集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域,目的是提供一種集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)。一種集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu),包括設(shè)有長(zhǎng)槽的固定座、兩個(gè)分別位于長(zhǎng)槽兩側(cè)并與固定座的上端連接的載帶導(dǎo)軌、蓋膜收集盒、編帶驅(qū)動(dòng)定位裝置、蓋膜撕除裝置和斷帶檢測(cè)裝置。該集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)使用時(shí),需要撕除蓋膜的集成電路的編帶從載帶導(dǎo)軌的后端放入并置于兩個(gè)載帶導(dǎo)軌上,編帶驅(qū)動(dòng)定位裝置編帶向前運(yùn)動(dòng)到蓋膜分離處,手動(dòng)分離集成電路編帶前端的蓋膜,蓋膜撕除裝置撕除蓋膜并將蓋膜送入蓋膜收集盒收集;斷帶檢測(cè)裝置檢測(cè)蓋膜有無斷裂。該集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)撕除蓋膜效率較高且集成電路不易損傷。
【專利說明】集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域,尤其是一種集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]集成電路制造中傳送和計(jì)數(shù)方便,常把集成電路放在具有沿長(zhǎng)度方向排列的凹坑的編帶里并用蓋膜覆蓋,在一些加工或檢測(cè)工序,需要撕除蓋膜把集成電路取出來;目前由于缺乏適用的集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu),存在撕除蓋膜效率較低且集成電路易受損傷的不足;因此,設(shè)計(jì)一種撕除蓋膜效率較高且集成電路不易損傷的集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu),成為亟待解決的問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是為了克服目前由于缺乏適用的集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu),存在撕除蓋膜效率較低且集成電路易受損傷的不足,提供一種撕除蓋膜效率較高且集成電路不易損傷的集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)。
[0004]本實(shí)用新型的具體技術(shù)方案是:
[0005]一種集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu),包括設(shè)有長(zhǎng)槽的固定座、兩個(gè)分別位于長(zhǎng)槽兩側(cè)并與固定座的上端連接的載帶導(dǎo)軌、蓋膜收集盒、編帶驅(qū)動(dòng)定位裝置、蓋膜撕除裝置和斷帶檢測(cè)裝置。該集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)使用時(shí),需要撕除蓋膜的集成電路的編帶從載帶導(dǎo)軌的后端放入并置于兩個(gè)載帶導(dǎo)軌上,編帶驅(qū)動(dòng)定位裝置編帶向前運(yùn)動(dòng)到蓋膜分離處,手動(dòng)分離集成電路編帶前端的蓋膜,蓋膜撕除裝置撕除蓋膜并將蓋膜送入蓋膜收集盒收集;斷帶檢測(cè)裝置檢測(cè)蓋膜有無斷裂。該集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)撕除蓋膜效率較高且集成電路不易損傷。
[0006]作為優(yōu)選,所述的蓋膜收集盒包括位于兩個(gè)載帶導(dǎo)軌上方且后端設(shè)有開口的盒體、與盒體后端固定連接的吹氣座和兩個(gè)位于盒體下端并與固定座固定連接的支腳。通過與壓縮空氣連接的吹氣座向盒體內(nèi)吹氣,可以防止蓋膜堆積在開口處。
