半導(dǎo)體工藝氣路顯示裝置制造方法
【專利摘要】揭示了一種半導(dǎo)體工藝氣路顯示裝置。該裝置包括面板和設(shè)置在面板上的氣路模擬圖，所述氣路模擬圖包括：線路，用于表示輸送氣體的管路；指示燈，設(shè)置在線路上，用于表示控制管路氣體流通的對應(yīng)電磁閥的通斷狀態(tài)；數(shù)字顯示模塊，設(shè)置在線路上，用于顯示對應(yīng)管路的氣體壓力和/或氣體流量。通過采用設(shè)置在面板上的氣路模擬圖來顯示電磁閥的實(shí)際通斷狀態(tài)、管路的氣體壓力以及氣體流量，便于監(jiān)視氣路狀態(tài)，造價(jià)低廉，使用簡單。
【專利說明】半導(dǎo)體工藝氣路顯示裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝，更具體涉及一種半導(dǎo)體工藝氣路顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在生產(chǎn)半導(dǎo)體器件時(shí)，常需要使用各種氣體完成相關(guān)工藝，而輸入氣體的管路需要監(jiān)測和控制來保證工藝的實(shí)施。
[0003]當(dāng)前半導(dǎo)體工藝中氣路狀態(tài)的顯示和控制是通過屏幕操作界面來實(shí)現(xiàn)的，操作人員在進(jìn)行操作和監(jiān)控時(shí)需手動(dòng)在各界面切換查找，過程繁瑣，且配置的計(jì)算機(jī)和屏幕的成本較高。因此，考慮采用氣路面板來代替?zhèn)鹘y(tǒng)的氣路界面顯示方法，實(shí)現(xiàn)直觀的氣路狀態(tài)的顯示以及一些相關(guān)的控制操作。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]在本實(shí)用新型中的目的是采用面板式的氣路裝置來代替?zhèn)鹘y(tǒng)的氣路界面顯示方法，實(shí)現(xiàn)直觀的氣路狀態(tài)的顯示。
[0005]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體工藝氣路顯示裝置，該裝置包括面板和設(shè)置在面板上的氣路模擬圖，所述氣路模擬圖包括:
[0006]線路，用于表示輸送氣體的管路；
[0007]指示燈，設(shè)置在線路上，用于表示控制管路氣體流通的對應(yīng)電磁閥的通斷狀態(tài)；
[0008]數(shù)字顯示模塊，設(shè)置在線路上，用于顯示對應(yīng)管路的氣體壓力和/或氣體流量。
[0009]優(yōu)選地，所述氣路模擬圖還包括:
[0010]按鈕，所述指示燈為按鈕所帶的指示燈，按鈕用于在被按壓時(shí)發(fā)出控制電磁閥開關(guān)的信號。
[0011]優(yōu)選地，該裝置還包括:
[0012]數(shù)據(jù)接口，用于接收表示管路狀態(tài)的數(shù)據(jù)，并傳輸給氣路模擬圖中的指示燈、第一數(shù)字顯示模塊和第二數(shù)字顯示模塊。
[0013]優(yōu)選地，所述面板為兩個(gè)，設(shè)置有相同的氣路模擬圖，并位于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的相對兩側(cè)。
[0014]優(yōu)選地，該系統(tǒng)還包括:
[0015]第一切換旋鈕，位于兩個(gè)面板中的一個(gè)，其處于第一位置時(shí)，僅有一個(gè)面板的按鈕可以在被按壓時(shí)發(fā)出控制電磁閥開關(guān)的信號；其處于第二位置時(shí)，僅有另一個(gè)面板的按鈕可以在被按壓時(shí)發(fā)出控制電磁閥開關(guān)的信號。
[0016]優(yōu)選地，該系統(tǒng)還包括:
[0017]第二切換旋鈕，用于控制按鈕是否可以在被按壓時(shí)發(fā)出控制電磁閥開關(guān)的信號。
[0018]優(yōu)選地，所述線路為印刷線路。
[0019]優(yōu)選地，所述指示燈為LED燈。
[0020]優(yōu)選地，所述指示燈通過亮滅來顯示電磁閥的通斷狀態(tài)。[0021]優(yōu)選地，其特征在于，所述指示燈通過不同顏色來顯示電磁閥的通斷狀態(tài)。
[0022]本實(shí)用新型提出的半導(dǎo)體工藝氣路顯示裝置，采用設(shè)置在面板上的氣路模擬圖來顯示電磁閥的實(shí)際通斷狀態(tài)、管路的氣體壓力以及氣體流量，便于監(jiān)視氣路狀態(tài)，造價(jià)低廉，使用簡單。
[0023]該裝置還可以設(shè)置控制電磁閥的按鈕，從而在面板上遠(yuǎn)程實(shí)現(xiàn)對電磁閥的控制。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1是根據(jù)本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的氣路顯示裝置的局部示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型的實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例僅用于說明本實(shí)用新型，而不能用來限制本實(shí)用新型的范圍。
[0026]圖1是本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的氣路顯示裝置的局部示意圖。氣路顯示裝置包括面板和設(shè)置在面板上的氣路模擬圖，從圖1可以看出，氣路模擬圖包括多條線路1、多個(gè)帶指示燈的按鈕2、多個(gè)第一、第二數(shù)字顯示模塊3和4。
[0027]線路I用于表示輸送氣體的管路。線路I可以例如為印刷線路，也可以采用粘附在面板上的各種材料的條狀物實(shí)現(xiàn)。
