一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，該激光器的第一種結(jié)構(gòu)包括依次安裝起來的第一激光腔反射鏡、激光增益介質(zhì)、腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡、有源光相位調(diào)制器、可調(diào)諧聲光濾波器、可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器、第二激光腔反射鏡以及激光器控制和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。由所述第一激光腔反射鏡反射后進(jìn)入所述可調(diào)諧聲光濾波器的零級(jí)光束構(gòu)成第一激光輸出光束，由所述第二激光腔反射鏡反射后進(jìn)入所述可調(diào)諧聲光濾波器的零級(jí)光束構(gòu)成第二激光輸出光束。該激光器的第二種結(jié)構(gòu)是在上述第一種結(jié)構(gòu)中增加一個(gè)法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具達(dá)到進(jìn)一步壓縮激光輸出的頻帶寬度。本發(fā)明設(shè)計(jì)合理，具有無機(jī)械移動(dòng)部件、性能穩(wěn)定可靠、成本低、尺寸小、易于安裝及生產(chǎn)等特點(diǎn)。
【專利說明】—種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于光電領(lǐng)域，尤其是一種采用了液晶光相位調(diào)制器的可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器和可調(diào)諧聲光濾波器的外腔式具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器。
【背景技術(shù)】
[0002]在外腔式寬帶可調(diào)諧激光器中，常用的調(diào)諧技術(shù)主要有以下方式:1、通過精密步進(jìn)馬達(dá)帶動(dòng)光柵的旋轉(zhuǎn)來進(jìn)行調(diào)諧的，其存在的問題體現(xiàn)在:一是為實(shí)現(xiàn)光頻率的精密調(diào)諧，對(duì)步進(jìn)馬達(dá)的步進(jìn)精度和重復(fù)性要求很高，因此制造成本比較高；二是由于采用步進(jìn)馬達(dá)，不易做到小型化；三是在惡劣工作環(huán)境下的工作穩(wěn)定性比較差，特別是抗各類機(jī)械振動(dòng)的能力比較差，因此，采用該技術(shù)的可調(diào)諧激光器只適合用于實(shí)驗(yàn)室工作環(huán)境中使用。2、利用可調(diào)諧聲光濾波器進(jìn)行調(diào)諧，其優(yōu)點(diǎn)是調(diào)諧速度快，沒有機(jī)械移動(dòng)部件，可以做到小型化，缺點(diǎn)是可調(diào)諧聲光濾波器的濾波帶寬比較寬，使得激光器的調(diào)諧精度不高，因此，單純采用這種技術(shù)的可調(diào)諧激光器很難做到精密連續(xù)可調(diào)諧，只適合用于對(duì)調(diào)諧精度和輸出帶寬不高的應(yīng)用中。3、利用光柵或激光諧振腔中的其他光學(xué)濾波器件，如光學(xué)標(biāo)準(zhǔn)具等透射光頻率隨溫度漂移的特點(diǎn)進(jìn)行調(diào)諧，其優(yōu)點(diǎn)是調(diào)諧精度高和輸出光的光譜帶寬比較窄，缺點(diǎn)是速度比較慢，特別是在要求調(diào)諧光譜范圍寬的情況下，這個(gè)缺點(diǎn)尤為明顯，例如:光學(xué)濾波器件的溫度漂移系數(shù)是0.02納米/度，要求的光頻譜范圍是20納米，溫度調(diào)節(jié)范圍是100度，這在實(shí)際應(yīng)用中是很難實(shí)現(xiàn)的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種調(diào)諧速度快、精度高、成本低、尺寸小且易于生產(chǎn)并具有雙光束輸出的寬帶可調(diào)諧激光器。
[0004]本發(fā)明解決現(xiàn)有的技術(shù)問題是采取以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，包括依次安裝起來的第一激光腔反射鏡、激光增益介質(zhì)、腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡、有源光相位調(diào)制器、可調(diào)諧聲光濾波器、可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器、第二激光腔反射鏡以及激光器控制和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)；所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器包括依次安裝起來的第一反射鏡、液晶光相位調(diào)制器和第二反射鏡，并由所述第一反射鏡和第二反射鏡構(gòu)成法布里-珀羅腔；所述激光增益介質(zhì)發(fā)出的光束經(jīng)所述腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直后以布拉格角入射到所述可調(diào)諧聲光濾波器，所產(chǎn)生的一級(jí)衍射光進(jìn)入所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器，在所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器后設(shè)置所述第二激光腔反射鏡，所述第二激光腔反射鏡的光軸與所述一級(jí)衍射光的光軸重合；由所述第一激光腔反射鏡和所述第二激光腔反射鏡構(gòu)成激光諧振腔；由所述第一激光腔反射鏡反射后進(jìn)入所述可調(diào)諧聲光濾波器產(chǎn)生的零級(jí)光束構(gòu)成第一激光輸出光束，由所述第二激光腔反射鏡反射后進(jìn)入所述可調(diào)諧聲光濾波器產(chǎn)生的零級(jí)光束構(gòu)成第二激光輸出光束。