[0007]作為優(yōu)選,所述的蓋膜撕除裝置包括位于蓋膜收集盒后側(cè)并與固定座上端固定連接的安裝座、與安裝座樞接的主動(dòng)滾輪、與安裝座固定連接且輸出軸與主動(dòng)滾輪傳動(dòng)連接的撕帶電機(jī)、兩個(gè)中部各與安裝座的一側(cè)端鉸接的L形拉桿、位于主動(dòng)滾輪上側(cè)且兩端分別與兩個(gè)L形拉桿的前端樞接的從動(dòng)壓輪、兩個(gè)設(shè)有若干個(gè)插齒且分別與固定座固定連接的防卷帶壓塊、兩個(gè)各與一個(gè)L形拉桿的上端連接的調(diào)節(jié)桿、兩個(gè)后端各與一個(gè)調(diào)節(jié)桿連接的拉簧和兩個(gè)調(diào)節(jié)插銷;盒體的兩側(cè)端分別設(shè)有若干個(gè)沿前后排列的插孔,每個(gè)插銷穿過一個(gè)拉簧的前端插入一個(gè)插孔中;主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪的側(cè)圍沿軸向設(shè)有若干個(gè)環(huán)形凹槽;兩個(gè)防卷帶壓塊的插齒分別位于主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪的后側(cè)并分別插入主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪的環(huán)形凹槽中。蓋膜撕除裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,改變插銷插入的插孔通過拉簧的作用,可以使主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪對(duì)蓋膜有合適的壓緊力,滿足帶動(dòng)蓋膜向前運(yùn)動(dòng)的需要;插入主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪的環(huán)形凹槽中的防卷帶壓塊的插齒可以防止蓋膜卷繞在主動(dòng)滾輪或從動(dòng)壓輪上。
[0008]作為優(yōu)選,所述的斷帶檢測(cè)裝置包括與支腳固定連接的微動(dòng)開關(guān)和安裝塊、位于微動(dòng)開關(guān)上方并與安裝塊鉸接的轉(zhuǎn)臂、位于主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪的后側(cè)且一端與轉(zhuǎn)臂連接的斷帶測(cè)桿、兩側(cè)分別設(shè)有與固定座固定連接的連接耳的托板和位于斷帶測(cè)桿前側(cè)下方且兩端各與一個(gè)連接耳連接的轉(zhuǎn)向軸。當(dāng)蓋膜斷裂時(shí),斷帶測(cè)桿會(huì)與微動(dòng)開關(guān)的按鈕松開,微動(dòng)開關(guān)斷開通過控制器控制實(shí)現(xiàn)集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)停止工作提高安全性。
[0009]作為優(yōu)選,所述的編帶驅(qū)動(dòng)定位裝置包括與固定座固定連接的編帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)、上部伸入兩個(gè)載帶導(dǎo)軌之間并與編帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸固定連接的編帶驅(qū)動(dòng)輪、集成電路入位檢測(cè)傳感器、原點(diǎn)傳感器和兩個(gè)傳感器支架;編帶驅(qū)動(dòng)輪的側(cè)圍設(shè)有若干個(gè)沿圓周徑向均布的編帶驅(qū)動(dòng)桿;集成電路入位檢測(cè)傳感器和原點(diǎn)傳感器各通過一個(gè)傳感器支架與固定座連接。編帶驅(qū)動(dòng)定位裝置提高編帶運(yùn)動(dòng)精度;集成電路入位檢測(cè)傳感器可提前檢測(cè)集成電路的編帶有無集成電路,原點(diǎn)傳感器向控制器提供原點(diǎn)信號(hào)。
[0010]作為優(yōu)選,所述的集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)還包括兩個(gè)間距調(diào)節(jié)塊和若干個(gè)緊固螺釘;間距調(diào)節(jié)塊由若干個(gè)從上至下相對(duì)兩側(cè)邊距離依次加大的矩形塊構(gòu)成;兩個(gè)載帶導(dǎo)軌每一端的相對(duì)側(cè)邊的下部各與一個(gè)間距調(diào)節(jié)塊的一個(gè)矩形塊的相對(duì)兩側(cè)邊接觸,兩個(gè)載帶導(dǎo)軌的下端面分別壓住一個(gè)間距調(diào)節(jié)塊的下一個(gè)矩形塊的上端面;載帶導(dǎo)軌沿長(zhǎng)度方向設(shè)有若干個(gè)橫向長(zhǎng)孔;每個(gè)緊固螺釘?shù)男《舜┻^一個(gè)橫向長(zhǎng)孔與固定座螺紋連接;兩個(gè)載帶導(dǎo)軌的相對(duì)側(cè)邊的上部各設(shè)有與上端面貫通的滑槽。