可推定激光氣體容器的密閉性的激光裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的激光裝置具備：壓力調(diào)整部，其根據(jù)激光氣體容器內(nèi)的激光氣壓的監(jiān)測值，調(diào)整激光氣體容器內(nèi)的激光氣壓；壓力控制部，其控制壓力調(diào)整部，使得在激光振蕩器的啟動前，激光氣體容器內(nèi)的激光氣壓成為比大氣壓低的第一氣壓，在激光振蕩器的啟動后，并且在激光向外部照射之前的準(zhǔn)備階段中，激光氣體容器內(nèi)的激光氣壓成為能夠振蕩激光的第二氣壓；激光控制部，其控制激光振蕩器，使得在準(zhǔn)備階段中，激光振蕩器執(zhí)行依照預(yù)先確定的振蕩條件輸出激光的初始動作；激光檢測部，其檢測通過初始動作輸出的激光或與該激光具有相關(guān)關(guān)系的物理量；密閉推定部，其根據(jù)通過激光檢測部檢測出的檢測值來推定激光氣體容器的密閉性的程度。
【專利說明】可推定激光氣體容器的密閉性的激光裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種可推定密封有激光氣體的激光氣體容器的密閉性的激光裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)在已知一種激光裝置，即測定切斷激光裝置的電源之前的壓力并存儲在存儲器中，通過對該存儲的氣壓和接通激光裝置的電源時所測定的氣壓進行比較，從而檢測激光氣體容器的氣體泄漏。作為這種裝置，例如在日本實用新型登錄第2561510號公報(JP2561510Y)所記載的裝置中，在測定氣壓時還測定氣體溫度，將所測定的氣壓換算為基準(zhǔn)溫度下的壓力，使用換算值進行氣體泄漏的檢測。
[0003]但是，JP2561510Y所記載的裝置并不在容易產(chǎn)生氣體泄漏的狀況下進行氣體泄漏的檢測，從而難以容易并且正確地檢測氣體泄漏。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的一個形式的激光裝置具備:激光氣體容器，其形成激光氣體進行循環(huán)的氣體流路；激光振蕩器，其將在氣體流路中流動的激光氣體作為激勵介質(zhì)而振蕩激光；氣壓檢測部，其檢測激光氣體容器內(nèi)的激光氣壓；壓力調(diào)整部，其根據(jù)氣壓檢測部的檢測值，調(diào)整激光氣體容器內(nèi)的激光氣壓；壓力控制部，其控制壓力調(diào)整部，使得在激光振蕩器的啟動前，激光氣體容器內(nèi)的激光氣壓成為比大氣壓低的第一氣壓，在激光振蕩器的啟動后，并且在激光向外部照射之前的準(zhǔn)備階段中，激光氣體容器內(nèi)的激光氣壓成為能夠振蕩激光的第二氣壓；激光控制部，其控制激光振蕩器，使得在準(zhǔn)備階段中，激光振蕩器執(zhí)行依照預(yù)先確定的振蕩條件輸出激光的初始動作；激光檢測部，其檢測通過激光振蕩器的初始動作而輸出的激光或與該激光具有相關(guān)關(guān)系的物理量；密閉推定部，其根據(jù)通過激光檢測部檢測出的檢測值來推定激光氣體容器的密閉性的程度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0005]根據(jù)與附圖關(guān)聯(lián)的以下的實施方式的說明，能夠進一步了解本發(fā)明的目的、特征和優(yōu)點。
