用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法
【專利摘要】一種用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法包括：通過(guò)掩模在測(cè)驗(yàn)基板上形成有機(jī)圖案；通過(guò)拍攝測(cè)驗(yàn)基板的預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域獲取測(cè)驗(yàn)圖像；以及檢查顯示到測(cè)驗(yàn)圖像的有機(jī)圖案的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣。
【專利說(shuō)明】用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本公開(kāi)的技術(shù)總體涉及用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法。

【背景技術(shù)】
[0002]顯示裝置是一種用于顯示圖像的裝置，并且最近，有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器備受:關(guān)注。
[0003]有機(jī)發(fā)光二極管顯示器具有自發(fā)光型特征，并且不同于液晶顯示裝置，因?yàn)樵擄@示器無(wú)需額外的光源，所以還降低了厚度和重量。另外，有機(jī)發(fā)光二極管顯示器呈現(xiàn)如低電耗、聞売度以及快速的響應(yīng)速度等的聞品質(zhì)特征。
[0004]公開(kāi)于本【背景技術(shù)】部分的上述信息僅僅用于增加所描述技術(shù)的【背景技術(shù)】的理解并且因此可以包含本國(guó)的本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的但未形成現(xiàn)有技術(shù)的信息。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]所描述的技術(shù)旨在提供用于簡(jiǎn)單地測(cè)驗(yàn)通過(guò)掩模沉積在基板上的有機(jī)圖案的方法。
[0006]一個(gè)示例性實(shí)施方式提供用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法包括:通過(guò)掩模在測(cè)驗(yàn)基板上形成有機(jī)圖案，其中，所形成的有機(jī)圖案被顯示到所述測(cè)驗(yàn)圖像；通過(guò)拍攝測(cè)驗(yàn)基板的預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域獲取測(cè)驗(yàn)圖像；以及檢查顯示到測(cè)驗(yàn)圖像的有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示在所述測(cè)驗(yàn)圖像中的虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣。
[0007]測(cè)驗(yàn)基板的預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域包括:圖案區(qū)域，其中第一像素圖案、第二像素圖案和第三像素圖案彼此相鄰；以及非圖案區(qū)域，與圖案區(qū)域相鄰，并且通過(guò)拍攝包括圖案區(qū)域和非圖案區(qū)域的測(cè)驗(yàn)區(qū)域可以執(zhí)行測(cè)驗(yàn)圖像的獲取。
[0008]通過(guò)掩模在測(cè)驗(yàn)基板上形成有機(jī)圖案的步驟包括:通過(guò)第一掩模在測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)第一有機(jī)圖案以覆蓋圖案區(qū)域的第一像素圖案以及非圖案區(qū)域的第一部分；通過(guò)第二掩模在測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)第二有機(jī)圖案以覆蓋圖案區(qū)域的第二像素圖案以及非圖案區(qū)域的第二部分；以及通過(guò)第三掩模在測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)第三有機(jī)圖案以覆蓋圖案區(qū)域的第三像素圖案以及非圖案區(qū)域的第三部分。
[0009]檢查顯示到測(cè)驗(yàn)圖像的有機(jī)圖案的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣的步驟包括:檢查第一有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示到非圖案區(qū)域的第一部分的虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖的邊緣；檢查第二有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示到非圖案區(qū)域的第二部分的虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖的邊緣；以及檢查第三有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示到非圖案區(qū)域的第三部分的虛擬虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖的邊緣。
[0010]虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖、虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖和虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖沿著第一方向的深度分別與第一像素圖案、第二像素圖案和第三像素圖案沿著第一方向的深度對(duì)應(yīng)。
[0011]通過(guò)在虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖與第一像素圖案之間的第二有機(jī)圖案，虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖可以從第一像素圖案分離；通過(guò)在虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖與第二像素圖案之間的第一有機(jī)圖案，虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖可以從第二像素圖案分離；以及通過(guò)在虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖與第三像素圖案之間的第二有機(jī)圖案，虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖可以從第三像素圖案分離。
[0012]虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖、虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖和虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖分別具有不同尺寸的圖形。
[0013]虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖可以被提供在相鄰的第一像素圖案之間；虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖可以被提供在相鄰的第二像素圖案之間；以及虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖可以被提供在相鄰的第三像素圖案之間。
[0014]虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖、虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖和虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖分別具有相同尺寸的圖形。
[0015]第二有機(jī)圖案沿著第一方向進(jìn)行延伸并且沿著與第一方向交叉的第二方向彼此分離，通過(guò)在第一有機(jī)圖案與第三有機(jī)圖案之間的第二有機(jī)圖案，第一有機(jī)圖案沿著第二方向從第三有機(jī)圖案分離，并且第三有機(jī)圖案沿著第一方向與第一有機(jī)圖案相鄰。檢查顯示到測(cè)驗(yàn)圖像的有機(jī)圖案的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣的步驟包括:檢查第一像素圖案的各個(gè)邊緣是否可以被提供在沿著第二方向布置的兩個(gè)虛擬第一像素圖內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第四測(cè)驗(yàn)圖的第一邊緣和第二邊緣是否超出覆蓋第二像素圖案的第二有機(jī)圖案的邊緣和覆蓋第二部分的第二有機(jī)圖案的邊緣，其中，虛擬第四測(cè)驗(yàn)圖具有沿著第一方向從第一像素圖分離并且沿著第二方向延伸的中心區(qū)域；檢查第二像素圖案的各個(gè)邊緣是否可以被提供在沿著第二方向布置的兩個(gè)虛擬第二像素圖內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第五測(cè)驗(yàn)圖的第一邊緣和第二邊緣是否超出覆蓋第三像素圖案的第三有機(jī)圖案的邊緣和覆蓋第一部分的第一有機(jī)圖案的邊緣，其中，虛擬第五測(cè)驗(yàn)圖具有沿著第一方向從第二像素圖分離并且沿著第二方向延伸的中心區(qū)域；以及檢查第三像素圖案的各個(gè)邊緣是否可以被提供在沿著第二方向布置的兩個(gè)虛擬第三像素圖內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第六測(cè)驗(yàn)圖的第一邊緣和第二邊緣是否超出覆蓋第二像素圖案的第二有機(jī)圖案的邊緣和覆蓋第二部分的第二有機(jī)圖案的邊緣，其中，虛擬第六測(cè)驗(yàn)圖具有沿著第一方向從第三像素圖分離并且沿著第二方向延伸的中心區(qū)域。
