打線裝置及半導(dǎo)體裝置的制造方法
【專利摘要】打線裝置(10)具備：毛細管(28)，其供導(dǎo)線(30)通插；未連判斷電路(36)，其向接合對象物與處于夾緊狀態(tài)的導(dǎo)線(30)之間施加既定的電信號，且依據(jù)其的回應(yīng)來判斷接合對象物與導(dǎo)線(30)之間的未連及導(dǎo)線(30)是否切斷；圓環(huán)狀的突出長度檢測環(huán)40，其與毛細管(28)同軸地配置；及突出長度判斷電路(38)，其根據(jù)向突出長度檢測環(huán)(40)與導(dǎo)線(30)之間施加既定的檢查電壓時的導(dǎo)通的有無的檢測以及向其間施加既定的檢查高電壓時的放電火花的有無的檢測，來判斷自毛細管(28)之前端突出的導(dǎo)線尾部的突出長度是否適當(dāng)。
【專利說明】打線裝置及半導(dǎo)體裝置的制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是關(guān)于一種使用毛細管進行打線的裝置及半導(dǎo)體裝置的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002]打線裝置是例如用于利用較細的導(dǎo)線將基板的引線與半導(dǎo)體芯片的焊墊之間連接。打線是以如下方式進行。亦即，使導(dǎo)線與打線用工具一同向引線下降。最初為高速下降，當(dāng)接近引線時成為低速。該低速下降稱為第1搜索搜索然后，以工具前端將導(dǎo)線按壓于引線，一方面施加超音波振動一方面使兩者接合進行第1接合接合第1接合之后，提拉工具而使導(dǎo)線延伸出，一方面形成適當(dāng)?shù)沫h(huán)路一方面移動至焊墊的上方。當(dāng)?shù)竭_焊墊的上方時使工具下降。最初是以高速下降，當(dāng)接近焊墊時成為低速。該低速下降為第2搜索(2=(1搜索然后，以工具前端將導(dǎo)線按壓于焊墊，一方面施加超音波振動一方面使兩者接合進行第2接合(2=(1接合)。于第2接合之后，一方面利用導(dǎo)線夾持器使導(dǎo)線停止移動一方面提拉工具而將導(dǎo)線于第2接合點處切斷。反復(fù)進行上述操作，而將基板的多個引線與半導(dǎo)體芯片的多個焊墊之間連接。另外，于第1接合、第2接合時，也可進行適當(dāng)?shù)募訜?。另外，也可針對焊墊進行第1接合，針對引線進行第2接合。
[0003]如此，于打線中進行第1接合及第2接合該兩種接合，但有時該第1接合或第2接合未正常進行。又，于第1接合不充分便欲轉(zhuǎn)移至第2接合的環(huán)路形成的階段等，導(dǎo)線有時會自引線剝離，且，即便第1接合正常，導(dǎo)線有時亦會在環(huán)路形成的中途切斷。若將該等現(xiàn)象籠統(tǒng)地稱為未連，則需要提前進行未連檢測。未連檢測中，向基被側(cè)與工具的導(dǎo)線側(cè)之間施加電壓，或者通入電流，而判斷其間的電阻成分、二極體成分、電容成分是否正常(例如，專利文獻1、2〉。
[0004]然而，作為打線的方式，已知有球形接合方式及楔形接合方式。
[0005]球形接合方式是使用能利用高電壓火花等形成](1^66 ^11- 8311，無空氣球)的金線等，作為工具，使用前端具有圍繞長度方向軸呈旋轉(zhuǎn)對稱形狀的倒角部的毛細管。此處，為了不論導(dǎo)線之前端的方向如何均將？八8形成為無方向性的球形，而提出使用以包圍導(dǎo)線前端的方式形成為環(huán)狀的高電壓放電電極(例如，專利文獻3)。
[0006]楔形接合方式中，使用鋁線等且未形成？八8，作為接合用工具，并非使用毛細管，而是使用前端具有導(dǎo)線導(dǎo)件及按壓面的楔形接合用工具。楔形接合中，于工具前端，沿著導(dǎo)線導(dǎo)件使導(dǎo)線傾斜地向按壓面?zhèn)壬斐?，且利用按壓面將?dǎo)線側(cè)面按壓于接合對象物進行接合。因此，形成為導(dǎo)線于工具之前端自按壓面橫向地伸出的形態(tài)，工具之前端未成為圍繞其長度方向軸呈旋轉(zhuǎn)對稱的形狀(例如，專利文獻4)。
[0007]楔形接合用工具之前端未成為旋轉(zhuǎn)對稱形狀，因此，根據(jù)焊墊、引線的配置，于原狀態(tài)下導(dǎo)線導(dǎo)件的方向會與導(dǎo)線的連接方向不一致。因此，使保持工具的接合頭成為旋轉(zhuǎn)式(例如專利文獻5),或者使保持接合對象物的接合臺旋轉(zhuǎn)。因此，提出使用前端為旋轉(zhuǎn)對稱形狀的毛細管，以毛細管前端按壓導(dǎo)線側(cè)面進行接合的方法(例如專利文獻6)。
[0008]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0009]專利文獻
[0010]專利文獻1:專利第3335043號公報
[0011]專利文獻2:特開2000-306940號公報
[0012]專利文獻3:專利第2817314號公報
[0013]專利文獻4:特開昭58-9332號公報
[0014]專利文獻5:特開昭55-7415號公報
[0015]專利文獻6:美國專利申請公開第2005/0167473號說明書


【發(fā)明內(nèi)容】

[0016]發(fā)明所欲解決的問題
[0017]于楔形接合方式中，是使用延伸性小于金線的鋁導(dǎo)線。因此，當(dāng)?shù)?接合點的打線正常進行之后，第2接合點的打線不充分且為未連，若直接夾緊導(dǎo)線而切斷導(dǎo)線，則于第1接合點與第2接合點之間的環(huán)路處導(dǎo)線可能被切斷。
[0018]關(guān)于導(dǎo)線的未連或切斷，可藉由向接合對象物與導(dǎo)線之間賦予電信號且根據(jù)其回應(yīng)來判斷。然而，于對第2接合點的打線進行未連判斷之前，若第1接合點與第2接合點之間的環(huán)路處的導(dǎo)線被切斷，則接合對象物與導(dǎo)線之間未通電，該方面是與第2接合點的打線正常且導(dǎo)線于第2接合點正常切斷時相同。因此，若于第2接合點的接合之后關(guān)于未連及切斷進行判斷，則會將第2接合點的接合未連且第1接合點與第2接合點之間的環(huán)路處的導(dǎo)線被切斷的情況，誤判斷為第2接合點的接合正常且導(dǎo)線亦正常切斷。
[0019]若于第2接合點的接合未連且第1接合點與第2接合點之間的環(huán)路處的導(dǎo)線被切斷，則成為較長的導(dǎo)線自接合用工具之前端突出的狀態(tài)。若將該狀態(tài)誤判斷為第2接合點的打線正常，則在該狀態(tài)下進行下一接合處理。亦即，于較長的導(dǎo)線自接合用工具之前端突出的狀態(tài)下，進行下一第1接合點的打線，從而會產(chǎn)生不合格品。若如此對第2接合點的接合是否正常作出誤判斷，則會成為產(chǎn)生不合格品的原因。
[0020]本發(fā)明的目的在于提供一種能準(zhǔn)確地判斷第2接合點的接合是否正常的打線裝置及半導(dǎo)體裝置的制造方法。
[0021]解決問題的技術(shù)手段
[0022]本發(fā)明的打線裝置的特征在于，具備:毛細管，其供導(dǎo)線通插；圓環(huán)狀的導(dǎo)線突出長度檢測環(huán)，其與毛細管同軸地配置；及突出長度判斷部，其根據(jù)向?qū)Ь€突出長度檢測環(huán)與導(dǎo)線之間施加既定的檢查電壓時通電有無的檢測，而判斷自毛細管之前端突出的導(dǎo)線的突出長度是否適當(dāng)。
[0023]又，于本發(fā)明的打線裝置中，較佳為，就通電而言，若向?qū)Ь€突出長度檢測環(huán)與導(dǎo)線之間既定的檢查電壓而檢測為非導(dǎo)通狀態(tài)時，向?qū)Ь€突出長度檢測環(huán)與導(dǎo)線之間施加既定的檢查高電壓而檢測放電火花的有無。
[0024]又，本發(fā)明的打線裝置中，較佳為，突出長度判斷部預(yù)先獲得關(guān)于導(dǎo)線的突出長度與檢查高電壓與火花的有無的檢測關(guān)系，根據(jù)打線的接合條件而設(shè)定檢查高電壓，判斷導(dǎo)線的突出長度是否適于接合條件。
[0025]又，本發(fā)明的打線裝置中，較佳為，具備切斷判斷部，該判斷部是于第1接合點的打線后進行第2接合點的打線之后，藉由使導(dǎo)線成為夾緊狀態(tài)且使毛細管移動，從進行將導(dǎo)線自第2接合點切斷的處理之后，向接合對象物與處于夾緊狀態(tài)的導(dǎo)線之間施加既定的電信號，且根據(jù)其回應(yīng)而判斷導(dǎo)線是否被切斷；并且，突出長度判斷部是于切斷判斷部判斷為導(dǎo)線被切斷時，判斷導(dǎo)線的突出長度是否適當(dāng)，當(dāng)導(dǎo)線的突出長度不適當(dāng)時，不進行第2接合點的接合，視為導(dǎo)線于第1接合點與第2接合點之間被切斷，且輸出異常信號。
