用于二維基板的加工站與用于加工二維基板的方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于二維基板的加工站，其包括至少兩個加工單元與彼此平行布置的用于基板的至少兩個傳送線，其中所述加工單元兩者均定位于兩個傳送線之間并且其中，設(shè)有用于使基板自傳送線運動至加工單元及自加工單元返回傳送線的器件。用于使基板運動的器件具有各包括至少一個基板支撐件的四個線性傳送單元，其中第一線性傳送單元自第二傳送線引向第一加工單元，第二線性傳送單元自第一傳送線引向第一加工單元，第三線性傳送單元自第一傳送線引向第二加工單元，第四線性傳送單元自第二傳送線引向第二加工單元。
【專利說明】用于二維基板的加工站與用于加工二維基板的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于二維或平面基板的加工站，其包括至少兩個加工單元和彼此平行布置的用于基板的至少兩個傳送線以及用于使基板自傳送線運動至加工單元及自加工單元返回傳送線的器件，其中所述加工單元兩者均定位于兩個傳送線之間。本發(fā)明還涉及一種用根據(jù)本發(fā)明的加工站加工二維基板的方法。

【背景技術(shù)】
[0002]在國際專利申請第一次公開版本W(wǎng)O 2011/000442 Al中揭露一種用于二維基板的這種加工站，其實施為絲網(wǎng)印刷加工站。未經(jīng)處理的基板，尤其是未經(jīng)印刷的太陽能電池晶片，由傳送線轉(zhuǎn)運至印刷巢(print nest)，然后，印刷巢在平面臺上移動到兩個絲網(wǎng)印刷站中的一個。在印刷太陽能電池晶片后，印刷巢返回其起點，并且已印刷的太陽能電池晶片再次轉(zhuǎn)運至傳送線。
[0003]國際專利申請第一次公開版本W(wǎng)O 2009/141319 Al揭露一種用于太陽能電池晶片的大致類似的絲網(wǎng)印刷站，其中，旋轉(zhuǎn)分度臺上共設(shè)四個印刷巢。相應印刷巢上的太陽能電池晶片使用旋轉(zhuǎn)分度臺移動到絲網(wǎng)印刷站，并返回傳送線。傳送線在轉(zhuǎn)運至印刷巢的轉(zhuǎn)運點區(qū)域內(nèi)配設(shè)升降帶，以便使印刷巢的行進路徑或軌跡保持暢通，且允許印刷巢運動至相應的轉(zhuǎn)運點。還可以以所謂的交叉流配置(Cross-Flow-Konfigurat1n)處理太陽能電池晶片，其中，太陽能電池晶片從第一傳送線轉(zhuǎn)運至印刷巢，在印刷太陽能電池晶片后，印刷巢運動至第二傳送線，而后由第二傳送線將已印刷的太陽能電池晶片運走。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供用于二維基板的改進加工站及用于加工二維基板的改進方法。
[0005]根據(jù)本發(fā)明，所述目的被實現(xiàn)，其中，提供一種用于二維基板的加工站，包括至少兩個加工單元與彼此平行布置的用于基板的至少兩個傳送線，其中所述加工單元兩者均定位于兩個傳送線之間并且其中，設(shè)有用于使基板自傳送線運動至加工單元及自加工單元返回傳送線的器件，用于使基板運動的器件具有各包括至少一個基板支撐件的四個線性傳送單元，其中第一線性傳送單元布置于第二傳送線與第一加工單元之間，第二線性傳送單元布置于第一傳送線與第一加工單元之間，第三線性傳送單元布置于第一傳送線與第二加工單元之間，第四線性傳送單元布置于第二傳送線與第二加工單元之間。
[0006]使用線性傳送單元簡化結(jié)構(gòu)設(shè)計，且允許以高速率和因而高的生產(chǎn)量、能量有效的操作，以及將基板支撐件定位于加工單元區(qū)域內(nèi)的非常高精度操作。這種定位精度極為重要，尤其是在太陽能電池的印刷時，因為接觸指形物通常極薄且其寬度不超過數(shù)分之一毫米，事實如此。具體地，當接觸指形物在太陽能電池上的多層中印刷時，定位精度極為重要。甚至不超過數(shù)分之一毫米的小偏移便有可能導致第二層未被準確印刷在第一層上，而是偏離目標，從而致使太陽能電池本質(zhì)上有缺陷。依照本發(fā)明所設(shè)置的線性傳送單元允許提供高度精確的加工站。