[0006]圖1是概要地表示本發(fā)明的第一實施方式的激光裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0007]圖2是表示本發(fā)明的第一實施方式的激光裝置的控制結(jié)構(gòu)的一部分的框圖。
[0008]圖3是表示通過圖2的控制部而執(zhí)行的振蕩器停止處理的一個例子的流程圖。
[0009]圖4是表示通過圖2的控制部而執(zhí)行的振蕩器啟動處理的一個例子的流程圖。
[0010]圖5是表示圖4的變形例子的流程圖。
[0011]圖6是表示本發(fā)明的第二實施方式的通過激光裝置的控制部而執(zhí)行的振蕩器啟動處理的一個例子的流程圖。
[0012]圖7是表示圖6的變形例子的流程圖。
[0013]圖8是表示本發(fā)明的第三實施方式的通過激光裝置的控制部而執(zhí)行的振蕩器啟動處理的一個例子的流程圖。
[0014]圖9是表不圖8的變形例子的流程圖。
[0015]圖10是表示圖9的變形例子的流程圖。
[0016]圖11是表示圖10的變形例子的流程圖。
[0017]圖12是表示本發(fā)明的第四實施方式的通過激光裝置的控制部而執(zhí)行的振蕩器電源接通處理的一個例子的流程圖。
[0018]圖13是表示本發(fā)明的第四實施方式的通過激光裝置的控制部而執(zhí)行的振蕩器啟動處理的一個例子的流程圖。
[0019]圖14是表示圖13的變形例子的流程圖。
[0020]圖15是表示圖13的另一個變形例子的流程圖。
[0021]圖16是表示與圖15的處理對應(yīng)的激光裝置的控制結(jié)構(gòu)的框圖。
【具體實施方式】
[0022]第一實施方式
[0023]以下，參照圖1?圖5說明本發(fā)明的第一實施方式。圖1是概要地表示本發(fā)明的第一實施方式的激光裝置100的圖。該激光裝置100具備:激光氣體容器1，其形成激光氣體所循環(huán)的氣體流路Ia ;配置在氣體流路Ia上的激光振蕩器2和送風(fēng)機3 ;控制部5，其控制激光振蕩器2和送風(fēng)機3。本實施方式的激光裝置100可以適用于加工、醫(yī)療、測量等廣闊領(lǐng)域。
[0024]激光氣體容器I是密閉的真空容器，激光氣體容器I在被大氣屏蔽的狀態(tài)下密封預(yù)定的激光氣體。作為激光氣體，使用包含碳酸氣體、氮氣、氬氣等激光介質(zhì)在內(nèi)的激光振蕩用的媒介氣體。
[0025]激光振蕩器2具有輸出鏡21、后鏡22、配置在輸出鏡21和后鏡22之間的放電管23。放電管23與氣體流路Ia連通，從激光器電源24向放電管23提供電力。如果從激光器電源24提供了電力，則激光氣體在通過放電管23時被激勵而成為激光活性狀態(tài)。通過放電管23產(chǎn)生的光在輸出鏡21和后鏡22之間被放大,進行激光振蕩,產(chǎn)生激光。
[0026]輸出鏡21是部分透射鏡，通過了輸出鏡21的激光成為輸出激光27而輸出到外部。該激光27通過可開閉的快門25向?qū)ο笪镎丈?。在后鏡22的側(cè)方，設(shè)置有檢測透過了后鏡22的激光27的輸出的激光檢測器26。激光檢測器26可以由光電二極管和熱電堆等構(gòu)成。
[0027]送風(fēng)機3由通過電動機驅(qū)動的風(fēng)扇或吹風(fēng)機構(gòu)成。經(jīng)由未圖示的送風(fēng)機逆變器向送風(fēng)機3提供電力，送風(fēng)機3通過該電力旋轉(zhuǎn)，使激光氣體沿著氣體流路Ia循環(huán)。在送風(fēng)機3的上游側(cè)和下游側(cè)的氣體流路I中分別配置有第一熱交換機31和第二熱交換機32。在各熱交換機31、熱交換機32中流動預(yù)定的制冷劑(例如冷卻水)。激光氣體通過與該制冷劑的熱交換而在通過熱交換器31、32時被冷卻，保持為預(yù)定溫度。
