氧化防止氣體吹出單元的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的特征在于具備:中空板狀的基體部(20)，其于內(nèi)部形成有氧化防止氣體流路(30)；孔(24)，其以焊針可抽出插入的方式設(shè)置于基體部(20)，并與氧化防止氣體流路(30)連通；以及多個(gè)電極(75a)、(75b)，其埋入于孔(24)附近的基體部(20)的壁(21w)中，將氧化防止氣體等離子體化。由此，能在打線接合裝置中使接合品質(zhì)更加提升。
【專利說(shuō)明】氧化防止氣體吹出單元

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種安裝于打線接合裝置的氧化防止氣體吹出單元的構(gòu)造。

【背景技術(shù)】
[0002]在打線接合裝置中，多數(shù)情況下進(jìn)行球接合，S卩，通過(guò)火花(spark)使自作為接合工具的焊針(capillary)的前端伸出的線尾(wire tail)形成為無(wú)空氣球(free airball)，并將無(wú)空氣球于焊針的前端接合于半導(dǎo)體組件、或基板的電極上。
[0003]從前，在打線接合中，多使用金線，而現(xiàn)在則使用較廉價(jià)且電特性優(yōu)異的銅線進(jìn)行接合。然而，銅線與金不同，易氧化，因此于通過(guò)火花形成無(wú)空氣球時(shí)，導(dǎo)致于球的表面形成氧化皮膜。此氧化皮膜有時(shí)會(huì)使球與電極的附著性降低而引起接合不良的情形。因此，提出如下方法:例如于使用銅線進(jìn)行接合時(shí)，在氮?dú)饣驓鍤獾榷栊詺怏w中形成無(wú)空氣球，從而抑制無(wú)空氣球表面發(fā)生氧化(例如參照專利文獻(xiàn)I)。
[0004]另一方面，存在如下問(wèn)題:存在若接合時(shí)的無(wú)空氣球的表面溫度降低則無(wú)空氣球與電極的接合強(qiáng)度降低、或于形成無(wú)空氣球時(shí)若無(wú)空氣球的表面溫度降低則無(wú)空氣球會(huì)發(fā)生異形化(不為圓狀)的情形。因此，提出有如下方案:通過(guò)將經(jīng)加熱的還原性氣體于無(wú)空氣球形成的前后及無(wú)空氣球形成中流通于其周邊而將無(wú)空氣球的溫度保持得較高，從而確保接合強(qiáng)度(例如參照專利文獻(xiàn)2)。
[0005]另外，提出有如下方法:在流通經(jīng)加熱的惰性氣體的狀態(tài)下形成無(wú)空氣球，由此，抑制無(wú)空氣球表面的氧化，并且將無(wú)空氣球的溫度保持得較高而進(jìn)行接合(例如參照專利文獻(xiàn)3)。
[0006]然而，如專利文獻(xiàn)2、3所記載的現(xiàn)有技術(shù)，在將經(jīng)加熱之惰性氣體從氣體噴嘴噴出的構(gòu)造的情況下，為了維持惰性氣體環(huán)境，必需加大惰性氣體的流量。因此，存在如下問(wèn)題:用于對(duì)惰性氣體進(jìn)行加溫的加熱器也必需為大型，從而接合裝置變?yōu)榇笮汀⒒騽?dòng)作變慢，導(dǎo)致不易高速地接合。
[0007]另外，提出有如下方法:在使用銅線的打線接合裝置，為了確保良好的連接狀態(tài)，必須使銅的表面以潔凈的狀態(tài)接合于電極。因此，在進(jìn)行接合前，使等離子體接觸于銅線的表面而進(jìn)行洗凈，將附著于線表面的有機(jī)雜質(zhì)除去后，向銅線噴吹還原性氣體或稀有氣體以抑制線表面的氧化，將潔凈表面的線供給至接合工具(例如參照專利文獻(xiàn)4)。
[0008]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)
[0010]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2007-294975號(hào)公報(bào)
[0011]專利文獻(xiàn)2:日本專利特開昭63-164230號(hào)公報(bào)
[0012]專利文獻(xiàn)3:日本專利特開昭63-266845號(hào)公報(bào)
[0013]專利文獻(xiàn)4:日本專利特表2008-535251號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0014][發(fā)明所欲解決的問(wèn)題]
[0015]此外,通過(guò)火花于線形成無(wú)空氣球時(shí)必須對(duì)火炬電極(torch electrode)施加數(shù)kV的高放電電壓。若施加于火炬電極的放電電壓變高，則在火花時(shí)會(huì)于金屬制的火炬電極表面產(chǎn)生構(gòu)成線的金屬、例如銅、銀、金等成為細(xì)小粒附著于表面的濺鍍現(xiàn)象。濺鍍現(xiàn)象會(huì)導(dǎo)致火炬電極的臟污，而有無(wú)法形成良好的無(wú)空氣球的情形。
[0016]另外，在使用銅線的接合中，將銅線在惰性氣體環(huán)境中形成為無(wú)空氣球時(shí)，雖能抑制表面的氧化覆膜的形成，但有于表面形成若干的氧化覆膜的情形，而有使電極與無(wú)空氣球的附著性降低，導(dǎo)致接合品質(zhì)降低的情形。
[0017]因此，本發(fā)明的目的在于在打線接合裝置中使接合品質(zhì)更加提升。
[0018][解決問(wèn)題的技術(shù)手段]
[0019]本發(fā)明的氧化防止氣體吹出單元，其具備:中空板狀的基體部，其于內(nèi)部形成有氧化防止氣體流路；孔，其以焊針可抽出插入的方式設(shè)置于基體部，并與氧化防止氣體流路連通；以及多個(gè)電極，埋入于孔附近的基體部的壁中，將氧化防止氣體等離子體化。
[0020]在本發(fā)明的氧化防止氣體吹出單元中，較佳為:多個(gè)電極是對(duì)向配置的至少一個(gè)電極對(duì)，電極對(duì)是埋入于構(gòu)成氧化防止氣體流路的基體部的壁中
[0021]在本發(fā)明的氧化防止氣體吹出單元中，較佳為:氧化防止氣體流路具備向孔的中心吹出氧化防止氣體的至少一個(gè)吹出口 ；電極對(duì)是埋入于吹出口周緣的基體部的壁中。
[0022]在本發(fā)明的氧化防止氣體吹出單元中，較佳為:進(jìn)一步具備安裝于基體部的外表面、且加熱氧化防止氣體的加熱器；且較佳為:氧化防止氣體流路具有:第一流路，設(shè)于基體部的安裝加熱器的外表面附近；以及第二流路，設(shè)于第一流路與孔之間，且較第一流路深；電極對(duì)是埋入于基體部的構(gòu)成第二流路的壁中。
