一種ddr馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型屬半導(dǎo)體及LED制造領(lǐng)域，具體涉及一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)?；?、機械臂2、DDR馬達1，其中，DDR馬達1固定在基座3上，機械臂2與DDR馬達1輸出連接。其中，機械臂2為兩個，兩個機械臂2一端連接在一起形成120度夾角，機械臂2連接在一起的一端與DDR馬達1輸出連接，DDR馬達1帶動機械臂2在360度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動，其中，機械臂2末連接的一端各有一真空吸嘴8，真空吸嘴8用于吸附晶圓或基片。使用本實用新型的有益效果是：1.以較低的成本，滿足客戶精度要求較低的需求；2.減少污染，提高效率。
【專利說明】一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬半導(dǎo)體及LED制造領(lǐng)域，具體涉及一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展及集成電路代工廠的長期運營，晶圓傳輸機械手的國產(chǎn)化及現(xiàn)有進口設(shè)備維修的需求日益增長，而如何對研發(fā)及維修后的機械手進行性能測試是最亟需解決的關(guān)鍵問題之一?，F(xiàn)有對晶圓傳輸機械手的定位、重復(fù)定位精度及運行穩(wěn)定性等性能進行測試時，一般采用位移傳感器或圖像識別等元件直接對設(shè)備末端機械手指表面的幾何特征進行測量。顯然，當(dāng)傳輸機械手的手掌末端的幾何特征或材料發(fā)生變化時，所需測試元件(如光源設(shè)備)也有所不同，測試單位不僅需要儲備與各種型號機械手對應(yīng)的末端機械手指，還需要儲備相應(yīng)的測量元件。在半導(dǎo)體及LED制造過程中，傳輸晶圓或基片時，一般都是通過關(guān)節(jié)式機械手或通過皮帶傳送材料。同時由于關(guān)節(jié)式機械手成本太高。如果采用手動方式來拿材料，效率很低，也會污染生產(chǎn)材料。這樣造成了大量人力及物力的浪費。為了避免對晶圓或基片的污染，同時為了提高生產(chǎn)效率，采用自動化的傳輸機構(gòu)。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型為了避免對晶圓或基片的污染，同時為了提高生產(chǎn)效率，設(shè)計了本實用新型一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，具體解決方案如下:
[0004]一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括:基座、機械臂、DDR馬達，其中，所述DDR馬達固定在所述基座上，所述機械臂在所述DDR馬達上部且所述機械臂與所述DDR馬達輸出連接。
[0005]上述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其中，所述機械臂為兩個，兩個所述機械臂一端連接形成120度夾角，所述機械臂連接的一端與所述DDR馬達輸出連接。
[0006]上述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其中，所述機械臂末端有一真空吸嘴，所述真空吸嘴用于吸附晶圓或基片。
[0007]上述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其中，還包括真空接頭一和真空接頭二，所述真空接頭一和所述真空接頭二固定在所述基座上且分別接真空到兩所述真空吸嘴。
[0008]上述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu),其中，還包括一零位傳感器，所述零位傳感器固定在所述DDR馬達一側(cè)的所述基座上，所述零位傳感器定位所述機械臂的位置。
[0009]上述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其中，所述馬達接收到零位傳感器發(fā)出的信號，所述DDR馬達將帶動所述機械臂向相反的方向旋轉(zhuǎn)，所述機械臂能夠停留在360度的范圍內(nèi)。
[0010]上述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其中，還包括X向?qū)к壓蚘向?qū)к墸鯵向?qū)к壴赬向?qū)к壣喜垦厮鯴向軌道滑動，所述基座在所述Y向?qū)к壣锨已厮鯵向軌道滑動。
[0011]上述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其中，還包括DDR馬達上的光柵尺，所述DDR馬達上的光柵尺保證馬達旋轉(zhuǎn)的精確度。
[0012]使用本實用新型的有益效果是:1、以較低的成本，滿足客戶精度要求較低的需求；
2、減少污染，提聞效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖1和具體事例對本實用新型做進一步的說明，但不作為本實用新型的限定。
[0015]如圖1所示，一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括:基座3、機械臂2、DDR馬達1，其中，DDR馬達I固定在基座3上，機械臂2與DDR馬達I輸出連接，DDR馬達輸出軸與基座的平面相互垂直。其中，機械臂2為兩個，兩個機械臂2 —端連接在一起形成120度夾角，機械臂2連接在一起的一端與DDR馬達I輸出連接，DDR馬達I帶動機械臂2在360度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動，其中，機械臂2末連接的一端各有一真空吸嘴8，真空吸嘴8用于吸附晶圓或基片。
