擴(kuò)散爐尾氣收集裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，該擴(kuò)散爐尾氣收集裝置包括：殼體（10），殼體（10）包括內(nèi)腔及與內(nèi)腔連通的進(jìn)氣口（11）和排氣口（12），擴(kuò)散爐尾氣收集裝置還包括：障壁（20），障壁（20）設(shè)置在內(nèi)腔中，相鄰障壁（20）之間和/或障壁（20）與殼體（10）的內(nèi)壁之間形成有連通進(jìn)氣口（11）和排氣口（12）的氣流通道。本實(shí)用新型的技術(shù)方案有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)中殘液罐冷卻效果不佳的問(wèn)題。
【專利說(shuō)明】擴(kuò)散爐尾氣收集裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池【技術(shù)領(lǐng)域】，具體而言，涉及一種擴(kuò)散爐尾氣收集裝置?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造或者太陽(yáng)能電池領(lǐng)域，擴(kuò)散工序中比較常用的擴(kuò)散設(shè)備是擴(kuò)散爐，擴(kuò)散工序的工藝氣體一般是指氧氣、氮?dú)?、源氣體(如三氯氧磷、三溴化硼等)。工藝氣體在擴(kuò)散爐管內(nèi)經(jīng)過(guò)化學(xué)反應(yīng)后，被排出擴(kuò)散爐管的廢氣體(殘留的工藝氣體和反應(yīng)后產(chǎn)生的氣體)稱為尾氣。如圖1所示，擴(kuò)散爐尾氣處理裝置包括殘液罐2、排風(fēng)管路3和排風(fēng)機(jī)4，殘液罐2設(shè)在擴(kuò)散爐I與排風(fēng)管路3之間，殘液罐2起到冷卻尾氣、收集尾氣的作用。工藝氣體在擴(kuò)散爐管內(nèi)經(jīng)過(guò)化學(xué)反應(yīng)，會(huì)產(chǎn)生一些尾氣，這些尾氣在經(jīng)過(guò)擴(kuò)散爐I的尾氣管、殘液罐2的冷卻后，部分尾氣通過(guò)排風(fēng)管路3從排風(fēng)機(jī)4排出。但是，這些有害尾氣的沸點(diǎn)都在200度左右，只靠殘液罐冷卻不能將所有的尾氣都冷卻至液態(tài)，會(huì)導(dǎo)致部分尾氣被直接排出，使殘液罐2冷卻收集尾氣的效果不佳。
[0003]具體地，硅片在經(jīng)過(guò)制絨工序做表面處理后會(huì)采用純水長(zhǎng)時(shí)間的清洗，清洗后進(jìn)行干燥處理。但是，清洗后還會(huì)有少部分的水分存在硅片內(nèi)部，當(dāng)硅片進(jìn)入擴(kuò)散工藝后水分會(huì)揮發(fā)出來(lái)。以磷擴(kuò)散為例，擴(kuò)散工藝用到的源氣體是三氯氧磷，在擴(kuò)散爐I中，三氯氧磷和氧氣反應(yīng)生成五氧化二磷，五氧化二磷與硅反應(yīng)生成二氧化硅和單質(zhì)磷，磷原子與硅結(jié)合形成了 PN結(jié)。反應(yīng)后尾氣中包含沒(méi)有反應(yīng)完全的三氯氧磷、五氧化二磷，由于五氧化二磷在300度以上是氣態(tài)，五氧化二磷遇到上述水分會(huì)形成偏磷酸。由于五氧化二磷具有很強(qiáng)的腐蝕性和偏磷酸有劇毒，這兩種尾氣都會(huì)對(duì)人體呼吸道造成很大的傷害。由于殘液罐2的冷卻效果不佳，經(jīng)過(guò)殘液罐2冷卻之后會(huì)有部分五氧化二磷和偏磷酸被與殘液罐排氣口連接的排風(fēng)管路3排出。這樣會(huì)導(dǎo)致排出的尾氣太多，如果尾氣不能及時(shí)被處理就會(huì)污染環(huán)境，對(duì)人體和環(huán)境造成危害。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型旨在提供一種擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中殘液罐冷卻效果不佳的問(wèn)題。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，包括:殼體，殼體包括內(nèi)腔及與內(nèi)腔連通的進(jìn)氣口和排氣口，擴(kuò)散爐尾氣收集裝置還包括:障壁，障壁設(shè)置在內(nèi)腔中，相鄰障壁之間和/或障壁與殼體的內(nèi)壁之間形成有連通進(jìn)氣口和排氣口的氣流通道。
[0006]進(jìn)一步地，障壁包括相對(duì)設(shè)置的第一障壁和第二障壁，第一障壁和第二障壁之間、第一障壁與殼體之間以及第二障壁與殼體之間形成氣流通道。