[0023]在本發(fā)明的氧化防止氣體吹出單元中，較佳為:氧化防止氣體流路具備將氧化防止氣體的流動(dòng)方向至少變更兩次的迷宮(labyrinth);且較佳為:在設(shè)置于孔的側(cè)面的貫通孔中配置有火炬電極。
[0024][發(fā)明的效果]
[0025]本發(fā)明能在打線接合裝置中使接合品質(zhì)更加提升。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0026]圖1是表示安裝有本發(fā)明的實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的打線接合裝置的立體圖。
[0027]圖2是圖1所示的A部的放大立體圖。
[0028]圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的構(gòu)成的立體圖。
[0029]圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的氧化防止氣體流路與電極的配置的剖面圖與俯視圖。
[0030]圖5是示意性地表示本發(fā)明的實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的剖面的說(shuō)明圖。
[0031]圖6是表示本發(fā)明的實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的其他電極的配置的剖面圖與俯視圖。
[0032]圖7是表示安裝有本發(fā)明的其他實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的打線接合裝置的立體圖。
[0033]圖8是表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的內(nèi)部構(gòu)成的立體圖。
[0034]圖9是表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的剖面的立體圖。
[0035]圖10是示意性地表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的剖面的說(shuō)明圖。
[0036]圖11是表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的剖面的立體圖。
[0037]圖12是表示安裝有本發(fā)明的其他實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的打線接合裝置的立體圖。
[0038]圖13是示意性地表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的剖面的說(shuō)明圖。
[0039]圖14是表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的構(gòu)成的立體圖。
[0040]圖15是表示安裝有本發(fā)明的其他實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的打線接合裝置的立體圖。
[0041]圖16是示意性地表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式中的氧化防止氣體吹出單元的剖面的說(shuō)明圖。

【具體實(shí)施方式】
[0042]以下，一面參照?qǐng)D式一面對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。如圖1所示，本實(shí)施方式的氧化防止氣體吹出單元100具備:中空板狀的基體部20，其于內(nèi)部形成有氧化防止氣體流路30 ;孔24，其以焊針12可抽出插入的方式設(shè)置于基體部20，并與氧化防止氣體流路30連通；及加熱器50，其安裝于基體部20的外表面。
[0043]如圖1所示，基體部20具備:本體21，其表面形成有形成氧化防止氣體流路30的槽(在后文進(jìn)行說(shuō)明)；較薄的平板狀蓋22，其安裝于本體21上并將形成于本體21的槽的開放端封閉，且與該槽一同形成氧化防止氣體流路30。因此，蓋22的與本體21相反側(cè)的表面(上面)成為基體部20的外表面。于作為基體部20外表面的蓋22的上面安裝有與蓋22具有相同平面形狀的膜狀加熱器50，且于加熱器50上安裝有與蓋22具有相同平面形狀的蓋板23。在蓋板23露出加熱器50的電極51。另外，本體21連接有供給氧化防止氣體的氧化防止氣體供給管25。
[0044]如圖2所示，在與氧化防止氣體流路30連通的孔24的側(cè)面設(shè)置有貫通孔71，且在該貫通孔71中配置有火炬電極70。火炬電極70是通過(guò)于與自焊針12的前端伸出的線尾
13之間進(jìn)行放電而使線尾13的前端形成為無(wú)空氣球14。
[0045]在接合動(dòng)作時(shí)，圖1所示的焊針12是通過(guò)安裝于未圖示的接合臂的超聲波變幅桿(Ultrasonic Horn) 11而于上下方向(Z方向)上移動(dòng)從而將形成于線尾13的前端的無(wú)空氣球14向半導(dǎo)體晶片或基板的電極推壓，從而將線與電極接合(bond)。氧化防止氣體吹出單元100是安裝于安裝有超聲波變幅桿11的接合頭(未圖示)上，且與超聲波變幅桿11、焊針12—同于XY方向上移動(dòng)。氧化防止氣體也可為氮?dú)饣驓鍤獾榷栊詺怏w，例如，也可使用混合有氫等還原性氣體的氣體。
[0046]如圖3所示，本體21具備:大致梯形的第一部分21a，其寬度自安裝有氧化防止氣體供給管25的根部分朝向前端變?。患皥A頭長(zhǎng)方形的第二部分21b，其包含供焊針12貫通的孔24。于第一部分21a的表面設(shè)置有彎折且較淺的槽31、及各槽31間的帶狀山部32。于第一部分21a的根側(cè)的槽31中，設(shè)置有與氧化防止氣體供給管25連通的氧化防止氣體供給孔26。另外，在第二部分21b的外周側(cè)的表面設(shè)置有槽33，該槽33具有與槽31連接的直線狀部分、及沿著第二部分21b的前端的半圓形狀的月牙型部分。如圖5所示，于本實(shí)施方式中，上游側(cè)流路30a、下游側(cè)流路30b的深度(圖31所示的槽31與槽33的深度)同為深度H1。