[0007]在本發(fā)明的改進實施例中，第一及第四線性傳送單元被構(gòu)造成使得相應的基板支撐件運動至第二傳送線區(qū)域內(nèi)的公共轉(zhuǎn)運點。在本發(fā)明的改進實施例中，第二及第三線性傳送單元被構(gòu)造成使得相應的基板支撐件運動至第一傳送線區(qū)域內(nèi)的公共轉(zhuǎn)運點。
[0008]藉此，在每種情況下，兩個線性傳送單元能夠在公共轉(zhuǎn)運點處自傳送線接管基板或者將基板轉(zhuǎn)運至傳送線。盡管設(shè)有兩個加工單元與四個線性傳送單元，但每條傳送線僅需一個轉(zhuǎn)運點。轉(zhuǎn)運點例如可配設(shè)相機或其它類型的測量與監(jiān)測裝置，以便檢測未經(jīng)印刷的太陽能電池的整體性及其位置，同樣對于已印刷的太陽能電池監(jiān)測印刷的正確定位以及已印刷的太陽能電池的整體性。由于每條傳送線僅需單個轉(zhuǎn)運點，這種測量與監(jiān)測站的構(gòu)建工作因而可保持在低的水平。
[0009]在本發(fā)明的改進實施例中，加工單元兩者均沿傳送線的前移方向彼此隔開，四個線性傳送單元從上方看處于菱形布置。
[0010]借助于菱形布置，兩個加工站能連接到兩個轉(zhuǎn)運點，且加工單元與轉(zhuǎn)運點之間的相應距離能保持同等長度。甚至線性傳送單元以方形的形式布置也被認為是菱形布置。
[0011]在本發(fā)明的改進實施例中，線性傳送單元是線性導引裝置，滑塊在線性導引裝置上引導，所謂的線性軸。
[0012]借助于這種線性軸，實現(xiàn)基板支撐件的快速線性運動，且同樣地，高定位精度是可能的。可以通過電動、氣動或甚至液壓致動來驅(qū)動線性軸。
[0013]在本發(fā)明的改進實施例中，第一及第二傳送線在至線性傳送單元間的相應轉(zhuǎn)運點區(qū)域內(nèi)適合于分段移離線性傳送單元的基板支撐件的軌跡。
[0014]藉此，傳送線與用于接管晶片或轉(zhuǎn)運晶片的相應基板支撐件之間的間隙可保持極小，例如可用傳送帶轉(zhuǎn)運太陽能電池晶片。如此不必使用搬運裝置接合太陽能電池晶片，從而將損壞太陽能電池晶片的風險最小化，在晶片未經(jīng)印刷和尤其是也處于已印刷狀況時均是如此。由于傳送線與相應基板支撐件之間的間隙保持小，可在轉(zhuǎn)運和接管太陽能電池晶片時實現(xiàn)高定位精度。
[0015]在本發(fā)明的改進實施例中，第一及第二傳送線在相應轉(zhuǎn)運點區(qū)域內(nèi)具有升降帶、折疊帶、回轉(zhuǎn)或樞轉(zhuǎn)帶及/或伸縮帶。
[0016]借助于這種裝置，傳送線可分段移離基板支撐件的軌跡，但仍可用帶式傳送裝置轉(zhuǎn)運或接管基板，而不必使用經(jīng)由抓握臂或其它機構(gòu)接合晶片的搬運裝置。
[0017]在本發(fā)明的改進實施例中，加工單元是絲網(wǎng)印刷站，基板支撐件是印刷巢。
[0018]有利地，基板支撐件配設(shè)沿支撐表面運行的環(huán)形帶。
[0019]借助于這種環(huán)形帶，可以實現(xiàn)基板接管在相應的基板支撐件上以及基板自基板支撐件轉(zhuǎn)運至相應的傳送帶。作為環(huán)形帶的替代方案，可設(shè)置不可展開和可再次卷繞的帶，例如紙帶。
[0020]在本發(fā)明的改進實施例中，環(huán)形帶適合于透射輻射和/或適合于被抽吸通過。