通過調(diào)節(jié)兩個(gè)載帶導(dǎo)軌的間距可以滿足不同寬度集成電路的編帶的蓋膜撕除需要;兩個(gè)載帶導(dǎo)軌的相對(duì)側(cè)邊的上部各設(shè)有與上端面貫通的滑槽使編帶定位準(zhǔn)確運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:該集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)撕除蓋膜效率較高且集成電路不易損傷。通過與壓縮空氣連接的吹氣座向盒體內(nèi)吹氣,可以防止蓋膜堆積在開口處。蓋膜撕除裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,改變插銷插入的插孔通過拉簧的作用,可以使主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪對(duì)蓋膜有合適的壓緊力,滿足帶動(dòng)蓋膜向前運(yùn)動(dòng)的需要;插入主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪的環(huán)形凹槽中的防卷帶壓塊的插齒可以防止蓋膜卷繞在主動(dòng)滾輪或從動(dòng)壓輪上。當(dāng)蓋膜斷裂時(shí),斷帶測(cè)桿會(huì)與微動(dòng)開關(guān)的按鈕松開,微動(dòng)開關(guān)斷開通過控制器控制實(shí)現(xiàn)集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)停止工作提高安全性。編帶驅(qū)動(dòng)定位裝置提高編帶運(yùn)動(dòng)精度;集成電路入位檢測(cè)傳感器可提前檢測(cè)集成電路的編帶有無集成電路,原點(diǎn)傳感器向控制器提供原點(diǎn)信號(hào)。通過調(diào)節(jié)兩個(gè)載帶導(dǎo)軌的間距可以滿足不同寬度集成電路的編帶的蓋膜撕除需要;兩個(gè)載帶導(dǎo)軌的相對(duì)側(cè)邊的上部各設(shè)有與上端面貫通的滑槽使編帶定位準(zhǔn)確運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]圖1是本實(shí)用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖;
[0013]圖2是圖1中編帶驅(qū)動(dòng)輪的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0014]圖3是圖1中的A向視圖;
[0015]圖4是圖1中的B向視圖。
[0016]圖中:間距調(diào)節(jié)塊-1、緊固螺釘-2、固定座-3、長(zhǎng)槽-31、載帶導(dǎo)軌-4、橫向長(zhǎng)孔-41、滑槽-42、盒體-5、開口-51、插孔-52、防卷帶壓塊-6、插齒-61、托板-7、連接耳-71、編帶驅(qū)動(dòng)輪-8、編帶驅(qū)動(dòng)桿-81、吹氣座-9、支腳-10、安裝座-11、主動(dòng)滾輪-12、撕帶電機(jī)-13、L形拉桿-14、從動(dòng)壓輪-15、調(diào)節(jié)桿-16、拉簧_17、調(diào)節(jié)插銷_18、微動(dòng)開關(guān)-19、安裝塊-20、轉(zhuǎn)臂-21、斷帶測(cè)桿-22、轉(zhuǎn)向軸-23、編帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)-24、集成電路入位檢測(cè)傳感器-25、原點(diǎn)傳感器-26、傳感器支架-27、環(huán)形凹槽28。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖所示對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步描述。
[0018]如附圖1、附圖2、附圖3、附圖4所示:一種集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu),包括具有長(zhǎng)槽31的固定座3、兩個(gè)分別位于長(zhǎng)槽31兩側(cè)并與固定座3的上端連接的載帶導(dǎo)軌4、蓋膜收集盒、編帶驅(qū)動(dòng)定位裝置、蓋膜撕除裝置、斷帶檢測(cè)裝置、兩個(gè)間距調(diào)節(jié)塊I和四個(gè)緊固螺釘2 ;本實(shí)施例中,所述的間距調(diào)節(jié)塊I由四個(gè)從上至下相對(duì)兩側(cè)邊距離依次加大的矩形塊構(gòu)成;兩個(gè)載帶導(dǎo)軌4每一端的相對(duì)側(cè)邊的下部各與一個(gè)間距調(diào)節(jié)塊I的一個(gè)矩形塊的相對(duì)兩側(cè)邊接觸,兩個(gè)載帶導(dǎo)軌4的下端面分別壓住一個(gè)間距調(diào)節(jié)塊I的下一個(gè)矩形塊的上端面;載帶導(dǎo)軌4沿長(zhǎng)度方向具有兩個(gè)橫向長(zhǎng)孔41 ;橫向長(zhǎng)孔41為腰形孔;每個(gè)緊固螺釘2的小端穿過一個(gè)橫向長(zhǎng)孔41與固定座3螺紋連接;兩個(gè)載帶導(dǎo)軌4的相對(duì)側(cè)邊的上部各具有與上端面貫通的滑槽42。