[0047]在第二部分21b的中央形成有較槽31、33深的凹部40。槽33與凹部40是通過(guò)連接流路34而連通。如圖5所示，凹部40的深度為H2。于凹部40中，設(shè)置有多個(gè)突起35、36a、36b、37a、37b、38a、38b。如圖3、圖4(b)所示，突起35是自凹部40的底面41突出，且連接流路34側(cè)為凹部的半圓筒型突起；突起36a、36b是自凹部40的左右的側(cè)面42朝向突起35的側(cè)面分別突出的板型突起；突起37a、37b是于突起35與突起36a、36b之間的各間隙的孔24側(cè)自凹部40的底面41突出的板狀突起；突起38a、38b是自凹部40的底面41突出，且沿著孔24的周圍彼此相離地設(shè)置的圓弧狀突起。如圖3所示，于突起38a、38b的孔24側(cè)設(shè)置有較凹部40的底面41高的階部39a、39b。
[0048]在凹部40的孔24側(cè)的本體21中，設(shè)置有較凹部40淺的槽60。槽60的自本體21表面起的深度是如圖5所示為深度H3。另外，如圖5所示，階部39a、39b的自本體21表面起的深度也為深度H3。
[0049]如圖5所示，山部32、各突起35、36a、36b、37a、37b、38a、38b的上面、與本體21的安裝有蓋22的表面為相同高度。另外，如圖3所示，蓋22是自與本體21外形相同的外形將槽60的部分、及孔24的周圍部分以U字型切除的形狀，且該U字型缺口 22a的圓弧部分的半徑略微小于突起38a、38b的孔24側(cè)的圓弧面的半徑。因此，如圖3所示，若將平板的蓋22安裝于本體21上，則槽31、33的周圍的本體21的表面、山部32的上面、及各突起35、36a、36b、37a、37b、38a、38b的上面密接于蓋22的底面，且蓋22、槽31、33、與山部32構(gòu)成較淺的第一流路30A。第一流路30A包含:上游側(cè)流路30a，其為形成于本體21的第一部分21a的表面附近的彎曲流路；及下游側(cè)流路30b，其為形成于本體21的第二部分21b的表面附近且接續(xù)于直線流路的月牙型流路。另外，蓋22、凹部40與各突起35、36a、36b、37a、37b、38a、38b構(gòu)成與孔24連通的第二流路30B。第一流路30A與第二流路30B是通過(guò)連接流路34而連通。因此，氧化防止氣體流路30是由包含上游側(cè)流路30a與下游側(cè)流路30b的第一流路30A、及第一流路與孔24之間的第二流路30B構(gòu)成。
[0050]如圖3所示，第一流路30A的下游側(cè)流路30b的直線狀部分是與第二流路30B平行地配置，且下游側(cè)流路30b的月牙型部分是沿著第二流路30B的外周而配置于其與第二部分21b的外表面之間。因此，下游側(cè)流路30b包圍第二部分21b的前端側(cè)的第二流路30B的周圍。
[0051]相當(dāng)于蓋22的U字型缺口 22a的區(qū)域的孔24的周圍與槽60的部分未被蓋22覆蓋，而處于開放的狀態(tài)，因此可自蓋22的表面?zhèn)瓤吹娇?4。另外，槽60構(gòu)成使蓋22側(cè)開放的槽型流路61，并構(gòu)成于超聲波變幅桿11下降時(shí)超聲波變幅桿11不會(huì)與本體21碰撞的退避部。
[0052]如圖3所示，膜狀加熱器50、蓋板23的形狀也分別為與蓋22相同，并分別具有形狀與蓋22的U字型的缺口 22a相同的缺口 50a、23a。因此，若使蓋22、加熱器50、及蓋板23重合于本體21的表面，則各U字型缺口 50a、23a也不會(huì)覆蓋于孔24的周圍與槽60的部分，而如圖1所示，焊針12可通過(guò)各U字型缺口 22a、50a、23a的部分而插通于孔24。于本實(shí)施方式中，本體21、蓋22、及蓋板23分別為陶瓷制，且如圖3所示，以本體21、蓋22、加熱器50、及蓋板23的順序重合而燒結(jié)形成、或以接著劑組裝。
[0053]如圖3、圖4(a)、圖4(b)所示，以蓋22、槽31及山部32所構(gòu)成的折返型上游側(cè)流路30a的流路剖面面積是隨著朝向下游而變窄，自第一部分21a朝向第二部分21b的最下游的直線狀流路的流路剖面面積變得最小。上游側(cè)流路30a的上述直線狀的部分是與設(shè)置于本體21的第二部分21b的下游側(cè)流路30b的直線狀部分相連。關(guān)于以蓋22、槽33及槽33周圍的本體21的表面所構(gòu)成、且包含直線狀部分與月牙型部分的下游側(cè)流路30b的直線狀部分，其流路剖面面積于下游側(cè)流路30b中變得最小。下游側(cè)流路30b的月牙型部分的流路剖面面積是隨著朝向第二部分21b的前端而變大，且當(dāng)越過(guò)第二部分21b的前端后，流路剖面面積逐漸變窄，且延伸至第二部分21b的與第一部分21a為相反側(cè)的位置。與上游側(cè)流路30a的折返部分的流路剖面面積相比，下游側(cè)流路30b的月牙型部分的流路剖面面積較小。
[0054]如圖4(b)所示，在下游側(cè)流路30b的直線狀部分的下側(cè)部分的第二部分21b的壁21w中，埋入有將流動(dòng)于第二流路30B中的氧化防止氣體等離子化的電極75b。另外，在位于相對(duì)孔24成對(duì)稱的位置的第二部分21b的壁21w也埋入有電極75a。
[0055]如圖4(a)所不，電極75a, 75b,是以對(duì)向的兩片作為一對(duì)的方式分別埋入構(gòu)成第二流路30B的以凹部40的側(cè)面42作為表面的壁21w中。各上側(cè)的電極75a，75b通過(guò)連接線76連接于直流脈沖電源78，各下側(cè)的電極75a，75b通過(guò)連接線77連接于直流脈沖電源78。如圖4(a)所示，于圖中左側(cè)的壁21w中在上下對(duì)向配置的兩片電極75a是一個(gè)電極對(duì)75A，于圖中右側(cè)的壁2Iw中在上下對(duì)向配置的兩片電極75b是一個(gè)電極對(duì)75B。因此，本實(shí)施方式的氧化防止氣體吹出單元100具備兩個(gè)電極對(duì)。
[0056]如圖4(a)所示，在對(duì)各電極對(duì)75A，75B的各電極75a，75b之間分別施加高壓脈沖電壓后，如以云標(biāo)記顯示，在各電極對(duì)75A，75B所埋入的附近各壁2Iw的第二流路30B側(cè)表面、即凹部40的側(cè)面42與各突起38a，38b之間氧化防止氣體被等離子化，成為氧化防止氣體等離子體85a, 85bο