[0005]一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，包括依次安裝起來的第一激光腔反射鏡、激光增益介質(zhì)、腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡、有源光相位調(diào)制器、可調(diào)諧聲光濾波器、可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器、法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具、第二激光腔反射鏡以及激光器控制和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)；所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器包括依次安裝起來的第一反射鏡、液晶光相位調(diào)制器和第二反射鏡，并由所述第一反射鏡和所述第二反射鏡構(gòu)成法布里-珀羅腔；由所述激光增益介質(zhì)發(fā)出的光束經(jīng)所述腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直后以布拉格角入射到所述可調(diào)諧聲光濾波器，所產(chǎn)生的一級(jí)衍射光進(jìn)入所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器，在所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器后設(shè)置所述法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具和第二激光腔反射鏡，所述第二激光腔反射鏡的光軸與所述一級(jí)衍射光的光軸重合；由所述第一激光腔反射鏡和所述第二激光腔反射鏡構(gòu)成激光諧振腔；由所述第一激光腔反射鏡反射后進(jìn)入所述可調(diào)諧聲光濾波器產(chǎn)生的零級(jí)光束構(gòu)成第一激光輸出光束，由所述第二激光腔反射鏡反射后進(jìn)入所述可調(diào)諧聲光濾波器產(chǎn)生的零級(jí)光束構(gòu)成第二激光輸出光束。
[0006]而且，所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的透射光的峰值頻率的調(diào)諧范圍大于或等于其本征自由光譜范圍。
[0007]而且，所述第一激光腔反射鏡和所述第二激光腔反射鏡均為下列幾種反射鏡之一:平面鏡，凹面鏡和凸面鏡，具有部分或100%的反射率并與所述激光增益介質(zhì)具有相同的光譜范圍。
[0008]而且，所述激光增益介質(zhì)是一種寬帶激光增益介質(zhì)。
[0009]而且，所述有源光相位調(diào)制器可以是下列幾種類型之一:電光相位調(diào)制器、聲光相位調(diào)制器、磁光相位調(diào)制器或上述幾種相位調(diào)制器的某種組合。
[0010]而且，所述可調(diào)諧聲光濾波器包括一塊聲光晶體和設(shè)置在所述聲光晶體上的一個(gè)電聲換能器。
[0011]而且，所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的第一反射鏡的外表面通光面上設(shè)置增透膜，所述的第一反射鏡的內(nèi)表面通光面上設(shè)置高反膜，所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的第二反射鏡的內(nèi)表面通光面設(shè)置高反膜，所述第二反射鏡的外表面通光面上設(shè)置增透膜；所述第二反射鏡的內(nèi)表面通光面上的高反膜與所述第一反射鏡的內(nèi)表面通光面上的高反膜具有相同的反射率。
[0012]而且，所述液晶光相位調(diào)制器包括一種向列相型液晶材料，厚度為幾微米到十幾微米，在外加電場(chǎng)的驅(qū)動(dòng)下對(duì)某一方向的線偏振光產(chǎn)生一定的光相位延遲，并具有與激光增益介質(zhì)相同的光譜范圍。
[0013]而且，所述的激光器控制和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括:一個(gè)中央控制系統(tǒng)、一個(gè)激光泵浦源、一個(gè)有源光相位調(diào)制器驅(qū)動(dòng)源、一個(gè)射頻信號(hào)源、一個(gè)可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的驅(qū)動(dòng)源；通過所述中央控制系統(tǒng)來分別實(shí)現(xiàn)對(duì)所述激光增益介質(zhì)、所述有源光相位調(diào)制器、所述可調(diào)諧聲光濾波器和所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的控制和驅(qū)動(dòng)功能，并實(shí)現(xiàn)光頻率的調(diào)諧功能。
[0014]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:
1、本激光器系統(tǒng)利用液晶對(duì)光的相位調(diào)制和在通光方向尺寸薄(約幾微米到十幾微米)的特點(diǎn)，結(jié)合傳統(tǒng)的法布里-拍羅(Fabry-Perot)標(biāo)準(zhǔn)具的技術(shù),設(shè)計(jì)了可調(diào)諧法布里-珀羅(Fabry-Perot)濾波器，并結(jié)合可調(diào)諧聲光濾波器，不僅降低了對(duì)可調(diào)諧聲光濾波器的窄的濾波帶寬到要求，而且實(shí)現(xiàn)在寬頻譜范圍內(nèi)的激光頻率的快速精密調(diào)諧，保證了大的調(diào)諧光譜范圍和窄的激光器輸出光譜。[0015]2、本激光器利用可調(diào)諧聲光濾波器在激光腔內(nèi)產(chǎn)生的兩個(gè)零級(jí)衍射光束作為激光器的兩個(gè)輸出光束，在不增加激光器腔內(nèi)零部件和不需要在輸出光路上插入分光器件的情況下，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)激光器的兩個(gè)輸出光束的調(diào)諧，兩束激光輸出可以獨(dú)立使用，也可同時(shí)使用。由于兩個(gè)輸出光束之間的光頻率的差值正好等于可調(diào)諧聲光濾波器的調(diào)制頻率，可應(yīng)用于象激光精密測(cè)量等領(lǐng)域里，有著單輸出光束激光器所沒有的突出優(yōu)點(diǎn)。