[0021]使用適合于透射輻射的環(huán)形帶，可在例如環(huán)形帶下方設(shè)置光源并可在環(huán)形帶的相對側(cè)設(shè)置相機，或者反之亦可。一般而言，電磁輻射的可穿透性通常也稱為適合于透射輻射。適合于被抽吸通過的環(huán)形帶的配置允許借助于低壓力將待處理基板固定在基板支撐件上。反之亦然，適合于被抽吸通過的環(huán)形帶的配置還允許例如借助于氣流使基板至少分段提離環(huán)形帶并例如運走基板。
[0022]本發(fā)明之下的問題還通過一種利用根據(jù)本發(fā)明的加工站加工二維基板的方法來解決，其中，借助于其中一個線性傳送單元使未經(jīng)加工的基板自其中一個傳送線運動至加工單元，并借助于同一個線性傳送單元將已加工的基板自該加工單元送回同一傳送線。
[0023]借助于相應的線性傳送單元可實現(xiàn)往復服務，其中，自傳送線接管未經(jīng)加工的基板并將其送往加工單元，在加工單元之后再次送回同一傳送線并再次轉(zhuǎn)運至所述傳送線。由于傳送線進一步以相同方向傳移動已加工及未經(jīng)加工的基板，未經(jīng)加工的基板被轉(zhuǎn)運至基板支撐件的方向與其稍后自基板支撐件被再次接管在傳送線上的方向相同。
[0024]在本發(fā)明的改進實施例中，設(shè)置以下大體同時進行的傳送運動:
-借助于第一線性傳送單元使第一基板自第二傳送線運動至第一加工單元，及 -借助于第二線性傳送單元使第二基板自第一加工單元運動至第一傳送線。
[0025]藉此，未經(jīng)加工的第一基板可以運動至第一加工單元，大致同時地，已加工的第二基板運離第一加工單元。藉此可在加工基板特別是印刷太陽能電池時實現(xiàn)極短周期。
[0026]在本發(fā)明的改進實施例中，設(shè)置以下大體同時進行的傳送運動:
-借助于第三線性傳送單元使第三基板自第一傳送線運動至第二加工單元，及 -借助于第四線性傳送單元使第四基板自第二加工單元運動至第二傳送線。
[0027]藉此，兩個加工單元可以使用四個線性傳送單元以高的周期供給。利用兩個傳送線完成未加工基板的供給移動與已加工基板的運離。包括兩個加工單元、四個線性傳送單元及兩個傳送線的這種布置具有如下優(yōu)點:即使在其中一個加工單元發(fā)生故障或進行維護時仍能進一步工作，但具有降低的容量。從而，基本優(yōu)點在于，兩個傳送線仍能操作移開已加工基板，使得位于受影響加工站下游的其它加工站可繼續(xù)工作，但具有降低的容量。由此,在運行過程中，加工站的維護、維修或變換,例如更換絲網(wǎng)印刷站中的絲網(wǎng)，是可行的，而不必停運整條生產(chǎn)線。
[0028]在本發(fā)明的改進實施例中，在轉(zhuǎn)運點區(qū)域內(nèi)將基板自傳送線轉(zhuǎn)運至線性傳送單元的基板支撐件以及反過來將基板自基板支撐件接管至傳送線，并且傳送線在轉(zhuǎn)運點區(qū)域內(nèi)分段運動，以便使基板支撐件的軌跡保持暢通。
[0029]由于傳送線在轉(zhuǎn)運點區(qū)域內(nèi)運動并暫時使基板支撐件的軌跡保持暢通，藉此可在轉(zhuǎn)運或接管基板時在傳送線與基板支撐件間實現(xiàn)極小間隙。因而，例如使用帶式傳送器轉(zhuǎn)運基板是可能的。
[0030]在本發(fā)明的改進實施例中，傳送線的升降帶、折疊帶、回轉(zhuǎn)或樞轉(zhuǎn)帶及/或伸縮帶運動，以便使基板支撐件的軌跡在轉(zhuǎn)運點區(qū)域內(nèi)保持暢通。
[0031]藉此，可暫時使基板支撐件的軌跡保持暢通，仍能實現(xiàn)基板的快速的、保護材料與精確定位的轉(zhuǎn)運或接管。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0032]本發(fā)明的其它特征與優(yōu)點將從權(quán)利要求及下文結(jié)合附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施例所作的說明顯而易見。