[0026]又，本發(fā)明的打線裝置中，較佳為，具備舍棄接合處理部，其當(dāng)判斷為導(dǎo)線的突出長度不適當(dāng)時，使用預(yù)先決定的舍棄接合點，使導(dǎo)線的已切斷之前端部分成為適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度。
[0027]又，本發(fā)明的打線裝置中，較佳為，第1接合點及第2接合點的打線是以楔形接合方式進行。
[0028]又，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置的制造方法的特征在于具有如下步驟:第1打線處理步驟，其是于打線的第1接合點，使用供導(dǎo)線通插的毛細管以楔形接合方式將第1接合對象物與導(dǎo)線之間接合；第2打線處理步驟，其是于第1接合點的打線之后，使導(dǎo)線自第1接合點以既定的導(dǎo)線長度延伸出，且于打線的第2接合點，將第2接合對象物與導(dǎo)線之間接合；移動處理步驟，其是于第2接合點的打線之后，為了將導(dǎo)線自第2接合點切斷，而使導(dǎo)線成為夾緊狀態(tài)，使通插有導(dǎo)線的毛細管移動；切斷判斷處理步驟，其是于為了切斷導(dǎo)線而使毛細管移動后，向第2接合對象物與導(dǎo)線之間施加既定的電信號，且根據(jù)其回應(yīng)而判斷導(dǎo)線是否被切斷；突出長度判斷步驟，其是于判斷為導(dǎo)線被切斷的情況下，根據(jù)向與毛細管同軸地配置的圓環(huán)狀的導(dǎo)線突出長度檢測環(huán)與導(dǎo)線之間施加既定的檢查電壓時通電有無的檢測，而判斷導(dǎo)線自毛細管之前端突出的突出長度是否適當(dāng)；及輸出處理步驟，其是當(dāng)導(dǎo)線的突出長度不適當(dāng)時，不進行第2接合點的接合，且視為第1接合點與第2接合點之間的導(dǎo)線被切斷，且輸出異常信號。
[0029]又，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置的制造方法中，較佳為，就通電而言，若向?qū)Ь€突出長度檢測環(huán)與導(dǎo)線之間施加既定的檢查電壓而檢測為非導(dǎo)通狀態(tài)時，向?qū)Ь€突出長度檢測環(huán)與導(dǎo)線之間施加既定的檢查高電壓且檢測放電火花的有無。
[0030]又，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置的制造方法中，較佳為，具有舍棄接合處理步驟，其是于判斷為導(dǎo)線的突出長度不適當(dāng)時，使用預(yù)先決定的舍棄接合點，使導(dǎo)線的已切斷之前端部分成為適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度。
[0031]發(fā)明的效果
[0032]根據(jù)本發(fā)明的打線裝置及半導(dǎo)體裝置的制造方法，能準(zhǔn)確地判斷第2接合點的接合是否正常。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0033]圖1是本發(fā)明的實施形態(tài)的打線裝置的構(gòu)成圖。
[0034]圖2是表示本發(fā)明的實施形態(tài)的打線裝置中的切斷判斷電路的圖。
[0035]圖3是說明本發(fā)明的實施形態(tài)的打線裝置及方法中，關(guān)于第2接合點的打線是否正常可能產(chǎn)生誤判斷的圖。
[0036]圖4是表示于打線上形成短且低的環(huán)路時，容易產(chǎn)生圖3的誤判斷的情況的圖。
[0037]圖5是表示與圖4相比，于打線上形成長且高的環(huán)路時，難以產(chǎn)生圖3的誤判斷的情況的圖。
[0038]圖6是表示本發(fā)明的實施形態(tài)的打線裝置中的突出長度判斷電路的圖。
[0039]圖7是表示本發(fā)明的實施形態(tài)的打線裝置中，關(guān)于導(dǎo)線的突出長度、檢查高電壓及火花有無的檢測關(guān)系的圖。
[0040]圖8是表示本發(fā)明的實施形態(tài)的半導(dǎo)體裝置的制造方法的順序的流程圖。
[0041]圖9是表示于圖8的流程圖中，以導(dǎo)線的切斷判斷、通電有無的檢測、及放電火花有無的檢測該3階段中進行第2接合點的未連判斷的情況的圖。
[0042]圖10是表示于圖8的流程圖中，當(dāng)?shù)?接合點的打線正常時未產(chǎn)生放電火花的情況的圖。
[0043]圖11是表示于圖8的流程圖中，當(dāng)導(dǎo)線的突出長度不適當(dāng)時產(chǎn)生放電火花的情況的圖。
[0044]圖12是表示于本發(fā)明的實施形態(tài)的打線裝置中，在舍棄接合點進行舍棄接合處理的情況的圖。
[0045]圖13是表示使毛細管移動至舍棄接合點的正上方的圖。
[0046]圖14是表示繼圖13之后進行舍棄接合的圖。
[0047]圖15是表示繼圖14之后，于舍棄接合點切斷導(dǎo)線的圖。

【具體實施方式】
[0048]以下，使用圖式對本發(fā)明的實施形態(tài)進行詳細說明。以下，作為打線的對象物，于第1接合點是就電路基板的引線進行敘述，而于第2接合點是就半導(dǎo)體芯片的焊墊進行敘述，此是用于說明的示例，也可對第1接合點以半導(dǎo)體芯片的焊墊進行敘述，而對第2接合點以電路基板的引線進行敘述。也可對第1接合點及第2接合點均以半導(dǎo)體芯片的焊墊進行敘述，且也可對第1接合點及第2接合點均以電路基板的引線進行敘述。焊墊、引線是導(dǎo)線接合的對象物的示例，也可為除此以外的部件。又，作為接合的對象物，除了半導(dǎo)體芯片之外，也可為電阻芯片、電容器芯片等普通的電子零件；作為電路基板，除了環(huán)氧樹脂基板等之外，也可為引線框等。
[0049]以下所述的尺寸、材質(zhì)等是用于進行說明的示例，且可根據(jù)打線裝置的規(guī)格適當(dāng)?shù)刈兏?br> [0050]以下，于所有圖式中對于同一個或?qū)?yīng)的要素標(biāo)注相同的符號，且省略重復(fù)說明。
[0051]圖1是打線裝置10的構(gòu)成圖。該打線裝置10中，使用毛細管28作為打線用工具，使用鋁線作為導(dǎo)線30，且以楔形接合方式，利用導(dǎo)線30將2個接合對象物連接。圖1中，表示有作為接合對象物的半導(dǎo)體芯片6及電路基板8，其等并非是打線裝置10的構(gòu)成要素。另外，本發(fā)明的實施形態(tài)中，作為楔形接合方式，是指于導(dǎo)線前端未形成？八8，且使用超音波、壓力進行的接合方式。
[0052]打線裝置10是包含保持于架臺12上的接合臺14、XV平臺16、電腦60而構(gòu)成。
[0053]接合臺14是搭載作為2個接合對象物的半導(dǎo)體芯片6及電路基板8的接合對象物保持臺。接合臺14是于搭載或排出電路基板8等時可相對于架臺12移動，但于接合處理期間相對于架臺12為固定狀態(tài)。作為該接合臺14，可使用金屬制的移動臺。接合臺14是連接于打線裝置10的接地電位等基準(zhǔn)電位。接合臺14連接于后述的未連判斷電路36的接地側(cè)端子。當(dāng)必需與半導(dǎo)體芯片6或電路基板8之間絕緣時，于接合臺14的必要的部分實施絕緣處理。
[0054]半導(dǎo)體芯片6是將電晶體等積體化于硅基板上而成為電子電路的部件，且作為電子電路的輸入端子及輸出端子等在半導(dǎo)體芯片6的上表面上作為多個焊墊(未圖示)而引出。半導(dǎo)體芯片6的下表面為硅基板的背面，且成為電子電路的接地電極。
[0055]電路基板8是于環(huán)氧樹脂基板上形成所需的配線圖案而成的部件，且具有:電性及機械性地連接半導(dǎo)體芯片6的下表面且加以固定的芯片焊墊(未圖示)、配置于其周圍的多個引線(未圖示〉、以及自芯片焊墊或多個引線引出的作為電路基板的輸入端子及輸出端子。打線是藉由利用導(dǎo)線30將半導(dǎo)體芯片6的焊墊與電路基板8的引線之間連接進行。
[0056]設(shè)于接合臺14上的窗式夾持器。匕卹一!") 50是于中央部具有開口的平板狀構(gòu)件，且為保持電路基板8的構(gòu)件。窗式夾持器50是以在中央部的開口中配置有欲進行打線的電路基板8的引線與半導(dǎo)體芯片6的方式定位，且藉由以開口的周緣部按住電路基板8，而將電路基板8固定于接合臺14。
[0057]當(dāng)如下文所述導(dǎo)線30的突出長度被不適當(dāng)?shù)厍袛鄷r，為了以后的步驟進行舍棄接合處理。
[0058]XV平臺16是搭載接合頭18、且使接合頭18相對于架臺12及接合臺14移動至XV平面內(nèi)的所需的位置的移動臺。XV平面是與架臺12的上表面平行的平面。V方向是與安裝于后述的接合臂(未圖示)上的超音波轉(zhuǎn)換器24的長度方向平行的方向。圖1中表示有X方向、V方向、及垂直于XV平面的方向即2方向。