[0028]氣體流路Ia連通有用于向氣體流路Ia提供激光氣體的供氣流路11、用于從氣體流路Ia排氣激光氣體的排氣流路12。在供氣流路11中設(shè)置有供氣裝置13，經(jīng)由供氣裝置13從貯存了激光氣體的高壓的罐(未圖示)向氣體流路Ia提供激光氣體。在排氣流路12中設(shè)置有排氣裝置14，經(jīng)由排氣裝置14從氣體流路Ia排氣激光氣體。吸氣裝置13和排氣裝置14的構(gòu)成為i包含開閉閥。
[0029]在激光振蕩時，經(jīng)由供氣流路11和排氣流路12持續(xù)向氣體流路Ia提供排放激光氣體，進行激光氣體容器I內(nèi)的激光氣體的微量替換。在第一熱交換器31的下游側(cè)并且送風(fēng)機30的上游側(cè)設(shè)置有氣壓檢測器33，通過氣壓檢測器33檢測激光氣體容器I的氣壓。
[0030]在以上那樣構(gòu)成的激光裝置100中，激光氣體容器I是密閉的，但由于O型密閉圈等密封構(gòu)件的劣化和接頭的松弛等，激光氣體從激光氣體容器I泄漏、或大氣混入到激光氣體容器I內(nèi)，從而會使激光氣體的質(zhì)量惡化。如果激光氣體的質(zhì)量惡化，則無法得到希望的激光輸出，因此理想的是在照射激光之前掌握激光氣體容器I的密閉性的程度。因此，在本實施方式中，在激光振蕩器2的停止時和啟動時，通過控制部5進行以下這樣的處理，推定密閉性的程度。
[0031]此外，激光振蕩器2的啟動時是指從激光振蕩器2的啟動開始到啟動結(jié)束的期間，即相當(dāng)于從激光振蕩器2的電源接通開始到指示激光照射為止的準(zhǔn)備階段。在該激光振蕩器2的啟動時，快門25關(guān)閉，不進行向外部的激光照射。
[0032]圖2是表示本發(fā)明的第一實施方式的激光裝置100的控制結(jié)構(gòu)的一部分的框圖。控制部5的構(gòu)成為包含具有CPU、ROM、RAM、其他外圍電路等的運算處理裝置，具備控制激光氣體容器I內(nèi)的壓力的壓力控制部51、控制從激光器電源24向激光振蕩器2提供的電力的電力控制部(激光控制部52)。控制部5進行激光振蕩器2的停止處理(振蕩器停止處理)、激光振蕩器2的啟動處理(振蕩器啟動處理)。
[0033]向控制部5輸入來自激光檢測器26、氣壓檢測器33、由用戶輸入各種指令的輸入部4的信號。控制部5分別向激光器電源24、送風(fēng)機3 (送風(fēng)機逆變器)、供氣裝置13、排氣裝置14、快門25、顯示部6輸出控制信號，控制它們的工作。
[0034]圖3是表示振蕩器停止處理的一個例子的流程圖。例如如果經(jīng)由輸入部4指示了激光振蕩器2的停止，則開始該流程圖所示的處理。在步驟SI中，將激光振蕩器2的電源(激光器電源24)切斷。在步驟S2中，停止送風(fēng)機3的旋轉(zhuǎn)。由此，停止激光氣體容器I內(nèi)的激光氣體的循環(huán)。
[0035]在步驟S3中，調(diào)整激光氣體容器I內(nèi)的氣壓，使得通過氣壓檢測器33檢測出的氣壓成為比激光裝置100的周圍的大氣壓低的預(yù)定的氣壓GO (目標(biāo)氣壓)。通過控制吸氣裝置13和排氣裝置14，向激光氣體容器內(nèi)提供排放激光氣體來進行該調(diào)整。在步驟S4中，關(guān)閉吸氣裝置13的開閉閥和排氣裝置14的開閉閥等與激光氣體容器I連接的所有的閥。由此，激光氣體容器I成為密閉狀態(tài)。以上，結(jié)束振蕩器停止處理。
