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一種測試倒裝LED芯片的吸嘴、方法及測試機(jī)構(gòu)與流程

文檔序號:12927190閱讀:914來源:國知局
一種測試倒裝LED芯片的吸嘴、方法及測試機(jī)構(gòu)與流程
一種測試倒裝LED芯片的吸嘴、方法及測試機(jī)構(gòu)【技術(shù)領(lǐng)域】本發(fā)明涉及倒裝LED芯片的測試領(lǐng)域,尤其是一種用于倒裝LED芯片測試設(shè)備的吸嘴、測試倒裝LED芯片的方法以及測試機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù):
倒裝芯片(FlipChip)是一種無引腳結(jié)構(gòu),一般含有電路單元,倒裝芯片使用在第一層芯片與載板接合封裝,封裝方式為芯片正面朝下向基板,無需引線鍵合,形成最短,降低電阻;倒裝芯片的開發(fā)降低了成本,提高速度,提高組件可靠性,采用金屬球連接,縮小了封裝尺寸,改善電性表現(xiàn),解決了BGA為增加引腳數(shù)而需擴(kuò)大體積的困擾。再者,F(xiàn)C通常應(yīng)用在時脈較高的CPU或高頻RF上,以獲得更好的效能,與傳統(tǒng)速度較慢的引線鍵合技術(shù)相比,F(xiàn)C更適合應(yīng)用在高腳數(shù)、小型化、多功能、高速度趨勢IC的產(chǎn)品中。目前,倒裝LED芯片在制造后必須要對倒裝LED芯片進(jìn)行測試,以檢驗(yàn)倒裝LED芯片的好壞,測試過程通常是在測試機(jī)上進(jìn)行,現(xiàn)有技術(shù)中的測試過程是先將倒裝LED芯片電極面朝下,測試設(shè)備的吸嘴從發(fā)光面吸取芯片,擺臂和吸嘴將倒裝LED芯片移動到預(yù)先設(shè)置的檢測托盤,檢測托盤內(nèi)設(shè)有小頂針和小吸嘴,小頂針接通倒裝LED芯片電極并發(fā)光,通過設(shè)在檢測托盤上方的積分球取得芯片的光電參數(shù)。這種測試機(jī)的不足在于,吸嘴只是用于移動倒裝LED芯片,另外通過探針按在電極上接通測試系統(tǒng),倒裝LED芯片在檢測托盤上還要進(jìn)行定位,以及可能的芯片翻傳,會造成測試不完全或誤判,同時測試機(jī)的測試效率不高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明目的是提供一種用于倒裝LED芯片測試設(shè)備的吸嘴,簡化測試設(shè)備過程,提高測試效率和準(zhǔn)確度。本發(fā)明另一目的是提供一種倒裝LED芯片的測試方法與測試機(jī)構(gòu)。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明是通過以下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:在現(xiàn)在的倒裝LED芯片的測試設(shè)備中,芯片的電極是通過探針電信號連接到測試系統(tǒng)的,本發(fā)明設(shè)計(jì)了一種帶有傳遞電信號的吸嘴,直接替代探針,該測試倒裝LED芯片的吸嘴包括有吸嘴本體,在吸嘴本體內(nèi)設(shè)有一抽真空氣道,外接真空管,在抽真空氣道的一端設(shè)有緊貼倒裝LED芯片電極面的接觸面,在接觸面上設(shè)有導(dǎo)電電極,以及在吸觜本體上設(shè)有與導(dǎo)電電極連接的導(dǎo)電線路,導(dǎo)電電極通過導(dǎo)電線路連接到測試系統(tǒng)。所述的導(dǎo)電電極的分布與倒裝LED芯片的電極相匹配。倒裝LED芯片通常具有兩個電極,即P電極和N電極,所述的接觸面上導(dǎo)面電極為兩個,分布在抽真空氣道的兩側(cè)。所述的吸嘴本體采用絕緣材料制成,可以采用電木、陶瓷或塑料制成。所述的吸嘴本體還可以采用鎢鋼或其它金屬制成,利用燒結(jié)方式在吸嘴本體表面先上一層絕緣介質(zhì)漿料,再上導(dǎo)電線路和導(dǎo)電電極。利用本發(fā)明的吸嘴進(jìn)行倒裝LED芯片的測試方法,其步驟是:用吸嘴吸取倒裝LED芯片的電極面,使吸嘴接觸面上的導(dǎo)電電極與倒裝LED芯片的電極分別電連接,轉(zhuǎn)到測試位置上啟動測試系統(tǒng)獲取倒裝LED芯片的光電參數(shù)。