[0059]接合頭18是固定且搭載于XV平臺16上，內(nèi)設(shè)有2馬達20，且藉由該2馬達20的旋轉(zhuǎn)控制而經(jīng)由2驅(qū)動臂22、超音波轉(zhuǎn)換器24使毛細管28于2方向上移動的移動機構(gòu)。作為2馬達20，可使用線性馬達。
[0060]2驅(qū)動臂22是安裝有超音波轉(zhuǎn)換器24及導(dǎo)線夾持器32，且可藉由2馬達20的旋轉(zhuǎn)控制而圍繞設(shè)在接合頭18上的旋轉(zhuǎn)中心旋轉(zhuǎn)的構(gòu)件。作為設(shè)在接合頭18上的旋轉(zhuǎn)中心，未必為2馬達20的輸出軸，考慮到包含2驅(qū)動臂22、超音波轉(zhuǎn)換器24、導(dǎo)線夾持器32在內(nèi)的整體的重心位置，可設(shè)在可減輕旋轉(zhuǎn)負載的位置。
[0061]超音波轉(zhuǎn)換器24是根部安裝于2驅(qū)動臂22，且前端部安裝有供導(dǎo)線30通插的毛細管28的細長的棒構(gòu)件。超音波轉(zhuǎn)換器24上安裝有超音波振蕩器26，且將藉由驅(qū)動超音波振蕩器26而產(chǎn)生的超音波能量傳遞至毛細管28。因此，超音波轉(zhuǎn)換器24是形成為越位于前端側(cè)越尖細的喇叭形狀，以能夠?qū)碜猿舨ㄕ袷幤?6的超音波能量高效地傳遞至毛細管28。作為超音波振蕩器26，可使用壓電元件。
[0062]毛細管28是前端面平坦的圓錐體，且為于中心部具有能供導(dǎo)線30沿著長度方向通插的貫通孔的接合工具。作為該毛細管28，可直接使用球形接合中采用的陶瓷制的毛細管。作為球形接合中采用的毛細管，為了容易保持？八8，而于貫通孔之前端面?zhèn)仍O(shè)有適當(dāng)?shù)谋环Q作倒角的角部形狀，但于本實施形態(tài)的楔形接合方式中，使用球形接合用毛細管，且于該毛細管的貫通孔的前端面?zhèn)鹊南卤砻婢邆浔环Q作表面的平面。該表面成為于打線裝置10中進行楔形接合時的按壓面。
[0063]楔形接合用工具是于前端部具有相對于長度方向傾斜地設(shè)置的導(dǎo)線導(dǎo)件、及用于按壓導(dǎo)線的側(cè)面的按壓面，因此，并未圍繞工具的長度方向軸呈旋轉(zhuǎn)對稱，且導(dǎo)線具有沿導(dǎo)線導(dǎo)件的方向的方向性而橫向地突出。若使用此種楔形接合用工具，則根據(jù)引線、焊墊的配置情況，于原狀態(tài)下導(dǎo)線導(dǎo)件的方向與導(dǎo)線的連接方向會產(chǎn)生不一致。
[0064]例如，于半導(dǎo)體芯片6搭載于電路基板8的中央部，且以繞半導(dǎo)體芯片6的周邊部一圈的方式配置有多個焊墊，電路基板8上，亦以繞半導(dǎo)體芯片6之外側(cè)一圈的方式設(shè)有多個引線的情況下，多個打線各自中的將引線與焊墊連結(jié)的導(dǎo)線的連接方向不同。于使導(dǎo)線導(dǎo)件的方向與導(dǎo)線的連接方向一致時，須要使楔形接合用工具繞長度方向軸旋轉(zhuǎn)、或者使電路基板8旋轉(zhuǎn)。
[0065]對此，毛細管28之前端面?zhèn)鹊谋砻媸抢@毛細管28的長度方向軸呈旋轉(zhuǎn)對稱的形狀，因此，即便各打線各自中的將焊墊與引線連結(jié)的導(dǎo)線的連接方向不同，僅藉由稍微變更自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線30的方向的整形處理便可。因此，楔形接合中使用毛細管28。
[0066]通插于毛細管28內(nèi)的導(dǎo)線30是鋁的細線。導(dǎo)線30是卷繞于設(shè)在自接合頭18延伸的導(dǎo)線架之前端的導(dǎo)線卷軸33上，自導(dǎo)線卷軸33經(jīng)由導(dǎo)線夾持器32而通插于毛細管28的中心部的貫通孔內(nèi)，且自毛細管28之前端突出。作為該導(dǎo)線30的材質(zhì)，除了純鋁細線之夕卜，也可使用將硅、鎂等適當(dāng)?shù)鼗旌隙傻募毦€等。導(dǎo)線30的直徑可根據(jù)接合對象物而選擇。作為導(dǎo)線30的直徑的一例，可例舉30 11 III。
[0067]導(dǎo)線夾持器32是安裝于2驅(qū)動臂22上且配置于導(dǎo)線30的兩側(cè)的1組夾板，藉由使相向的夾板之間打開而使導(dǎo)線30成為自由移動狀態(tài)，且藉由使相向的夾板之間閉合而使導(dǎo)線30停止移動的導(dǎo)線夾持裝置。導(dǎo)線夾持器32是安裝于2驅(qū)動臂22上，因此，即便毛細管28于方向上移動，也可適當(dāng)?shù)貖A持導(dǎo)線30。導(dǎo)線夾持器32的開閉可藉由使用壓電元件的夾持器開閉部34的運作進行。
[0068]未連判斷電路36是于打線的各階段，判斷接合對象物與導(dǎo)線30之間的連接是否適當(dāng)?shù)碾娐?。未連判斷電路36是向接合對象物與導(dǎo)線30之間施加既定的電信號，且根據(jù)其回應(yīng)而判斷接合對象物與導(dǎo)線30之間的連接是否適當(dāng)。
[0069]作為打線的各階段，存在如下步驟:第1打線處理步驟，其是于將導(dǎo)線30自電路基板8的引線連接至半導(dǎo)體芯片6的焊墊時，將電路基板8的引線作為第1接合點，將半導(dǎo)體芯片6的焊墊作為第2接合點，而將導(dǎo)線30連接至第1接合點；環(huán)路形成處理步驟，其是使導(dǎo)線30自第1接合點向第2接合點延伸出而形成環(huán)路；第2打線處理步驟，其是使導(dǎo)線30連接至第2接合點；及移動處理步驟，其是于第2打線處理之后，為了于第2接合點切斷導(dǎo)線30而使毛細管28移動。
[0070]未連判斷電路36是于各個步驟的時間點判斷導(dǎo)線30與引線是否于第1接合點接合、導(dǎo)線30與焊墊是否于第2接合點接合、導(dǎo)線30是否于第2接合點切斷等。
[0071]此處，尤其是，未連判斷電路36是判斷在第2打線處理之后導(dǎo)線30是否于第2接合點切斷。此即意味著，未連判斷電路36可稱作切斷判斷電路。
[0072]圖2是表示未連判斷電路36作為切斷判斷電路發(fā)揮功能時的圖。圖2中表示:在第1打線處理步驟中，確認于第1接合點100上已適當(dāng)?shù)剡M行打線，其后，經(jīng)過導(dǎo)線30的環(huán)路形成處理步驟而轉(zhuǎn)移至第2打線處理步驟，且確認第2打線處理步驟中亦于第2接合點102上已適當(dāng)?shù)剡M行打線，然后，進行毛細管28的移動處理步驟，于第2接合點102，導(dǎo)線30成為切斷狀態(tài)104。
[0073]未連判斷電路36是由施加電源106及測定部108構(gòu)成，一端子連接于接合臺14，另一端子連接于導(dǎo)線夾持器32或?qū)Ь€卷軸33。將施加電源106設(shè)為直流電壓電源，利用未圖示的阻抗測定電路對于測定部108的內(nèi)部測定阻抗值，藉此可知導(dǎo)線30與接合臺14之間的電阻成分。將施加電源106設(shè)為交流電壓電源，利用未圖示的阻抗測定電路對于測定部108的內(nèi)部測定阻抗值，藉此可知導(dǎo)線30與接合臺14之間的電容成分。
[0074]打線中，直流或交流下的已連、未連的檢查會根據(jù)作為對象的設(shè)備而有所不同，且即便是同一設(shè)備亦會根據(jù)各焊墊而有所不同。于施加直流電壓電源的情況下，當(dāng)導(dǎo)線30與半導(dǎo)體芯片6的焊墊處于連接狀態(tài)(已連狀態(tài))時，電阻成分成為有限值。于施加交流電壓電源的情況下，當(dāng)導(dǎo)線30與半導(dǎo)體芯片6的焊墊處于連接狀態(tài)(已連狀態(tài))時、與處于非連接狀態(tài)(未連狀態(tài))時的電容成分存在較大差異。當(dāng)施加交流電壓電源，使導(dǎo)線30與半導(dǎo)體芯片6的焊墊處于連接狀態(tài)(已連狀態(tài))時，電容成分變得大于導(dǎo)線30與非連接狀態(tài)(未連狀態(tài))時的電容成分。另一方面，于施加直流電壓電源的情況下，當(dāng)導(dǎo)線30為切斷狀態(tài)104時，導(dǎo)線30與接合臺14之間于電性上成為斷開狀態(tài)，故電阻成分變得無限大。又，于施加交流電壓電源的情況下，當(dāng)導(dǎo)線30與半導(dǎo)體芯片6的焊墊處于切斷狀態(tài)(未連狀態(tài))時，電容成分變得小于連接狀態(tài)(已連狀態(tài))時的電容成分。如此，根據(jù)測定部108中電阻成分或電容成分的變化，未連判斷電路36可判斷導(dǎo)線30與接合臺14之間為連接狀態(tài)或開放狀態(tài)，藉此，可判斷導(dǎo)線30是否為切斷狀態(tài)104。