[0036]在激光振蕩中的氣壓(假定為激光氣體不循環(huán)的情況下的氣壓)被控制為比大氣壓低的預(yù)定的氣壓Ga的情況下，也可以將步驟S3的目標(biāo)氣壓GO設(shè)定為該氣壓Ga。由此，只通過簡單地關(guān)閉吸氣裝置13和排氣裝置14的開閉閥而切斷激光氣體的流動(步驟S4)，就能夠?qū)鈮赫{(diào)整為目標(biāo)氣壓G0。
[0037]目標(biāo)氣壓GO可以比大氣壓低，例如可以將目標(biāo)氣壓GO設(shè)定為比激光振蕩中的氣壓Ga高的值。在該情況下，向激光氣體容器I內(nèi)填充激光氣體而調(diào)整為目標(biāo)氣壓GO即可。另一方面，在激光振蕩中的氣壓Ga比大氣壓高的情況下，通過從激光氣體容器I內(nèi)排氣激光氣體，能夠?qū)鈮篜調(diào)整為目標(biāo)氣壓G0。此外，也可以在送風(fēng)機3的停止后，在待機到氣壓穩(wěn)定為止后，進行步驟S3的氣壓的調(diào)整。在振蕩器停止處理后，將激光氣體容器I保持為密閉狀態(tài)，不向激光氣體容器I內(nèi)進行激光氣體的提供排放。因此，與隨時進行激光氣體的提供排放的情況相比，能夠抑制激光氣體的消耗量。
[0038]在振蕩器啟動處理的結(jié)束后，激光氣體容器I保持密閉狀態(tài)而被擱置。這時，使密閉狀態(tài)的氣壓比大氣壓低，因此在激光氣體容器I的密封性存在問題的情況下，大氣侵入激光氣體容器I內(nèi)。由此，激光氣體的質(zhì)量惡化，激光輸出降低?？紤]到該點，在以下的振蕩器啟動處理中，在激光振蕩器2的啟動時，根據(jù)激光輸出的大小來推定激光氣體容器I的密閉性的程度。此外，越是使目標(biāo)氣壓GO比大氣壓低，則大氣越容易侵入激光氣體容器I內(nèi)，容易推定密閉性。
[0039]圖4是表示振蕩器啟動處理的一個例子的流程圖。例如，如果經(jīng)由輸入部4指示了激光振蕩器2 (激光器電源24)的電源接通，則激光器電源24成為接通，能夠受理激光振蕩器2的啟動，開始圖4的處理。
[0040]在步驟Sll中，向送風(fēng)機3輸出控制信號，啟動送風(fēng)機3。由此激光氣體在激光氣體容器I內(nèi)循環(huán)。在步驟S12中，調(diào)整激光氣體容器I內(nèi)的氣壓，使得通過氣壓檢測器33檢測出的氣壓成為預(yù)定的氣壓Gl。通過控制吸氣裝置13和排氣裝置14，向激光氣體容器I內(nèi)提供排放激光氣體來進行該調(diào)整。氣壓Gl是最適合于激光振蕩的氣壓(激光照射時的氣壓)，例如比目標(biāo)氣壓GO高。
[0041]在步驟S13中，向激光器電源24輸出控制信號，依照預(yù)定的振蕩條件使得從激光振蕩器2輸出激光。即，作為激光振蕩器2的初始動作,試驗地進行激光振蕩(激光振蕩試驗)。例如，只用Tl秒實施例如激光輸出指令Pl (W)、占空比指令Dl (%)的脈沖指令的激光振蕩試驗。這時，通過激光檢測器26檢測通過激光振蕩試驗產(chǎn)生的激光的輸出。在步驟S14中，將通過激光檢測器26檢測出的激光輸出的代表值Pal存儲在存儲器中。例如將在預(yù)定時間Tl的期間檢測出的激光輸出的平均值、或最后(Tl秒后)檢測出的激光輸出的值存儲為代表值Pal。