[0016]通過(guò)第一有機(jī)圖案之間的第三有機(jī)圖案，第一有機(jī)圖案沿著第一方向彼此分離，并且檢查顯示到測(cè)驗(yàn)圖像的有機(jī)圖案的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣的步驟還包括:檢查第一像素圖案的各個(gè)邊緣是否可以被提供在沿著第一方向布置的兩個(gè)虛擬第四像素圖內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第七測(cè)驗(yàn)圖的第一邊緣和第二邊緣是否超出通過(guò)在兩個(gè)第一有機(jī)圖案之間的第三有機(jī)圖案而被分離的兩個(gè)第一有機(jī)圖案的邊緣，其中，虛擬第七測(cè)驗(yàn)圖具有沿著第二方向從第四象素圖像分離并且沿著第一方向延伸的中心區(qū)域；以及檢查第三像素圖案的各個(gè)邊緣是否可以被提供在沿著第一方向布置的兩個(gè)虛擬第五像素圖內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第八測(cè)驗(yàn)圖的第一邊緣和第二邊緣是否超出通過(guò)在兩個(gè)第三有機(jī)圖案之間的第一有機(jī)圖案而被分離的兩個(gè)第三有機(jī)圖案的邊緣，其中，虛擬第八測(cè)驗(yàn)圖具有沿著第二方向從第五像素圖分離并且沿著第一方向延伸的中心區(qū)域。
[0017]根據(jù)實(shí)施方式，提供用于容易地測(cè)驗(yàn)通過(guò)掩模沉積在基板上的有機(jī)圖案的方法。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]通過(guò)參照結(jié)合附圖考慮的以下詳細(xì)描述，本發(fā)明的更完整的理解以及許多本發(fā)明的所伴隨的優(yōu)點(diǎn)將變得顯而易見(jiàn)且更好理解，其中相似的附圖標(biāo)記指示相同或相似的構(gòu)件，在附圖中:
[0019]圖1示出根據(jù)第一示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法的流程圖。
[0020]圖2至圖5示出根據(jù)第一示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法。
[0021]圖6示出根據(jù)第二示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法。
[0022]圖7和圖8示出根據(jù)第三示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法。

【具體實(shí)施方式】
[0023]在下文中，將參照附圖更加完整地描述示例性實(shí)施方式。然而，本發(fā)明的概念可以以多種不同形式實(shí)現(xiàn)并且不應(yīng)當(dāng)被解釋為限制于本文中所記載的示例性實(shí)施方式。在附圖中，為了清晰起見(jiàn)，層和區(qū)域的尺寸和相對(duì)尺寸可以被夸大。
[0024]應(yīng)當(dāng)理解，當(dāng)元件或?qū)颖环Q為在其他元件或?qū)印吧稀?、“連接到”或“耦合到”其他元件或?qū)訒r(shí)，其可以為直接在其他元件或?qū)由?、直接連接到或耦合到其他元件或?qū)?，或者可以存在中間元件或?qū)印Ｏ喾?，?dāng)元件被稱為“直接”在其他元件或?qū)印吧稀?、“直接連接到”或“直接耦合到”其他元件或?qū)訒r(shí)，不存在中間元件或?qū)?。貫穿全文，相同或相似的附圖標(biāo)記表示相同或相似元件。如本文中使用，用語(yǔ)“和/或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)所列項(xiàng)目的任意和所有組合。
[0025]應(yīng)當(dāng)理解，雖然用語(yǔ)第一、第二、第三等被用于本文中以描述多種元件、構(gòu)件、區(qū)域、層、圖案和/或部分，但是這些元件、構(gòu)件、區(qū)域、層、圖案和/或部分并不有這些用語(yǔ)限制。這些用語(yǔ)僅僅是用于區(qū)分一個(gè)元件、構(gòu)件、區(qū)域、層、圖案或部分與另一個(gè)區(qū)域、層、圖案或部分。因此，在沒(méi)有背離示例性實(shí)施方式的教導(dǎo)的情況下，下面所討論的第一元件、構(gòu)件、區(qū)域、層或部分可以被稱為第二元件、構(gòu)件、區(qū)域、層或部分。
[0026]空間性相對(duì)用語(yǔ)，如“下方”、“下”、“下面”、“上方”、“上面”等，可以為了描述的便利用于本文中以描述一個(gè)元件或特征與如圖所示其他元件或特征的關(guān)聯(lián)。應(yīng)當(dāng)理解，空間性相對(duì)用語(yǔ)旨在除了圖中描繪的方向以外還包含裝置在使用或操作中的不同方向。例如，如果圖中的裝置被倒置時(shí)，描述為在其他元件或特征“下”或“下方”的元件將被朝向其他元件或特征“上方”。因此示例性用語(yǔ)“下”可以包含上和下方向。裝置可以被另外定向(轉(zhuǎn)動(dòng)90度或者到其他方向)并且相應(yīng)地解釋本文中使用的空間性相對(duì)描述。
[0027]本文中使用的術(shù)語(yǔ)僅僅是以描述特定示例性實(shí)施方式為目的并且并不旨在限制本發(fā)明。如本文中使用，除非在上下文中另有清楚的指示，否則單數(shù)形式旨在包括復(fù)數(shù)形式。應(yīng)當(dāng)進(jìn)一步理解，當(dāng)用于“包括”和/或“包括的”使用在本說(shuō)明書中時(shí)，具體制定狀態(tài)、特征、數(shù)量、步驟、操作、元件和/或構(gòu)件的存在，而不是排除一個(gè)或多個(gè)特征、數(shù)量、步驟、操作、元件、構(gòu)件和/或其群的存在或附加。
[0028]本文中通過(guò)參照作為說(shuō)明性地理想化本發(fā)明概念的示例性實(shí)施方式(和中間結(jié)構(gòu))的示意性視圖的剖面視圖描述了示例性實(shí)施方式。因此，作為結(jié)果，例如，由于制造技術(shù)和/或公差，視圖的多種形成形狀是可以預(yù)期的。因此，示例性實(shí)施方式不應(yīng)當(dāng)被解釋為限制本文所示區(qū)域的特定形狀，而是包括例如，由于制造結(jié)果導(dǎo)致的形狀偏差。圖中所示區(qū)域?qū)嶋H上為示意性的，并且其形狀并不旨在闡明裝置區(qū)域的實(shí)際形狀并且并不旨在限制本發(fā)明概念的范圍。
[0029]除非另有所指，本文中使用的所有用語(yǔ)(包括技術(shù)用語(yǔ)和科學(xué)用語(yǔ))具有與本發(fā)明所屬領(lǐng)域普通技術(shù)人員的通常理解相同的含義。應(yīng)當(dāng)進(jìn)一步理解，如在常用字典中定義的用語(yǔ)應(yīng)當(dāng)被解釋為具有與其在相關(guān)領(lǐng)域的背景中的含義一致的含義，并且除非在本文中另有清楚的定義，否則不應(yīng)當(dāng)被解釋為理想化或過(guò)于正式意義。
[0030]通常，有機(jī)發(fā)光二極管顯示器包括基板和圖案化為每個(gè)像素的有機(jī)層的有機(jī)圖案。當(dāng)有機(jī)發(fā)光二極管顯示器被制造時(shí)，執(zhí)行用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法。
[0031]傳統(tǒng)的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法通過(guò)使用高分辨率顯微鏡視覺(jué)測(cè)驗(yàn)通過(guò)掩模沉積在基板上的有機(jī)圖案以確定有機(jī)圖案是否存在問(wèn)題，并且當(dāng)有問(wèn)題發(fā)生在有機(jī)圖案上時(shí)，通過(guò)將基板、掩?；蛴袡C(jī)材料蒸發(fā)到掩模側(cè)以糾正蒸發(fā)源。
[0032]參照?qǐng)D1至圖5，將描述根據(jù)第一示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法。
[0033]圖1示出根據(jù)第一示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法的流程圖。圖2至圖5示出根據(jù)第一示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法。圖4和圖5示出通過(guò)拍攝形成有有機(jī)圖案的測(cè)驗(yàn)基板的測(cè)驗(yàn)區(qū)域而獲取的測(cè)驗(yàn)圖像。
[0034]如圖1所示，有機(jī)圖案200可以通過(guò)掩模300形成在測(cè)驗(yàn)基板100上(S100)。