[0033]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的用于二維基板的加工站的俯視示意圖，其實施為絲網(wǎng)印刷站； 圖2示出了根據(jù)圖1的加工站中實施為印刷巢的基板支撐件的側(cè)面示意圖；及圖3示出了根據(jù)圖1的加工站中實施為印刷巢的基板支撐件的另一示意圖。

【具體實施方式】
[0034]圖1的圖示示出了用于二維基板的加工站10，在圖示實例中為用于在太陽能電池晶片上印刷的絲網(wǎng)印刷站。加工站10具有用于絲網(wǎng)印刷的印刷單元形式的兩個加工單元
12、14。彼此平行布置的兩個傳送線16、18將未經(jīng)加工的基板(即未經(jīng)印刷的太陽能電池晶片)分別傳送至傳送線16、18上的轉(zhuǎn)運點20、22，然后，已加工的基板(即已印刷的太陽能電池晶片)再次運離轉(zhuǎn)運點20、22。
[0035]加工站10具有四個線性傳送單元24、26、28及30。每個所述線性傳送單元24、26,28,30皆具有一個相應基板支撐件32、34、36、38，支撐件分別為印刷巢。借助于第一線性傳送單元24，基板支撐件32可自第二傳送線18上的轉(zhuǎn)運點22運動至第一加工單元12，且再次返回。借助于第二線性傳送單元26，基板支撐件34可自第一加工單元12運動至第一傳送線16上的轉(zhuǎn)運點20，且再次返回。使用第三線性傳送單元28，基板支撐件36可自第一傳送線16上的轉(zhuǎn)運點20運動至第二加工單元14，且再次返回。借助于第四線性傳送單元30，基板支撐件38可自第二加工單元14運動至第二傳送線18上的轉(zhuǎn)運點22，且再次返回?；逯渭?2、34、36、38的上述運動在每個情況下使用雙向箭頭表示。在每個情況下，線性傳送單元24、26、28、30是所謂的線性軸，即具有線性導引裝置，帶有布置于其上的滑塊以及用于滑塊的驅(qū)動裝置，例如使用線性馬達而實現(xiàn)的電機驅(qū)動裝置、主軸驅(qū)動裝置或者甚至液壓或氣動致動裝置。借助于這種線性軸，獲得基板支撐件32、34、36、38的快速而高精度的運動，支撐件分別安裝于線性軸的滑塊上。
[0036]沿傳送方向,第一傳送線16與第二傳送線18在相應轉(zhuǎn)運點20、22的上游和下游各配設(shè)升降帶40、42、44、46。如圖1所示，未經(jīng)加工的太陽能電池晶片50在第一傳送線16的第一區(qū)段52上被向右傳送并到達升降帶40。而后未經(jīng)加工的太陽能電池晶片50自升降帶40被轉(zhuǎn)運至基板支撐件36，該基板支撐件配設(shè)沿基板支撐表面運行的環(huán)形帶。太陽能電池晶片50 —被放置于基板支撐件36上，所述支撐件即使用第三線性傳送單元28朝第二加工單元14方向移動，直至基板支撐件36位于加工單元14下方的位置。在此位置，太陽能電池晶片50可用加工單元14的絲網(wǎng)印刷單元印刷。
[0037]為了使基板支撐件36離開其在傳送線16上的位置(如圖1所示)，布置于基板支撐件36下游的升降帶42必須下降或上升，以便使升降帶42離開基板支撐件36的運動范圍。一旦基板支撐件36朝第二加工單元14方向運動一段距離，升降帶42便可返回其初始位置。大體同時地，升降帶40須上升或下降以便離開基板支撐件34的運動范圍，該支撐件利用第二線性傳送單元26自其在加工單元12中如圖1所示的位置朝轉(zhuǎn)運點20方向運動?；逯渭?4 —到達轉(zhuǎn)運點20，安置在基板支撐件34上的已印刷的太陽能電池晶片50就可以轉(zhuǎn)運至升降帶42，而后在第一傳送線16的區(qū)段54上使用傳送線16向右(如圖1所示)運離。
