，可以放兩盒，也可以放一盒，由第二傳感器感應(yīng)；
[0036]伺服電機(jī)通過絲桿導(dǎo)軌帶動料盒支架做上下直線運(yùn)動，每取完一片晶圓片后，伺服電機(jī)會升或降一定距離以致第一傳感器能檢測到下一晶圓片。
[0037]如此循環(huán)動作，直至晶圓料盒的晶圓片取完為止。
[0038]然后，針對移動裝置:
[0039]參見圖3，本自動刮邊機(jī)的移動裝置2包括可左右移動的機(jī)械臂左右軸21、可前后移動的機(jī)械臂前后軸22和可上下移動的機(jī)械臂上下軸23 ;所述機(jī)械臂前后軸22和機(jī)械臂上下軸23固定連接后，可在機(jī)械臂左右軸21左右移動，所述機(jī)械臂左右軸21的長度至少不小于從第一安放裝置I到第二安放裝置4之間的距離。其對長度的要求只要能實(shí)現(xiàn)該移動裝置從第一安放裝置移動至刮邊裝置，再移動至第二安放裝置即可。
[0040]可以進(jìn)一步地，所述機(jī)械臂左右軸21包括精密步進(jìn)電機(jī)211和與精密步進(jìn)電機(jī)211相配合的左右精密導(dǎo)軌滑塊212，步進(jìn)電機(jī)上設(shè)有同步帶213 ;所述機(jī)械臂前后軸22包括汽缸221、前后絲桿222和前后精密導(dǎo)軌滑塊223 ;所述機(jī)械臂上下軸23包括第二伺服電機(jī)231、第二精密導(dǎo)軌232和上下精密絲桿233。機(jī)械臂上下軸設(shè)有一同步固定塊，該同步固定塊安裝在同步帶213，隨同步帶同步移動，且可在同步帶從左到右的任意位置設(shè)定。也就是，機(jī)械臂左右軸實(shí)現(xiàn)整個移動裝置從左向右或從右到左的移動，機(jī)械臂上下軸實(shí)現(xiàn)移動裝置上下調(diào)整的移動，機(jī)械臂前后軸實(shí)現(xiàn)與其他裝置(包括第一安放裝置、刮邊裝置和第二安放裝置)的動作連接。
[0041]可以進(jìn)一步地，所述取放裝置為第一吸盤24，所述第一吸盤24安裝在前后絲桿上。通過安裝在機(jī)械臂前后軸上的第一吸盤，來實(shí)現(xiàn)對晶圓片的整個移動過程。第一吸盤通過真空吸力來實(shí)現(xiàn)對晶圓片的取與放。
[0042]于是，該移動裝置的動作流程可以為:
[0043]從第一安放裝置開始，機(jī)械臂前后軸的第一吸盤從料盒里吸住晶圓片；
[0044]機(jī)械臂上下軸配合機(jī)械臂前后軸，調(diào)整上下距離使吸住的晶圓片與料盒有一定的間隙，方便機(jī)械臂前后軸取出晶圓片；
[0045]機(jī)械臂左右軸配合機(jī)械臂前后軸將取出的圓晶片移動至刮邊裝置處。
[0046]然后,針對刮邊裝置:
[0047]參見圖4-圖8，本自動刮邊機(jī)的刮邊裝置3包括用于接收晶圓片的接收裝置31和對接收裝置上的晶圓片進(jìn)行工作的刮邊部件32。
[0048]可以進(jìn)一步地，參見圖4-圖6，所述接收裝置31包括要用于接收晶圓片的升降軸311、用于定位晶圓片的晶圓片定位塊312、第二吸盤313、安裝在第二吸盤313下方用于旋轉(zhuǎn)該第二吸盤的一旋轉(zhuǎn)電機(jī)313以及第三傳感器314，所述升降軸311與一升降汽缸315連接，所述升降軸與晶圓片定位塊對應(yīng)安裝在第二吸盤313周邊。所述晶圓片定位塊為兩個，分別對稱安裝于第二吸盤的兩端，該晶圓片片定位塊還分別連接一用來做出定位動作的定位汽缸。所述第三傳感器用來感應(yīng)晶圓片的直邊(即【背景技術(shù)】所述的有“底”的那一邊)，其可以通過感應(yīng)距離不一樣來確定什么時候可以補(bǔ)償。如第三感應(yīng)器感應(yīng)晶圓片周邊時是一種信號，當(dāng)感應(yīng)到周邊與直邊交接處時，感應(yīng)的距離變化了，就可以通過根據(jù)此變化信號來進(jìn)行對直邊的補(bǔ)償(電動磨頭根據(jù)此信號來研磨直邊)。