[0035]詳細(xì)地，測(cè)驗(yàn)基板100并不是待制造成有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的基板，而是用于測(cè)驗(yàn)的基板。也就是說(shuō)，測(cè)驗(yàn)基板100是用于測(cè)驗(yàn)通過(guò)掩模300形成的有機(jī)圖案200的額外的基板。如圖4所示，測(cè)驗(yàn)基板100包括:圖案區(qū)域PA，其中具有彼此相鄰并且與待制造成有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的基板的第一像素、第二像素和第三像素對(duì)應(yīng)的第一像素圖案RP、第二像素圖案GP和第三像素圖案BP ;以及與圖案區(qū)域PA相鄰的非圖案區(qū)域NPA。測(cè)驗(yàn)基板100的非圖案區(qū)域NPA包括分別與第一像素圖案RP、第二像素圖案GP和第三像素圖案BP對(duì)應(yīng)的第一部分S1、第二部分S2和第三部分S3。
[0036]如圖2所示，通過(guò)將源自沉積源400的有機(jī)材料通過(guò)掩模300沉積在測(cè)驗(yàn)基板100上，有機(jī)圖案200可以通過(guò)掩模300被形成在測(cè)驗(yàn)基板100上。
[0037]如圖4所示，有機(jī)圖案200包括彼此相鄰并且通過(guò)彼此不同的第一掩模、第二掩模和第三掩模形成在測(cè)驗(yàn)基板100上的第一有機(jī)圖案OPl、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3。
[0038]詳細(xì)地，通過(guò)掩模300在測(cè)驗(yàn)基板100上形成有機(jī)圖案200包括:通過(guò)第一掩模形成多個(gè)第一有機(jī)圖案OPl以覆蓋測(cè)驗(yàn)基板100的圖案區(qū)域PA的第一像素圖案RP以及與測(cè)驗(yàn)基板100上的第一像素圖案RP對(duì)應(yīng)的非圖案區(qū)域NPA的第一部分SI ;通過(guò)第二掩模形成第二有機(jī)圖案0P2以覆蓋測(cè)驗(yàn)基板100的圖案區(qū)域PA的第二像素圖案GP以及與測(cè)驗(yàn)基板100上的第二像素圖案GP對(duì)應(yīng)的非圖案區(qū)域NPA的第二部分S2 ；以及通過(guò)第三掩模形成多個(gè)第三有機(jī)圖案0P3以覆蓋測(cè)驗(yàn)基板100的圖案區(qū)域PA的第三像素圖案BP以及與測(cè)驗(yàn)基板100上的第三像素圖案BP對(duì)應(yīng)的非圖案區(qū)域NPA的第三部分S3。
[0039]例如，第一有機(jī)圖案OPl在制造成有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的基板上作為發(fā)出紅光的有機(jī)發(fā)光層，第二有機(jī)圖案0P2在制造成有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的基板上作為發(fā)出綠光的有機(jī)發(fā)光層，以及第三有機(jī)圖案0P3在制造成有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的基板上作為發(fā)出藍(lán)光的有機(jī)發(fā)光層。
[0040]如圖3所示，可以通過(guò)拍攝測(cè)驗(yàn)基板100的預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA獲取測(cè)驗(yàn)圖像(S200)。
[0041]詳細(xì)地，可以通過(guò)使用包括如CXD相機(jī)的相機(jī)510的拍攝裝置500拍攝測(cè)驗(yàn)基板100的預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA以獲取如圖4或圖5所示的測(cè)驗(yàn)圖像TI。
[0042]如圖4所示，通過(guò)拍攝包括測(cè)驗(yàn)基板100的圖案區(qū)域PA和非圖案區(qū)域NPA的測(cè)驗(yàn)基板100的測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA，可以執(zhí)行測(cè)驗(yàn)圖像TI的獲取。
[0043]如圖4和圖5所示，檢查有機(jī)圖案200的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣(S300)。
[0044]圖4示出未在通過(guò)掩模300沉積在測(cè)驗(yàn)基板100上的第一有機(jī)圖案0P1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3上產(chǎn)生沉積誤差的測(cè)驗(yàn)圖像TI，圖5示出在通過(guò)掩模300沉積在測(cè)驗(yàn)基板100上的第一有機(jī)圖案OPl、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3上產(chǎn)生沉積誤差的測(cè)驗(yàn)圖像TI。
[0045]詳細(xì)地，虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖TF1、第二測(cè)驗(yàn)圖TF2和第三測(cè)驗(yàn)圖TF3被顯示在與非圖案區(qū)域NPA的第一部分S1、第二部分S2和第三部分S3對(duì)應(yīng)的測(cè)驗(yàn)圖像TI中，并且在第一測(cè)驗(yàn)圖TFl、第二測(cè)驗(yàn)圖TF2和第三測(cè)驗(yàn)圖TF3的一個(gè)方向上的各自的深度D與在第一像素圖案RP、第二像素圖案GP和第三像素圖案BP的一個(gè)方向上的深度D相同。
[0046]通過(guò)在第一測(cè)驗(yàn)圖TFl與第一像素圖案RP之間的第二有機(jī)圖案0P2，第一測(cè)驗(yàn)圖TFl可以從第一像素圖案RP分離。
[0047]通過(guò)在第二測(cè)驗(yàn)圖TF2與第二像素圖案GP之間的第一有機(jī)圖案0P1，第二測(cè)驗(yàn)圖TF2可以從第二像素圖案GP分離。通過(guò)在第三測(cè)驗(yàn)圖TF3與第三像素圖案BP之間的第二有機(jī)圖案0P2，第三測(cè)驗(yàn)圖TF3可以從第三像素圖案BP分離。因?yàn)榈谝幌袼貓D案RP、第二像素圖案GP和第三像素圖案BP具有不同的圖，所以第一測(cè)驗(yàn)圖TF1、第二測(cè)驗(yàn)圖TF2和第三測(cè)驗(yàn)圖TF3具有與第一像素圖案RP、第二像素圖案GP和第三像素圖案BP對(duì)應(yīng)的尺寸不同的圖形。
[0048]第一測(cè)驗(yàn)圖TF1、第二測(cè)驗(yàn)圖TF2和第三測(cè)驗(yàn)圖TF3分別具有大體上四邊形形狀，并且不限于此，其可以具有多種圖形，例如三角形、五角星或者圓形。
[0049]可以檢查第一有機(jī)圖案OPl的邊緣是否超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第一部分SI上的虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖TFl的邊緣。如圖4所示，當(dāng)?shù)谝挥袡C(jī)圖案OPl未超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第一部分SI上的虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖TFl的邊緣時(shí)，可以確認(rèn)不存在生成在第一有機(jī)圖案OPl上的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。相反，如圖5所示，當(dāng)?shù)谝挥袡C(jī)圖案OPl的邊緣超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第一部分SI上的虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖TFl的邊緣時(shí)，可以確認(rèn)存在有生成在第一有機(jī)圖案OPl上的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。
[0050]檢查第二有機(jī)圖案0P2的邊緣是否超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第二部分S2上的虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖TF2的邊緣。如圖4所示，當(dāng)?shù)诙袡C(jī)圖案0P2的邊緣未超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第二部分S2上的虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖TF2的邊緣時(shí)，可以確認(rèn)不存在生成在第二有機(jī)圖案0P2上的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。相反，如圖5所示，當(dāng)?shù)诙袡C(jī)圖案0P2的邊緣超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第二部分S2上的虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖TF2的邊緣時(shí)，可以確認(rèn)存在有生成在第二有機(jī)圖案0P2上的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。