[0038]因而，第二線性傳送單元26與第三線性傳送單元28及分配的基板支撐件(分別為34、36)實施往復運動。當未經(jīng)印刷的太陽能電池晶片被轉(zhuǎn)運至基板支撐件36時，基板支撐件34位于加工單元12中并且太陽能電池晶片被印刷。當基板支撐件36位于第二加工單元14中時，基板支撐件34位于轉(zhuǎn)運點20上并且已印刷的太陽能電池晶片被運走。
[0039]未經(jīng)印刷的太陽能電池晶片50在第二傳送線18上以類似方式自第一區(qū)段58被轉(zhuǎn)運至升降帶44，然后，從這里開始該升降帶運動至基板支撐件32。未經(jīng)印刷的太陽能電池晶片50 —被放置于基板支撐件32上，升降帶44即上升或下降，以便使基板支撐件32的軌跡保持暢通?；逯渭?2隨后可與安置在其上的未經(jīng)加工的太陽能電池晶片50 —起利用線性傳送單元24運動至第一加工單元12，以便在太陽能電池晶片上印刷。在基板支撐件32朝第一加工單元12方向運動的同時，基板支撐件34離開第一加工單元12并朝轉(zhuǎn)運點20方向運動，以便將已印刷的太陽能電池晶片再次轉(zhuǎn)運至傳送線16。
[0040]在基板支撐件32遠離轉(zhuǎn)運點22朝第一加工單元12方向運動的同時，基板支撐件38與安置在其上的已印刷的太陽能電池晶片一起自其在第二加工單元14上的位置朝第二傳送線18上的轉(zhuǎn)運點22方向運動。為了不阻擋基板支撐件38的運動范圍，布置于轉(zhuǎn)運點22下游的升降帶46上升或下降，直至基板支撐件38到達轉(zhuǎn)運點22的位置。而后升降帶46帶到與基板支撐件38相同的水平，基板支撐件38上已印刷的太陽能電池晶片可以接管至升降帶46，再從那里轉(zhuǎn)運至第二傳送線18的第二區(qū)段60并且運走。甚至在基板支撐件38位于轉(zhuǎn)運點22上時，利用升降帶44將另一未經(jīng)印刷的太陽能電池晶片50轉(zhuǎn)運到基板支撐件38，并且在升降帶46離開基板支撐件38的運動范圍后，再次運動至第二加工單元14上的位置(如圖1所示)。
[0041]因而，當基板支撐件32、38位于轉(zhuǎn)運點22上時，它們最初被卸載，其中，已印刷的太陽能電池晶片被向右運走，如圖1所示。與此同時，基板支撐件32、38在轉(zhuǎn)運點22處使用未經(jīng)印刷的太陽能電池晶片50再次裝載，所述晶片從左手邊趨近，如圖1所示。
[0042]基板支撐件34、36在第一傳送線16上的轉(zhuǎn)運點20處以類似方式被同時卸載與裝載。
[0043]轉(zhuǎn)運點20、22區(qū)域內(nèi)設(shè)有測量與監(jiān)測站，其配設(shè)相機與圖像處理設(shè)備。藉此可在印刷前和印刷后檢查太陽能電池晶片50、56有否受損，在基板支撐件上的定位是否正確，以及所印刷的觸點的正確定位與完成。
[0044]圖2的圖示示出了實施為印刷巢的基板支撐件32的側(cè)面示意圖。基板支撐件32布置在滑塊60上，該滑塊繼而在線性導引裝置62上引導以縱向移動。線性導引裝置62、滑塊60、基板支撐件32與用于滑塊60的驅(qū)動裝置(未示出)一起構(gòu)成線性傳送單元24。線性傳送單元26、28、30的設(shè)計大體相同。
[0045]基板支撐件32具有沿上部支撐表面運行的環(huán)形帶64，如圖2所示，太陽能電池晶片50支撐在該環(huán)形帶上，利用該環(huán)形帶可將太陽能電池晶片50放置于印刷巢，且再次運離印刷巢。在圖2的圖示中，該環(huán)形帶始終按順時針方向運動。環(huán)形帶64適合于透射輻射且適合于被抽吸通過?；逯渭?2配設(shè)抽吸單元66，借助于該抽吸單元可在太陽能電池晶片50的下側(cè)施加低壓力。藉此可將太陽能電池晶片50不可移動地固定在基板支撐件32上。由此在傳送基板支撐件32期間以及還在印刷太陽能電池晶片50期間避免太陽能電池晶片50相對于基板支撐件32滑動。