[0019]所述的蓋膜收集盒包括位于兩個(gè)載帶導(dǎo)軌4上方且后端具有開口 51的盒體5、與盒體5后端螺釘連接的吹氣座9和兩個(gè)位于盒體5下端并與固定座3螺釘連接的支腳10。
[0020]所述的蓋膜撕除裝置包括位于蓋膜收集盒后側(cè)并與固定座3上端螺釘連接的安裝座11、與安裝座11通過軸承樞接的主動(dòng)滾輪12、與安裝座11螺釘連接且輸出軸與主動(dòng)滾輪12通過聯(lián)軸器連接的撕帶電機(jī)13、兩個(gè)中部各與安裝座11的一側(cè)端鉸接的L形拉桿
14、位于主動(dòng)滾輪12上側(cè)且兩端分別與兩個(gè)L形拉桿14的前端通過軸承樞接的從動(dòng)壓輪
15、兩個(gè)具有八個(gè)插齒61且分別與固定座3螺釘連接的防卷帶壓塊6、兩個(gè)各與一個(gè)L形拉桿14的上端連接的調(diào)節(jié)桿16、兩個(gè)后端各與一個(gè)調(diào)節(jié)桿16連接的拉簧17和兩個(gè)調(diào)節(jié)插銷18 ;盒體5的兩側(cè)端分別具有七個(gè)沿前后排列的插孔52,每個(gè)插銷穿過一個(gè)拉簧17的前端插入一個(gè)插孔52中;主動(dòng)滾輪12和從動(dòng)壓輪15的側(cè)圍沿軸向各具有八個(gè)環(huán)形凹槽28 ;兩個(gè)防卷帶壓塊6的插齒61分別位于主動(dòng)滾輪12和從動(dòng)壓輪15的后側(cè)并分別插入主動(dòng)滾輪12和從動(dòng)壓輪15的環(huán)形凹槽28中。
[0021]所述的斷帶檢測(cè)裝置包括與支腳10螺釘連接的微動(dòng)開關(guān)19和安裝塊20、位于微動(dòng)開關(guān)19上方并與安裝塊20鉸接的轉(zhuǎn)臂21、位于主動(dòng)滾輪12和從動(dòng)壓輪15的后側(cè)且一端與轉(zhuǎn)臂21連接的斷帶測(cè)桿22、兩側(cè)分別具有與固定座3螺釘連接的連接耳71的托板7和位于斷帶測(cè)桿22前側(cè)下方且兩端各與一個(gè)連接耳71連接的轉(zhuǎn)向軸23。
[0022]所述的編帶驅(qū)動(dòng)定位裝置包括與固定座3螺釘連接的編帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)24、上部伸入兩個(gè)載帶導(dǎo)軌4之間并與編帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)24的輸出軸鍵連接的編帶驅(qū)動(dòng)輪8、集成電路入位檢測(cè)傳感器25、原點(diǎn)傳感器26和兩個(gè)傳感器支架27 ;編帶驅(qū)動(dòng)輪8的側(cè)圍具有四十個(gè)沿圓周徑向均布的編帶驅(qū)動(dòng)桿81 ;集成電路入位檢測(cè)傳感器25和原點(diǎn)傳感器26各通過一個(gè)傳感器支架27與固定座3連接。
[0023]集成電路入位檢測(cè)傳感器25和原點(diǎn)傳感器26均為光電傳感器。撕帶電機(jī)13和編帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)24均為步進(jìn)電機(jī)。[0024]該集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)使用時(shí),需要撕除蓋膜的集成電路的編帶從載帶導(dǎo)軌4的后端放入并置于兩個(gè)載帶導(dǎo)軌4的滑槽42上,對(duì)應(yīng)的編帶驅(qū)動(dòng)桿81插入編帶具有的驅(qū)動(dòng)孔中,編帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)24帶動(dòng)編帶驅(qū)動(dòng)輪8轉(zhuǎn)動(dòng),編帶驅(qū)動(dòng)桿81帶動(dòng)編帶向前運(yùn)動(dòng)到蓋膜分離處,手動(dòng)分離集成電路編帶前端的蓋膜,蓋膜穿過轉(zhuǎn)向軸23下側(cè)和托板7之間并翻折150--左右繞過斷帶測(cè)桿22從斷帶測(cè)桿22的上方進(jìn)入主動(dòng)滾輪12和從動(dòng)壓輪15之間,斷帶測(cè)桿22下壓住微動(dòng)開關(guān)19的按鈕通電,撕帶電機(jī)13帶動(dòng)主動(dòng)滾輪12轉(zhuǎn)動(dòng),在主動(dòng)滾輪12和從動(dòng)壓輪15作用下蓋膜經(jīng)蓋膜收集盒的開口 