[0016]4、本發(fā)明設(shè)計(jì)合理，可實(shí)現(xiàn)在寬頻譜范圍內(nèi)光頻率調(diào)諧精度小于IGHz和窄頻譜帶寬的穩(wěn)定激光輸出，具有無機(jī)械移動(dòng)部件、性能穩(wěn)定可靠、成本低、尺寸小、易于安裝及生產(chǎn)等特點(diǎn)，可滿足對(duì)于要求尺寸小和極端工作環(huán)境下的可靠運(yùn)行，可廣泛應(yīng)用于光學(xué)測(cè)量、光纖通訊、生物、醫(yī)療器械和光纖傳感器網(wǎng)絡(luò)等領(lǐng)域中。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1給出了一種普通可調(diào)諧聲光濾波器示意圖；
圖2給出了聲光晶體中一次衍射入射光束、聲波場(chǎng)和衍射光束的波矢關(guān)系圖；
圖3給出了一種普通法布里-拍羅(Fabry-Perot)光標(biāo)準(zhǔn)具的示意圖；
圖4給出了一個(gè)液晶光相位調(diào)制器的示意圖；
圖5給出了液晶光相位調(diào)制器在外電場(chǎng)作用下光相位延遲和電場(chǎng)的關(guān)系曲線示意圖； 圖6給出了一種包含一個(gè)液晶光相位調(diào)制器的可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的示意圖； 圖7給出了可調(diào)諧聲光濾波器的衍射光譜示意圖；
圖8給出了普通法布里-拍羅(Fabry-Perot)光標(biāo)準(zhǔn)具的透射光譜示意圖；
圖9給出了可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的透射光譜示意圖；
圖10給出了本發(fā)明的第一種結(jié)構(gòu)示意圖；
圖11給出了本發(fā)明的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；
圖12給出了本發(fā)明的第一種結(jié)構(gòu)激光器的輸出光譜示意圖；
圖13給出了本發(fā)明的第二種結(jié)構(gòu)激光器的輸出光譜示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例做進(jìn)一步詳述。
[0019]可調(diào)諧聲光濾波器
圖1是一種現(xiàn)有的可調(diào)諧聲光濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖，該可調(diào)諧聲光濾波器100包括一個(gè)換能器20和一個(gè)聲光晶體30 ;由射頻信號(hào)源10連接到換能器20 ;入射光束2以布拉格角Θ B入射到聲光晶體30中，產(chǎn)生零級(jí)衍射光束3和一級(jí)衍射光束4。
聲光濾波器的工作原理是基于一種布拉格衍射的現(xiàn)象。布拉格衍射涉及了光子(光能的量子)和聲子(聲能的量子)的相互作用過程。在這個(gè)互作用的過程中，能量和動(dòng)量都是守恒的。動(dòng)量守恒要求Kd = Ki +KS，其中Kd是衍射光子的動(dòng)量，K i是入射光子的動(dòng)量，K 3是互作用的聲子的動(dòng)量，這就給出了布拉格衍射最基本的波矢等式。它表明了衍射光的波矢是入射光波矢與聲波波矢的矢量和，如圖3所示。能量守恒要求=ω + Ω，其中是衍射光的角頻率，ω是入射光的角頻率，Ω是聲波的角頻率。這表明衍射光子的角頻率被聲波的角頻率輕微改變，即光線的頻率產(chǎn)生了多普勒頻移。
[0020]根據(jù)上面的公式，COr= ω + Ω，公式表明光波頻率偏移的大小等于聲波的頻率，因?yàn)楣饩€頻率和聲波頻率相差很多個(gè)數(shù)量級(jí)，從而產(chǎn)生的偏移量很小。
[0021]圖2顯不了入射光(K J、衍射光(K d)和聲波(K s)的波矢關(guān)系。光線2 ( K 2)、光線4 ( K 4)和聲波40 (Ks)的關(guān)系是:K 2 + Ks= K 4。聲波K s不僅僅使得衍射光的方向向上偏移，光線的角頻率ω也向上偏移了 Ω = Vs I ks|，其中Vs是聲波的速度。
[0022]聲光可調(diào)諧濾波器(AOTF)是一種固態(tài)的、可采用電調(diào)諧的帶通光濾波器。與傳統(tǒng)的技術(shù)相比，AOTF提供了連續(xù)、快速的調(diào)節(jié)能力和窄的光譜帶寬。聲光濾波器有兩種類型:共線型與非共線型。其中具有高射頻頻率的非共線型和非近軸濾波器比較容易實(shí)現(xiàn)窄帶濾波，圖7給出了聲光可調(diào)諧濾波器的衍射光譜示意圖，△ V c是衍射光譜的半寬度，在這里Δ Vc定義為衍射光的峰值的頻率和衍射光為零或接近零的頻率的差值。對(duì)于衍射光頻譜為非對(duì)稱的情況，衍射光頻譜兩側(cè)的△ V C不同，則取衍射光譜的半寬度較大一側(cè)的值，一般地，取決于不同的類型和聲光作用的長度等因素，Δ VC的范圍可以做到從小于I納米到十幾納米。 [0023]在一些具體實(shí)施中，例如需要窄帶調(diào)節(jié)時(shí)，采用的聲光晶體是各向異性并有雙折射特性。其中一種物質(zhì)為二氧化碲(TeO2),由于其運(yùn)行在剪切模式時(shí)具有高光學(xué)均勻性、低光吸收度和耐高光功率能力的特點(diǎn)，廣泛使用于這類應(yīng)用中。其他物質(zhì)例如鈮酸鋰(LiNb03)、磷化鎵(GaP)和鑰酸鉛(PbMoO4)也經(jīng)常用于各種聲光器件中。影響選擇特定物質(zhì)的因素有很多，下面僅列出幾種，如:聲光器件的類型、高質(zhì)量晶體是否容易獲得以及應(yīng)用的類型和需求，例如衍射效率功率損耗、入射光與衍射光的分散度和整體器件的大小等。
[0024]法布里-拍羅(Fabry-Perot)光標(biāo)準(zhǔn)具
圖3給出了一種普通的法布里-拍羅(Fabry-Perot)光標(biāo)準(zhǔn)具的示意圖。該法布里-珀羅光標(biāo)準(zhǔn)具44的材料一般在近紅外和可見光波段采用象融石英或BK7這樣的光學(xué)玻璃，假設(shè)材料的折射率為n，兩個(gè)通光面42和43都鍍高反射膜，假設(shè)反射率為R，厚度為h，光以接近零度的入射角入射，則光標(biāo)準(zhǔn)具44的自由光譜范圍FSR1可以表示為:Δ λ = λ2/ (2nh),或用頻率表示:Δ v=c/ (2nh)，其中c是光速。透射光的峰值頻率可以表示為:v=mc/(2nh)，其中m是干涉級(jí)次，透射光的頻譜帶寬可以表示為:Λ Ve1 (FffHM)=c (1-R) /(2 31 nhR1/2)，其中 c 是光速。
[0025]從上述兩個(gè)公式可以看出，光標(biāo)準(zhǔn)具44的自由光譜范圍FSR1與厚度為h成反比。假設(shè)材料的折射率為n=l.5，要實(shí)現(xiàn)FSR1=IOOGHz,厚度h~I毫米。FSR1要求越大，厚度就越小。在標(biāo)準(zhǔn)具的材料和厚度確定后，透射光的頻譜帶寬主要和反射率R有關(guān)，反射率越高，頻譜帶寬或銳度(finesse)越小。法布里-拍羅(Fabry-Perot)光標(biāo)準(zhǔn)具的透射光譜的特點(diǎn)是每個(gè)透射譜的帶寬非常窄，輸出光譜的頻率間隔相等并且光頻帶寬度非常寬，如圖8所示。