[0046]此外，環(huán)形帶64配置成能夠透射輻射?；逯渭?2內(nèi)存在總體上設(shè)置成自下方照亮或照射太陽能電池晶片50的至少一個光源68或一個電磁輻射源。監(jiān)測相機70(—般為輻射傳感器)布置于基板支撐件32上方，用于監(jiān)測處于未經(jīng)印刷狀況的太陽能電池晶片50，監(jiān)測太陽能電池晶片50在基板支撐件32上的位置，監(jiān)測在然后已印刷的太陽能電池晶片上的印刷圖案，監(jiān)測太陽能電池晶片在晶片內(nèi)部及外側(cè)面上的斷裂，以及監(jiān)測太陽能電池晶片的輪廓。使用監(jiān)測相機的監(jiān)測過程可利用通常借助于電磁輻射的入射光或透射光進行。相機70可固定布置于轉(zhuǎn)運點20、22區(qū)域內(nèi)；因而，不隨基板支撐件32—同運動。
[0047]此外，在圖2中，以示意圖示出升降帶44、46。如前所述，利用升降帶44可將太陽能電池晶片50轉(zhuǎn)運至基板支撐件32，其中，環(huán)形帶64在轉(zhuǎn)運過程中按順時針方向循環(huán)并接管太陽能電池晶片50。在印刷后，太陽能電池晶片50于是可被升降帶46接管，其中，對于該轉(zhuǎn)運過程，環(huán)形帶64如圖2所示按順時針方向類似地運動。參照圖1，在基板支撐件32離開轉(zhuǎn)運點22或朝該轉(zhuǎn)運點運動的情況下，升降帶44須上升或下降，以便使基板支撐件32的軌跡保持暢通。藉此可實現(xiàn)升降帶44與基板支撐件32的環(huán)形帶64之間的極小間隙，從而允許以非常保護材料與精確定位的方式自升降帶44轉(zhuǎn)運至基板支撐件32的環(huán)形帶64。參照圖1，當基板支撐件38朝轉(zhuǎn)運點22方向運動或遠離其運動時，升降帶46以類似方式上升或下降。藉此可實現(xiàn)升降帶46與基板支撐件32之間的極小轉(zhuǎn)運間隙。
[0048]在絲網(wǎng)印刷站工作期間，未經(jīng)印刷的太陽能電池晶片饋送在升降帶44上。安置于印刷巢(基板支撐件32)上的太陽能電池晶片50在絲網(wǎng)印刷站12印刷且不得不由升降帶46運走。借助于環(huán)形帶64，未經(jīng)印刷的太陽能電池晶片可自升降帶44接管并且同時地，已印刷的太陽能電池晶片50可轉(zhuǎn)運至升降帶46。藉此可實現(xiàn)較短周期。
[0049]基板支撐件32進一步可配設(shè)用于循環(huán)環(huán)形帶64的清潔裝置72及用于監(jiān)測或檢查環(huán)形帶的檢查裝置。例如，使用其它相機74，在接管及/或轉(zhuǎn)運太陽能電池晶片50期間，可以檢查環(huán)形帶64有否受損以及有否受到污染。
[0050]圖3的圖示以另一傾斜俯視示意圖示出了根據(jù)圖2的基板支撐件32?；逯渭?2實施為印刷巢，將清楚的是，基板支撐件32以自由突出的方式設(shè)置在支撐框架76上，該框架繼而固定于滑塊60，該滑塊可移動地布置在縱向?qū)бb置62上。由于基板支撐件32以自由突出的方式設(shè)置于框架76上，環(huán)形帶64可以以簡單的方式沿基板支撐件32移動，從而被安裝或更換。
[0051]環(huán)形帶64借助于四個滾輪78、80、82 (但是僅其中三個可見)圍繞基板支撐件32引導。滾輪82由帶84 (例如，帶齒的帶)驅(qū)動，且通過未示出的驅(qū)動單元驅(qū)動。