[0007]進(jìn)一步地，第一障壁和第二障壁的截面呈圓弧狀，并且第一障壁的半徑小于第二障壁的半徑。
[0008]進(jìn)一步地，障壁還包括相對(duì)設(shè)置的第三障壁和第四障壁，第三障壁和第四障壁設(shè)置在第一障壁和第二障壁的周向外側(cè)，第一障壁、第二障壁、第三障壁和第四障壁中的任意兩者之間、第三障壁與殼體之間以及第四障壁與殼體之間形成氣流通道。
[0009]進(jìn)一步地，第三障壁和第四障壁的截面呈圓弧狀，并且第三障壁的半徑小于第四障壁的半徑。
[0010]進(jìn)一步地，第一障壁的開口方向與第二障壁的開口方向沿第一徑向方向彼此相對(duì)，第一障壁的側(cè)邊沿與第二障壁的側(cè)邊沿之間形成氣流通道的第一通道間隙，第四障壁的開口方向與第三障壁的開口方向沿第二徑向方向彼此相對(duì)，第四障壁的側(cè)邊沿與第三障壁的側(cè)邊沿之間形成氣流通道的第二通道間隙，第一徑向方向與第二徑向方向呈角度。
[0011]進(jìn)一步地，第一徑向方向與第二徑向方向垂直。
[0012]進(jìn)一步地，第一障壁、第二障壁、第三障壁和第四障壁的表面均具有凸起。
[0013]進(jìn)一步地，擴(kuò)散爐尾氣收集裝置還包括支撐件和連接件，支撐件固定設(shè)置在第一障壁和第二障壁之間，連接件包括第一連接件、第二連接件、第三連接件和第四連接件，第一障壁與支撐件通過(guò)第一連接件連接，第二障壁與支撐件通過(guò)第二連接件連接，第三障壁與支撐件通過(guò)第三連接件連接，第四障壁與支撐件通過(guò)第四連接件連接。
[0014]進(jìn)一步地，第一連接件和第二連接件沿第一徑向方向布置，第三連接件和第四連接件沿第二徑向方向布置。
[0015]進(jìn)一步地，第一連接件、第二連接件、第三連接件和第四連接件之間形成十字形。
[0016]進(jìn)一步地，第三障壁的兩個(gè)側(cè)邊沿伸入至第四障壁的開口內(nèi)。
[0017]進(jìn)一步地，進(jìn)氣口設(shè)置在殼體的端壁上，排氣口設(shè)置在殼體的側(cè)壁上。
[0018]應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，在殼體中增設(shè)置障壁。當(dāng)尾氣需要從進(jìn)氣口進(jìn)入殼體中，尾氣經(jīng)過(guò)相鄰障壁之間和/或障壁與殼體的內(nèi)壁之間的氣流通道，然后才能通過(guò)排氣口排出。這樣與現(xiàn)有技術(shù)中的殘液罐相比，延長(zhǎng)了尾氣的流動(dòng)距離，進(jìn)而增加了尾氣在殼體中停留的時(shí)間，這樣可以使更多的尾氣冷卻下來(lái)并留在殼體中。因此本實(shí)用新型的技術(shù)方案能夠有效地減少被排放到排風(fēng)管路中的尾氣的含量，進(jìn)而降低了對(duì)環(huán)境的污染以及對(duì)人體的危害。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說(shuō)明書附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0020]圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)中的擴(kuò)散爐尾氣處理裝置的連接結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2示出了根據(jù)本實(shí)用新型的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置的實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖3示出了圖2的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置的障壁的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖4示出了圖3的障壁中的第一障壁的主視示意圖；
[0024]圖5示出了圖4的第一障壁的側(cè)視示意圖；以及
[0025]圖6示出了圖4的第一障壁的俯視示意圖。
[0026]上述附圖包括以下附圖標(biāo)記:
[0027]1、擴(kuò)散爐；2、殘液罐；3、排風(fēng)管路；4、排風(fēng)機(jī)；10、殼體；11、進(jìn)氣口 ；12、排氣口 ；