[0026]一般情況下，對(duì)于光纖通訊用的激光器，要求有很窄的輸出頻譜帶寬，也相應(yīng)地要求采用高銳度系數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)具。
[0027]液晶光相位調(diào)制器
一般用作光電器件的液晶材料具有高的電阻率。因此，可以被認(rèn)為是理想的電介質(zhì)材料。由于構(gòu)成分子的有序的取向和拉伸延長的形態(tài)，液晶具有各向異性的電介質(zhì)特性和單軸對(duì)稱性，就象一個(gè)單軸晶體一樣，其光軸的方向與分子的排列取向一致。當(dāng)液晶分子在外界電場(chǎng)的作用下，會(huì)形成電偶極子。在電偶極子所形成的力矩作用下，使得液晶分子的取向轉(zhuǎn)向電場(chǎng)的方向，可以通過改變電場(chǎng)的強(qiáng)弱，改變液晶的光軸的方向，從而改變對(duì)某一特定方向入射的線偏振光的相位。因此，可以利用液晶的這一特性，制作光相位調(diào)制器，可調(diào)諧濾波器，或其他光電器件，如光開關(guān)和光強(qiáng)調(diào)制器等。圖4給出了一種液晶光相位調(diào)制器24的示意圖。液晶光相位調(diào)制器24包括依次安裝起來的透明材料薄片60、液晶23、透明材料薄片64，在透明材料薄片60的內(nèi)表面62上鍍電極和隔離層，在透明材料薄片64的內(nèi)表面66上鍍電極和隔離層，驅(qū)動(dòng)源22連接到兩個(gè)電極上。一般用作相位調(diào)制器件的液晶的厚度約為幾微米至十幾微米。圖5顯示的是一個(gè)液晶光相位調(diào)制器24在IOKHz方波電壓的驅(qū)動(dòng)下，對(duì)光波長為1550納米的光波相位變化的關(guān)系，最大可實(shí)現(xiàn)約2 π的光相位延遲。
[0028]可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器 圖6是一種采用液晶光相位調(diào)制器24而設(shè)計(jì)的可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200?？烧{(diào)諧法布里-珀羅濾波器200包括反射鏡16和26以及放置在反射鏡16和26之間的液晶光相位調(diào)制器24，在反射鏡16和26的外表面18和29上鍍?cè)鐾改?，在?nèi)表面21和28上鍍反射率為R的高反射多層電介質(zhì)膜層，在并由該兩高反射膜層形成法布里-珀羅(Fabry-Perot)腔。由于液晶的厚度很小(約幾至十幾微米)，因此，可以制作本征自由光譜范圍較大的(在無外加電場(chǎng)時(shí)，可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的自由光譜范圍)法布里-珀羅濾波器。利用外加電場(chǎng)改變法布里-珀羅(Fabry-Perot)腔內(nèi)液晶的有效折射率，來調(diào)節(jié)法布里-珀羅濾波器的透射光的光頻率V和自由光譜范圍(FSR)。
[0029]如圖6所示，入射到可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的光束15是一束沿z方向傳播，偏振軸為X方向的線偏振光，假設(shè)法布里-珀羅腔的長度為D，腔內(nèi)材料的折射率為n，則濾波器200的自由光譜范圍FSR2、透射光頻率和透射光的頻譜帶寬可分別表示為:
Δ λ = λ2/(2η?+ ),或用頻率表示:Λ v=c/(2nD+r),其中c是光速，R代表由液晶光相位調(diào)制器24在外加電場(chǎng)作用下對(duì)入射光所產(chǎn)生的附加光程；透射光的峰值頻率可以表示為:v=mc/(2nD+r)，其中m是干涉級(jí)次；透射光的頻譜帶寬(FWHM)可以表示為:Δ vt=c (1-R)/((2 JinD+31 r)RV2)j*c是光速。圖9給出了可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的透射光譜示意圖。
[0030]根據(jù)上述公式和實(shí)驗(yàn)證明，可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200對(duì)于接近零度入射的線偏振光可以實(shí)現(xiàn)大于本征自由光譜范圍FSR2的透射光頻率的調(diào)諧范圍，精度可達(dá)小于IGHz0相比較而言，對(duì)自由光譜范圍FSR2和透射光的頻帶寬帶Λ vt的改變要小的多，因此，可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200在外加電場(chǎng)的作用下，可以實(shí)現(xiàn)的透射光峰值頻率的調(diào)諧范圍大于其本征自由光譜范圍，而基本不改變透射光的頻譜帶寬和自由光譜范圍。這個(gè)特性對(duì)于將可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200在本發(fā)明中的應(yīng)用具有重要意義。
[0031]通常情況下，液晶光相位調(diào)制器24的構(gòu)成是將液晶材料放置在兩片透明光學(xué)材料構(gòu)成的腔中，因此，所述兩片透明光學(xué)材料60和64的厚度直接影響可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的法布里-珀羅腔的長度D，也就影響所能實(shí)現(xiàn)的自由光譜范圍，自由光譜范圍越大，要求法布里-珀羅腔的長度越短，也就要求兩片透明光學(xué)材料60和64的厚度越小。假設(shè)上述兩片透明光學(xué)材料的厚度為0.5毫米，折射率為1.5，液晶的厚度為10微米，可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200能夠?qū)崿F(xiàn)的最大本征自由光譜范圍約為100GHz。要實(shí)現(xiàn)更大的自由光譜范圍，需要降低上述兩片透明光學(xué)材料60和64的厚度，這為制作液晶光相位調(diào)制器24帶來了困難。