[0052]滾輪78是張緊滾輪或張緊皮帶輪，且可按雙向箭頭68的方向相對于基板支撐件32移動。藉此，環(huán)形帶64可使用張緊皮帶輪78張緊或松開。為了更換環(huán)形帶64，張緊輪78向內(nèi)(即在圖3中向右上方)朝基板支撐件32方向運動。由此環(huán)形帶64松開，從而現(xiàn)在能夠以簡單的方式自基板支撐件32移開。環(huán)形帶64還可以簡單的方式再次移動回到基板支撐件32上。借助于使?jié)L輪78遠離基板支撐件32運動(即在圖3中朝左下方)，環(huán)形帶64被再次張緊。因此，基板支撐件32的特定自由突出的配置或布置顯著利于環(huán)形帶64的更換。
[0053]環(huán)形帶64沿支撐板88引導，該支撐板是透明的且在用虛線標示的區(qū)域90內(nèi)配設(shè)通孔。如參考圖2所述，藉此可在區(qū)域90內(nèi)施加低壓力。由于環(huán)形帶64配置成被抽吸通過，支撐在環(huán)形帶64上的太陽能電池晶片因而可以連同帶一起被抽吸抵靠支撐板88上，從而不可移動地固定住。支撐板88的透明配置與環(huán)形帶64的能夠透射輻射的配置結(jié)合允許用透射光監(jiān)測支撐在環(huán)形帶64上的太陽能電池晶片50。措辭“透明”與“適合于透射輻射”在該上下文中應理解為包括甚至可見光范圍以外的電磁輻射的可穿透性。
[0054]在圖2的圖示中清楚旨在用于監(jiān)測環(huán)形帶64的其它監(jiān)測相機74。借助于相機74及合適的下游圖像識別軟件，可檢測環(huán)形帶64的受損以及污染。在檢測環(huán)形帶64的污染的情況下，可借助于中央控制系統(tǒng)在最初方法中嘗試用清潔裝置72對環(huán)形帶64進行清潔。如果清潔失敗(這使用監(jiān)測相機74基于另一檢查可以檢測)，則控制器使環(huán)形帶64發(fā)生運動，使得污染區(qū)域位于基板支撐件32上方，即位于支撐板88上方。在此位置，操作者于是可以以簡單的方式對環(huán)形帶64進行清潔。
[0055]如果清潔失敗，必須更換環(huán)形帶64，如前所述，為了該目的，張緊輪78向內(nèi)移動，以便松開并因而釋放環(huán)形帶64。
【權(quán)利要求】
1.一種用于二維基板的加工站，包括:至少兩個加工單元(12, 14)和彼此平行布置的用于基板的至少兩個傳送線(16,…)、以及用于使基板自傳送線(16, 18)運動至加工單元(12, 14)及自加工單元返回傳送線的器件，其中，所述加工單元(12, 14)兩者均設(shè)置在所述兩個傳送線(16, 18)之間， 其特征在于， 用于使基板運動的器件具有各包括至少一個基板支撐件(32, 34，36，38)的四個線性傳送單元(24, 26，28，30),其中，第一線性傳送單元(24)布置于第二傳送線(18)的轉(zhuǎn)運點(22)與第一加工單元(12)之間，第二線性傳送單元(26)布置于第一傳送線(16)的轉(zhuǎn)運點(20)與第一加工單元(12)之間，第三線性傳送單元(26)布置于第一傳送線(16)的轉(zhuǎn)運點(20)與該第二加工單元(14)之間，第四線性傳送單元(30)布置于第二傳送線(18)的轉(zhuǎn)運點(22)與該第二加工單元(14)之間。
2.如權(quán)利要求1的加工站，其特征在于，該第一及第四線性傳送單元(24,30)被構(gòu)造成使得相應的基板支撐件(32, 38)運動至該第二傳送線(18)區(qū)域內(nèi)的公共轉(zhuǎn)運點(22)。
3.如權(quán)利要求1或2的加工站，其特征在于，該第二及第三線性傳送單元(26,28)被構(gòu)造成使得相應的基板支撐件(32, 38)運動至該第一傳送線(16)區(qū)域內(nèi)的公共轉(zhuǎn)運點(20)。
4.如前述權(quán)利要求中至少一項的加工站，其特征在于，所述加工單元(12,14)兩者均沿傳送線(16, 18)的前進方向彼此隔開，所述四個線性傳送單元(24, 26，28，30)從上方看處于菱形布置。