[0042]在步驟S15中，根據(jù)該激光輸出值Pal (以下，有時也會稱為激光輸出Pal)推定激光氣體容器I的密閉性的程度。如果將單位時間的激光氣體容器I內(nèi)的壓力變化定義為推定泄漏速率(單位為Pa/小時)，則在激光輸出值Pal和推定泄漏速率LI之間具有預(yù)定的相關(guān)關(guān)系。即，推定泄漏速率LI大的狀態(tài)是指在激光氣體容器I內(nèi)進入大氣后激光氣體的質(zhì)量惡化了的狀態(tài)，如果推定泄漏速率LI增大，則激光氣體內(nèi)的雜質(zhì)的比例增加，激光輸出值Pal減小。因此，預(yù)先通過試驗等求出激光輸出值Pal和推定泄漏速率LI之間的關(guān)系、即伴隨著激光輸出值Pal的增加而推定泄漏速率LI減少這樣的關(guān)系并存儲在存儲器中，在步驟S15中，使用該關(guān)系求出推定泄漏速率LI。由此，可推定激光氣體容器I的密閉性的程度。
[0043]在步驟S16中，向顯示部6輸出控制信號，顯示與激光輸出值Pal對應(yīng)的推定泄漏速率LI。由此，用戶能夠容易地掌握激光氣體容器I的密閉性的程度。以上，結(jié)束了振蕩器啟動處理。在振蕩器啟動處理結(jié)束了的階段，激光振蕩器2的啟動結(jié)束，成為能夠接受激光照射指令的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，如果經(jīng)由輸入部4指示了激光照射，則快門25打開，照射激光。
[0044]這樣，在第一實施方式中，在激光振蕩器2的停止時，將激光氣體容器I內(nèi)的氣壓調(diào)整為比大氣壓低的目標(biāo)氣壓GO (步驟S3)，在激光振蕩器2的啟動時，將激光氣體容器I內(nèi)的氣壓調(diào)整為適合于激光照射的氣壓Gl (步驟S12)。進而，在預(yù)定的振蕩條件下通過激光振蕩器2試驗地使激光振蕩(步驟S13)，根據(jù)通過該激光振蕩試驗得到的激光輸出值Pal來求出推定泄漏速率LI (步驟S15)，顯示在顯示部6上(步驟S16)。
[0045]由此，在容易產(chǎn)生激光氣體的泄漏的狀況下進行泄漏檢測，因此用戶能夠容易并且正確地掌握激光氣體容器I的密閉性的程度。另外，一邊使激光振蕩器2實際工作，一邊進行泄漏檢測，由此能夠高精度地推定激光氣體容器I的密閉性的程度。進而，在泄漏檢測時不檢測氣體溫度，因此不需要在激光裝置100中設(shè)置溫度檢測器，還能夠抑制激光裝置100的價格上升。
[0046]圖5是表示圖4的變形例子的流程圖。此外，對與圖4相同的地方賦予相同的符號。在圖5中，在步驟S14，將激光振蕩試驗后的激光輸出值Pal存儲在存儲器中后，前進到步驟S17。在步驟S17，判定該激光輸出值Pal是否小于預(yù)先確定的基準(zhǔn)值PU。基準(zhǔn)值Ptl是用于判定密閉性的好壞的閾值，被設(shè)定為成為是否需要密封構(gòu)件的更換等維護的基準(zhǔn)的值。
[0047]如果步驟S17是肯定的則前進到步驟S18，如果否定則跳過步驟S18，結(jié)束處理。在步驟S18中，向顯示部6輸出控制信號，顯示表示密閉性差的警告。由此，用戶能夠判斷激光氣體容器I的密閉性的好壞。在圖5的例子中，只在密閉性差的情況下，即只在對激光輸出產(chǎn)生成為問題的影響的情況下，顯示警告，因此能夠容易地進行密閉性的好壞判斷。
[0048]第二實施方式
[0049]參照圖6、圖7說明本發(fā)明的第二實施方式。以下，主要說明與第一實施方式的不同點。第二實施方式與第一實施方式的不同點是控制部5的振蕩器啟動處理,在振蕩器啟動處理之前，進行與第一實施方式相同的振蕩器停止處理。