51進(jìn)入盒體5收集;改變插銷插入的插孔52并通過拉簧17的作用,可以使主動(dòng)滾輪12和從動(dòng)壓輪15對(duì)蓋膜有合適的壓緊力,滿足帶動(dòng)蓋膜向前運(yùn)動(dòng)的需要;插入主動(dòng)滾輪12和從動(dòng)壓輪15的環(huán)形凹槽28中的防卷帶壓塊6的插齒61可以防止蓋膜卷繞在主動(dòng)滾輪12或從動(dòng)壓輪15上;通過與壓縮空氣連接的吹氣座9向盒體5內(nèi)吹氣,可以防止蓋膜堆積在開口 51處;當(dāng)蓋膜斷裂時(shí),斷帶測(cè)桿22會(huì)與微動(dòng)開關(guān)19的按鈕松開,微動(dòng)開關(guān)19斷開通過控制器控制實(shí)現(xiàn)集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)停止工作;集成電路入位檢測(cè)傳感器25可提前檢測(cè)集成電路的編帶有無集成電路,原點(diǎn)傳感器26向控制器提供原點(diǎn)信號(hào),原點(diǎn)傳感器26與集成電路入位檢測(cè)傳感器25之間的距離設(shè)定為集成電路的編帶中兩顆電路的間距的整數(shù)倍。
[0025]本實(shí)用新型的有益效果是:該集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)撕除蓋膜效率較高且集成電路不易損傷。通過與壓縮空氣連接的吹氣座向盒體內(nèi)吹氣,可以防止蓋膜堆積在開口處。蓋膜撕除裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,改變插銷插入的插孔通過拉簧的作用,可以使主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪對(duì)蓋膜有合適的壓緊力,滿足帶動(dòng)蓋膜向前運(yùn)動(dòng)的需要;插入主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪的環(huán)形凹槽中的防卷帶壓塊的插齒可以防止蓋膜卷繞在主動(dòng)滾輪或從動(dòng)壓輪上。當(dāng)蓋膜斷裂時(shí),斷帶測(cè)桿會(huì)與微動(dòng)開關(guān)的按鈕松開,微動(dòng)開關(guān)斷開通過控制器控制實(shí)現(xiàn)集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)停止工作提高安全性。編帶驅(qū)動(dòng)定位裝置提高編帶運(yùn)動(dòng)精度;集成電路入位檢測(cè)傳感器可提前檢測(cè)集成電路的編帶有無集成電路,原點(diǎn)傳感器向控制器提供原點(diǎn)信號(hào)。通過調(diào)節(jié)兩個(gè)載帶導(dǎo)軌的間距可以滿足不同寬度集成電路的編帶的蓋膜撕除需要;兩個(gè)載帶導(dǎo)軌的相對(duì)側(cè)邊的上部各設(shè)有與上端面貫通的滑槽使編帶定位準(zhǔn)確運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)。
[0026]本實(shí)用新型可改變?yōu)槎喾N方式對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員是顯而易見的,這樣的改變不認(rèn)為脫離本實(shí)用新型的范圍。所有這樣的對(duì)所述領(lǐng)域的技術(shù)人員顯而易見的修改,將包括在本權(quán)利要求的范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu),其特征是,包括設(shè)有長(zhǎng)槽的固定座、兩個(gè)分別位于長(zhǎng)槽兩側(cè)并與固定座的上端連接的載帶導(dǎo)軌、蓋膜收集盒、編帶驅(qū)動(dòng)定位裝置、蓋膜撕除裝置和斷帶檢測(cè)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu),其特征是:所述的蓋膜收集盒包括位于兩個(gè)載帶導(dǎo)軌上方且后端設(shè)有開口的盒體、與盒體后端固定連接的吹氣座和兩個(gè)位于盒體下端并與固定座固定連接的支腳。