[0075]突出長度判斷電路38與突出長度檢測環(huán)40是為了以下目的而設(shè):于未連判斷電路36中判斷導(dǎo)線30為切斷狀態(tài)時，判斷該切斷狀態(tài)是否如圖2的說明所示，于第2接合點102的打線為正常且導(dǎo)線30于第2接合點102切斷。
[0076]其原因在于:即便第2打線處理不適當(dāng)，導(dǎo)線30于第2接合點102為未連狀態(tài)，且導(dǎo)線30于第1接合點100與第2接合點102之間切斷，但因為導(dǎo)線30與接合臺14之間為開放狀態(tài)，故而，未連判斷電路36也可能會誤判斷為導(dǎo)線30在處于已連狀態(tài)的第2接合點102切斷。
[0077]對此，使用圖3進行說明。圖3是表示根據(jù)未連判斷電路36的判斷的時間點及導(dǎo)線切斷的時間點，若直接獲取未連判斷電路36的結(jié)果，則會產(chǎn)生誤判斷的說明圖。
[0078]圖3的⑷?⑷是表示于第2接合點102的第2打線處理正常進行，且藉由用于切斷的移動處理而使導(dǎo)線30于第2接合點102正常切斷的情況的圖。
[0079]圖3的⑷是表示于時間七=、、第2接合點102上的第2打線處理結(jié)束，毛細管28略微向+2方向上升的狀態(tài)。此處，第2打線處理正常進行，于第2接合點102，導(dǎo)線30與半導(dǎo)體芯片6的焊墊之間正常接合。圖3的(幻是表示于時間七=為了切斷導(dǎo)線而使毛細管28于XV平面內(nèi)進行既定的移動后的狀態(tài)。作為既定的移動，此處是表示毛細管28向―乂方向移動\移動后的狀態(tài)。于該七=、導(dǎo)線30在第2接合點102處正常地成為切斷狀態(tài)103。圖3的化)是表示毛細管28進一步向―乂方向移動至\的位置后的時間七=^4的狀態(tài)的圖。
[0080]此情形時，第2接合點102上的未連判斷可根據(jù)1:=七。及1:=七4時的未連判斷電路36的判斷結(jié)果進行。亦即，于〖=、時導(dǎo)線30未切斷、丨=一時導(dǎo)線30為切斷狀態(tài)的情況下，在第2接合點102上導(dǎo)線30的接合正常進行，且在第2接合點102上導(dǎo)線30正常切斷；而于〖=丨。時導(dǎo)線30未切斷，1: = 1:4時導(dǎo)線30亦未切斷的情況下,可判斷為在第2接合點102上導(dǎo)線30為未連狀態(tài)，且導(dǎo)線30仍然未切斷。
[0081]圖3的⑷?⑴是表示第2打線處理不適當(dāng)、于第2接合點102上導(dǎo)線30與半導(dǎo)體芯片6的焊墊之間未接合而成為未連，且導(dǎo)線30于第1接合點100與第2接合點102之間切斷的情況的圖。
[0082]圖3的⑷中，與⑷同樣地表示第2打線處理結(jié)束且毛細管28略微向+2方向提升時的情況，但此處，第2打線處理未正常進行，導(dǎo)線30與半導(dǎo)體芯片6的焊墊未接合，成為未連狀態(tài)。圖3的(6)中表示，與第2打線處理正常進行時相同地，藉由使毛細管28向十父方向移動\，而使導(dǎo)線30于第1接合點100與第2接合點102之間成為切斷狀態(tài)105。圖3的是表示毛細管28進一步向―乂方向移動至\的位置之后的時間1 = ^的狀態(tài)的圖。圖3的⑴中的、、\是與圖3的⑷相同。另外，滿足乂工?\ ?\。此處，第2接合點102是意味著于導(dǎo)線30與焊墊之間為未連，但預(yù)定實施第2打線處理。
[0083]此時，關(guān)于第2接合點102上的未連判斷,若根據(jù)1:=七。與1:=七4時的未連判斷電路36的判斷結(jié)果進行，則會作出誤判斷。亦即4 = 時導(dǎo)線30未切斷，^ = 一時導(dǎo)線30處于切斷狀態(tài)，該狀態(tài)是與圖3的(幻?(0)中所說明的正常處理時的情況相同。因此，若根據(jù)1 =、與1 =、時的未連判斷電路36的判斷結(jié)果進行第2接合點102上的未連判斷，則無法區(qū)分圖3的⑷?⑷的正常處理的情況與圖3的⑷?⑴的未連的情況，從而作出誤判斷。
[0084]圖3的⑷?⑷的正常處理的情況與圖3的⑷?⑴的未連的情況的差異在于七=\的圖3的㈦及七=七2的圖3的⑷。因此，若要利用未連判斷電路36來區(qū)分圖3的⑷?⑷的正常處理的情況、與圖3的⑷?⑴的未連的情況，則需要判斷在七=\與七=七2之間導(dǎo)線30是否產(chǎn)生切斷。就七=\與七=七2而言，因受到環(huán)路形狀或切割速度等的影響，故而，每當(dāng)打線的參數(shù)有變更其等均會改變。若1: = \與1: = 1:2之間充分長，則未連判斷電路36能區(qū)分圖3的⑷?⑷的情況與圖3的⑷?⑴的情況，但若1: = 1與1:=七2之間較短，則對該2種情況作出誤判斷的可能性變高。
[0085]圖4是表示作為打線條件，第1接合點100與第2接合點102之間的距離短、其間形成的環(huán)路的高度低、而且環(huán)路長度短的情況。于如此形成短且低的環(huán)路的情況下，當(dāng)?shù)?接合點102未連時，導(dǎo)線30容易提前切斷，== ^的差別消失，對上述2種情況作出誤判斷的可能性變高。
[0086]圖4的⑷是表示在較的圖3的⑷的七=、略微早的時間點，第2打線處理結(jié)束而毛細管28稍微向+2方向提拉時的狀態(tài)。此處，于第2接合點102成為未連狀態(tài)。圖4的㈦中，于七=\時，毛細管28自圖4的⑷向+2方向稍微提拉，當(dāng)已向X方向移動父工移動時，導(dǎo)線30仍未切斷。圖4的⑷中，于七=&時，毛細管28向―乂方向移動至父4，此處，導(dǎo)線30于第1接合點100與第2接合點102之間成為切斷狀態(tài)105。圖4是表示形成有短且低的環(huán)路的情況，因此，圖4的⑷所示的時刻七2、\是短于圖3的⑷的時刻七2、\且為較小的值，且以較早的時間切斷導(dǎo)線30。
[0087]圖5是表示作為打線條件，第1接合點100與第2接合點102之間的距離長、其間形成的環(huán)路的高度高、而且環(huán)路長度長的情況。于如此形成長且高的環(huán)路的情況下，即便于第2接合點102未連的情況下，直至導(dǎo)線30切斷為止時間上亦較寬裕，圖3中的七=\與七=&變長，對上述2種情況作出誤判斷的可能性變低。
[0088]圖5的⑷是表示于七=一的狀態(tài)下，與圖4的⑷相同地結(jié)束第2打線處理且使毛細管28向+2方向稍微提拉時的狀態(tài)。此處，于第2接合點102亦為未連狀態(tài)。圖5的㈦是表示于七=\時，與圖4的㈦相同，毛細管28自圖5的⑷向+2方向稍微提拉且已向X方向移動\時的情況，且與圖4的㈦相比環(huán)路形成得較高。此時，導(dǎo)線30仍未切斷。圖5的⑷是表示于七=&時，毛細管28已向方向移動至\時的情況。\ 二\是大于圖3的⑷、⑴中的1: = 1:3時的X =父3，又，1: = IX = \長于圖4的⑷中的七= = ?，為較大的值。此處，導(dǎo)線30亦仍未切斷。于如此形成長且高的環(huán)路的情況下，即便于第2接合點102為未連狀態(tài)，直至導(dǎo)線30切斷為止時間上亦寬裕，對上述2種情況作出誤判斷的可能性變低。另外，圖3?圖5所示的向―乂方向的各移動距離的關(guān)系是\
〈乂4〈 乂〕〈 乂3〈 乂5。
[0089]如此，越形成短且低的環(huán)路，則未連判斷電路36越無法區(qū)分上述2種情況。突出長度判斷電路38及突出長度檢測環(huán)40可準(zhǔn)確地區(qū)分該2種情況。
[0090]于導(dǎo)線30在第2接合點102被切斷的情況下，自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線30的突出長度短，為適當(dāng)?shù)闹?。相對于此，于?dǎo)線30在第1接合點100與第2接合點102之間被切斷的情況下，自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線30的突出長度長，為不適當(dāng)?shù)闹?。突出長度判斷電路38及突出長度檢測環(huán)40是判斷自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線30的突出長度是否適當(dāng)，且以此區(qū)分未連判斷電路36無法判斷的2種情況。
[0091]圖6是表示突出長度判斷電路38及突出長度檢測環(huán)40的構(gòu)成的圖。此處，表示有自毛細管28突出的導(dǎo)線尾部110的突出長度17。