[0016]如圖1所示，還包括真空接頭一 5和真空接頭二 6，真空接頭一 5和真空接頭6 二固定在基座3上，并且分別連接真空到兩真空吸嘴8，并且能分別控制真空吸嘴8，當(dāng)真空吸嘴8吸附到晶圓或者基片時，真空傳感器將能檢測到晶圓或者基片。
[0017]如圖1所示,還包括一零位傳感器4,零位傳感器4固定在DDR馬達I 一側(cè)的基座上，零位傳感器4定位機械臂2的位置，當(dāng)機械臂2到達零位時，DDR馬達I接收到零位傳感器4發(fā)出的信號，DDR馬達I將帶動機械臂2向相反的方向旋轉(zhuǎn)，機械臂2能夠停留在360度的范圍內(nèi)。在本實例中，當(dāng)真空吸嘴8吸附到晶圓或者基片時，真空傳感器檢測到晶圓或者基片，并且真空傳感器將信號發(fā)送到DDR馬達I控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)將輸出信號使機械臂2旋轉(zhuǎn)到固定的位置，然后將所吸附到的晶圓或者基片放置到固定的位置。
[0018]如圖1所示，本實用新型還包括X向?qū)к?和Y向?qū)к?0，Y向?qū)к?0在X向?qū)к?上沿X向軌道9滑動，基座3在Y向?qū)к?0上并且沿Y向軌道10滑動。
[0019]在本實例中，基座3沿Y向軌道10滑動，Y向軌道10沿X向軌道9滑動，這樣使機械臂2能在一個固定的水平面內(nèi)移動，真空吸嘴能將這個固定平面內(nèi)的晶圓或者基片一一吸附。
[0020]本實用新型還包括DDR馬達上的光柵尺7，DDR馬達上的光柵尺7保證DDR馬達I旋轉(zhuǎn)的精確度，能夠保證DDR馬達I精確的到達零位。
[0021]本實用新型一個實例的使用方法:
[0022]基座3沿Y向軌道10滑動，Y向軌道10沿X向軌道9滑動，機械臂2也隨著基座在X向軌道9和Y向軌道10組成的平面內(nèi)移動。DDR馬達I的輸出帶動機械臂2旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)的過程中，真空接頭一 5和真空接頭二 6向真空吸嘴8不斷的輸入真空，真空吸嘴8在固定的平面內(nèi)吸附晶圓或者基片，通過真空傳感器檢測真空吸嘴8是否吸附到晶圓或者基片，如果吸附到了晶圓或者基片，真空傳感器將發(fā)送信號給DDR馬達I控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)控制DDR馬達1，將吸附到的晶圓或者基片送到固定的位置。當(dāng)機械臂2到達零位時，零位傳感器4發(fā)送信號到DDR馬達I控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)控制DDR馬達I，使其向相反的方向旋轉(zhuǎn)，這樣，機械臂2在360度的范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
[0023]以上所述僅為本實用新型較佳的事例，并非因此限制本實用新型的實施方式及保護范圍，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，應(yīng)當(dāng)能夠意識到凡運用本實用新型說明書及圖示內(nèi)容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括:基座、機械臂、DDR馬達，其特征在于，所述DDR馬達固定在所述基座上，所述機械臂在所述DDR馬達上部且所述機械臂與所述DDR馬達輸出連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，所述機械臂為兩個，兩個所述機械臂一端連接形成120度夾角，所述機械臂連接的一端與所述DDR馬達輸出連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，所述機械臂末端有一真空吸嘴，所述真空吸嘴用于吸附晶圓或基片。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，還包括真空接頭一和真空接頭二，所述真空接頭一和所述真空接頭二固定在所述基座上且分別接真空到兩所述真空吸嘴。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，還包括一零位傳感器，所述零位傳感器固定在所述DDR馬達一側(cè)的所述基座上，所述零位傳感器定位所述機械臂的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，所述馬達接收到零位傳感器發(fā)出的信號，所述DDR馬達將帶動所述機械臂向相反的方向旋轉(zhuǎn)，所述機械臂能夠停留在360度的范圍內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，還包括X向?qū)к壓蚘向?qū)к墸鯵向?qū)к壴赬向?qū)к壣喜垦厮鯴向軌道滑動，所述基座在所述Y向?qū)к壣锨已厮鯵向軌道滑動。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種DDR馬達構(gòu)成的機械手旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，還包括DDR馬達上的光柵尺，所述DDR馬達上的光柵尺保證馬達旋轉(zhuǎn)的精確度。
【文檔編號】H01L21/677GK203644744SQ201320842258
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2013年12月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月19日
【發(fā)明者】蔡良斌, 丁天祥 申請人:常熟晶悅半導(dǎo)體設(shè)備有限公司