[0057]如圖5所示，上游側(cè)流路30a與下游側(cè)流路30b是配置在本體21的表面附近的較淺的流路，且蓋22為較薄的平板，如圖3所示，加熱器50是遍及蓋22的上游側(cè)流路30a、下游側(cè)流路30b的整個(gè)區(qū)域而配置，因此氧化防止氣體可通過(guò)加熱器50而有效地加熱。如先前說(shuō)明，連接上游側(cè)流路30a與下游側(cè)流路30b的直線狀部分為流路剖面面積最小的部分，而氧化防止氣體的流速于該部分中為最快。另外，下游側(cè)流路30b的月牙型部分的流路剖面面積小于上游側(cè)流路30a的折返部分的流路剖面面積，因此流入至月牙型部分中的氧化防止氣體的流速略微慢于上述直線狀部分的流速。由于配置于越過(guò)第二部分21b的前端的區(qū)域(下游側(cè))內(nèi)的下游側(cè)流路30b的月牙型部分的前端被封閉，因此氧化防止氣體滯留于內(nèi)部。
[0058]如圖3、4(b)所示，氧化防止氣體自設(shè)置于本體21的第一部分21a的槽31中的氧化防止氣體供給孔26流入至上游側(cè)流路30a中，并一面如圖中的箭頭所示般改變流動(dòng)方向，一面于較淺的上游側(cè)流路30a的折返部分中流動(dòng)。自上游側(cè)流路30a至下游側(cè)流路30b的月牙型部分中，由于槽31較淺，因此氧化防止氣體有效率地吸收加熱器的熱。在流經(jīng)較長(zhǎng)的折返部分時(shí)，氧化防止氣體的溫度緩慢上升。而且，若氧化防止氣體流入連接上游側(cè)流路30a與下游側(cè)流路30b的直線狀部分中，則溫度進(jìn)一步上升。進(jìn)而，即便于配置在第二部分21b的前端之前的區(qū)域(上游側(cè))內(nèi)的下游側(cè)流路30b的月牙型部分中，氧化防止氣體的溫度也逐漸上升。若表示本實(shí)施方式中的氧化防止氣體的溫度上升的一例，則于膜狀加熱器50的厚度為0.015mm、輸入電力為IW的情況下,可使0.31/min的氧化防止氣體自常溫上升至130°C左右。此時(shí)，加熱器50的溫度為150°C左右。另外，由于配置于越過(guò)第二部分21b的前端的區(qū)域(下游側(cè))內(nèi)的下游側(cè)流路30b的月牙型部分的前端被封閉，因此溫度已上升的氧化防止氣體滯留于內(nèi)部。
[0059]高溫的氧化防止氣體自連接流路34流入至第二流路30B中。如先前所述，第二流路30B是由蓋22、深度為H2的凹部40、及各突起35、36a、36b、37a、37b、38a、38b所構(gòu)成，因此與由蓋22、深度為H1的較淺的槽31、33所構(gòu)成的第一流路30A相比，流路剖面面積非常大。因此，于第二流路30B內(nèi)，氧化防止氣體的流速與第一流路30A的流速相比非常慢。因此，雖未通過(guò)加熱器50進(jìn)行使溫度上升的加熱，但可通過(guò)加熱器50保持為高溫狀態(tài)。
[0060]另外，如先前所述，第一流路30A的下游側(cè)流路30b的直線狀部分是與第二流路30B平行地配置，且下游側(cè)流路30b的月牙型部分是沿著第二流路30B的外周而配置于其與第二部分21b的外表面之間，因此第二流路30B是由成為高溫之氧化防止氣體流動(dòng)或滯留的下游側(cè)流路30b包圍其一部分。因此，可抑制第二流路30B中的氧化防止氣體的溫度降低，且與來(lái)自加熱器50的熱輸入相結(jié)合而將第二流路30B中的氧化防止氣體的溫度保持為高溫狀態(tài)。
[0061]如圖4(b)所示，流入至第二流路30B中的高溫的氧化防止氣體是通過(guò)各突起35、36a、36b、37a、37b、38a、38b而變更其方向。自連接流路34流入的氧化防止氣體是通過(guò)突起35而將流動(dòng)方向變更為朝向凹部40的側(cè)面42 ;通過(guò)突起36a、36b而將流動(dòng)方向變更為向凹部40的中心側(cè)；通過(guò)突起37a、37b將流動(dòng)方向變更為向左右方向；通過(guò)突起38a、38b將流動(dòng)方向變更為向孔24的中心24c的方向；并流入突起38a、38b之間及突起38a、38b與凹部 40 的側(cè)面 42 之間的吹出口 45a、45b、45c。即，各突起 35、36a、36b、37a、37b、38a、38b 是構(gòu)成將高溫的氧化防止氣體的流動(dòng)至少變更2次的迷宮，且高溫氧化防止氣體均等地流入突起38a、38b之間及突起38a、38b與凹部40的側(cè)面42之間的吹出口 45a、45b、45c。
[0062]其中，流入突起38a，38b與凹部40的側(cè)面42之間的高溫的氧化防止氣體，通過(guò)以如圖4(a)所示的直流脈沖電源78施加有高壓脈沖電壓的各電極對(duì)75A，75B而被等離子化，成為高溫的氧化防止氣體等離子體85a，85b。高溫的氧化防止氣體等離子體85a，85b從各吹出口 45a，45b往孔24的中心24c吹出。另外，流入突起38a與38b之間的高溫的氧化防止氣體不被等離子化而從吹出口 45c往孔24的中心24c吹出。
[0063]從吹出口 45a，45b往孔24的中心24c吹出的高溫的氧化防止氣體等離子體85a，85b的一部分及從吹出口 45c往孔24的中心24c吹出的高溫的氧化防止氣體的一部分，如圖5所示通過(guò)孔24而從本體21下面往下方流出，另一部分則通過(guò)以槽60構(gòu)成的槽型流路61于水平方向流出。
[0064]第二流路30B是于將自配置于本體21的表面附近的第一流路30A流入的高溫氧化防止氣體保持為高溫狀態(tài)的情況下，使其于本體21的高度方向上擴(kuò)散，因此可于高度方向的較廣范圍內(nèi)，吹出高溫的氧化防止氣體。另外，能通過(guò)設(shè)于吹出口 45a、45b前方的電極對(duì)將高溫的氧化防止氣體作為高溫的氧化防止氣體等離子體85a、85b從吹出口 45a、45b吹出。另外，由于孔24是設(shè)置于凹部40的底面41，因此不會(huì)產(chǎn)生由于外部空氣的流動(dòng)而導(dǎo)致自吹出口 45a、45b、45c吹出的高溫的氧化防止氣體等離子體、氧化防止氣體的流動(dòng)被擾亂的現(xiàn)象，而且突起38a、38b于孔24的周圍形成為壁，且如圖5所示，突起38a、38b的各階部39a、39b延伸至與槽60的底面相同的高度，因此如圖5的云標(biāo)記所示，可于孔24的周圍形成高溫的氧化防止氣體的濃度較高的氧化防止氣體等離子體區(qū)域85。于本實(shí)施方式中，即便為先前所述的0.31/min的較少的氧化防止氣體的流量，也可形成溫度為130°C左右且氧化防止氣體的濃度大致100%的氧化防止氣體等離子體區(qū)域85。