[0092]安裝于接合頭18上的突出長度檢測環(huán)40是與毛細管28同軸地配置的圓環(huán)狀構(gòu)件。突出長度檢測環(huán)40的圓環(huán)狀開口部是具有如下研缽狀形狀:自-2方向朝向+2方向、即當(dāng)自接合臺14觀察時朝向上方側(cè)，最初為固定的內(nèi)徑，其后，內(nèi)徑逐漸擴大。若使用圖6的符號進行說明，則突出長度檢測環(huán)40之外徑為0。，2方向的尺寸即高度為仏。自-2方向的端部即底面至高度氏的范圍內(nèi)的內(nèi)徑為％，內(nèi)徑自此處起向上表面?zhèn)纫越嵌?的傾斜度逐漸擴大。
[0093]作為突出長度檢測環(huán)40的尺寸的一例，外徑0。約為4臟，總高??！8約為1臟，相同內(nèi)徑部分的高度氏約為0.2111111，相同內(nèi)徑％約為2.5111111，角度0約為45度。該突出長度檢測環(huán)40可使用由適當(dāng)?shù)慕饘俨牧霞庸こ杉榷ǖ男螤疃傻牟考?br> [0094]突出長度檢測環(huán)40是安裝于接合頭18上，因此，與毛細管28的XV平面內(nèi)的移動同樣地移動，且相對于毛細管28的2方向上的移動而位于固定位置。亦即，突出長度檢測環(huán)40的圓環(huán)狀開口部的中心軸是配置成與毛細管28的長度方向軸一致，且毛細管28是沿著突出長度檢測環(huán)40的圓環(huán)狀開口部的中心軸而于2方向上移動。于在第1接合點100、第2接合點102進行打線處理時，毛細管28之前端較的突出長度檢測環(huán)40的底面更靠-2方向。
[0095]當(dāng)進行突出長度判斷時，毛細管28向+2方向提拉。圖6中，進行突出長度判斷時的毛細管28的前端位置是表示為自突出長度檢測環(huán)40的相同內(nèi)徑％部分的上端起的高度4。高度％是以如下方式設(shè)定:使得導(dǎo)線30自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部110的延長端部處于突出長度檢測環(huán)40的相同內(nèi)徑％部分的高度氏的范圍內(nèi)。藉由如此設(shè)定高度4，可準(zhǔn)確地檢測突出長度檢測環(huán)40與導(dǎo)線尾部110之間有無放電火花。
[0096]突出長度判斷電路38是根據(jù)向檢測環(huán)40與導(dǎo)線30之間施加既定的檢查電壓時通電有無的檢測、及向其間施加既定的檢查高電壓時的放電火花的有無的檢測，來判斷自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部110的突出長度。是否適當(dāng)。突出長度判斷電路38是由檢查高電壓112及檢測部114構(gòu)成，一端子連接于突出長度檢測環(huán)40，另一端子連接于導(dǎo)線夾持器32。檢查高電壓112為直流電壓，檢測部114檢測電流值。
[0097]當(dāng)導(dǎo)線尾部110的突出長度。短時，突出長度檢測環(huán)40與導(dǎo)線尾部110之間不會產(chǎn)生放電火花，因此，檢測部114中未檢測到電流值。若導(dǎo)線尾部110的突出長度。適當(dāng)?shù)刈冮L，則突出長度檢測環(huán)40與導(dǎo)線尾部110之間會產(chǎn)生放電火花，因此檢測部114中檢測到突發(fā)的脈沖狀的電流值。若導(dǎo)線尾部110的突出長度。過長而接觸于突出長度檢測環(huán)40，則導(dǎo)線尾部110與突出長度檢測環(huán)40之間電性導(dǎo)通，檢測部114中確認已通電。如此，可根據(jù)檢測部114檢測到的電流值，來判斷導(dǎo)線尾部110的突出長度。的長度。
[0098]當(dāng)區(qū)分如圖3的(幻?化)所示第2打線處理正常進行且導(dǎo)線30于第2接合點102被切斷、及如圖3的((1)?所示第2打處理不適當(dāng)且于第2接合點102為未連狀態(tài)下導(dǎo)線30在第1接合點100與第2接合點102之間被切斷該2種情況時，能以使圖3的
(0)的正常情況下的導(dǎo)線尾部110的突出長度。設(shè)為適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度而使此時不產(chǎn)生火花放電、且當(dāng)為超出適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度的突出長度。時會產(chǎn)生火花放電的方式，設(shè)定檢查高電壓112。當(dāng)1個打線處理步驟正常結(jié)束時，自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部110的突出長度。固定。相對于此，當(dāng)于1個打線步驟中發(fā)生異常時，自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部110的突出長度。有不均，一般而言有其長度較的正常的導(dǎo)線尾部110的突出長度。更長的傾向。
[0099]圖7是表示產(chǎn)生火花放電的檢查高電壓與導(dǎo)線長度\的關(guān)系的圖。圖7的橫軸為導(dǎo)線長度\，縱軸為檢查高電壓扎。產(chǎn)生火花放電的檢查高電壓是由特性線116表示。如特性線116所示，若導(dǎo)線長度\變短則產(chǎn)生火花放電時所需的檢查高電壓扎升高，若導(dǎo)線長度\變長則產(chǎn)生火花放電時所需的檢查高電壓扎變低。
[0100]因此，使用特性線116，獲得與導(dǎo)線長度\對應(yīng)的檢查高電壓氏，且若將其設(shè)定為突出長度判斷電路38的檢查高電壓112，則只要不產(chǎn)生火花放電，突出長度。均適當(dāng)，且成為圖3的化)所示的正常狀態(tài)。相反，若在如此設(shè)定的檢查高電壓112下產(chǎn)生火花放電，貝0突出長度。不適當(dāng)，且可判斷導(dǎo)線30在第1接合點100與第2接合點102之間被切斷。
[0101]另外，若檢查高電壓扎過高，則即便突出長度。為適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度時亦會產(chǎn)生火花放電。亦即，于該檢查高電壓下，會對于是否是適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度作出誤檢測。若將其作為誤檢測的區(qū)域，則圖7的示例中，扎為33007以上時為誤檢測的區(qū)域。
[0102]若檢查高電壓扎過低，則即便在突出長度。超過適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度時亦不會產(chǎn)生火花放電。亦即，于該檢查高電壓下，無法關(guān)于是否是適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度進行檢測。若將其作為不檢測的區(qū)域，則于圖7的示例中，當(dāng)扎為240(^以下時為不檢測的區(qū)域。
[0103]圖7中表示為可進行切斷檢測的區(qū)域是導(dǎo)線長度\充分長時。當(dāng)導(dǎo)線長度\充分長時，形成于第1接合點100與第2接合點102之間的環(huán)路的形狀較寬裕，甚至即便于第2接合點102未連時，也可藉由拉長導(dǎo)線30而使導(dǎo)線30切斷。因此，于導(dǎo)線30切斷之前，未連判斷電路36能判斷第2接合點102上的未連。圖7的示例中，當(dāng)導(dǎo)線長度\成為1000 ^ ^以上時為可進行切斷檢測的區(qū)域。
[0104]特性線116是于由如此的誤檢測的區(qū)域、不檢測的區(qū)域、可進行切斷檢測的區(qū)域包圍，且在對應(yīng)于導(dǎo)線尾部110的突出長度。而產(chǎn)生火花放電的區(qū)域中，與當(dāng)為適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度時不會產(chǎn)生火花放電、當(dāng)超過適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度時會產(chǎn)生火花放電的檢查高電壓的值相關(guān)聯(lián)而獲得的特性線。
[0105]重新返回至圖1，電腦60是整體上控制打線裝置10的各要素的動作。電腦60是包含作為⑶口的控制部80、控制部80、各種介面電路及存儲器82而構(gòu)成。其等彼此是由內(nèi)部匯流排連接。
[0106]各種介面電路是設(shè)于作為⑶口的控制部80與打線裝置10的各要素之間的驅(qū)動電路或緩沖電路。圖1中將介面電路簡單地表示為1/？。各種介面電路是連接于XV平臺16的XV平臺1作62、連接于2馬達20的2馬達1作64、連接于超音波振蕩器26的超音波振蕩器1作66、連接于夾持器開閉部34的夾持器開閉1作68、連接于作為切斷判斷電路發(fā)揮功能的未連判斷電路36的切斷電路1/^70、及連接于突出長度判斷電路38的突出長度判斷電路1作72。