[0051]檢查第三有機(jī)圖案0P3的邊緣是否超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第三部分S3上的虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖TF3的邊緣。如圖4所示，當(dāng)?shù)谌袡C(jī)圖案0P3的邊緣未超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第三部分S3上的虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖TF3的邊緣時(shí)，可以確認(rèn)不存在生成在第三有機(jī)圖案0P3上的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。相反，如圖5所示，當(dāng)?shù)谌袡C(jī)圖案0P3的邊緣超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第三部分S3上的虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖TF3的邊緣時(shí)，可以確認(rèn)存在有生成在第三有機(jī)圖案0P3上的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。
[0052]可以通過(guò)包括終端的控制器執(zhí)行上述的有機(jī)圖案200的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖像的邊緣的檢查，并且通過(guò)控制器執(zhí)行的沉積誤差的生成檢查可以通過(guò)與控制器連接的顯示器顯示給用戶。
[0053]因此，根據(jù)第一示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法拍攝包括測(cè)驗(yàn)基板100的圖案區(qū)域PA和非圖案區(qū)域NPA的測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA、指定位置，以獲取與測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA對(duì)應(yīng)的測(cè)驗(yàn)圖像TI，并且該方法使用顯示到非圖案區(qū)域NPA的、與包括在測(cè)驗(yàn)圖像TI的圖案區(qū)域PA中的第一像素圖案RP、第二像素圖案GP和第三像素圖案BP對(duì)應(yīng)的虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖TF1、第二測(cè)驗(yàn)圖TF2和第三測(cè)驗(yàn)圖TF3，以檢查是否存在可能生成到第一有機(jī)圖案0P1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3的沉積誤差，由此簡(jiǎn)單地測(cè)驗(yàn)沉積到測(cè)驗(yàn)基板100的有機(jī)圖案200。
[0054]也就是說(shuō)，可以提供用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法，以簡(jiǎn)單地測(cè)驗(yàn)形成在單一測(cè)驗(yàn)基板100上的第一有機(jī)圖案OPl、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3的沉積誤差，而不是測(cè)驗(yàn)單一有機(jī)圖案200上的沉積誤差。
[0055]這是用于改變形成第一有機(jī)圖案OP1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3中的一個(gè)的處理環(huán)境(例如，基板的位置、掩模的形狀、掩模的布置或者沉積源的布置)的信息，其中，當(dāng)?shù)谝挥袡C(jī)圖案OPl、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3分別被沉積在待制造成有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的基板上時(shí)，沉積誤差可能生成到第一有機(jī)圖案0P1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3中的一個(gè)，并且該信息可以被提供給制造有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的制造者。
[0056]參照?qǐng)D6，將描述根據(jù)第二示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法。
[0057]在下文中，將僅描述與第一示例性實(shí)施方式不同的特征部分，并且省略已在根據(jù)第一不例性實(shí)施方式的描述中描述的部分。為了更好的理解和描述的便利，對(duì)于相同構(gòu)成要素，第二示例性實(shí)施方式具有與第一示例性實(shí)施方式相同的附圖標(biāo)記。
[0058]圖6示出根據(jù)第二示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法。圖6示出通過(guò)拍攝其上形成有有機(jī)圖案的測(cè)驗(yàn)基板的測(cè)驗(yàn)區(qū)域獲取的測(cè)驗(yàn)圖像。
[0059]有機(jī)圖案可以通過(guò)掩模形成在測(cè)驗(yàn)基板100上。
[0060]測(cè)驗(yàn)基板100的預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA可以被拍攝以獲取測(cè)驗(yàn)圖像。
[0061]如圖6所示,檢查有機(jī)圖案200的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖像的邊緣。
[0062]詳細(xì)地，形成在測(cè)驗(yàn)基板100上的第二有機(jī)圖案0P2、第一有機(jī)圖案OPl和第三有機(jī)圖案0P3沿著第一方向X進(jìn)行延伸，并且其沿著與第一方向X交叉的第二方向Y被依次獨(dú)立地沉積。
[0063]虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖TF1、第二測(cè)驗(yàn)圖TF2和第三測(cè)驗(yàn)圖TF3被顯示在與非圖案區(qū)域NPA的第一部分S1、第二部分S2和第三部分S3對(duì)應(yīng)的測(cè)驗(yàn)圖像TI中。第一測(cè)驗(yàn)圖TFl可以被提供在相鄰的第一像素圖案RP之間，第二測(cè)驗(yàn)圖TF2可以被提供在相鄰的第二像素圖案GP之間，并且第三測(cè)驗(yàn)圖TF3可以被提供在相鄰的第三像素圖案BP之間。第一測(cè)驗(yàn)圖TF1、第二測(cè)驗(yàn)圖TF2和第三測(cè)驗(yàn)圖TF3分別具有相同尺寸的圖形。
[0064]檢查第一有機(jī)圖案OPl的邊緣是否超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第一部分SI的虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖TFl的邊緣。如圖6所示，當(dāng)?shù)谝挥袡C(jī)圖案OPl的邊緣未超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第一部分SI的虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖TFl的邊緣時(shí)，確認(rèn)不存在生成在第一有機(jī)圖案OPl上的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。相反，當(dāng)?shù)谝挥袡C(jī)圖案OPl的邊緣超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第一部分SI的虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖TFl的邊緣時(shí)，確認(rèn)存在有生成在第一有機(jī)圖案OPl上的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。
[0065]檢查第二有機(jī)圖案0P2的邊緣是否超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第二部分S2的虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖TF2的邊緣。如圖6所示，當(dāng)?shù)诙袡C(jī)圖案0P2的邊緣未超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第二部分S2的虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖TF2的邊緣時(shí)，確認(rèn)不存在生成在第二有機(jī)圖案0P2上的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。相反，當(dāng)?shù)诙袡C(jī)圖案0P2的邊緣超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第二部分S2的虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖TF2的邊緣時(shí)，確認(rèn)存在有生成在第二有機(jī)圖案0P2上的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。