[0065]如圖5所示，將焊針12的中心對(duì)準(zhǔn)孔24的中心24c，并以使焊針12的前端的線尾13進(jìn)入氧化防止氣體的氧化防止氣體等離子體區(qū)域85之中的方式調(diào)整超聲波變幅桿11的高度后，使配置在設(shè)置于孔24的側(cè)面上的貫通孔71中的火炬電極70與線尾13之間產(chǎn)生放電，從而使線尾13形成為無(wú)空氣球14。
[0066]此時(shí)，形成無(wú)空氣球14的氧化防止氣體等離子體區(qū)域85被高溫高濃度的氧化防止氣體等離子體覆蓋。由于在等離子體中粒子會(huì)電離，因此在形成無(wú)空氣球14時(shí)的放電電壓，能以遠(yuǎn)低于為了在未等離子體化的氧化防止氣體中使放電產(chǎn)生所必須的電壓的電壓進(jìn)行。因此，可抑制火炬電極70表面的濺鍍現(xiàn)象的產(chǎn)生，不產(chǎn)生因火炬電極70的臟污導(dǎo)致的放電特性降低，能穩(wěn)定地形成良好的無(wú)空氣球14。
[0067]另外，由于氧化防止氣體等離子體區(qū)域85的溫度被保持于高溫，因此能在高溫高濃度的氧化防止氣體中進(jìn)行無(wú)空氣球14的形成。因此可抑制無(wú)空氣球14的異型化(不為球形)，進(jìn)而，于等離子體氣體導(dǎo)入H2時(shí)，通過(guò)氧化防止氣體等離子體的洗凈力除去所形成的無(wú)空氣球14表面的氧化覆膜，而能使無(wú)空氣球14表面成為潔凈的狀態(tài)。
[0068]而且，通過(guò)向已形成的無(wú)空氣球14均等地噴附130°C左右的高溫氧化防止氣體，可有效地將具有潔凈表面的無(wú)空氣球14保持為高溫而進(jìn)行接合，因此可進(jìn)行保持充分的接合強(qiáng)度的接合。通過(guò)將無(wú)空氣球的溫度保持為高溫，可于無(wú)空氣球較軟的狀態(tài)下進(jìn)行接合，能抑制構(gòu)成線的銅等的金屬材料的加工硬化，且通過(guò)抑制無(wú)空氣球的溫度的急遽降低而減少內(nèi)部的雜質(zhì)，并可抑制無(wú)空氣球變硬等，由此，可使接合時(shí)的推壓力、基板的加熱溫度變少，因此可進(jìn)行無(wú)損傷的接合(幾乎不會(huì)因接合而使基板等產(chǎn)生損傷的接合)。由此，可使接合品質(zhì)提高。進(jìn)而，若無(wú)空氣球的溫度上升，則接合時(shí)的金屬接合時(shí)的擴(kuò)散也變好，因此可較少地施加超聲波振動(dòng)，進(jìn)而可使接合品質(zhì)提高。
[0069]另外，本實(shí)施方式的氧化防止氣體吹出單元100通過(guò)配置于安裝有加熱器50的本體21的表面附近的較淺的第一流路30A使氧化防止氣體的溫度有效地上升，并通過(guò)較第一流路30A深的第二流路30B使氧化防止氣體于高度方向擴(kuò)散，并且使其自孔24的周圍朝向無(wú)空氣球14均等地吹出，由此，可利用較少流量的氧化防止氣體對(duì)無(wú)空氣球14有效地進(jìn)行加溫或保溫，可進(jìn)行具有充分接合強(qiáng)度的接合，有效地使接合品質(zhì)提高。
[0070]再者，由于可通過(guò)少量的氧化防止氣體對(duì)無(wú)空氣球14有效地進(jìn)行加溫或保溫，因此可縮小氧化防止氣體流路30，并可使全體構(gòu)成小型化。
[0071]進(jìn)而，由于第二流路30B是由高溫的氧化防止氣體流動(dòng)或滯留的下游側(cè)流路30b包圍其周圍的一部分，因此可將第二流路30B中的氧化防止氣體的溫度有效地保持為高溫狀態(tài)，并將高溫的氧化防止氣體等離子體及氧化防止氣體噴附于無(wú)空氣球14。
[0072]本實(shí)施方式中，雖說(shuō)明通過(guò)加熱器50加熱氧化防止氣體，但例如也可取代加熱器50或與加熱器50 —起地沿上游側(cè)流路30a配置電極使等離子體產(chǎn)生，以加熱流動(dòng)于上游側(cè)流路30a的氧化防止氣體。
[0073]另外，本實(shí)施方式中，雖說(shuō)明了從直流脈沖電源78對(duì)各電極對(duì)75A，75B施加高壓脈沖電壓后使氧化防止氣體等離子化，但只要電源是將高壓脈沖電壓對(duì)各電極對(duì)75A，75B施加而能使氧化防止氣體等離子化者，則不限于直流脈沖電源78，例如也可使用使入射波與反射波匹配的匹配箱、或者具備整合裝置的高頻電源，將高頻電源的高頻電極與接地電極連接于電極對(duì)75A的各電極75a及電極對(duì)75B的各電極75b。
[0074]其次參照?qǐng)D6說(shuō)明本實(shí)施方式的氧化防止氣體吹出單元100的其他電極配置。首先，對(duì)與參照?qǐng)D1至圖5所說(shuō)明者相同的部分賦予相同符號(hào)，省略說(shuō)明。
[0075]本實(shí)施方式的氧化防止氣體吹出單元100，是于先前說(shuō)明的參照?qǐng)D1至圖5所說(shuō)明的實(shí)施方式中，將配置于凹部40中的突起38a，38b作成較大形狀，在圖中左側(cè)的第二部分21b的側(cè)面42附近的壁21w中埋入電極對(duì)75A的一方電極75a，在突起38a的側(cè)面42側(cè)內(nèi)部埋入電極對(duì)75A的另一方電極75a,于圖中右側(cè)的第二部分21b的側(cè)面42附近的壁21w中埋入電極對(duì)75B的一方電極75b，在突起38b的側(cè)面42側(cè)內(nèi)部埋入電極對(duì)75B的另一方電極75b。此外，突起38a，38b是從設(shè)于本體21的第二部分21b的凹部40的底面41突出，而與本體21 —體成型。因此突起38a，38b相當(dāng)于基體部20的壁。
[0076]與先前參照?qǐng)D1至圖5所說(shuō)明的實(shí)施方式同樣地，本實(shí)施方式中，流入突起38a與凹部40的側(cè)面42之間的吹出口 45a的氧化防止氣體通過(guò)電極對(duì)75A而被等離子化，流入突起38b與凹部40的側(cè)面42之間的吹出口 45b的氧化防止氣體通過(guò)電極對(duì)75B而被等離子化。
[0077]本實(shí)施方式可發(fā)揮與先前參照?qǐng)D1至圖5所說(shuō)明的實(shí)施方式相同的效果。