5.如前述權(quán)利要求中至少一項的加工站，其特征在于，線性傳送單元(24,26，28，30)是線性導引裝置(62),滑塊(60)在線性導引裝置上引導，所謂的線性軸。
6.如前述權(quán)利要求中至少一項的加工站，其特征在于，第一及第二傳送線(16,18)在至線性傳送單元(24, 26，28，30)的相應轉(zhuǎn)運點(20, 22)區(qū)域內(nèi)適合于分段移離線性傳送單元(24, 26，28，30)的基板支撐件(32, 34，36，38)的軌跡。
7.如權(quán)利要求6的加工站，其特征在于，該第一及第二傳送線(16,18)在相應轉(zhuǎn)運點(20, 22)區(qū)域內(nèi)具有升降帶(40, 42，44，46)、折疊帶、回轉(zhuǎn)帶及/或伸縮帶。
8.如前述權(quán)利要求中至少一項的加工站，其特征在于，加工單元(12,14)是絲網(wǎng)印刷站，基板支撐件(32, 34，36，38)是印刷巢。
9.如前述權(quán)利要求中至少一項的加工站，其特征在于，基板支撐件配設(shè)有沿支撐表面運行的帶。
10.如權(quán)利要求9的加工站，其特征在于，設(shè)有用于使該帶以兩個相反方向沿該支撐表面運動的裝置。
11.如前述權(quán)利要求中至少一項的加工站，其特征在于，基板支撐件(32,34，36，38)配設(shè)有沿支撐表面運行的環(huán)形帶(64)。
12.如權(quán)利要求11的加工站，其特征在于，該環(huán)形帶(64)適合于透射輻射和/或適合于被抽吸通過。
13.—種利用如前述權(quán)利要求中任一項的加工站(10)加工二維基板的方法，其特征在于， 借助于線性傳送單元(24, 26，28，30)中的一個使未經(jīng)加工的基板自傳送線(16,18)的轉(zhuǎn)運點(20, 22)中的一個運動至加工單元(12, 14)，并借助于同一線性傳送單元(24, 26，28，30)將已加工的基板自加工單元(12, 14)送回傳送線(16, 18)的同一轉(zhuǎn)運點(20, 22)。
14.如權(quán)利要求13的方法，其特征在于以下大體同時進行的傳送運動: 借助于第一線性傳送單元(24)使第一基板自第二傳送線(18)運動至第一加工單元(12)并借助于第二線性傳送單元(26)使第二基板自第一加工單元(12)運動至第一傳送線(16)。
15.如權(quán)利要求13或14的方法，其特征在于以下大體同時進行的傳送運動: 借助于第三線性傳送單元(28)使第三基板自第一傳送線(16)運動至第二加工單元(14)并借助于第四線性傳送單元(30)使第四基板自第二加工單元(14)運動至第二傳送線(18)。
16.如前述權(quán)利要求12至14中至少一項的方法，其特征在于，在轉(zhuǎn)運點(20,22)區(qū)域內(nèi)將基板自傳送線(16, 18)轉(zhuǎn)運至線性傳送單元(24, 26，28，30)的基板支撐件(32,34，36，38)以及反過來將基板自基板支撐件轉(zhuǎn)運至傳送線，并且傳送線(16, 18)在轉(zhuǎn)運點(20, 22)區(qū)域內(nèi)分段運動，以便使基板支撐件(32, 34，36，38)的軌跡保持暢通。
17.如權(quán)利要求16的方法，其特征在于，使傳送線(16,18)的升降帶(40, 42，44，46)、折疊帶、回轉(zhuǎn)帶及/或伸縮帶進行運動，以便使基板支撐件(32, 34，36，38)的軌跡保持暢通。
【文檔編號】H01L21/677GK104321858SQ201380018401
【公開日】2015年1月28日 申請日期:2013年2月25日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月30日
【發(fā)明者】M.賴興巴赫, M.鮑 申請人:Jrt光電有限責任兩合公司