[0066]可以檢查第三有機(jī)圖案0P3的邊緣是否超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第三部分S3的虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖TF3的邊緣。如圖6所示，當(dāng)?shù)谌袡C(jī)圖案0P3的邊緣未超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第三部分S3的虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖TF3的邊緣時(shí)，確認(rèn)不存在生成在第三有機(jī)圖案0P3上的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。相反，當(dāng)?shù)谌袡C(jī)圖案0P3的邊緣超出顯示到非圖案區(qū)域NPA的第三部分S3的虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖TF3的邊緣時(shí)，確認(rèn)存在有生成在第三有機(jī)圖案0P3上的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。
[0067]可以通過(guò)包括終端的控制器執(zhí)行上述的有機(jī)圖案200的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖像的邊緣的檢查，并且通過(guò)控制器執(zhí)行的沉積誤差的生成檢查可以通過(guò)與控制器連接的顯示器顯示給用戶。
[0068]因此，根據(jù)第二示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法拍攝包括測(cè)驗(yàn)基板100的圖案區(qū)域PA和非圖案區(qū)域NPA的測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA、指定位置，以獲取與測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA對(duì)應(yīng)的測(cè)驗(yàn)圖像TI，并且該方法使用顯示到非圖案區(qū)域NPA的、與包括在測(cè)驗(yàn)圖像TI的圖案區(qū)域PA中的第一像素圖案RP、第二像素圖案GP和第三像素圖案BP對(duì)應(yīng)的虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖TF1、第二測(cè)驗(yàn)圖TF2和第三測(cè)驗(yàn)圖TF3，以檢查是否存在生成到第一有機(jī)圖案0P1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3的沉積誤差，由此簡(jiǎn)單地測(cè)驗(yàn)沉積到測(cè)驗(yàn)基板100的有機(jī)圖案200。
[0069]也就是說(shuō)，提供了用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法，以簡(jiǎn)單地測(cè)驗(yàn)形成在單一測(cè)驗(yàn)基板100上的第一有機(jī)圖案OPl、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3的沉積誤差而不是測(cè)驗(yàn)單一有機(jī)圖案200上的沉積誤差。
[0070]這是用于改變形成第一有機(jī)圖案OP1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3中的一個(gè)的處理環(huán)境(例如，基板的位置、掩模的形狀、掩模的布置或者沉積源的布置)的信息，其中，當(dāng)?shù)谝挥袡C(jī)圖案OPl、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3分別被沉積在待制造成有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的基板上時(shí)，沉積誤差生成到第一有機(jī)圖案0P1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3中的一個(gè)，并且該信息可以被提供給制造有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的制造者。
[0071]參照?qǐng)D7和圖8，將描述根據(jù)第三示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法。
[0072]在下文中，將描述與第一示例性實(shí)施方式不同的特征部分，并且省略已在根據(jù)第一不例性實(shí)施方式的描述中描述的部分。為了更好的理解和描述的便利，對(duì)于相同構(gòu)成要素，第三示例性實(shí)施方式具有與第一示例性實(shí)施方式相同的附圖標(biāo)記。
[0073]圖7和圖8示出根據(jù)第三示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法。圖7和圖8示出通過(guò)拍攝其上形成有有機(jī)圖案的測(cè)驗(yàn)基板的測(cè)驗(yàn)區(qū)域獲取的測(cè)驗(yàn)圖像。
[0074]有機(jī)圖案可以通過(guò)掩模形成在測(cè)驗(yàn)基板100上。
[0075]測(cè)驗(yàn)基板100的預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA可以被拍攝以獲取測(cè)驗(yàn)圖像。
[0076]如圖7和圖8所示，檢查有機(jī)圖案200的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖像的邊緣。
[0077]詳細(xì)地，形成在測(cè)驗(yàn)基板100上的多個(gè)第二有機(jī)圖案0P2沿著第一方向X進(jìn)行延伸，并且沿著與第一方向X交叉的第二方向Y分離。通過(guò)在第一有機(jī)圖案OPl之間的第三有機(jī)圖案0P3，第一有機(jī)圖案OPl沿著第一方向X被相互分離，并且通過(guò)在第一有機(jī)圖案OPl與第三有機(jī)圖案0P3之間的第二有機(jī)圖案0P2，第一有機(jī)圖案OPl沿著第二方向Y從第三有機(jī)圖案0P3分離。第三有機(jī)圖案0P3沿著第一方向X與第一有機(jī)圖案OPl相鄰。
[0078]如圖7所示，沿著第二方向Y檢查第一有機(jī)圖案OPl、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3的沉積誤差。
[0079]檢查第一像素圖案RP的各個(gè)邊緣是否被提供在沿著第二方向Y布置的兩個(gè)虛擬第一像素圖PFl內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第四測(cè)驗(yàn)圖TF4的第一邊緣和第二邊緣是否超出覆蓋第二像素圖案GP的第二有機(jī)圖案0P2的邊緣和覆蓋第二部分S2的第二有機(jī)圖案0P2的邊緣，其中虛擬第四測(cè)驗(yàn)圖TF4具有沿著第一方向X從第一像素圖PFl分離并且沿著第二方向Y進(jìn)行延伸的中心區(qū)域。參照第一像素圖案RP的第一像素圖像PF1，當(dāng)?shù)谒臏y(cè)驗(yàn)圖TF4的第一邊緣和第二邊緣未超出彼此相鄰的、以覆蓋第二像素圖案GP和第二部分S2的第二有機(jī)圖案0P2的邊緣時(shí)，確認(rèn)不存在沿著第二方向Y生成到關(guān)于第一像素圖案RP彼此相鄰的第二有機(jī)圖案0P2的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。相反，參照第一像素圖案RP的第一像素圖像PF1，當(dāng)?shù)谒臏y(cè)驗(yàn)圖TF4的第一邊緣和第二邊緣超出彼此相鄰的、以覆蓋第二像素圖案GP和第二部分S2的第二有機(jī)圖案0P2的邊緣時(shí)，確認(rèn)存在有沿著第二方向Y生成到關(guān)于第一像素圖案RP彼此相鄰的第二有機(jī)圖案0P2的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。
[0080]也就是說(shuō)，通過(guò)使用第一像素圖PFl和第四測(cè)驗(yàn)圖TF4，參照第一像素圖案RP檢查了沿著第二方向Y彼此相鄰的第二像素圖案GP的沉積誤差。
[0081]檢查第二像素圖案GP的各個(gè)邊緣是否被提供在沿著第二方向Y布置的兩個(gè)虛擬第二像素圖PF2內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第五測(cè)驗(yàn)圖TF5的第一邊緣和第二邊緣是否超出覆蓋第三像素圖案BP的第三有機(jī)圖案0P3的邊緣和覆蓋第一部分SI的第一有機(jī)圖案OPl的邊緣，其中虛擬第五測(cè)驗(yàn)圖TF5具有沿著第一方向X從第二像素圖PF2分離并且沿著第二方向Y進(jìn)行延伸的中心區(qū)域。參照第二像素圖案GP的第二像素圖PF2，當(dāng)?shù)谖鍦y(cè)驗(yàn)圖TF5的第一邊緣和第二邊緣未超出覆蓋第三像素圖案BP的第三有機(jī)圖案0P3的邊緣和覆蓋第一部分SI的第一有機(jī)圖案OPl的邊緣時(shí)，確認(rèn)參照第二像素圖案GP不存在沿著第二方向Y生成到彼此相鄰的第三有機(jī)圖案0P3和第一有機(jī)圖案OPl的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。相反，參照第二像素圖案GP的第二像素圖PF2，當(dāng)?shù)谖鍦y(cè)驗(yàn)圖TF5的第一邊緣和第二邊緣超出覆蓋第三像素圖案BP的第三有機(jī)圖案0P3的邊緣和覆蓋第一部分SI的第一有機(jī)圖案OPl的邊緣時(shí)，確認(rèn)參照第二像素圖案GP存在有沿著第二方向Y生成到彼此相鄰的第二有機(jī)圖案0P2的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。