[0078]其次，參照?qǐng)D7至圖10說(shuō)明本發(fā)明的其他實(shí)施方式。對(duì)與參照?qǐng)D1至圖5所說(shuō)明者相同的部分賦予相同符號(hào)，省略說(shuō)明。如圖7所示，氧化防止氣體吹出單元200的基體部即盒體220，是將陶瓷制的上半盒體220a與下半盒體220b組合而成者，于各盒體220a，220b上下的壁221a，221b分別同軸設(shè)有固定于超聲波變幅桿11的焊針12所貫通的孔224a，224b。各孔224a，224b構(gòu)成孔224。于上半盒體220a的上側(cè)表面(盒體220的外表面)安裝有與上半盒體220a相同大小的膜狀加熱器250，于加熱器250上安裝有陶瓷制的蓋板223。在上半盒體220a設(shè)有對(duì)加熱器250進(jìn)行通電的兩個(gè)電極251與對(duì)埋入于內(nèi)部的將氧化防止氣體等離子化的電極供給直流脈沖電壓的電極279a。另外，在下半盒體220b，也設(shè)有對(duì)埋入于內(nèi)部的將氧化防止氣體等離子化的電極供給直流脈沖電壓的電極279b(未圖示)。另外，在盒體220的根本側(cè)安裝有供給氧化防止氣體的氧化防止氣體供給管225，于下半盒體220b的下面?zhèn)?盒體220的下面?zhèn)?，配置有將自焊針12的前端伸出的線尾13形成為無(wú)空氣球14的火炬電極270。
[0079]如圖8所示，在上下半的各盒體220a，220b內(nèi)側(cè)，形成有在將上下半的各盒體220a, 220b組合時(shí)于內(nèi)部形成圖9所示的氧化防止氣體流路230的凹部231a，231b，在孔224a，224b周圍，有于內(nèi)部埋入有圓環(huán)狀的等離子體產(chǎn)生用電極275a，275b的凸座233a，233b突出。凸座233a，233b的各前端面234a，234b，構(gòu)成為較各盒體220a，220b的重合面低，在重合上下半的各盒體220a，220b時(shí)于各凸座233a，233b的各前端面234a，234b之間形成間隙。
[0080]在上下半的各盒體220a，220b的與設(shè)有各孔224a，224b側(cè)相反側(cè)的端部(根元側(cè)的端部)分別設(shè)有半圓形剖面的各凹口 235a，235b。此半圓形剖面的各凹口 235a，235b，在組合上下半的各盒體220a，220b后，則形成安裝氧化防止氣體供給管225的圓筒形的孔。另外，于凹部 231a, 231b 配置有突起 232a, 232b, 232c, 232d,突起 232a, 232b, 232c, 232d 用以變更從氧化防止氣體供給管225流入的氧化防止氣體的流動(dòng)方向，促進(jìn)安裝于盒體220表面的加熱器250與氧化防止氣體之間的熱交換。突起232a，232b設(shè)于凹部231a，231b的寬度方向中央部，在其兩端與凹部231a，231b側(cè)面之間具有間隙。另外，突起232c，232d從凹部231a，231b的各側(cè)面往凹部中心方向延伸，凹部231a，231b的寬度方向長(zhǎng)度較凹部寬度短，于從凹部231a，231b的兩側(cè)面延伸的各突起232c，232d的前端之間具有間隙。突起232a，232b與突起232c，232d是從氧化防止氣體供給管225往各孔224a，224b交互配置。如此，通過(guò)突起232a，232b，232c，232d與凹部231a，231b構(gòu)成的氧化防止氣體流路230，可在從氧化防止氣體供給管225流往孔224時(shí)數(shù)次變更其流動(dòng)方向。即，突起232a，232b，232c,232d形成將氧化防止氣體的流動(dòng)方向至少變更兩次以上的迷宮。
[0081]參照?qǐng)D9說(shuō)明組合以上述方式構(gòu)成的上半盒體220a與下半盒體220b時(shí)的構(gòu)成。在將上半盒體220a與下半盒體220b重合成各凹部231a，231b面向彼此后，上下半的各盒體220a，220b周圍的重合面彼此密接，且各突起232a?232d的各表面彼此密接，于內(nèi)部形成具有折返的氧化防止氣體流路230。另外，各凸座233a，233b的各前端面234a，234b由于高度較上下半的各盒體220a，220b的重合面低，因此在組合上下半的各盒體220a，220b后的情形，在各前端面234a，234b之間形成間隙。此間隙成為將氧化防止氣體向由各孔224a，224b構(gòu)成的孔224中心吹出的吹出口 245。設(shè)于上下半的各盒體220a，220b的各壁221a，221b的各孔224a，224b，在組合上下半的各盒體220a，220b時(shí)同心配置于對(duì)向的位置，各凸座233a，233b與各孔224a，224b形成為同心狀。各凸座233a，233b的各前端面234a，234b成為彼此對(duì)向的位置。因此，由于各等離子體產(chǎn)生用電極275a，275b是對(duì)向配置的一對(duì)電極，各凸座233a，233b分別是上下半的各盒體220a，220b的壁221a，221b的一部分，因此各等離子體產(chǎn)生用電極275a，275b分別埋入于上下半的各盒體220a，220b的壁221a，221b中。
[0082]如圖9所示，埋入于上下半的各盒體220a，220b的壁221a，221b的各電極279a，279b的一部分從上下半的各盒體220a，220b的各壁221a，221b的表面露出。另外，各電極279a，279b與埋入于各凸座233a，233b的各電漿產(chǎn)生用電極275a，275b之間，是通過(guò)埋入于各壁221a，221b中的連接線276a，277b連接。
[0083]參照?qǐng)D10說(shuō)明以上述方式構(gòu)成的氧化防止氣體吹出單元200的動(dòng)作。氧化防止氣體從圖7所示的氧化防止氣體供給管225沿如圖10所示箭頭流入氧化防止氣體流路230。氧化防止氣體也可為氮?dú)饣驓鍤獾榷栊詺怏w，也可混合氫等還原性氣體。等離子體產(chǎn)生用電極275a，275b通過(guò)連接線276，277而連接于直流脈沖電源278。最初，在對(duì)等離子體產(chǎn)生用電極275a，275b通電前，氧化防止氣體從氧化防止氣體流路230流動(dòng)于凸座233a，233b周圍，從各凸座233a，233b的各前端面234a，234b外周側(cè)往內(nèi)側(cè)的孔224a，224b水平流動(dòng)，通過(guò)孔224a，224b分別往上下方向流出。因此，氧化防止氣體流路230的壓力為較大氣壓高些許的壓力，大氣不會(huì)從各孔224a，224b流入氧化防止氣體流路230，氧化防止氣體吹出單元200的氧化防止氣體流路230保持于氧化防止氣體所充滿的氧化防止氣體環(huán)境。
