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一種應用于觸摸屏感應器的鍍Ag導電膜的制作方法

文檔序號:7032916閱讀:169來源:國知局
一種應用于觸摸屏感應器的鍍Ag導電膜的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及觸摸屏的感應器制造裝置,特指一種應用于觸摸屏感應器的鍍Ag導電膜。一種應用于觸摸屏感應器的鍍Ag導電膜,包括有:柔性基膜,在柔性基膜表面上濺射鍍有ITO層;在ITO層上覆蓋濺射鍍有厚度2nm-5nm的Ti金屬層或在ITO層上覆蓋濺射鍍有厚度2nm-5nm的Mo金屬層;在所述Ti金屬層或所述Mo金屬層上覆蓋濺射鍍有厚度為120nm-180nm的Ag鍍層;在Ag金屬層上覆蓋濺射鍍有厚度為2nm-3nm的Mo金屬層。采用上述結構后,本實用新型具有導線細、單位面積導線多、功率低等特點。
【專利說明】—種應用于觸摸屏感應器的鍍Ag導電膜
【技術領域】
[0001]本新型涉及觸摸屏的感應器制造裝置,特指一種應用于觸摸屏感應器的鍍Ag導電膜。
【背景技術】
[0002]ΙΤ0/ΡΕΤ薄膜被廣泛應用于觸摸屏(TP)的感應器(SENSOR)制造,通常的制程是:將PET FILM上面的ITO層,刻蝕成塊狀或線狀,這些塊狀或線狀形成的“觸點”被分成很多組,每一組都被用“導線”與TP的控制芯片相連,將各“觸點”在被觸摸時產(chǎn)生的電信號送到芯片進行分析處理。目前,這種“導線”通常采用濺鍍金屬Al或Ag或Cu后用〃曝光”工藝刻蝕成金屬“導線”。但是在實際使用中發(fā)現(xiàn),現(xiàn)有的Al或Ag或Cu的濺鍍金屬的“導線”較粗,無法在相同面積內制成更多的導線,其制成的TP組件功耗比較高,發(fā)熱大,有鑒于此,如何提供一種新型結構的導電膜制作觸摸屏感應器成為有待解決的問題。

【發(fā)明內容】

[0003]本新型的目的就是針對現(xiàn)有技術的不足之處而提供的一種應用于觸摸屏感應器的鍍Ag導電膜。
[0004]為達到上述目的,本發(fā)明的技術方案是:
[0005]一種應用于觸摸屏感應器的鍍Ag導電膜,包括有:柔性基膜,在柔性基膜表面上濺射鍍有ITO層;其特征在于:在ITO層上覆蓋濺射鍍有厚度2nm-5nm的Ti金屬層或在ITO層上覆蓋濺射鍍有厚度2nm-5nm的Mo金屬層;在所述Ti金屬層或所述Mo金屬層上覆蓋濺射鍍有厚度為120nm-180nm的Ag鍍層;在Ag金屬層上覆蓋濺射鍍有厚度為2nm_3nm的Mo
金屬層。
[0006]所述柔性基膜由PET塑料構成。
[0007]所述柔性基膜由PC塑料構成。
[0008]所述柔性基膜由PET塑料和PC塑料構成的合成膜。
[0009]采用上述結構后,本新型采用Ag鍍層取代了傳統(tǒng)的Al或Ag或Cu渡層,由于金屬Ag是一種非常優(yōu)良的導體,用Ag做TP SENSOR的導線,比較Cu或Al,可以將導線做得更細、在相同面積內可以制成更多的導線;另一方面,Ag與半導體特性的ITO層,有非常優(yōu)良的歐姆電阻表現(xiàn),即銀導線能夠獲得與ITO感應觸點組間更低的接觸電阻,其優(yōu)點是會大大降低TP組件的功耗,一方面減少TP組件的發(fā)熱,另一方面,在依靠移動便攜電源供電的情況下,可以延長移動電源的使用時間。因此,本新型具有導線細、單位面積導線多、功率低等特點。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是本新型采用PET作為柔性基膜的鍍Ag導電膜的結構示意圖?!揪唧w實施方式】
[0011]如圖1所示,一種應用于觸摸屏感應器的鍍Ag導電膜,包括有:柔性基膜,在柔性基膜表面上濺射鍍有ITO層;其特征在于:在ITO層上覆蓋濺射鍍有厚度2nm-5nm的Ti金屬層或在ITO層上覆蓋濺射鍍有厚度2nm-5nm的Mo金屬層;在所述Ti金屬層或所述Mo金屬層上覆蓋濺射鍍有厚度為120nm-180nm的Ag鍍層;在Ag金屬層上覆蓋濺射鍍有厚度為2nm-3nm的Mo金屬層。
[0012]所述柔性基膜由PET塑料構成。
[0013]所述柔性基膜由PC塑料構成。
[0014]所述柔性基膜由PET塑料和PC塑料構成的合成膜。
[0015]本新型中的Ag鍍層其到導線作用,Ag鍍層上的Mo金屬層起保護作用。
[0016]本新型采用Ag鍍層取代了傳統(tǒng)的Al或Ag或Cu渡層,由于金屬Ag是一種非常優(yōu)良的導體,用Ag做TP SENSOR的導線,比較Cu或Al,可以將導線做得更細、在相同面積內可以制成更多的導線;另一方面,Ag與半導體特性的ITO層,有非常優(yōu)良的歐姆電阻表現(xiàn),即銀導線能夠獲得與ITO感應觸點組間更低的接觸電阻,其優(yōu)點是會大大降低TP組件的功耗,一方面減少TP組件的發(fā)熱,另一方面,在依靠移動便攜電源供電的情況下,可以延長移動電源的使用時間。因此,本新型具有導線細、單位面積導線多、功率低等特點。
【權利要求】
1.一種應用于觸摸屏感應器的鍍Ag導電膜,包括有:柔性基膜,在柔性基膜表面上濺射鍍有ITO層;其特征在于:在ITO層上覆蓋濺射鍍有厚度2nm-5nm的Ti金屬層或在ITO層上覆蓋濺射鍍有厚度2nm-5nm的Mo金屬層;在所述Ti金屬層或所述Mo金屬層上覆蓋濺射鍍有厚度為120nm-180nm的Ag鍍層;在Ag金屬層上覆蓋濺射鍍有厚度為2nm_3nm的Mo金屬層。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種應用于觸摸屏感應器的鍍Ag導電膜,其特征在于:所述柔性基膜由PET塑料構成。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種應用于觸摸屏感應器的鍍Ag導電膜,其特征在于:所述柔性基膜由PC塑料構成。
【文檔編號】H01B1/02GK203721211SQ201320808060
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2013年12月7日 優(yōu)先權日:2013年12月7日
【發(fā)明者】金烈 申請人:深圳市金凱新瑞光電有限公司
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