[0049]可以進(jìn)一步地,參見圖7-圖8,所述刮邊部件32包括電動磨頭321以及分別與電動磨頭321連接的用于控制電動磨頭位置的水平軸322、垂直軸323和角度軸324。刮邊部件采用電動磨頭，進(jìn)一步可以采用高速電動模組用的合金磨頭，而不是采用刀片的形式，使刮出來的產(chǎn)品比用刀片更美觀、均勻、而且不容易破片。而水平軸、垂直軸和角度軸，也分別成為X軸、Z軸和R軸。X軸控制電動磨頭的水平方向的移動，Z軸控制電動磨頭的垂直方向的移動，通過X軸和Z軸使電動磨頭與晶圓片之間的預(yù)壓力及進(jìn)給量都自動可調(diào)，還可以補(bǔ)償對晶圓片的直邊的研磨。而R軸控制電動磨頭進(jìn)行一定角度的擺動，使電動磨頭的合金磨頭與晶圓片進(jìn)行點(diǎn)接觸，擺動的角度越大接觸越少，反之越大。
[0050]于是，該刮邊裝置的動作流程可以為:
[0051]通過升降汽缸使升降軸升起，機(jī)械手前后軸把晶圓片放在升降軸上；
[0052]通過升降汽缸使升降軸下降，晶圓片被放置在第二吸盤上；
[0053]兩端的晶圓片定位塊通過定位汽缸對晶圓片進(jìn)行定位；
[0054]定位好后，第二吸盤開始啟動，吸住晶圓片；
[0055]旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動第二吸盤進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；[0056]第三傳感器感應(yīng)晶圓片的直角邊。
[0057]電動磨頭通過X軸、Z軸和R軸的調(diào)整后，對晶圓片進(jìn)行研磨。
[0058]而本實(shí)用新型的整個自動刮邊機(jī)的動作流程為:
[0059]通過該取放裝置(第一吸盤)，移動裝置從第一安放裝置處取出一片晶圓片；
[0060]然后移動裝置移動到刮邊裝置后，一方面通過刮邊裝置的接收裝置接收移動裝置取出的晶圓片，另一方面通過刮邊裝置的刮邊部件對處在接收裝置上的圓晶片進(jìn)行研磨(即刮邊)；
[0061 ] 然后移動裝置再從接收裝置上取走刮邊后的晶圓片，再移動至第二安放裝置處安放。
[0062]移動裝置回到初始位置。
[0063]循環(huán)上述的1-4步。
[0064]相對于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)是:
[0065]本實(shí)用新型自動刮邊機(jī)不用刀片的形式，而是用高速電動模組用的合金磨頭來研磨，刮出來的產(chǎn)品美觀、均勻、而且不容易破片；
[0066]能大大地減輕工人的勞動強(qiáng)度以及節(jié)省人力成本，按照此設(shè)計本實(shí)用新型，每個人工可以看4-5臺的自動刮邊機(jī)。
[0067]效率大大提升。比起人工,其效率大大提升。
[0068]需要說明的是，本實(shí)用新型自動刮邊機(jī)的電氣部分均可以由PLC (ProgrammableLogic Controller，可編程邏輯控制器)來控制，比如所有的傳感器(包括第一、第二、第三傳感器)、電機(jī)的運(yùn)動(如上述說明書中的各種汽缸的運(yùn)動)及機(jī)械的運(yùn)動(如上述說明書中的機(jī)械臂左右軸)都可通過PLC的編程來實(shí)現(xiàn)上述中各個裝置的動作流程。
[0069]本實(shí)用新型自動刮邊機(jī)提供一種工作參數(shù)如下:(自動刮編輯的工作參數(shù)可以包括如下，但不限于此):
[0070]刮邊速度:20_25sec/pc;
[0071]適應(yīng)晶圓:4寸；
[0072]裝卸方式:產(chǎn)品(晶圓片)的手動放置與取出；
[0073]電源:200-240V，單相:50_60ΗΖ；
[0074]總功率:2200w含IOOOw的工業(yè)吸塵器；
[0075]供氣壓力:大于0.5Mpa;