為了克服這個(gè)制作困難，一個(gè)方法是在兩片透明光學(xué)材料60和64的其中一片的內(nèi)表面鍍高反射膜，由該高反射膜與反射鏡16或26的高反射膜構(gòu)成可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的法布里-珀羅腔，這樣可以大大縮短法布里-珀羅腔的長度，增加自由光譜范圍。例如:透明光學(xué)材料60的內(nèi)表面可以先設(shè)置反射率為R的高反膜層，再設(shè)置電極和隔離層等，則該高反膜層與反射鏡26上的高反膜構(gòu)成法布里-珀羅腔，從而，不僅可以省去反射鏡16，而且可以大大縮短法布里-珀羅腔的長度。同樣的方法，也可以在透明光學(xué)材料64和60的內(nèi)表面各設(shè)置一層高反膜，使其形成法布里-珀羅腔，這樣可以省去兩個(gè)反射鏡16和26，由于液晶層的厚度非常薄，這種結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)非常大的自由光譜范圍的可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器，但使用這種方法，實(shí)際制作難度很大。
[0032]另外，在制作可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200時(shí)，由于需要將液晶光相位調(diào)制器24放置在由反射鏡16和26構(gòu)成的法布里-珀羅腔內(nèi)，為制作可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200，帶來一定的難度，特別是要求高銳度系數(shù)的情況，由于透過反射鏡16和26的光強(qiáng)比較弱，制作這樣的濾波器難度更大。因此，降低可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的銳度系數(shù)，可以降低其制作難度。
[0033]下面對(duì)本發(fā)明的具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器的結(jié)構(gòu)和工作原理進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0034]圖10給出了一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，該可調(diào)諧激光器300使用了可調(diào)諧聲光濾波器I Q Q和可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200，其具體結(jié)構(gòu)為:包括第一激光腔反射鏡45，(如果激光增益介質(zhì)為半導(dǎo)體材料，該反射鏡可由直接鍍?cè)诩す庠鲆娼橘|(zhì)4 6上的反射膜形成)、激光增益介質(zhì)4 6、腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡4 8、有源光相位調(diào)制器8、可調(diào)諧聲光濾波器100、可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200和第二激光腔反射鏡5 O，其中，第一激光腔反射鏡45和第二激光腔反射鏡5 O構(gòu)成了激光諧振腔?？烧{(diào)諧法布里-珀羅濾波器200設(shè)置在可調(diào)諧聲光濾波器I O O的一級(jí)衍射光束的光軸方向上，第二激光腔反射鏡設(shè)置在可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器后面，其光軸與調(diào)諧聲光濾波器I Q Q的一級(jí)衍射光束的光軸方向相同?？烧{(diào)諧激光器300還包括一個(gè)激光器控制和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),該系統(tǒng)包括:一個(gè)中央控制系統(tǒng)、一個(gè)激光泵浦源、一個(gè)有源光相位調(diào)制器驅(qū)動(dòng)源、一個(gè)射頻信號(hào)源、一個(gè)可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的驅(qū)動(dòng)源；通過所述中央控制系統(tǒng)來分別實(shí)現(xiàn)對(duì)所述激光增益介質(zhì)、所述有源光相位調(diào)制器、所述可調(diào)諧聲光濾波器和所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的控制和驅(qū)動(dòng)功能。
[0035]激光腔反射鏡通常對(duì)不同波長或顏色光的反射率不同，這里提到的反射率是與激光器運(yùn)行的頻譜帶寬相對(duì)應(yīng)的反射率。激光腔反射鏡45和5 O可以根據(jù)不同的情況，采用全反鏡，或部分反射鏡。如果激光增益介質(zhì)是半導(dǎo)體增益介質(zhì)時(shí)，由于一般都有比較大的輸出發(fā)散角，因此，腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡4 8—般是針對(duì)激光增益介質(zhì)是半導(dǎo)體增益介質(zhì)時(shí)使用。當(dāng)激光增益介質(zhì)是氣體，液體或有些固體介質(zhì)時(shí)，一般不用腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡，而是采用非平面腔鏡以實(shí)現(xiàn)腔內(nèi)光束的合理分布。
[0036]腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡4 8不僅可以將激光增益介質(zhì)4 6發(fā)出的光起到準(zhǔn)直作用，同時(shí)也是激光器輸出光束的準(zhǔn)直透鏡。用于光纖通訊中的這類激光器，需要將輸出光束4藕合到光纖中，準(zhǔn)直透鏡4 8是必不可少的。
[0037]在可調(diào)諧激光器300中，由激光增益介質(zhì)4 6發(fā)出的寬帶熒光光束4 7經(jīng)腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡4 8準(zhǔn)直后的光束2透過有源光相位調(diào)制器8，以布拉格角θ B進(jìn)入可調(diào)諧聲光濾波器I O O的聲光晶體30，其一級(jí)衍射光4透過可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200后由第二激光腔反射鏡5 O反射回激光腔內(nèi)，在激光腔內(nèi)形成激光振蕩和放大。在這個(gè)過程中，產(chǎn)生的兩個(gè)零級(jí)衍射光束3和7作為激光器3 O O的兩個(gè)輸出光束，根據(jù)上面的分析，輸出光束7的光頻率和輸出光束3的光頻率不同，其差值等于可調(diào)諧聲光濾波器I O O的聲波調(diào)制頻率。