[0082]也就是說(shuō)，通過(guò)使用第二像素圖PF2和第五測(cè)驗(yàn)圖TF5，參照第二像素圖案GP沿著第二方向Y檢查了彼此相鄰的第三有機(jī)圖案0P3和第一有機(jī)圖案OPl的沉積誤差。
[0083]檢查第三像素圖案BP的各個(gè)邊緣是否被提供在沿著第二方向Y布置的兩個(gè)虛擬第三像素圖PF3內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第六測(cè)驗(yàn)圖TF6的第一邊緣和第二邊緣是否超出覆蓋第二像素圖案GP的第二有機(jī)圖案0P2的邊緣和覆蓋第二部分S2的第二有機(jī)圖案0P2的邊緣，其中虛擬第六測(cè)驗(yàn)圖TF6具有沿著第一方向X從第三像素圖PF3分離并且沿著第二方向Y進(jìn)行延伸的中心區(qū)域。參照第三像素圖案BP的第三像素圖PF3，當(dāng)?shù)诹鶞y(cè)驗(yàn)圖TF6的第一邊緣和第二邊緣未超出覆蓋第二像素圖案GP和第二部分S2的彼此相鄰的第二有機(jī)圖案0P2的邊緣時(shí)，確認(rèn)參照第三像素圖案BP不存在沿著第二方向Y生成到彼此相鄰的第二有機(jī)圖案0P2的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。相反，參照第三像素圖案BP的第三像素圖PF3，當(dāng)?shù)诹鶞y(cè)驗(yàn)圖TF6的第一邊緣和第二邊緣超出覆蓋第二像素圖案GP和第二部分S2的彼此相鄰的第二有機(jī)圖案0P2的邊緣時(shí)，確認(rèn)參照第三像素圖案BP存在有沿著第二方向Y生成到彼此相鄰的第二有機(jī)圖案0P2的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。
[0084]也就是說(shuō)，通過(guò)使用第三像素圖PF3和第六測(cè)驗(yàn)圖TF6，參照第三像素圖案BP檢查了沿著第二方向Y檢查彼此相鄰的第二像素圖案GP的沉積誤差。
[0085]如圖8所示，沿著第一方向X檢查第一有機(jī)圖案OPl和第三有機(jī)圖案0P3的沉積誤差。
[0086]檢查第一像素圖案RP的各個(gè)邊緣是否被提供在沿著第一方向X布置的兩個(gè)虛擬第四像素圖PF4內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第七測(cè)驗(yàn)圖TF7的第一邊緣和第二邊緣是否超出通過(guò)在兩個(gè)第一有機(jī)圖案OPl之間的第三有機(jī)圖案0P3而彼此分離的兩個(gè)第一有機(jī)圖案OPl的各個(gè)邊緣，其中，虛擬第七測(cè)驗(yàn)圖TF7具有沿著第二方向Y從第四象素圖像PF4分離并且沿著第一方向X延伸的中心區(qū)域。參照第一像素圖案RP的第四象素圖像PF4，當(dāng)?shù)谄邷y(cè)驗(yàn)圖TF7的第一邊緣和第二邊緣未超出通過(guò)在兩個(gè)第一有機(jī)圖案OPl之間的第三有機(jī)圖案0P3而彼此分離的兩個(gè)第一有機(jī)圖案OPl的各個(gè)邊緣時(shí)，確認(rèn)參照第一像素圖案RP不存在沿著第一方向X生成到沿著第二方向Y分離并且沿著第一方向X彼此分離的第一有機(jī)圖案OPl的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。相反，參照第一像素圖案RP的第四象素圖像PF4，當(dāng)?shù)谄邷y(cè)驗(yàn)圖TF7的第一邊緣和第二邊緣超出通過(guò)在兩個(gè)第一有機(jī)圖案OPl之間的第三有機(jī)圖案0P3而彼此分離的兩個(gè)第一有機(jī)圖案OPl的各個(gè)邊緣時(shí)，確認(rèn)參照第一像素圖案RP存在有沿著第一方向X生成到沿著第二方向Y彼此分離并且沿著第一方向X彼此分離的第一有機(jī)圖案OPl的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。
[0087]也就是說(shuō)，通過(guò)使用第四象素圖像PF4和第七測(cè)驗(yàn)圖TF7，參照第一像素圖案RP檢查了沿著第二方向Y被分離并且沿著第一方向X彼此分離的第一有機(jī)圖案OPl沿著第一方向X的沉積誤差。
[0088]檢查第三像素圖案BP的各個(gè)邊緣是否被提供在沿著第一方向X布置的兩個(gè)虛擬第五像素圖PF5內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第八測(cè)驗(yàn)圖TF8的第一邊緣和第二邊緣是否超出通過(guò)在兩個(gè)第三有機(jī)圖案0P3之間的第一有機(jī)圖案OPl而彼此分離的兩個(gè)第三有機(jī)圖案0P3的各個(gè)邊緣，其中，虛擬第八測(cè)驗(yàn)圖TF8具有沿著第二方向Y從第五像素圖PF5分離并且沿著第一方向X延伸的中心區(qū)域。參照第三像素圖案BP的第五像素圖PF5，當(dāng)虛擬第八測(cè)驗(yàn)圖TF8的第一邊緣和第二邊緣未超出通過(guò)在兩個(gè)第三有機(jī)圖案0P3之間的第一有機(jī)圖案OPl而彼此分離的兩個(gè)第三有機(jī)圖案0P3的邊緣時(shí)，確認(rèn)參照第三像素圖案BP不存在沿著第一方向X生成到沿著第二方向Y被分離并且沿著第一方向X彼此分離的第三有機(jī)圖案0P3的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。相反，參照第一像素圖案RP的第四象素圖像PF4，當(dāng)虛擬第八測(cè)驗(yàn)圖TF8的第一邊緣和第二邊緣超出通過(guò)在兩個(gè)第三有機(jī)圖案0P3之間的第一有機(jī)圖案OPl而彼此分離的兩個(gè)第三有機(jī)圖案0P3的邊緣時(shí)，確認(rèn)參照第三像素圖案BP存在有沿著第一方向X生成到沿著第二方向Y被分離并且沿著第一方向X彼此分離的第三有機(jī)圖案0P3的沉積誤差，并且之后可以將此報(bào)告給用戶。
[0089]也就是說(shuō)，通過(guò)使用第五像素圖PF5和第八測(cè)驗(yàn)圖TF8，參照第三像素圖案BP檢查了沿著第二方向Y被分離并且沿著第一方向X彼此分離的第三有機(jī)圖案0P3沿著第一方向X的沉積誤差。
[0090]因此，根據(jù)第三示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法拍攝包括測(cè)驗(yàn)基板100的圖案區(qū)域PA和非圖案區(qū)域NPA的測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA、指定位置，以獲取與測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA對(duì)應(yīng)的測(cè)驗(yàn)圖像TI，并且該方法使用顯示到在測(cè)驗(yàn)圖像TI的圖案區(qū)域PA中顯示的第一像素圖案RP、第二像素圖案GP和第三像素圖案BP的虛擬第一像素圖PF1、第二像素圖PF2和第三像素圖PF3以及顯示在非圖案區(qū)域NPA的虛擬第四測(cè)驗(yàn)圖TF4、第五測(cè)驗(yàn)圖TF5和第六測(cè)驗(yàn)圖TF6檢查沉積誤差是否生成在第一有機(jī)圖案OPl、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3的第二方向Y上，由此簡(jiǎn)單地測(cè)驗(yàn)沉積在測(cè)驗(yàn)基板100上的有機(jī)圖案200。
[0091]此外，根據(jù)第三示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法拍攝包括測(cè)驗(yàn)基板100的圖案區(qū)域PA和非圖案區(qū)域NPA的測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA、指定位置，以獲取與測(cè)驗(yàn)區(qū)域TA對(duì)應(yīng)的測(cè)驗(yàn)圖像TI，并且該方法通過(guò)使用顯示到在測(cè)驗(yàn)圖像TI的圖案區(qū)域PA中顯示的第一像素圖案RP和第三像素圖案BP的虛擬第四象素圖像PF4和第五像素圖PF5以及顯示在非圖案區(qū)域NPA中的虛擬第七測(cè)驗(yàn)圖TF7和第八測(cè)驗(yàn)圖TF8檢查沉積誤差是否生成在第一有機(jī)圖案OPl和第三有機(jī)圖案0P3的第一方向X上，由此簡(jiǎn)單地測(cè)驗(yàn)沉積在測(cè)驗(yàn)基板100上的有機(jī)圖案200。
[0092]也就是說(shuō)，提供用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法，以簡(jiǎn)單地測(cè)驗(yàn)形成在單一測(cè)驗(yàn)基板100上的第一有機(jī)圖案OP1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3沿著第一方向X或第二方向Y的第一有機(jī)圖案0P1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3的沉積誤差，而不是測(cè)驗(yàn)單一有機(jī)圖案200上的沉積誤差。
[0093]這是用于改變形成第一有機(jī)圖案OP1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3中的一個(gè)的處理環(huán)境(例如，基板的位置、掩模的形狀、掩模的布置或者沉積源的布置)的信息，其中，當(dāng)?shù)谝挥袡C(jī)圖案0P1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3分別被沉積在基板上以制造成有機(jī)發(fā)光二極管顯示器時(shí)，沉積誤差生成到第一有機(jī)圖案0P1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3中的一個(gè)，并且該信息可以被提供給制造有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的制造者。