[0084]另外，在安裝于盒體220上面的加熱器250被從未圖標(biāo)的電源供給電力，其溫度逐漸上升。如圖9所示，從氧化防止氣體供應(yīng)管225流入氧化防止氣體流路230的氧化防止氣體，隨著在通過(guò)突起232a?232d構(gòu)成的折返流路往孔224流動(dòng)而被加熱，其溫度逐漸上升。接著，成為高溫的氧化防止氣體通過(guò)孔224a，224b分別往上下方向流出。
[0085]在從直流脈沖電源278供給的直流脈沖電力對(duì)各等離子體產(chǎn)生用電極275a，275b通電后，在各凸座233a，233b的各前端面234a，234b之間的吹出口 245產(chǎn)生氧化防止氣體的等離子體。氧化防止氣體的等離子體在圓環(huán)狀的等離子體產(chǎn)生用電極275a，275b間產(chǎn)生，其后，沿氧化防止氣體的流動(dòng)往各孔224a，224b中心流動(dòng)，在各孔224a，224b中往上下流動(dòng)。接著，于各孔224a，224b的內(nèi)部及各凸座233a，233b間的吹出口 245形成高溫的氧化防止氣體濃度高且等離子化的氧化防止氣體等離子體滯留的氧化防止氣體等離子體區(qū)域 285。
[0086]如圖10所示，使焊針12的中心對(duì)齊于各孔224a，224b中心即孔224的中心，通過(guò)超聲波變幅桿11使焊針12降下至從焊針12前端延伸的線尾13前端來(lái)到氧化防止氣體等離子體區(qū)域285中心的盒體220中央后，對(duì)配置于盒體220下側(cè)的火炬電極270通電，在火炬電極270與線尾13之間使放電產(chǎn)生，將線尾13形成為無(wú)空氣球14。
[0087]本實(shí)施方式的氧化防止氣體吹出單元200，與先前參照?qǐng)D1至圖5所說(shuō)明的實(shí)施方式同樣地，能以遠(yuǎn)低于為了在未等離子化的氧化防止氣體中使放電產(chǎn)生所必須的放電電壓的放電電壓使火花產(chǎn)生，而可抑制火炬電極270表面的濺鍍現(xiàn)象的產(chǎn)生，不產(chǎn)生因火炬電極270的臟污導(dǎo)致的放電特性降低，能穩(wěn)定地形成良好的無(wú)空氣球14。另外，由于氧化防止氣體等離子體區(qū)域285的溫度被保持于高溫，因此能在高溫高濃度的氧化防止氣體中進(jìn)行無(wú)空氣球14的形成，除了可抑制無(wú)空氣球14的異型化(不為球形)外，進(jìn)而能使無(wú)空氣球14表面成為潔凈的狀態(tài)。
[0088]再者，本實(shí)施方式的氧化防止氣體吹出單元200，由于是在大氣不進(jìn)入盒體220中的吹出口 245的狀態(tài)下使等離子體產(chǎn)生，因此所產(chǎn)生的等離子體不會(huì)成為氧化等離子體。是以，由于能將無(wú)空氣球14的表面在不使其氧化的狀態(tài)下進(jìn)行洗凈，能通過(guò)具有溫度高且潔凈的表面的無(wú)空氣球14進(jìn)行接合，因此能使接合品質(zhì)提升。
[0089]本實(shí)施方式中，雖說(shuō)明了從直流脈沖電源278使高壓脈沖電壓對(duì)各等離子體產(chǎn)生用電極275a，275b通電后使氧化防止氣體等離子化的情形，但只要電源是將高壓脈沖電壓對(duì)各等離子體產(chǎn)生用電極275a，275b通電而能使氧化防止氣體等離子化者，則不限于直流脈沖電源78，例如也可使用使入射波與反射波匹配的匹配箱、或者具備整合裝置的高頻電源，將高頻電源的高頻電極與接地電極連接于各等離子體產(chǎn)生用電極275a，275b。
[0090]其次，參照?qǐng)D11說(shuō)明本發(fā)明的其他實(shí)施方式。對(duì)與參照?qǐng)D7至圖10所說(shuō)明實(shí)施方式相同的部分賦予相同符號(hào)，省略說(shuō)明。如圖11的(a)所示，本實(shí)施方式，是于先前參照?qǐng)D7至圖10所說(shuō)明的實(shí)施方式的下半盒體220b的孔224b的側(cè)面形成貫通壁221b的貫通孔271，于該貫通孔271中配置火炬電極270者。另外，于上下半的各盒體220a，220b的各凸座233a，233b的表面分別各設(shè)有四個(gè)扇形的突起235a，235b。如圖11的(b)所示，各突起235a，235b構(gòu)成朝向孔224的中心224c吹出氧化防止氣體的四個(gè)吹出口 245。
[0091]本實(shí)施方式，除了先前參照?qǐng)D7至圖10所說(shuō)明的實(shí)施方式的效果以外，能較先前說(shuō)明的實(shí)施方式將氧化防止氣體往孔224的中心更均等地吹出，能發(fā)揮更有效地使接合品質(zhì)提升的效果。
[0092]其次，參照?qǐng)D12、圖13說(shuō)明本發(fā)明的其他實(shí)施方式。對(duì)與參照?qǐng)D1至圖6所說(shuō)明實(shí)施方式相同的部分賦予相同符號(hào)，省略說(shuō)明。本實(shí)施方式如圖13所不，加熱器50的大小略小于蓋22、蓋板23的外形，且于蓋板23的周圍設(shè)置有覆蓋加熱器50的端部的突起。因此，如圖12所示，加熱器50的端面未露出于外部，自外部無(wú)法看到加熱器50。
[0093]本實(shí)施方式中，由于加熱器50的端面未露出于外部，因此可更有效地對(duì)流路內(nèi)的氧化防止氣體進(jìn)行加熱。再者，于膜加熱器50非常薄的情況下，如圖13所示，也可為不在蓋板23的周圍設(shè)置突起的構(gòu)成。
[0094]參照?qǐng)D14對(duì)本發(fā)明的另一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。對(duì)與先前已說(shuō)明的實(shí)施方式相同的部分標(biāo)注相同符號(hào)并省略說(shuō)明。如圖14所示，本實(shí)施方式中，代替先前已說(shuō)明的實(shí)施方式的膜加熱器50。本實(shí)施方式發(fā)揮與先前已說(shuō)明的實(shí)施方式相同的效果。