[0038]通過改變射頻信號(hào)源10的射頻頻率，可改變激光腔內(nèi)的衍射光的頻率；通過有源光相位調(diào)制器8調(diào)節(jié)腔內(nèi)光束的相位使得某一個(gè)特定頻率的光在激光腔內(nèi)產(chǎn)生激光振蕩和放大。在可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200無外加電場(chǎng)作用時(shí)，這時(shí)的濾波器200相當(dāng)于一個(gè)法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具，可調(diào)諧激光器300輸出的光頻率受濾波器200的本征透射光譜的限制，即可調(diào)諧激光器300的輸出只能調(diào)諧在可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的本征透射光譜的其中一個(gè)透射光譜。通過調(diào)節(jié)信號(hào)源2 2改變可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的外加電場(chǎng)，可以調(diào)諧濾波器200的透射光譜和調(diào)諧激光器300的輸出光譜。由于有源光相位調(diào)制器8，可調(diào)諧聲光濾波器I O O和可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200均具有很寬的光頻譜范圍，因此，可調(diào)諧激光器300就能夠?qū)崿F(xiàn)在寬頻譜范圍內(nèi)的精密連續(xù)可調(diào)諧。
[0039]同時(shí)，可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200也決定了激光器輸出光的頻譜寬度。采用高銳度系數(shù)的法布里-珀羅濾波器能起到壓縮輸出光束的頻譜帶寬和提高邊模抑制比。圖12給出了可調(diào)諧激光器300的輸出光譜示意圖，輸出光譜的帶寬(FWHM) Δ vpl取決于可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的透射光譜帶寬Λ vt，Λ vt越小，Λ vpl就越小。
[0040]為了提高可調(diào)諧激光器300的可調(diào)諧單模輸出的穩(wěn)定性，應(yīng)使得可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的自由光譜范圍大于可調(diào)諧激光器300的本征諧振光譜的帶寬(FWHM)Δ VL0 Δ vL定義為可調(diào)諧激光器300在沒有可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200時(shí)的激光諧振光譜的帶寬(FWHM)，該激光諧振光譜帶寬△ vL受可調(diào)諧聲光濾波器I O O衍射光譜的帶寬Λ vc的限制，Λ V c越小，Λ vL也越小。由于可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200在調(diào)諧過程中，基本不改變自由光譜范圍，使得在可調(diào)諧激光器300的調(diào)諧過程中，能夠繼續(xù)維持穩(wěn)定單模運(yùn)行。`
[0041]對(duì)于可調(diào)諧激光器300在光纖通訊的應(yīng)用，如IOOGHz的DWDM系統(tǒng)中，要求可調(diào)諧激光器300的輸出滿足ITU (國際通訊標(biāo)準(zhǔn))IOOGHz的光頻率要求(ITU Grid)，因此，也就要求可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的透射光譜滿足國際電訊聯(lián)盟(ITU)標(biāo)準(zhǔn)。如前面的分析，在這樣的應(yīng)用中，假設(shè)可調(diào)諧激光器300的本征諧振光譜的帶寬△ vL小于或等于200GHz,因此，如果可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的本征自由光譜范圍設(shè)置為250GHz時(shí)，就滿足上面提到的對(duì)激光器300輸出穩(wěn)定性的要求，則法布里-珀羅腔的長度D約等于0.4毫米，真如前面分析的，這是可能做到的。在有外加電場(chǎng)作用時(shí)，可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200可以實(shí)現(xiàn)大于250GHz的透射光的頻譜的精密頻率調(diào)諧，因此，可實(shí)現(xiàn)在兩個(gè)IOOGHzITU grid光頻率的之間的精密和連續(xù)調(diào)諧。一般可以做到間隔小于IGHz的光頻率精密調(diào)諧。同樣，對(duì)于如25GHz或50GHz的光纖通訊應(yīng)用，可調(diào)諧激光器300同樣也可以滿足要求。目前，在光纖通訊中，常用的C頻率帶(約1530納米-1570納米)或L頻率帶(約1570納米-1610納米)的光頻譜寬帶約為40納米，可調(diào)諧激光器300完全可以實(shí)現(xiàn)在C頻率帶和/或L頻率帶范圍內(nèi)的精密調(diào)諧。由于在50GHz或100GHz DWDM的光纖通訊的應(yīng)用中往往只要求可調(diào)諧激光器300的輸出滿足ITU IOOGHz的光頻率要求，并不需要連續(xù)調(diào)諧，因此，可以采用另一種可調(diào)諧激光器400結(jié)構(gòu)來滿足這種要求。