20、障壁；21、第一障壁；22、第二障壁；23、第三障壁；24、第四障壁；30、支撐件；40、連接件；41、第一連接件；42、第二連接件；43、第三連接件；44、第四連接件。
【具體實(shí)施方式】
[0028]需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型。
[0029]如圖2和圖3所不,本實(shí)施例的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置包括殼體10和障壁20。殼體10包括內(nèi)腔及與內(nèi)腔連通的進(jìn)氣口 11和排氣口 12，障壁20設(shè)置在內(nèi)腔中，相鄰障壁20之間和/或障壁20與殼體10的內(nèi)壁之間形成有連通進(jìn)氣口 11和排氣口 12的氣流通道。
[0030]應(yīng)用本實(shí)施例的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，在殼體10中增設(shè)置障壁20。當(dāng)尾氣需要從進(jìn)氣口 11進(jìn)入殼體中，尾氣經(jīng)過(guò)相鄰障壁20之間和/或障壁20與殼體10的內(nèi)壁之間的氣流通道，然后才能通過(guò)排氣口 12排出。這樣與現(xiàn)有技術(shù)中的殘液罐相比，延長(zhǎng)了尾氣的流動(dòng)距離，進(jìn)而增加了尾氣在殼體10中停留的時(shí)間，這樣可以使更多的尾氣冷卻下來(lái)并留在殼體10中。因此本實(shí)用新型的技術(shù)方案能夠有效地減少被排放到排風(fēng)管路中的尾氣的含量，進(jìn)而降低了對(duì)環(huán)境的污染以及對(duì)人體的危害。
[0031]在本實(shí)施例中，為了提高冷卻效果，障壁20包括相對(duì)設(shè)置的第一障壁21和第二障壁22，第一障壁21和第二障壁22之間、第一障壁21與殼體10之間以及第二障壁22與殼體10之間形成氣流通道。
[0032]在本實(shí)施例中，如圖4至圖6所示，第一障壁21和第二障壁22的截面呈圓弧狀，并且第一障壁21的半徑小于第二障壁22的半徑。上述結(jié)構(gòu)使得尾氣能夠沿著圓弧狀流動(dòng)，有效地延長(zhǎng)了尾氣的流動(dòng)距離，同時(shí)圓弧狀能夠起到擾流的作用，有利于提高冷卻效果。當(dāng)然，第一障壁和第二障壁的截面也可以呈凹形、折彎形等。
[0033]在本實(shí)施例中，為了進(jìn)一步提高冷卻效果，障壁20還包括相對(duì)設(shè)置的第三障壁23和第四障壁24，第三障壁23和第四障壁24設(shè)置在第一障壁21和第二障壁22的周向外側(cè)，第一障壁21、第二障壁22、第三障壁23和第四障壁24中的任意兩者之間、第三障壁23與殼體10之間以及第四障壁24與殼體10之間形成氣流通道。
[0034]在本實(shí)施例中，第三障壁23和第四障壁24的截面呈圓弧狀，并且第三障壁23的半徑小于第四障壁24的半徑。上述結(jié)構(gòu)使得尾氣能夠沿著圓弧狀流動(dòng)，有效地延長(zhǎng)了尾氣的流動(dòng)距離，同時(shí)圓弧狀能夠起到擾流的作用，有利于提高冷卻效果。在本實(shí)施例中，為了進(jìn)一步增加尾氣在殼體10中的停留時(shí)間，第一障壁21的開口方向與第二障壁22的開口方向沿第一徑向方向彼此相對(duì)，第一障壁21的側(cè)邊沿與第二障壁22的側(cè)邊沿之間形成氣流通道的第一通道間隙，第四障壁24的開口方向與第三障壁23的開口方向沿第二徑向方向彼此相對(duì)，第四障壁24的側(cè)邊沿與第三障壁23的側(cè)邊沿之間形成氣流通道的第二通道間隙，第一徑向方向與第二徑向方向呈角度。優(yōu)選地，第一徑向方向與第二徑向方向垂直。當(dāng)然，第三障壁和第四障壁的截面也可以呈凹形、折彎形等。
[0035]在本實(shí)施例中，進(jìn)氣口 11設(shè)置在殼體10的端壁上，排氣口 12設(shè)置在殼體10的側(cè)壁上。優(yōu)選地，殼體10呈圓筒形，進(jìn)氣口 11設(shè)置在殼體10的端壁中心，排氣口 12設(shè)置在殼體10的側(cè)壁底部。優(yōu)選地，第一障壁21的半徑與第二障壁22的半徑之差、第二障壁22的半徑與第三障壁23的半徑之差以及第三障壁23的半徑與第四障壁24的半徑之差均相等，第四障壁24和殼體10之間具有距離并且小于上述的第一障壁21的半徑與第二障壁22的半徑之差。當(dāng)然，第四障壁和殼體之間的距離也可以等于第一障壁的半徑與第二障壁的半徑之差。