[0095]參照?qǐng)D15、圖16說(shuō)明本發(fā)明的其他實(shí)施方式。對(duì)與參照?qǐng)D7至圖10所說(shuō)明實(shí)施方式相同的部分賦予相同符號(hào)，省略說(shuō)明。本實(shí)施方式與先前參照?qǐng)D12、圖13所說(shuō)明的實(shí)施方式同樣地，如圖16所不,加熱器50的大小略小于盒體220、蓋板223的外形,且于蓋板223的周圍設(shè)置有覆蓋加熱器250的端部的突起。因此，如圖15所示，加熱器250的端面未露出于外部，自外部無(wú)法看到加熱器250。本實(shí)施方式，除了先前參照?qǐng)D7至圖10所說(shuō)明的實(shí)施方式的效果以外，由于加熱器250的端面未露出于外部，因此可更有效地對(duì)流路內(nèi)的氧化防止氣體進(jìn)行加熱。此外，于膜加熱器250非常薄的情況下，也可為不在蓋板223的周圍設(shè)置突起的構(gòu)成。
[0096]本發(fā)明并非限定于以上說(shuō)明的實(shí)施方式，是包含權(quán)利要求所限定的本發(fā)明技術(shù)范圍或不脫離其本質(zhì)的所有變更及修正。
[0097]【符號(hào)說(shuō)明】
[0098]11超聲波變幅桿
[0099]12 焊針
[0100]13 線尾
[0101]14無(wú)空氣球
[0102]20基體部
[0103]21 本體
[0104]21a 第一部分
[0105]21b 第二部分
[0106]21w,221a,221b 壁
[0107]22 蓋
[0108]22a, 23a, 50a 缺口
[0109]23，223 蓋板
[0110]24，224，224a，224b 孔
[0111]24c, 224c 中心
[0112]25，225氧化防止氣體供給管
[0113]26氧化防止氣體供給孔
[0114]30,230氧化防止氣體流路
[0115]30A 第一流路
[0116]30B 第二流路
[0117]30a上游側(cè)流路
[0118]30b下游側(cè)流路
[0119]31,33,60 槽
[0120]32 山部
[0121]34連接流路
[0122]35, 36a, 36b, 37a, 37b, 38a, 38b, 232a ?232d, 235a, 235b 突起
[0123]39a, 39b 階部
[0124]40，231a，231b 凹部
[0125]41 底面
[0126]42 側(cè)面
[0127]45a, 45b, 45c, 245 吹出口
[0128]50,250 加熱器
[0129]50b發(fā)熱電阻體
[0130]51，251 電極
[0131]61槽型流路
[0132]70，270火炬電極
[0133]71，271 貫通孔
[0134]75A，75B 電極對(duì)
[0135]75a, 75b 電極
[0136]76，276，276a 連接線
[0137]77，277，277a 連接線
[0138]78，278直流脈沖電源
[0139]85，285氧化防止氣體等離子體區(qū)域
[0140]85a, 85b氧化防止氣體等離子體
[0141]100,200氧化防止氣體吹出單元
[0142]220 盒體
[0143]220a上半盒體
[0144]220b下半盒體
[0145]233a, 233b 凸座
[0146]234a, 234b 前端面
[0147]275a，275b等離子體產(chǎn)生用電極
【權(quán)利要求】
1.一種氧化防止氣體吹出單元，其具備: 中空板狀的基體部，其于內(nèi)部形成有氧化防止氣體流路； 孔，其以焊針可抽出插入的方式設(shè)置于所述基體部，并與所述氧化防止氣體流路連通；以及 多個(gè)電極，其埋入于所述孔附近的所述基體部的壁中，將氧化防止氣體等離子化。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化防止氣體吹出單元，其中所述多個(gè)電極是對(duì)向配置的至少一個(gè)電極對(duì)，所述電極對(duì)埋入于構(gòu)成所述氧化防止氣體流路的所述基體部的壁中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氧化防止氣體吹出單元，其中所述氧化防止氣體流路具備向所述孔的中心吹出氧化防止氣體的至少一個(gè)吹出口； 所述電極對(duì)埋入于所述吹出口周緣的所述基體部的壁中。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氧化防止氣體吹出單元，其進(jìn)一步具備安裝于所述基體部的外表面、且加熱氧化防止氣體的加熱器。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氧化防止氣體吹出單元，其進(jìn)一步具備安裝于所述基體部的外表面、且加熱氧化防止氣體的加熱器。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氧化防止氣體吹出單元，其中所述氧化防止氣體流路具有: 第一流路，設(shè)于所述基體部的安裝所述加熱器的外表面附近；以及 第二流路，設(shè)于所述第一流路與所述孔之間，且較所述第一流路深； 所述電極對(duì)埋入于所述基體部的構(gòu)成所述第二流路的壁中。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氧化防止氣體吹出單元，其中所述氧化防止氣體流路具有: 第一流路，設(shè)于所述基體部的安裝所述加熱器的外表面附近；以及 第二流路，設(shè)于所述第一流路與所述孔之間，且較所述第一流路深； 所述電極對(duì)埋入于所述基體部的構(gòu)成所述第二流路的壁中。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化防止氣體吹出單元，其中所述氧化防止氣體流路具備將氧化防止氣體的流動(dòng)方向至少變更兩次的迷宮。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化防止氣體吹出單元，其中在設(shè)置于所述孔的側(cè)面的貫通孔中配置有火炬電極。
【文檔編號(hào)】H01L21/60GK104335338SQ201380027935
【公開日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2013年4月11日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月5日
【發(fā)明者】前田徹 申請(qǐng)人:株式會(huì)社新川