[0076]設(shè)備尺寸:1300*900*1600單位(毫米)
[0077]設(shè)備凈重:300kg。
[0078]本自動刮邊機(jī)可用于4英寸的砷化鎵、氮化硅、藍(lán)寶石等晶圓片的刮邊。采用全自動控制，大大提高了生產(chǎn)效率。
[0079]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓片自動刮邊機(jī)，其特征在于，包括用于安放晶圓片的安放裝置、用于移動晶圓片的移動裝置及用于給晶圓片刮邊的刮邊裝置，所述安放裝置包括第一安放裝置和第二安放裝置，所述刮邊裝置設(shè)在第一安放裝置和第二安放裝置之間，所述移動裝置設(shè)有用于取放晶圓片的取放裝置；移動裝置可從第一安放裝置取晶圓片后，移動到刮邊裝置進(jìn)行對晶圓片刮邊，然后再移動至第二安放裝置放刮邊后的晶圓片，最后回到初始位置。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓片自動刮邊機(jī)，其特征在于，所述第一安放裝置或第二安放裝置包括料盒支架、晶圓料盒、第一伺服電機(jī)和第一精密導(dǎo)軌，所述第一伺服電機(jī)設(shè)有精密絲桿；所述晶圓料盒安放在料盒支架內(nèi)，所述料盒支架安裝在精密絲桿上，所述精密絲桿與第一精密導(dǎo)軌相配合。
3.如權(quán)利要求2所述的晶圓片自動刮邊機(jī)，其特征在于，所述料盒支架設(shè)有兩個用于安放晶圓料盒的空腔。
4.如權(quán)利要求3所述的晶圓片自動刮邊機(jī)，其特征在于，所述第一安放裝置或第二安放裝置還包括用于感應(yīng)晶圓片有無的傳感器。
5.如權(quán)利要求1所述的晶圓片自動刮邊機(jī)，其特征在于，所述移動裝置包括可左右移動的機(jī)械臂左右軸、可前后移動的機(jī)械臂前后軸和可上下移動的機(jī)械臂上下軸；所述機(jī)械臂前后軸和機(jī)械臂上下軸固定連接后，可在機(jī)械臂左右軸左右移動；所述機(jī)械臂左右軸的長度至少不小于從第一安放裝置到第二安放裝置之間的距離。
6.如權(quán)利要求5所述的晶圓片自動刮邊機(jī)，其特征在于，所述機(jī)械臂左右軸包括精密步進(jìn)電機(jī)和與精密步進(jìn)電機(jī)相配合的左右精密導(dǎo)軌滑塊，所述機(jī)械臂前后軸包括汽缸、前后絲桿和前后精密導(dǎo)軌滑塊；所述機(jī)械臂上下軸包括第二伺服電機(jī)、第二精密導(dǎo)軌和上下精密絲桿。
7.如權(quán)利要求6所述的晶圓片自動刮邊機(jī)，其特征在于，所述取放裝置為第一吸盤，所述第一吸盤安裝在前后絲桿上。
8.如權(quán)利要求1所述的晶圓片自動刮邊機(jī)，其特征在于，所述刮邊裝置包括用于接收晶圓片的接收裝置和對接收裝置上的晶圓片進(jìn)行工作的刮邊部件。
9.如權(quán)利要求8所述的晶圓片自動刮邊機(jī)，其特征在于，所述接收裝置包括要用于接收晶圓片的升降軸、用于定位晶圓片的晶圓片定位塊、第二吸盤、安裝在第二吸盤下方用于旋轉(zhuǎn)該第二吸盤的一旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及第三傳感器，所述升降軸與一升降汽缸連接，所述升降軸與晶圓片定位塊對應(yīng)安裝在第二吸盤周邊。
10.如權(quán)利要求9所述的晶圓片自動刮邊機(jī)，其特征在于，所述刮邊部件包括電動磨頭以及分別與電動磨頭連接的用于控制電動磨頭位置的水平軸、垂直軸和角度軸。
【文檔編號】H01L21/67GK203631497SQ201320709390
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年11月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月11日
【發(fā)明者】盧傳播 申請人:廈門市弘瀚電子科技有限公司