[0036]在本實(shí)施例中，為了增加尾氣與障壁20的接觸面積，第一障壁21、第二障壁22、第三障壁23和第四障壁24的表面均具有凸起。這樣可以進(jìn)一步地延長(zhǎng)尾氣的流動(dòng)距離，進(jìn)而使更多的尾氣冷卻下來(lái)并留在殼體10中。凸起的截面形狀可以為橢圓形、三角形、矩形
坐寸ο
[0037]在本實(shí)施例中，為了增強(qiáng)障壁20的穩(wěn)定性，擴(kuò)散爐尾氣收集裝置還包括支撐件30和連接件40，支撐件30固定設(shè)置在第一障壁21和第二障壁22之間，連接件40包括第一連接件41、第二連接件42、第三連接件43和第四連接件44，第一障壁21與支撐件30通過(guò)第一連接件41連接，第二障壁22與支撐件30通過(guò)第二連接件42連接，第三障壁23與支撐件30通過(guò)第三連接件43連接，第四障壁24與支撐件30通過(guò)第四連接件44連接。
[0038]在本實(shí)施例中，第一障壁21的開口面和第二障壁22的開口面之間有間隙，第三連接件43穿過(guò)間隙與第三障壁23連接，第四連接件44穿過(guò)間隙與第四連接件44連接。
[0039]優(yōu)選地，支撐件30設(shè)置在殼體10的中心，障壁20的高度小于殼體10的高度。第三障壁23的兩個(gè)側(cè)邊沿伸進(jìn)入至第四障壁24的開口內(nèi)。尾氣從進(jìn)氣口 11進(jìn)入到殼體10中，尾氣被障壁20分隔開進(jìn)入到氣流通道中。當(dāng)然，障壁的高度也可以與殼體的高度相同，支撐件也不限于設(shè)置在殼體的中心。
[0040]進(jìn)入至障壁20內(nèi)的尾氣的流動(dòng)過(guò)程如下:
[0041]部分尾氣進(jìn)入到第一障壁21和第二障壁22之間，部分尾氣進(jìn)入到第三障壁23與第一障壁21和第二障壁22之間，部分尾氣進(jìn)入到第四障壁24與第一障壁21和第二障壁22之間。上述尾氣均與第一障壁21、第二障壁22、第三障壁23以及第四障壁24中的至少一個(gè)相接觸，進(jìn)入不同位置的尾氣相互撞擊、混合后從第四障壁24的側(cè)邊沿處流出，進(jìn)而流向排氣口 12，通過(guò)排氣口 12排出。
[0042]在本實(shí)施例中，支撐件30和連接件40均呈圓柱形，第一障壁21、第二障壁22、第三障壁23、第四障壁24、支撐件30和連接件40的材料均為石英。在圖中未示出的實(shí)施例中，障壁的截面形狀可以為漩渦狀。
[0043]在本實(shí)施例中，第一連接件41和第二連接件42沿第一徑向方向布置，第三連接件43和第四連接件44沿第二徑向方向布置。優(yōu)選地，為了進(jìn)一步增強(qiáng)障壁20的穩(wěn)定性，第一連接件41、第二連接件42、第三連接件43和第四連接件44之間形成十字形。
[0044]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，包括: 殼體(10)，所述殼體(10)包括內(nèi)腔及與所述內(nèi)腔連通的進(jìn)氣口( 11)和排氣口( 12)， 其特征在于，所述擴(kuò)散爐尾氣收集裝置還包括: 障壁(20)，所述障壁(20)設(shè)置在所述內(nèi)腔中，相鄰所述障壁(20)之間和/或所述障壁(20)與所述殼體(10)的內(nèi)壁之間形成有連通所述進(jìn)氣口( 11)和所述排氣口( 12)的氣流通道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，其特征在于，所述障壁(20)包括相對(duì)設(shè)置的第一障壁(21)和第二障壁(22)，所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)之間、所述第一障壁(21)與所述殼體(10)之間以及所述第二障壁(22)與所述殼體(10)之間形成所述氣流通道。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，其特征在于，所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)的截面呈圓弧狀，并且所述第一障壁(21)的半徑小于所述第二障壁(22)的半徑。