[0107]存儲器82是儲存各種程序及各種控制數(shù)據(jù)的存儲裝置。各種程序是關(guān)于第1打線處理的第1接合程序84、關(guān)于第2打線處理的第2接合程序86、關(guān)于用于切斷導(dǎo)線的毛細管移動處理的移動處理程序88、關(guān)于導(dǎo)線30的切斷判斷處理的切斷判斷處理程序90、關(guān)于導(dǎo)線30的突出長度判斷處理的突出長度判斷處理程序92、關(guān)于表示導(dǎo)線切斷異常的異常輸出處理的異常輸出處理程序94、關(guān)于當(dāng)出現(xiàn)異常輸出時為了下一步驟的舍棄接合處理的舍棄接合程序95、以及關(guān)于其他控制處理的控制程序96。作為控制數(shù)據(jù)98，例如為關(guān)于圖7中所說明的導(dǎo)線的突出長度、檢查高電壓及火花有無的檢測關(guān)系數(shù)據(jù)等。
[0108]關(guān)于上述構(gòu)成的作用、尤其是電腦60的各功能，以下使用圖8進行更詳細的說明。圖8是表示半導(dǎo)體裝置的制造方法的順序的流程圖。圖9是表示圖8的流程圖的3個判斷順序的內(nèi)容的圖。圖10與圖11是表示突出長度檢測環(huán)40上有無火花放電的圖。
[0109]圖8是表示打線的順序的流程圖，各順序是與電腦60的存儲器82中儲存的各程序的處理順序?qū)?yīng)。當(dāng)向打線裝置10通入電源等時，對包含電腦60在內(nèi)的打線裝置10的各構(gòu)成要素進行初始化。
[0110]然后，暫時抽出接合臺14，將搭載有作為接合對象物的半導(dǎo)體芯片6的電路基板8定位于接合臺14上，且利用窗式夾持器50壓住且固定。接合臺14重新返回至初始狀態(tài)的位置。另外，接合臺14被加熱至于接合條件下所決定的既定溫度。該接合對象物設(shè)定步驟是使用電路基板8的自動搬送裝置而自動進行。
[0111]然后，藉由控制部80執(zhí)行第1接合程序84，于第1接合點100實施第1打線處理(810)。第1打線處理是，首先在導(dǎo)線夾持器32打開的狀態(tài)下，將導(dǎo)線30通插于毛細管28中使導(dǎo)線30成為突出于毛細管28之前端的狀態(tài)。繼而，按照控制部80的指令，經(jīng)由XV平臺1/562及2馬達1作64，移動驅(qū)動IX平臺16及2馬達20，使處于導(dǎo)線30突出于前端的狀態(tài)的毛細管28向第1接合點100移動。第1接合點100是設(shè)定于電路基板8的1個引線上。第1接合點100的設(shè)定是使用圖1中未圖示的定位相機等進行。
[0112]于第1接合點100，將導(dǎo)線30夾入毛細管28之前端部與電路基板8的引線之間且進行按壓，按照控制部80的指令經(jīng)由超音波振蕩器1/^66使超音波振蕩器26運作，且藉由該超音波振動能量及2馬達20的驅(qū)動控制對毛細管28的按壓力、及來自接合臺14的加熱溫度，使導(dǎo)線30與引線之間接合。如此進行第1接合點100上的第1打線處理。
[0113]當(dāng)?shù)?打線處理結(jié)束時，進行環(huán)路(匕叩)形成處理。亦即，當(dāng)?shù)?打線處理結(jié)束之后，在導(dǎo)線夾持器32打開的狀態(tài)下使毛細管28向上方上升，接著，移動至第2接合點102的正上方。第2接合點102設(shè)定于半導(dǎo)體芯片6的1個焊墊上。于毛細管28移動期間，導(dǎo)線30自導(dǎo)線卷軸33陸續(xù)抽出，自毛細管28之前端以必要的導(dǎo)線長度延伸出。毛細管28的移動是藉由按照控制部80的指令對XV平臺16及2馬達20實施移動驅(qū)動進行。
[0114]于環(huán)路形成處理之后，進行第2打線處理(312)。該處理順序是藉由控制部80執(zhí)行第2接合程序86進行。也可使環(huán)路形成處理順序包含于第2接合程序86中，而包含環(huán)路形成處理在內(nèi)作為第2打線處理。
[0115]于第2接合點102，與第1打線處理相同，將導(dǎo)線30夾入至毛細管28之前端部與半導(dǎo)體芯片6的焊墊之間且進行按壓，按照控制部80的指令經(jīng)由超音波振蕩器1/^66使超音波振蕩器26運作，且藉由該超音波振動能量及2馬達20的驅(qū)動控制對毛細管28的按壓力、及來自接合臺14的加熱溫度，使導(dǎo)線30與焊墊之間接合。如此，進行第2接合點102上的第2打線處理。
[0116]若第2打線處理結(jié)束，則接著進行用于切斷導(dǎo)線的移動處理(314)。該處理順序是藉由控制部80執(zhí)行移動處理程序88進行。用于切斷導(dǎo)線的移動處理是以如下方式進行。
[0117]當(dāng)進行第2接合點102上的接合處理之后，按照控制部80的指令，經(jīng)由2馬達1/？64而對2馬達20進行旋轉(zhuǎn)控制，使毛細管28稍微上升。然后，按照控制部80的指令，經(jīng)由XV平臺1/562而移動驅(qū)動XV平臺16，藉此，向斜上方抽出導(dǎo)線尾部，進而，按照控制部80的指令，經(jīng)由夾持器開閉1作68向夾持器開閉部34賦予指令從而將導(dǎo)線夾持器32關(guān)閉，于此狀態(tài)下，經(jīng)由XV平臺1/1^62而移動驅(qū)動XV平臺16，且藉此使毛細管28于XV平面內(nèi)移動。
[0118]亦即，于由導(dǎo)線夾持器32夾住導(dǎo)線30的狀態(tài)下使導(dǎo)線30在XV平面內(nèi)拉長。因是以使第2接合點102上的接合強度充分大于導(dǎo)線30的斷裂強度的方式對第2打線處理進行條件設(shè)定，故而，導(dǎo)線30于第2接合點102被切斷。
[0119]若進行用于切斷導(dǎo)線的毛細管28的移動處理，則判斷導(dǎo)線是否被切斷(316)。該處理順序是藉由控制部80執(zhí)行切斷判斷處理程序90進行。關(guān)于是否已進行導(dǎo)線切斷，是按照控制部80的指令，經(jīng)由切斷判斷電路1作70而使未連判斷電路36運作，且使控制部80收到將其結(jié)果后進行判斷。當(dāng)316中判斷為導(dǎo)線30未切斷時，視為第2接合點102存在未連且輸出異常信號(326)。即便于316中判斷為導(dǎo)線30被切斷時，若直接于第2接合點102正常地進行接合，則如圖3的說明所述，存在誤判斷的可能性。
[0120]因此，導(dǎo)線切斷的判斷的316中，若判斷為導(dǎo)線30被切斷，則繼而，關(guān)于自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部110的突出長度。進行判斷(318)。突出長度。的判斷是使用突出長度判斷電路38及突出長度檢測環(huán)40進行。突出長度。的判斷是以如下的2個階段進行:是否檢測到自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部110接觸于突出長度檢測環(huán)40的通電(320)；當(dāng)未檢測到通電時，在既定的檢查高電壓下是否檢測到放電火花(322).該等處理順序是藉由控制部80執(zhí)行突出長度判斷處理程序進行。
[0121]如此，第2接合點102上的未連判斷是經(jīng)過316、320、322該等3階段的判斷進行，若316中判斷為導(dǎo)線30被切斷、820中判斷為未檢測到通電、822判斷為未檢測到放電火花，則判斷為第2接合點102上的第2打線正常進行，導(dǎo)線30于第2接合點102正常切斷
(824)。
[0122]另一方面，當(dāng)316中判斷為導(dǎo)線30未切斷時，視為第2接合點102上導(dǎo)線30為未連且導(dǎo)線30未切斷。若316的判斷為肯定且于320中檢測到通電，則判斷為，于第2接合點102導(dǎo)線未連，導(dǎo)線30在第1接合點100與第2接合點102之間被切斷，導(dǎo)線尾部110自毛細管28的突出長度遠遠超過適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度。若320的判斷為肯定且于322中檢測到放電火花，則判斷為導(dǎo)線尾部110自毛細管28的突出長度。超過適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度。該等各情況下均輸出異常信號(326),使打線裝置10停止動作(328)0該處理順序是藉由控制部80執(zhí)行異常輸出處理程序94進行。