[0042]圖11給出了本發(fā)明的一種可調(diào)諧激光器400的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0043]可調(diào)諧激光器400是在可調(diào)諧激光器300中增加了一個(gè)法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具52，該標(biāo)準(zhǔn)具52的透射光譜滿足光纖通訊ITU的要求，因此可調(diào)諧激光器系統(tǒng)400的輸出只能調(diào)諧到ITU的頻率(Grid)上。圖13給出了包含一個(gè)法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具52的可調(diào)諧激光器系統(tǒng)400的輸出光譜示意圖。假設(shè)法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具52的銳度系數(shù)大于法布里-珀羅濾波器200的銳度系數(shù)，那么，可調(diào)諧激光器系統(tǒng)400輸出光譜的帶寬Λ νρ2取決于法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具52的透射光譜帶寬(假設(shè)為Λ ve2), Δ ve2越小，則Δ νΡ2越小。由于法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具52比可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200更容易做到高的銳度系數(shù)，因此，這樣的好處是:1.可以易于壓縮可調(diào)諧激光器系統(tǒng)400輸出光的光譜寬度，2.可以降低可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器200的銳度系數(shù)，使得其更容易制作。
[0044]需要強(qiáng)調(diào)的是，上述說明僅起演示和描述的作用，并不是一個(gè)詳細(xì)無遺漏的說明，也沒有意圖將本發(fā)明限制在所描述的具體形式上。經(jīng)過上面的描述，對(duì)本發(fā)明的許多改動(dòng)和變化都可能出現(xiàn)。所選擇的具體實(shí)施僅僅是為了更好的解釋本發(fā)明的原理和實(shí)際中的應(yīng)用。這個(gè)說明能夠使熟悉此領(lǐng)域的人可以更好的利用本發(fā)明，根據(jù)實(shí)際需要設(shè)計(jì)不同的具體實(shí)施和進(jìn)行相應(yīng)的改動(dòng)。
【權(quán)利要求】
1.一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，包括依次安裝起來的第一激光腔反射鏡、激光增益介質(zhì)、腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡、有源光相位調(diào)制器、可調(diào)諧聲光濾波器、可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器、第二激光腔反射鏡以及激光器控制和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)；所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器包括依次安裝起來的第一反射鏡、液晶光相位調(diào)制器和第二反射鏡，并由所述第一反射鏡和第二反射鏡構(gòu)成法布里-珀羅腔；所述激光增益介質(zhì)發(fā)出的光束經(jīng)所述腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直后以布拉格角入射到所述可調(diào)諧聲光濾波器，所產(chǎn)生的一級(jí)衍射光進(jìn)入所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器，在所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器后設(shè)置所述第二激光腔反射鏡，所述第二激光腔反射鏡的光軸與所述一級(jí)衍射光的光軸重合；由所述第一激光腔反射鏡和所述第二激光腔反射鏡構(gòu)成激光諧振腔；由所述第一激光腔反射鏡反射后進(jìn)入所述可調(diào)諧聲光濾波器產(chǎn)生的零級(jí)光束構(gòu)成第一激光輸出光束，由所述第二激光腔反射鏡反射后進(jìn)入所述可調(diào)諧聲光濾波器產(chǎn)生的零級(jí)光束構(gòu)成第二激光輸出光束。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的透射光的峰值頻率的調(diào)諧范圍大于或等于其本征自由光譜范圍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述第一激光腔反射鏡和所述第二激光腔反射鏡均為下列幾種反射鏡之一:平面鏡，凹面鏡和凸面鏡，具有部分或100%的反射率并與所述激光增益介質(zhì)具有相同的光譜范圍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述激光增益介質(zhì)是一種寬帶激光增益介質(zhì)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述有源光相位調(diào)制器可以是下列幾種類型之一:電光相位調(diào)制器、聲光相位調(diào)制器、磁光相位調(diào)制器或上述幾種相位調(diào)制器 某種組合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述可調(diào)諧聲光濾波器包括一塊聲光晶體和設(shè)置在所述聲光晶體上的一個(gè)電聲換能器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的第一反射鏡的外表面通光面上設(shè)置增透膜，所述的第一反射鏡的內(nèi)表面通光面上設(shè)置高反膜，所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的第二反射鏡的內(nèi)表面通光面設(shè)置高反膜，所述第二反射鏡的外表面通光面上設(shè)置增透膜；所述第二反射鏡的內(nèi)表面通光面上的高反膜與所述第一反射鏡的內(nèi)表面通光面上的高反膜具有相同的反射率。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述液晶光相位調(diào)制器包括一種向列相型液晶材料，厚度為幾微米到十幾微米，在外加電場(chǎng)的驅(qū)動(dòng)下對(duì)某一方向的線偏振光產(chǎn)生一定的光相位延遲，并具有與激光增益介質(zhì)相同的光譜范圍。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述的激光器控制和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括:一個(gè)中央控制系統(tǒng)、一個(gè)激光泵浦源、一個(gè)有源光相位調(diào)制器驅(qū)動(dòng)源、一個(gè)射頻信號(hào)源、一個(gè)可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的驅(qū)動(dòng)源；通過所述中央控制系統(tǒng)來分別實(shí)現(xiàn)對(duì)所述激光增益介質(zhì)、所述有源光相位調(diào)制器、所述可調(diào)諧聲光濾波器和所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的控制和驅(qū)動(dòng)功能，并實(shí)現(xiàn)光頻率的調(diào)諧功能。