4.根據(jù)權(quán)利`要求2或3所述的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，其特征在于，所述障壁(20)還包括相對(duì)設(shè)置的第三障壁(23)和第四障壁(24)，所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)設(shè)置在所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)的周向外側(cè)，所述第一障壁(21)、所述第二障壁(22)、所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)中的任意兩者之間、所述第三障壁(23)與所述殼體(10)之間以及所述第四障壁(24)與所述殼體(10)之間形成所述氣流通道。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，其特征在于，所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)的截面呈圓弧狀，并且所述第三障壁(23)的半徑小于所述第四障壁(24)的半徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，其特征在于，所述第一障壁(21)的開口方向與所述第二障壁(22)的開口方向沿第一徑向方向彼此相對(duì),所述第一障壁(21)的側(cè)邊沿與所述第二障壁(22)的側(cè)邊沿之間形成所述氣流通道的第一通道間隙，所述第四障壁(24)的開口方向與所述第三障壁(23)的開口方向沿第二徑向方向彼此相對(duì)，所述第四障壁(24)的側(cè)邊沿與所述第三障壁(23)的側(cè)邊沿之間形成所述氣流通道的第二通道間隙，所述第一徑向方向與所述第二徑向方向呈角度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，其特征在于，所述第一徑向方向與所述第二徑向方向垂直。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，其特征在于，所述第一障壁(21)、所述第二障壁(22)、所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)的表面均具有凸起。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，其特征在于，還包括支撐件(30)和連接件(40)，所述支撐件(30)固定設(shè)置在所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)之間，所述連接件(40)包括第一連接件(41)、第二連接件(42)、第三連接件(43)和第四連接件(44)，所述第一障壁(21)與所述支撐件(30)通過(guò)所述第一連接件(41)連接，所述第二障壁(22)與所述支撐件(30 )通過(guò)所述第二連接件(42 )連接，所述第三障壁(23 )與所述支撐件(30 )通過(guò)所述第三連接件(43 )連接，所述第四障壁(24 )與所述支撐件(30 )通過(guò)所述第四連接件(44)連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，其特征在于，所述第一連接件(41)和所述第二連接件（42 )沿所述第一徑向方向布置，所述第三連接件（43 )和所述第四連接件(44)沿所述第二徑向方向布置。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，其特征在于，所述第一連接件（41)、所述第二連接件（42)、所述第三連接件（43)和所述第四連接件（44)之間形成十字形。
12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，其特征在于，所述第三障壁（23)的兩個(gè)側(cè)邊沿伸入至所述第四障壁（24)的開口內(nèi)。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐尾氣收集裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣口（11)設(shè)置在所述殼體（10)的端壁上，所述排氣口（12)設(shè)置在所述殼體（10)的側(cè)壁上。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK203631579SQ201320867781
【公開日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2013年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月26日
【發(fā)明者】王英超, 郎芳, 李高非, 史金超 申請(qǐng)人:英利集團(tuán)有限公司