傳送晶片的真空機(jī)械手臂的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供了一種傳送晶片的真空機(jī)械手臂，其包括機(jī)械手臂，所述機(jī)械手臂包括手臂根部和手臂端部，在所述手臂根部和手臂端部各設(shè)置一個(gè)真空孔，之間通過(guò)機(jī)械手臂內(nèi)部的真空管道連通；在手臂根部設(shè)有螺絲孔。在所述手臂端部圍繞真空孔設(shè)有環(huán)形凸紋。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，既節(jié)省材料、節(jié)約成本，又滿足了設(shè)備對(duì)8寸晶片的真空取片的要求，提高了生產(chǎn)效率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】傳送晶片的真空機(jī)械手臂
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種真空機(jī)械手臂，用于8寸半導(dǎo)體晶片的傳送。
【背景技術(shù)】
[0002]真空機(jī)械手臂用于半導(dǎo)體晶片的傳送。之前的機(jī)械手臂是用螺絲將半導(dǎo)體晶片固定在機(jī)器人上面，然后通過(guò)機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)去抓取晶片。但是它的面積較大，所用材料也比較多，因此成本多；它也只能完成在大氣中對(duì)半導(dǎo)體晶片的傳送。半導(dǎo)體制造行業(yè)中有些設(shè)備的機(jī)器人抓取晶片需要真空抓取，而一般的機(jī)械手臂沒(méi)有這種功能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種傳送晶片的真空機(jī)械手臂，能通過(guò)抽真空抓取8英寸的大晶片。
[0004]按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述傳送晶片的真空機(jī)械手臂包括機(jī)械手臂，所述機(jī)械手臂包括手臂根部和手臂端部，在所述手臂根部和手臂端部各設(shè)置一個(gè)真空孔，之間通過(guò)機(jī)械手臂內(nèi)部的真空管道連通；在手臂根部設(shè)有螺絲孔。
[0005]進(jìn)一步的，在所述手臂端部圍繞真空孔設(shè)有環(huán)形凸紋。
[0006]進(jìn)一步的，所述手臂根部的螺絲孔不少于3個(gè)，所述螺絲孔圍繞手臂根部的真空孔分布。
[0007]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，既節(jié)省材料、節(jié)約成本，又滿足了設(shè)備對(duì)8寸晶片的真空取片的要求，提高了生產(chǎn)效率。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖2是圖1的仰視圖。
[0010]圖3是本實(shí)用新型的剖面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0012]半導(dǎo)體中8英寸的晶片較大，而原先的6寸常規(guī)機(jī)械手臂已無(wú)法抓取，因此需要專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)適應(yīng)8寸的真空機(jī)械手臂。
[0013]如圖1，3所示，機(jī)械手臂I包括手臂根部和手臂端部，在所述手臂根部和手臂端部各設(shè)置一個(gè)真空孔3，之間通過(guò)機(jī)械手臂I內(nèi)部的真空管道5連通；在手臂根部設(shè)有螺絲孔2。
[0014]在所述手臂端部圍繞真空孔3設(shè)有幾圈環(huán)形凸紋4，可以增加與晶片接觸面的摩擦力，增強(qiáng)抓取牢度。
[0015]所述手臂根部的螺絲孔2不少于3個(gè)，圖示為3個(gè)，所述螺絲孔2圍繞手臂根部的真空孔3分布。保證與抽真空的管道連通時(shí)結(jié)合處能夠壓緊密閉。
[0016]如圖2所示，設(shè)計(jì)手臂根部到手臂端部中間有一個(gè)臺(tái)階過(guò)渡。手臂根部厚度為1.6mm,手臂端部環(huán)形凸紋4處厚度為1.6mm。手臂總長(zhǎng)148.5mm。
[0017]該傳送8寸晶片的真空機(jī)械手臂通過(guò)螺絲孔2固定在機(jī)器人上面，手臂根部的真空孔3與機(jī)器人上抽真空的管道對(duì)齊連通，然后經(jīng)過(guò)真空管道5導(dǎo)入真空，再經(jīng)過(guò)手臂端部的真空孔3將晶片吸附于機(jī)械手臂上面，以完成對(duì)晶片的傳送。
[0018]本實(shí)用新型將真空機(jī)械手臂固定于機(jī)器人上面，通過(guò)抽真空將晶片吸住，然后通過(guò)機(jī)器人的動(dòng)作，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶片的真空抓取、真空傳送。
【權(quán)利要求】
1.傳送晶片的真空機(jī)械手臂，包括機(jī)械手臂(1)，其特征是:所述機(jī)械手臂(I)包括手臂根部和手臂端部，在所述手臂根部和手臂端部各設(shè)置一個(gè)真空孔(3)，之間通過(guò)機(jī)械手臂Cl)內(nèi)部的真空管道(5)連通；在手臂根部設(shè)有螺絲孔(2)。
2.如權(quán)利要求1所述傳送8寸晶片的真空機(jī)械手臂，其特征是，在所述手臂端部圍繞真空孔(3)設(shè)有環(huán)形凸紋(4)。
3.如權(quán)利要求1所述傳送8寸晶片的真空機(jī)械手臂，其特征是，所述手臂根部的螺絲孔(2)不少于3個(gè)，所述螺絲孔(2)圍繞手臂根部的真空孔(3)分布。
【文檔編號(hào)】H01L21/683GK203573964SQ201320773588
【公開(kāi)日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】廖海濤, 孫文斌, 郭衛(wèi)衛(wèi) 申請(qǐng)人:無(wú)錫邑文電子科技有限公司