[0094]尤其是，根據(jù)第三示例性實(shí)施方式的用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法檢查與第一像素圖案RP、第二像素圖案GP和第三像素圖案BP對(duì)應(yīng)的第一有機(jī)圖案0P1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3沿著第一方向X或者沿著第二方向Y的沉積誤差以更精確第一有機(jī)圖案0P1、第二有機(jī)圖案0P2和第三有機(jī)圖案0P3沿著第一方向X或第二方向的沉積誤差并且檢查掩模的失真信息或通過(guò)精細(xì)金屬掩模(FMM)形成的基板的失真信息。該信息提供給制造有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的制造者，并且用作更精確地制造沉積有有機(jī)發(fā)光層的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的因素。
[0095]雖然本公開(kāi)已結(jié)合目前被認(rèn)為是實(shí)用的示例性實(shí)施方式進(jìn)行描述，但是應(yīng)當(dāng)理解本發(fā)明并不限于所公開(kāi)的實(shí)施方式，相反，旨在覆蓋包括在所附權(quán)利要求書的精神和范圍內(nèi)的多種修改和等同布置。
【權(quán)利要求】
1.一種用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法，包括: 通過(guò)掩模在測(cè)驗(yàn)基板上形成有機(jī)圖案； 通過(guò)拍攝所述測(cè)驗(yàn)基板的預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域獲取測(cè)驗(yàn)圖像，其中，所形成的有機(jī)圖案被顯示到所述測(cè)驗(yàn)圖像；以及 檢查顯示到所述測(cè)驗(yàn)圖像的所述有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示在所述測(cè)驗(yàn)圖像中的虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中， 所述測(cè)驗(yàn)基板的所述預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域包括:圖案區(qū)域，其中第一像素圖案、第二像素圖案和第三像素圖案彼此相鄰；以及非圖案區(qū)域，與所述圖案區(qū)域相鄰，以及 通過(guò)拍攝包括所述圖案區(qū)域和所述非圖案區(qū)域的所述預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域，執(zhí)行所述測(cè)驗(yàn)圖像的獲取。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中， 所述通過(guò)掩模在測(cè)驗(yàn)基板上形成有機(jī)圖案的步驟包括: 通過(guò)第一掩模在所述測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)第一有機(jī)圖案以覆蓋所述圖案區(qū)域的所述第一像素圖案以及所述非圖案區(qū)域的第一部分； 通過(guò)第二掩模在所述測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)第二有機(jī)圖案以覆蓋所述圖案區(qū)域的所述第二像素圖案以及所述非圖案區(qū)域的第二部分；以及 通過(guò)第三掩模在所述測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)第三有機(jī)圖案以覆蓋所述圖案區(qū)域的所述第三像素圖案以及所述非圖案區(qū)域的第三部分。
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中， 所述檢查顯示到所述測(cè)驗(yàn)圖像的所述有機(jī)圖案的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣的步驟包括: 檢查所述第一有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示到所述非圖案區(qū)域的所述第一部分的虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖的邊緣； 檢查所述第二有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示到所述非圖案區(qū)域的所述第二部分的虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖的邊緣；以及 檢查所述第三有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示到所述非圖案區(qū)域的所述第三部分的虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖的邊緣。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中， 所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖、所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖和所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖沿著第一方向的深度分別與所述第一像素圖案、所述第二像素圖案和所述第三像素圖案沿著所述第一方向的深度對(duì)應(yīng)。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中， 通過(guò)所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖與所述第一像素圖案之間的所述第二有機(jī)圖案，所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖從所述第一像素圖案分離； 通過(guò)所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖與所述第二像素圖案之間的所述第一有機(jī)圖案，所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖從所述第二像素圖案分離；以及 通過(guò)所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖與所述第三像素圖案之間的所述第二有機(jī)圖案，所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖從所述第三像素圖案分離。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其中， 所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖、所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖和所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖分別具有不同尺寸的圖形。
8.如權(quán)利要求5所述的方法，其中， 所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖被提供在相鄰的第一像素圖案之間； 所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖被提供在相鄰的第二像素圖案之間；以及 所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖被提供在相鄰的第三像素圖案之間。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其中， 所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖、所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖和所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖分別具有相同尺寸的圖形。