[0123]圖9中表示關(guān)于第2接合點102的未連判斷的3階段的判斷的情況。圖9的及(幻是表示進行第2打線處理時的毛細管28、突出長度檢測環(huán)40的配置關(guān)系的剖面圖及俯視圖。
[0124]圖9的㈦是表示于第2接合點102正常接合、導(dǎo)線30于第2接合點102正常切斷的情況的圖，且是與圖8中316的判斷為肯定時相對應(yīng)。此情形時，自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部120的突出長度為適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度，當(dāng)向?qū)Ь€夾持器32的導(dǎo)線30與突出長度檢測環(huán)40之間施加既定的檢查高電壓時，自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部120與突出長度檢測環(huán)40之間未產(chǎn)生放電火花。
[0125]圖9的⑷中，于第2接合點102，導(dǎo)線30為未連，導(dǎo)線30在第1接合點100與第2接合點102之間被切斷，自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部122的突出長度。過長。其是表示此時自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部122接觸于突出長度檢測環(huán)40、突出長度判斷電路38已進行通電檢測的圖，且與圖8中320的判斷為否定時相對應(yīng)。
[0126]圖9的(6)中，導(dǎo)線30于第2接合點102為未連，導(dǎo)線30于第1接合點100與第2接合點102之間被切斷，且自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部124的突出長度。超過預(yù)先決定的適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度。此時，當(dāng)向?qū)Ь€夾持器32的導(dǎo)線30與突出長度檢測環(huán)40之間施加既定的檢查高電壓時，在自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部124與突出長度檢測環(huán)40之間產(chǎn)生放電火花。亦即，于突出長度判斷電路38檢測到放電火花的情況下，是與圖9中的322的判斷為否定時相對應(yīng)。
[0127]圖10及圖11是表示于突出長度判斷電路38中設(shè)定為既定的檢查高電壓時，自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部與突出長度檢測環(huán)40之間的放電有無的示例的圖。既定的檢查高電壓是以如下方式設(shè)定:當(dāng)為根據(jù)自打線的第1接合點100至第2接合點102之間的導(dǎo)線長度或?qū)Ь€徑等各種設(shè)定條件所預(yù)先獲得的適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度的范圍內(nèi)的導(dǎo)線尾部的突出長度。時，不會產(chǎn)生放電火花，當(dāng)為超出適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度的突出長度。時會產(chǎn)生放電火花。
[0128]圖10是與圖9的(0)的情況相對應(yīng)，當(dāng)自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部120的突出長度。為適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度時，自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部120與突出長度檢測環(huán)40之間未產(chǎn)生放電火花。
[0129]圖11是與圖9的⑷的情況相對應(yīng)，當(dāng)自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部124的突出長度。超出與檢查高電壓對應(yīng)的適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度時，自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部124與突出長度檢測環(huán)40之間產(chǎn)生放電火花126。
[0130]藉由如此不僅使用未連判斷電路36，亦使用突出長度檢測環(huán)40及突出長度判斷電路38，從而，即便于使用毛細管28的楔形接合中采用展伸性小于金線的鋁線，亦能準(zhǔn)確地判斷第2接合點102上的未連。
[0131]上文中，若于326中輸出異常信號，則于328使打線裝置10停止動作。當(dāng)輸出異常信號時，自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部的突出長度。變得不適當(dāng)。因此，可于326與328之間進行舍棄接合處理(327)，使導(dǎo)線30的突出長度變得適宜。舍棄接合處理是藉由控制部80執(zhí)行舍棄接合程序95進行。舍棄接合處理中，也可將電路基板8的引線中具有適當(dāng)寬度的引線去除后用作接合用引線，又，于半導(dǎo)體芯片6中，只要為作為制品而言無實際損害的部分，則對進行舍棄接合的場所或位置亦無限定。以下，作為進行舍棄接合處理的示例，關(guān)于針對圖9的((1)中的導(dǎo)線尾部122使其突出長度。變得適當(dāng)?shù)那闆r進行敘述。
[0132]圖12是表示于第1打線與第2打線之間進行舍棄接合處理的圖，且是自毛細管28的側(cè)向-2方向觀察接合臺14的局部圖。此處，表示有電路基板8的5個引線7、舍棄接合中使用的引線9、及半導(dǎo)體芯片6的5個焊墊5。
[0133]此處，第1個進行的打線是藉由導(dǎo)線130將電路基板8的引線7上所設(shè)的第1接合點100、與半導(dǎo)體芯片6的焊墊5上所設(shè)的第2接合點102之間連接。第2個進行的打線是藉由導(dǎo)線136將電路基板8的引線7上所設(shè)的第1接合點132、與半導(dǎo)體芯片6的焊墊5上所設(shè)的第2接合點134之間連接。導(dǎo)線130的連接方向與導(dǎo)線136的連接方向彼此具有約70度的角度差。
[0134]引線9上所設(shè)的舍棄接合點107是位于如下位置:于第1個打線上的導(dǎo)線130的第2接合點102上，即便自毛細管28突出的導(dǎo)線尾部122的突出長度。不適當(dāng)，亦能以順利轉(zhuǎn)移至第2打線的方式，進行舍棄接合。舍棄接合是于第1打線的第2接合點102上的處理結(jié)束、而第2打線的第1接合點132上的處理開始之前進行。
[0135]亦即，于圖8中，若進行異常信號輸出處理(326)，則接著進行舍棄接合處理(827) 0該處理順序是藉由控制部80執(zhí)行舍棄接合程序95進行。舍棄接合處理是經(jīng)由XV平臺1/^62及2馬達1/^64而使毛細管28移動，且經(jīng)由夾持器開閉1/^68而使導(dǎo)線夾持器32開閉，且經(jīng)由超音波振蕩器1/^66使超音波振蕩器26運作，并且以如下方式進行。
[0136]保持導(dǎo)線尾部122自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線30，且使毛細管28移動至舍棄接合用引線9上所設(shè)的舍棄接合點107的正上方。圖13是表示毛細管28已移動至電路基板8的舍棄接合點107的正上方的圖。
[0137]然后，于將導(dǎo)線尾部122保持于前端的狀態(tài)下使毛細管28向-2方向下降，且于舍棄接合點107進行打線。亦即，按照控制部80的指令經(jīng)由超音波振蕩器1作66而使超音波振蕩器26運作，且藉由該超音波振動能量及2馬達20的驅(qū)動控制對毛細管28的按壓力、且根據(jù)需要亦藉由來自接合臺14的加熱溫度，而使導(dǎo)線尾部122與電路基板8的引線9之間相接合。圖14是表示于舍棄接合點107，導(dǎo)線尾部122與電路基板8之間相接合的圖。
[0138]若導(dǎo)線尾部122與電路基板8于舍棄接合點107接合，則然后，作為導(dǎo)線尾部動作及導(dǎo)線切割動作，于已使導(dǎo)線夾持器32關(guān)閉的狀態(tài)下使毛細管28自舍棄接合點107向正上方即+2方向上升。因是以使舍棄接合點107上的接合強度充分大于導(dǎo)線30的斷裂強度的方式對舍棄接合處理進行條件設(shè)定，故而，導(dǎo)線30于舍棄接合點107被切斷。如此，藉由毛細管28的移動處理，使得導(dǎo)線30自舍棄接合點107拉長，從而切斷導(dǎo)線30。