[0028]按鈕2帶有指示燈，指示燈例如為LED，通過亮滅或不同顏色來顯示電磁閥的通斷狀態(tài)，而按鈕2用于在被按壓時(shí)發(fā)出控制電磁閥開關(guān)的信號。
[0029]第一數(shù)字顯示模塊3，用于顯示管路的氣體流量，第二數(shù)字顯示模塊4用于顯示管路的氣體壓力。這是顯示實(shí)際氣路中的流量計(jì)和壓力表所測得的數(shù)據(jù)。
[0030]通過采用設(shè)置在面板上的氣路模擬圖來顯示電磁閥的實(shí)際通斷狀態(tài)、管路的氣體壓力以及氣體流量，便于監(jiān)視氣路狀態(tài)，造價(jià)低廉，使用簡單；設(shè)置了控制電磁閥的按鈕，可以在面板上遠(yuǎn)程實(shí)現(xiàn)對電磁閥的控制。
[0031]在該實(shí)施例中，還可以設(shè)置數(shù)據(jù)接口(圖中未示出)，用于接收表示管路狀態(tài)的數(shù)據(jù)，并傳輸給氣路模擬圖中的按鈕2的指示燈、第一數(shù)字顯示模塊3和第二數(shù)字顯示模塊4。
[0032]在該實(shí)施例中，氣路顯示裝置可以包括兩個(gè)面板(圖中未示出)，設(shè)置有相同的氣路模擬圖，分別放在半導(dǎo)體工藝設(shè)備的相對兩側(cè)。此時(shí)，如圖1所示，可以在一個(gè)面板上設(shè)置第一切換旋鈕5，其處于第一位置時(shí)，僅有一個(gè)面板上的按鈕可以在被按壓時(shí)發(fā)出控制電磁閥開關(guān)的信號；其處于第二位置時(shí)，僅有另一面板上的按鈕可以在被按壓時(shí)發(fā)出控制電磁閥開關(guān)的信號。
[0033]在該實(shí)施例中，如圖1所示，板上還可以設(shè)置第二切換旋鈕6，用于控制按鈕是否可以在被按壓時(shí)發(fā)出控制電磁閥開關(guān)的信號，以免在不適當(dāng)?shù)臅r(shí)候按壓按鈕而導(dǎo)致電磁閥開關(guān)的通斷。
[0034]以上【具體實(shí)施方式】僅用于說明本實(shí)用新型，而非對本實(shí)用新型的限制。盡管參照實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說明，但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，對本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行各種組合、修改或者等同替換，都不脫離本實(shí)用新型的原理和精神，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體工藝氣路顯示裝置，其特征在于，該裝置包括面板和設(shè)置在面板上的氣路模擬圖，所述氣路模擬圖包括: 線路，用于表示輸送氣體的管路； 指示燈，設(shè)置在線路上，用于表示控制管路氣體流通的對應(yīng)電磁閥的通斷狀態(tài)； 數(shù)字顯示模塊，設(shè)置在線路上，用于顯示對應(yīng)管路的氣體壓力和/或氣體流量。
2.權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述氣路模擬圖還包括: 按鈕，所述指示燈為按鈕所帶的指示燈，按鈕用于在被按壓時(shí)發(fā)出控制電磁閥開關(guān)的信號。
3.權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，該裝置還包括: 數(shù)據(jù)接口，用于接收表示管路狀態(tài)的數(shù)據(jù)，并傳輸給氣路模擬圖中的指示燈、第一數(shù)字顯示模塊和第二數(shù)字顯示模塊。
4.權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述面板為兩個(gè)，設(shè)置有相同的氣路模擬圖，并位于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的相對兩側(cè)。
5.權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，還包括: 第一切換旋鈕，位于兩個(gè)面板中的一個(gè)，其處于第一位置時(shí)，僅有一個(gè)面板的按鈕可以在被按壓時(shí)發(fā)出控制電磁閥開關(guān)的信號；其處于第二位置時(shí)，僅有另一個(gè)面板的按鈕可以在被按壓時(shí)發(fā)出控制電磁閥開關(guān)的信號。
6.權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，還包括: 第二切換旋鈕，用于控制按鈕是否可以在被按壓時(shí)發(fā)出控制電磁閥開關(guān)的信號。
7.權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述線路為印刷線路。
8.權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述指示燈為LED燈。
9.權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述指示燈通過亮滅來顯示電磁閥的通斷狀態(tài)。
10.權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述指示燈通過不同顏色來顯示電磁閥的通斷狀態(tài)。
【文檔編號】H01L21/00GK203746799SQ201320881824
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2013年12月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月30日
【發(fā)明者】慕曉航, 張海輪, 盧言曉 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司