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu),其特征是:所述的蓋膜撕除裝置包括位于蓋膜收集盒后側(cè)并與固定座上端固定連接的安裝座、與安裝座樞接的主動(dòng)滾輪、與安裝座固定連接且輸出軸與主動(dòng)滾輪傳動(dòng)連接的撕帶電機(jī)、兩個(gè)中部各與安裝座的一側(cè)端鉸接的L形拉桿、位于主動(dòng)滾輪上側(cè)且兩端分別與兩個(gè)L形拉桿的前端樞接的從動(dòng)壓輪、兩個(gè)設(shè)有若干個(gè)插齒且分別與固定座固定連接的防卷帶壓塊、兩個(gè)各與一個(gè)L形拉桿的上端連接的調(diào)節(jié)桿、兩個(gè)后端各與一個(gè)調(diào)節(jié)桿連接的拉簧和兩個(gè)調(diào)節(jié)插銷;盒體的兩側(cè)端分別設(shè)有若干個(gè)沿前后排列的插孔,每個(gè)插銷穿過一個(gè)拉簧的前端插入一個(gè)插孔中;主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪的側(cè)圍沿軸向設(shè)有若干個(gè)環(huán)形凹槽;兩個(gè)防卷帶壓塊的插齒分別位于主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪的后側(cè)并分別插入主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪的環(huán)形凹槽中。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu),其特征是:所述的斷帶檢測(cè)裝置包括與支腳固定連接的微動(dòng)開關(guān)和安裝塊、位于微動(dòng)開關(guān)上方并與安裝塊鉸接的轉(zhuǎn)臂、位于主動(dòng)滾輪和從動(dòng)壓輪的后側(cè)且一端與轉(zhuǎn)臂連接的斷帶測(cè)桿、兩側(cè)分別設(shè)有與固定座固定連接的連接耳的托板和位于斷帶測(cè)桿前側(cè)下方且兩端各與一個(gè)連接耳連接的轉(zhuǎn)向軸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu),其特征是:所述的編帶驅(qū)動(dòng)定位裝置包括與固定座固定連接的編帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)、上部伸入兩個(gè)載帶導(dǎo)軌之間并與編帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸固定連接的編帶驅(qū)動(dòng)輪、集成電路入位檢測(cè)傳感器、原點(diǎn)傳感器和兩個(gè)傳感器支架;編帶驅(qū)動(dòng)輪的側(cè)圍設(shè)有若干個(gè)沿圓周徑向均布的編帶驅(qū)動(dòng)桿;集成電路入位檢測(cè)傳感器和原點(diǎn)傳感器各通過一個(gè)傳感器支架與固定座連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu),其特征是:所述的集成電路蓋膜撕除機(jī)構(gòu)還包括兩個(gè)間距調(diào)節(jié)塊和若干個(gè)緊固螺釘;間距調(diào)節(jié)塊由若干個(gè)從上至下相對(duì)兩側(cè)邊距離依次加大的矩形塊構(gòu)成;兩個(gè)載帶導(dǎo)軌每一端的相對(duì)側(cè)邊的下部各與一個(gè)間距調(diào)節(jié)塊的一個(gè)矩形塊的相對(duì)兩側(cè)邊接觸,兩個(gè)載帶導(dǎo)軌的下端面分別壓住一個(gè)間距調(diào)節(jié)塊的下一個(gè)矩形塊的上端面;載帶導(dǎo)軌沿長(zhǎng)度方向設(shè)有若干個(gè)橫向長(zhǎng)孔;每個(gè)緊固螺釘?shù)男《舜┻^一個(gè)橫向長(zhǎng)孔與固定座螺紋連接;兩個(gè)載帶導(dǎo)軌的相對(duì)側(cè)邊的上部各設(shè)有與上端面貫通的滑槽。
【文檔編號(hào)】H01L21/70GK203674190SQ201320725346
【公開日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2013年11月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月15日
【發(fā)明者】顏邦純, 葉鍵波, 陳啟其, 韓笑 申請(qǐng)人:杭州長(zhǎng)川科技有限公司