[0139]圖15是表示使毛細管28自圖14的狀態(tài)于XV平面方向移動既定距離移動且向+2方向即表示為22的斜上方上升，且導(dǎo)線30于舍棄接合點107處成為切斷狀態(tài)128的圖。圖15中表示殘留于舍棄接合點107的側(cè)的部分、及自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部140。
[0140]如此，即便于自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部的突出長度。不適當(dāng)且輸出異常信號時，亦藉由進行舍棄接合處理，而使自毛細管28之前端突出的導(dǎo)線尾部的突出長度。變得適當(dāng)，且成為適于下一打線處理的狀態(tài)。圖8的流程圖中，是表示為緊隨異常信號輸出后進行舍棄接合處理(327),但也可于打線裝置10停止(328)之后進行舍棄接合處理。進而，圖8的流程圖中，打線裝置10停止(328)之后便結(jié)束伍冊)，但也可直接進入下一打線處理。
[0141]本發(fā)明并不限定于上述已說明的實施型態(tài)，而是包含在不脫離請求的范圍所規(guī)定的本發(fā)明的技術(shù)范圍乃至本質(zhì)的情況下的所有的變更以及修正。
[0142]產(chǎn)業(yè)上的利用性
[0143]本發(fā)明使用毛細管，而能夠利用于進行打線的打線裝置以及打線方法。
[0144]符號的說明
[0145]5焊墊
[0146]6半導(dǎo)體芯片
[0147]7、9弓 |線
[0148]8電路基板
[0149]10打線裝置
[0150]12架臺
[0151]14接合臺
[0152]16XV 平臺
[0153]18接合頭
[0154]202 馬達
[0155]222驅(qū)動臂
[0156]24超音波轉(zhuǎn)換器
[0157]26超音波振蕩器
[0158]28毛細管
[0159]30、130、136導(dǎo)線
[0160]32導(dǎo)線夾持器
[0161]33導(dǎo)線卷軸
[0162]34夾持器開閉部
[0163]36未連判斷電路
[0164]38突出長度判斷電路
[0165]40突出長度檢測環(huán)
[0166]50窗式夾持器
[0167]60電腦
[0168]62XV 平臺 1/？
[0169]642 馬達 1/？
[0170]66超音波振蕩器1/？
[0171]68夾持器開閉1/？
[0172]70切斷判斷電路1/？
[0173]72突出長度判斷電路1/？
[0174]80控制部
[0175]82存儲器
[0176]84第1接合程序
[0177]86第2接合程序
[0178]88移動處理程序
[0179]90切斷判斷處理程序
[0180]92突出長度判斷處理程序
[0181]94異常輸出處理程序
[0182]95舍棄接合程序
[0183]96控制程序
[0184]98控制數(shù)據(jù)
[0185]100、132第 1 接合點
[0186]102、134第 2 接合點
[0187]103、104、105、128 切斷狀態(tài)
[0188]106施加電源
[0189]107舍棄接合點
[0190]108測定部
[0191]110、120、122、124、140 導(dǎo)線尾部
[0192]112檢查高電壓
[0193]114檢測部
[0194]116特性線
[0195]126放電火花
【權(quán)利要求】
1.一種打線裝置，其具備: 毛細管，其供導(dǎo)線通插； 圓環(huán)狀的導(dǎo)線突出長度檢測環(huán)，其與該毛細管同軸地配置 '及突出長度判斷部，其根據(jù)向該導(dǎo)線突出長度檢測環(huán)與該導(dǎo)線之間施加既定的檢查電壓時通電有無的檢測，而判斷自該毛細管之前端突出的該導(dǎo)線的突出長度是否適當(dāng)。
2.如權(quán)利要求1所述的打線裝置，其中， 該通電為，若向該導(dǎo)線突出長度檢測環(huán)與該導(dǎo)線之間施加既定的檢查電壓而檢測為非導(dǎo)通狀態(tài)時，向該導(dǎo)線突出長度檢測環(huán)與該導(dǎo)線之間施加既定的檢查高電壓而檢測放電火花的有無。
3.如權(quán)利要求1所述的打線裝置，其中， 該突出長度判斷部預(yù)先獲得關(guān)于該導(dǎo)線的突出長度、該檢查高電壓及該火花的有無的檢測關(guān)系，根據(jù)打線的接合條件而設(shè)定該檢查高電壓，且判斷該導(dǎo)線的突出長度是否適于該接合條件。
4.如權(quán)利要求3所述的打線裝置，其具備切斷判斷部，該切斷判斷部于第I接合點的打線后進行第2接合點的打線之后，藉由使該導(dǎo)線成為夾緊狀態(tài)且使該毛細管移動，進行將該導(dǎo)線自該第2接合點切斷的處理之后，向接合對象物與該夾緊狀態(tài)的該導(dǎo)線之間施加既定的電信號，且根據(jù)其回應(yīng)而判斷該導(dǎo)線是否被切斷； 該突出長度判斷部于該切斷判斷部判斷為該導(dǎo)線被切斷時，判斷該導(dǎo)線的突出長度是否適當(dāng)，當(dāng)該導(dǎo)線的突出長度不適當(dāng)時，不進行該第2接合點的接合，視為該導(dǎo)線于該第I接合點與該第2接合點之間被切斷，且輸出異常信號。
5.如權(quán)利要求4所述的打線裝置，其具備舍棄接合處理部，該舍棄接合處理部當(dāng)判斷為導(dǎo)線的突出長度不適當(dāng)時，使用預(yù)先決定的舍棄接合點，使導(dǎo)線的已切斷的前端部分成為適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度。
6.如權(quán)利要求4或5所述的打線裝置，其中， 該第I接合點及該第2接合點的該打線是以楔形接合方式進行。
7.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法，其具有如下步驟: 第I打線處理步驟，其系于打線的第I接合點，使用供導(dǎo)線通插的毛細管以楔形接合方式將第I接合對象物與該導(dǎo)線之間接合； 第2打線處理步驟，其系于該第I接合點的該打線之后，使該導(dǎo)線自該第I接合點以既定的導(dǎo)線長度延伸出，且于該打線的該第2接合點，將第2接合對象物與該導(dǎo)線之間接合；移動處理步驟，其是于該第2接合點的該打線之后，為了將該導(dǎo)線自該第2接合點切斷，而使該導(dǎo)線成為夾緊狀態(tài)，且使通插有該導(dǎo)線的毛細管移動； 切斷判斷處理步驟，其是于為了切斷該導(dǎo)線而使該毛細管移動后，向該第2接合對象物與該導(dǎo)線之間施加既定的電信號，且根據(jù)其回應(yīng)而判斷該導(dǎo)線是否被切斷； 突出長度判斷步驟，其是于判斷為該導(dǎo)線被切斷的情況下，根據(jù)向與該毛細管同軸地配置的圓環(huán)狀的導(dǎo)線突出長度檢測環(huán)與該導(dǎo)線之間施加既定的檢查電壓時通電有無的檢測，而判斷自該毛細管之前端突出的該導(dǎo)線的突出長度是否適當(dāng)；及 輸出處理步驟，其是當(dāng)該導(dǎo)線的突出長度不適當(dāng)時，不進行該第2接合點的接合，視為該導(dǎo)線于該第I接合點與該第2接合點之間被切斷，且輸出異常信號。
8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，其中， 該通電為，若向該導(dǎo)線突出長度檢測環(huán)與該導(dǎo)線之間施加既定的檢查電壓而檢測為非導(dǎo)通狀態(tài)時，向該導(dǎo)線突出長度檢測環(huán)與該導(dǎo)線之間施加既定的檢查高電壓且檢測放電火花的有無。
9.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體裝置的制造方法，其中， 具有舍棄接合處理步驟，該舍棄接合處理步驟是于判斷為導(dǎo)線的突出長度不適當(dāng)時，使用預(yù)先決定的舍棄接合點，使導(dǎo)線的已切斷的前端部分成為適當(dāng)?shù)耐怀鲩L度。
【文檔編號】H01L21/60GK104395995SQ201380034229
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2013年6月27日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月16日
【發(fā)明者】秋山真一, 關(guān)根直希, 中澤基樹 申請人:株式會社新川