步驟還包括在用吸嘴吸取倒裝LED芯片前對倒裝LED芯片進(jìn)行定位。根據(jù)本發(fā)明的吸嘴,設(shè)計(jì)出一種倒裝LED芯片的測試機(jī)構(gòu),其包括:轉(zhuǎn)動盤,轉(zhuǎn)動盤安裝在轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)上,轉(zhuǎn)動盤上設(shè)置至少3個工作站,工作站安裝有如權(quán)利要求1所述的吸嘴,吸嘴的導(dǎo)電電極與測試系統(tǒng)電連接,轉(zhuǎn)動盤在轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)內(nèi)的凸輪分割器帶動下旋轉(zhuǎn);上料組件,包括上料擺臂和吸料嘴,用于將倒裝LED芯片上料到吸嘴上;下料組件,包括下料擺臂和吸料嘴,用于將倒裝LED芯片從吸嘴上取下;積分球,用于收集倒裝LED芯片的發(fā)光光電參數(shù)。優(yōu)選的,所述的工作站的數(shù)量是至少3個,通??梢赃x擇為3個、6個、12個或24個。測試機(jī)構(gòu)的工作流程是倒裝LED芯片的發(fā)光面朝上,電極面向下定位放置,由上料組件轉(zhuǎn)移到工作站的吸嘴上,吸嘴的導(dǎo)電電極與倒裝LED芯片接觸,轉(zhuǎn)動盤帶動工作站旋轉(zhuǎn)至積分球下方測試位置啟動測試,測試系統(tǒng)取得該芯片的光電參數(shù),轉(zhuǎn)動盤再帶動工作站轉(zhuǎn)到下料位置,由下料組件取下芯片完成測試工作。本發(fā)明的有益效果在于:因吸嘴可直接通電點(diǎn)亮測試芯片,簡化了芯片測試動作,提高了設(shè)備的測試效率,同時還避免在芯片測試過程中因芯片的翻轉(zhuǎn)和定位所造成的測試不完全或誤判的重大問題?!靖綀D說明】圖1為現(xiàn)有技術(shù)中倒裝LED芯片的結(jié)構(gòu)圖。圖2為本發(fā)明的吸嘴的立體示意圖。圖3為本發(fā)明的吸嘴的側(cè)面示意圖。圖4為本發(fā)明的吸嘴的接觸面的示意圖。圖5為本發(fā)明的待測試的倒裝LED芯片的側(cè)面示意圖。圖6為本發(fā)明的待測試的倒裝LED芯片的正面示意圖。圖7為本發(fā)明的吸嘴安裝在擺臂上的示意圖。圖8為圖7中A部分的放大圖。圖9為圖8中的剖面視圖。圖10為本發(fā)明的測試機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖11為圖8中B部分的放大圖?!揪唧w實(shí)施方式】以下結(jié)合附圖與具體實(shí)施例對本發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步詳細(xì)闡述。實(shí)施例1結(jié)合圖1所示,為倒裝LED芯片10的結(jié)構(gòu)圖,包括藍(lán)寶石層101、P-GaN層102、P電極103、N-GaN層104和N電極105,其發(fā)光面向上,P電極和N電極分布在發(fā)光面的相對面上。結(jié)合圖2、圖3所示,本實(shí)施例的倒裝LED芯片的吸嘴1包括有吸嘴本體11和在吸嘴本體內(nèi)的抽真空氣道12,在抽真空氣道的一端設(shè)有緊貼倒裝LED芯片10電極表面的接觸面13,在接觸面上設(shè)有導(dǎo)電電極14,導(dǎo)電電極通過吸觜本體上的導(dǎo)電電極15連接到測試系統(tǒng),其中導(dǎo)電電極的分布與所要測試的倒裝LED芯片的電極相匹配。結(jié)合圖3、圖4所示,接觸面11上導(dǎo)面電極14為兩個,分布在抽真空氣道12的兩側(cè)。吸嘴本體是電絕緣的,可以采用陶瓷、電木或塑料等材料制成,在表面制作導(dǎo)電線路,一端連接對應(yīng)倒裝LED芯片的P和N兩個電極,另一端通過擺臂2連接到測試電路板上,使芯片通電后點(diǎn)亮,進(jìn)行測試。電木和塑料材質(zhì)的吸嘴本體,導(dǎo)電線路和導(dǎo)電電極制作采用的是電金屬(例如金、銀、鋁或銅)熱壓方式附著,陶瓷的吸嘴本體,導(dǎo)電線路和導(dǎo)電電極制作采用的是高溫400~1000度燒結(jié)方式附著上一層電金屬(例如金、銀、鋁或銅)。