10.一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，包括依次安裝起來的第一激光腔反射鏡、激光增益介質(zhì)、腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡、有源光相位調(diào)制器、可調(diào)諧聲光濾波器、可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器、法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具、第二激光腔反射鏡以及激光器控制和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)；所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器包括依次安裝起來的第一反射鏡、液晶光相位調(diào)制器和第二反射鏡，并由所述第一反射鏡和所述第二反射鏡構(gòu)成法布里-珀羅腔；由所述激光增益介質(zhì)發(fā)出的光束經(jīng)所述腔內(nèi)準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直后以布拉格角入射到所述可調(diào)諧聲光濾波器，所產(chǎn)生的一級(jí)衍射光進(jìn)入所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器，在所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器后設(shè)置所述法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具和第二激光腔反射鏡，所述第二激光腔反射鏡的光軸與所述一級(jí)衍射光的光軸重合；由所述第一激光腔反射鏡和所述第二激光腔反射鏡構(gòu)成激光諧振腔；由所述第一激光腔反射鏡反射后進(jìn)入所述可調(diào)諧聲光濾波器產(chǎn)生的零級(jí)光束構(gòu)成第一激光輸出光束，由所述第二激光腔反射鏡反射后進(jìn)入所述可調(diào)諧聲光濾波器產(chǎn)生的零級(jí)光束構(gòu)成第二激光輸出光束。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的透射光的峰值頻率的調(diào)諧范圍大于或等于其本征自由光譜范圍。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述第一激光腔反射鏡和所述第二激光腔反射鏡均為下列幾種反射鏡之一:平面鏡，凹面鏡和凸面鏡，具有部分或100%的反射率并與所述激光增益介質(zhì)具有相同的光譜范圍。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述激光增益介質(zhì)是一種寬帶激光增益介質(zhì)。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述有源光相位調(diào)制器可以是下列幾種類型之一:電光相位調(diào)制器、聲光相位調(diào)制器、磁光相位調(diào)制器或上述幾種相位調(diào)制器的某種組合。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述可調(diào)諧聲光濾波器包括一塊聲光晶體和設(shè)置在所述聲光晶體上的一個(gè)電聲換能器。
16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的第一反射鏡的外表面通光面上設(shè)置增透膜，所述的第一反射鏡的內(nèi)表面通光面上設(shè)置高反膜，所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的第二反射鏡的內(nèi)表面通光面設(shè)置高反膜，所述第二反射鏡的外表面通光面上設(shè)置增透膜；所述第二反射鏡的內(nèi)表面通光面上的高反膜與所述第一反射鏡的內(nèi)表面通光面上的高反膜具有相同的反射率。
17.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述液晶光相位調(diào)制器包括一種向列相型液晶材料，厚度為幾微米到十幾微米，在外加電場(chǎng)的驅(qū)動(dòng)下對(duì)某一方向的線偏振光產(chǎn)生一定的光相位延遲，并具有與激光增益介質(zhì)相同的光譜范圍。
18.根據(jù)權(quán)利要求10至17任一項(xiàng)所述的一種具有雙輸出光束的可調(diào)諧激光器，其特征在于:所述的激光器控制和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括:一個(gè)中央控制系統(tǒng)、一個(gè)激光泵浦源、一個(gè)有源光相位調(diào)制器驅(qū)動(dòng)源、一個(gè)射頻信號(hào)源、一個(gè)可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的驅(qū)動(dòng)源；通過所述中央控制系統(tǒng)來分別實(shí)現(xiàn)對(duì)所述激光增益介質(zhì)、所述有源光相位調(diào)制器、所述可調(diào)諧聲光濾波器和所述可調(diào)諧法布里-珀羅濾波器的控制和驅(qū)動(dòng)功能，并實(shí)現(xiàn)光頻率的調(diào)諧功倉泛。
【文檔編號(hào)】H01S3/08GK103762487SQ201410002580
【公開日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2014年1月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月4日
【發(fā)明者】高培良 申請(qǐng)人:天津奇譜光電技術(shù)有限公司