10.如權(quán)利要求3所述的方法，其中， 所述第二有機(jī)圖案沿著第一方向進(jìn)行延伸并且沿著與所述第一方向交叉的第二方向彼此分離，通過(guò)在所述第一有機(jī)圖案與所述第三有機(jī)圖案之間的所述第二有機(jī)圖案，所述第一有機(jī)圖案沿著所述第二方向從所述第三有機(jī)圖案分離，并且所述第三有機(jī)圖案沿著所述第一方向與所述 第一有機(jī)圖案相鄰，以及 所述檢查顯示到所述測(cè)驗(yàn)圖像的所述有機(jī)圖案的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣的步驟包括: 檢查所述第一像素圖案的各個(gè)邊緣是否被提供在沿著所述第二方向布置的兩個(gè)虛擬第一像素圖內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第四測(cè)驗(yàn)圖的第一邊緣和第二邊緣是否超出覆蓋所述第二像素圖案的所述第二有機(jī)圖案的邊緣和覆蓋所述第二部分的所述第二有機(jī)圖案的邊緣，其中，所述虛擬第四測(cè)驗(yàn)圖具有沿著所述第一方向從所述第一像素圖分離并且沿著所述第二方向延伸的中心區(qū)域； 檢查所述第二像素圖案的各個(gè)邊緣是否被提供在沿著所述第二方向布置的兩個(gè)虛擬第二像素圖內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第五測(cè)驗(yàn)圖的第一邊緣和第二邊緣是否超出覆蓋所述第三像素圖案的所述第三有機(jī)圖案的邊緣和覆蓋所述第一部分的所述第一有機(jī)圖案的邊緣，其中，所述虛擬第五測(cè)驗(yàn)圖具有沿著所述第一方向從所述第二像素圖分離并且沿著所述第二方向延伸的中心區(qū)域；以及 檢查所述第三像素圖案的各個(gè)邊緣是否被提供在沿著所述第二方向布置的兩個(gè)虛擬第三像素圖內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第六測(cè)驗(yàn)圖的第一邊緣和第二邊緣是否超出覆蓋所述第二像素圖案的所述第二有機(jī)圖案的邊緣和覆蓋所述第二部分的所述第二有機(jī)圖案的邊緣，其中，所述虛擬第六測(cè)驗(yàn)圖具有沿著所述第一方向從所述第三像素圖分離并且沿著所述第二方向延伸的中心區(qū)域。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，其中， 通過(guò)在所述第一有機(jī)圖案之間的所述第三有機(jī)圖案，所述第一有機(jī)圖案沿著所述第一方向彼此分離，以及 所述檢查顯示到所述測(cè)驗(yàn)圖像的所述有機(jī)圖案的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣包括: 檢查所述第一像素圖案的各個(gè)邊緣是否被提供在沿著所述第一方向布置的兩個(gè)虛擬第四像素圖內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第七測(cè)驗(yàn)圖的第一邊緣和第二邊緣是否超出通過(guò)在所述兩個(gè)第一有機(jī)圖案之間的所述第三有機(jī)圖案而被分離的所述兩個(gè)第一有機(jī)圖案的邊緣，其中，所述虛擬第七測(cè)驗(yàn)圖具有沿著所述第二方向從所述第四象素圖像分離并且沿著所述第一方向延伸的中心區(qū)域；以及 檢查所述第三像素圖案的各個(gè)邊緣是否被提供在沿著所述第一方向布置的兩個(gè)虛擬第五像素圖內(nèi)側(cè)，并且檢查虛擬第八測(cè)驗(yàn)圖的第一邊緣和第二邊緣是否超出通過(guò)在所述兩個(gè)第三有機(jī)圖案之間的所述第一有機(jī)圖案而被分離的所述兩個(gè)第三有機(jī)圖案的邊緣，其中，所述虛擬第八測(cè)驗(yàn)圖具有沿著所述第二方向從所述第五像素圖分離并且沿著所述第一方向延伸的中心區(qū)域。
12.一種用于測(cè)驗(yàn)有機(jī)圖案的方法，包括: 通過(guò)掩模在測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)有機(jī)圖案； 通過(guò)拍攝所述測(cè)驗(yàn)基板的預(yù)定測(cè)驗(yàn)區(qū)域獲取測(cè)驗(yàn)圖像，所述測(cè)驗(yàn)圖像具有包含四個(gè)邊緣的矩形形狀； 檢查顯示到所述測(cè)驗(yàn)圖像的所述有機(jī)圖案的所述四個(gè)邊緣中任何一個(gè)是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣；以及 當(dāng)顯示到所述測(cè)驗(yàn)圖像的所述多個(gè)有機(jī)圖案的所述四個(gè)邊緣中任何一個(gè)超出顯示在所述測(cè)驗(yàn)圖像中的對(duì)應(yīng)虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣時(shí)，確定所述有機(jī)圖案上產(chǎn)生沉積誤差。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其中， 所述測(cè)驗(yàn)基板的所述預(yù) 定測(cè)驗(yàn)區(qū)域包括:圖案區(qū)域，其中第一像素圖案、第二像素圖案和第三像素圖案彼此相鄰；以及非圖案區(qū)域，與所述圖案區(qū)域相鄰，以及 通過(guò)拍攝包括所述圖案區(qū)域和所述非圖案區(qū)域的所述測(cè)驗(yàn)區(qū)域，執(zhí)行所述測(cè)驗(yàn)圖像的獲取。
14.如權(quán)利要求13所述的方法，其中， 所述通過(guò)掩模在測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)有機(jī)圖案的步驟包括: 通過(guò)第一掩模在所述測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)第一有機(jī)圖案以覆蓋所述圖案區(qū)域的所述第一像素圖案以及所述非圖案區(qū)域的第一部分； 通過(guò)第二掩模在所述測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)第二有機(jī)圖案以覆蓋所述圖案區(qū)域的所述第二像素圖案以及所述非圖案區(qū)域的第二部分；以及 通過(guò)第三掩模在所述測(cè)驗(yàn)基板上形成多個(gè)第三有機(jī)圖案以覆蓋所述圖案區(qū)域的所述第三像素圖案以及所述非圖案區(qū)域的第三部分。
15.如權(quán)利要求14所述的方法，其中， 所述檢查顯示到所述測(cè)驗(yàn)圖像的所述多個(gè)有機(jī)圖案中任何一個(gè)的邊緣是否超出虛擬測(cè)驗(yàn)圖的邊緣的步驟包括: 檢查所述第一有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示到所述非圖案區(qū)域的所述第一部分的虛擬虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖的邊緣； 檢查所述第二有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示到所述非圖案區(qū)域的所述第二部分的虛擬虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖的邊緣；以及 檢查所述第三有機(jī)圖案的邊緣是否超出顯示到所述非圖案區(qū)域的所述第三部分的虛擬虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖的邊緣。
16.如權(quán)利要求15所述的方法，其中，所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖、所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖和所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖沿著第一方向的深度分別與所述第一像素圖案、所述第二像素圖案和所述第三像素圖案沿著所述第一方向的深度對(duì)應(yīng)。
17.如權(quán)利要求16所述的方法，其中， 通過(guò)所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖與所述第一像素圖案之間的所述第二有機(jī)圖案，所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖從所述第一像素圖案分離； 通過(guò)所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖與所述第二像素圖案之間的所述第一有機(jī)圖案，所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖從所述第二像素圖案分離；以及 通過(guò)所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖與所述第三像素圖案之間的所述第二有機(jī)圖案，所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖從所述第三像素圖案分離。
18.如權(quán)利要求17所述的方法，其中， 所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖、所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖和所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖分別具有不同尺寸的圖形。
19.如權(quán)利要求16所述的方法，其中， 所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖被提供在相鄰的第一像素圖案之間； 所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖被提 供在相鄰的第二像素圖案之間；以及 所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖被提供在相鄰的第三像素圖案之間。
20.如權(quán)利要求19所述的方法，其中， 所述虛擬第一測(cè)驗(yàn)圖、所述虛擬第二測(cè)驗(yàn)圖和所述虛擬第三測(cè)驗(yàn)圖分別具有相同尺寸的圖形。
【文檔編號(hào)】H01L27/32GK104051624SQ201410035939
【公開(kāi)日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2014年1月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月11日
【發(fā)明者】金義圭, 張大植 申請(qǐng)人:三星顯示有限公司