吸嘴本體還可以采用鎢鋼或其它金屬材料制成,利用高溫400~1000度燒結(jié)方式,附著上一層絕緣介質(zhì)漿料,再上一層電金屬(例如金、銀、鋁或銅)。結(jié)合圖7所示,吸嘴1是安裝在擺臂2上,利用擺臂帶動移動,抽真空氣道與抽真空裝置連接,擺臂以金屬鋁制成,在擺臂上設(shè)有連接吸嘴導(dǎo)電線路和測試電路板的連接線路21,連接線路的制作是先將鋁氧化,氧化深度超過30um,再以高溫350~650度燒結(jié)方式附著上一層電金屬(例如金、銀、鋁或銅)。連接線路與附著導(dǎo)電電線相比,可以防止測試過程中,擺臂快速移動造成導(dǎo)電電線松脫的問題。測試機(jī)的測試過程是:倒裝LED芯片電極面朝上,發(fā)光面朝下放置在藍(lán)膜上,開始加工,利用設(shè)置在晶片臺上方的晶片相機(jī)來識別一個晶片,并計(jì)算出該晶片與拾取位置間的偏差,晶片臺XY電機(jī)移動使該晶片至拾取位置;擺臂轉(zhuǎn)到拾取位置,下方小頂針升起將芯片頂起;擺臂下降到拾取高度,抽真空開啟,將芯片吸取到吸嘴上,吸嘴上的兩個導(dǎo)電電極分別與倒裝LED芯片的兩個電極連通;擺臂上升到安全高度,然后轉(zhuǎn)動到測試位置,測試電路板工作,將倒裝LED芯片點(diǎn)亮,發(fā)射出來的光射到芯片正下方的積分球孔內(nèi),積分球?qū)⑿酒涑鰜淼墓膺M(jìn)行計(jì)算,得到測試數(shù)據(jù);機(jī)臺設(shè)有一工作臺,內(nèi)設(shè)有若干個區(qū)域,每個區(qū)域用來放置不同參數(shù)范圍的倒裝LED芯片;根據(jù)測試數(shù)據(jù),工作臺運(yùn)行到相應(yīng)位置,這時擺臂轉(zhuǎn)到放置位置,然后下降到設(shè)定位置,抽真空關(guān)閉,芯片下落到工作臺上,擺臂上升,轉(zhuǎn)到預(yù)備位,整個動作完成。實(shí)施例2結(jié)合圖10、圖11所示,利用實(shí)施例1的吸嘴,對現(xiàn)有的測試機(jī)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn),簡化機(jī)構(gòu),提高測試機(jī)的測試效率。本實(shí)施例測試倒裝LED芯片的機(jī)構(gòu)包括一轉(zhuǎn)動盤21、一上料組件22、一下料組件23和積分球24。轉(zhuǎn)動盤等分設(shè)置了6個工作站211,其中一個處于上料位置,一個處于測試位置,一個處于下料位置,其余處于待料位置,工作站安裝有如實(shí)施例1中的吸嘴10,吸嘴末端朝下,接有真空管,帶有導(dǎo)電電極的接觸面朝上。倒裝LED芯片放置過來時,朝下的兩個電極,直接跟吸嘴上的導(dǎo)電電極接觸,吸嘴的導(dǎo)電電極與測試系統(tǒng)電連接。轉(zhuǎn)動盤安裝在轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)25上,在轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)內(nèi)部的凸輪分割器帶動下旋轉(zhuǎn)。在測試位置正上方設(shè)置有用于光參數(shù)測試的積分球,積分球其開口朝下。測試時,倒裝LED芯片的發(fā)光面朝上對準(zhǔn)積分球的開口。上料組件包括上料擺臂和吸料嘴26,下料組件包括下料擺臂和吸料嘴,分別負(fù)責(zé)倒裝LED芯片的上料和下料。測試機(jī)構(gòu)的工作流程是倒裝LED芯片的發(fā)光面朝上,電極面向下定位放置,由上料組件轉(zhuǎn)移到工作站的吸嘴上,吸真空打開,吸嘴的導(dǎo)電電極與倒裝LED芯片接觸,轉(zhuǎn)動盤帶動工作站旋轉(zhuǎn)至積分球下方啟動測試,測試系統(tǒng)工作使LED點(diǎn)亮,測試系統(tǒng)取得該芯片的光電參數(shù),工作站轉(zhuǎn)到下料位置,下料組件取下芯片完成測試工作。
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