[0050]圖6是表示通過第二實施方式的控制部5執(zhí)行的振蕩器啟動處理的一個例子的流程圖。圖中的步驟S21、步驟S22的處理與圖4的步驟S11、步驟S12的處理相同。S卩，在步驟S21中啟動送風(fēng)機3，在步驟S22中將激光氣壓調(diào)整為最適合于激光振蕩的氣壓G1。在步驟S23中，將激光振蕩試驗的實施次數(shù)NI加I并存儲在存儲器中。此外，在初始狀態(tài)下，NI被設(shè)定為O。在步驟S24中，與圖4的步驟S13同樣，只實施預(yù)定時間Tl的預(yù)定的激光振湯試驗(激光輸出指令P1、占空比指令Dl的脈沖指令)。
[0051]接著，在步驟S25中，判定激光輸出值Pal是否小于預(yù)先確定的基準(zhǔn)值PU。基準(zhǔn)值Ptl例如被設(shè)定為相當(dāng)于在激光氣體中沒有混入雜質(zhì)的正常狀態(tài)下照射激光的情況下的激光輸出。如果步驟S25是肯定的，則返回到步驟S23。由此，到激光輸出值Pal達到基準(zhǔn)值Pt2為止重復(fù)進行激光振蕩試驗，對激光振蕩試驗的次數(shù)進行計數(shù)。在激光氣體中含有雜質(zhì)的情況下，初始的激光輸出值Pal小，但在每次重復(fù)進行激光振蕩試驗時激光輸出值Pal上升。如果激光輸出值Pal達到基準(zhǔn)值Ptl，則步驟S25成為否定，前進到步驟S26。
[0052]在步驟S26中，使用激光振蕩試驗的實施次數(shù)NI，推定激光氣體容器I的密閉性的程度。在實施次數(shù)NI和推定泄漏速率LI之間具有以下的預(yù)定的相關(guān)關(guān)系，即實施次數(shù)NI越多，則推定泄漏速率LI越大。預(yù)先通過實驗等求出該關(guān)系并存儲在存儲器中，在步驟S26中，根據(jù)該關(guān)系求出與實施次數(shù)NI對應(yīng)的推定泄漏速率LI。在步驟S27中，與圖4的步驟S16同樣，將推定泄漏速率LI顯示在顯示部6上，結(jié)束振蕩器啟動處理。
[0053]這樣，在第二實施方式中，通過振蕩器停止處理，將激光氣體容器I內(nèi)的氣壓調(diào)整為比大氣壓低的氣壓G0，然后，通過振蕩器啟動處理，重復(fù)進行激光振蕩試驗直到激光輸出值Pal達到基準(zhǔn)值Ptl為止(步驟S23?步驟S25)，根據(jù)激光振蕩試驗的實施次數(shù)NI求出推定泄漏速率LI (步驟S26)。
[0054]由此，用戶與第一實施方式同樣，能夠容易并且正確地掌握激光氣體容器I的密閉性的程度，并且能夠抑制激光裝置100的價格上升。另外，在振蕩器啟動處理結(jié)束時，激光輸出值Pal成為基準(zhǔn)值Ptl以上，因此激光輸出穩(wěn)定，在激光照射指令時，能夠立即照射良好的激光。此外，也可以代替顯示推定泄漏速率LI，而與圖5同樣進行激光氣體容器I的密閉性的好壞判定。在該情況下，代替步驟S26、步驟S27，判定激光振蕩試驗的實施次數(shù)NI是否為預(yù)先確定的好壞判定的基準(zhǔn)的次數(shù)Nt以上，在NI為Nt以上的情況下顯示警告即可。
[0055]圖7是表示圖6的變形例子的流程圖。此外，對與圖6相同的地方附加相同的符號。在圖7中，使用上次振蕩器啟動處理中的激光振蕩試驗結(jié)束時的激光輸出值Pal，設(shè)定基準(zhǔn)值Pt(圖6的基準(zhǔn)值Ptl)。S卩，在步驟S29中，將重復(fù)進行激光振蕩試驗而激光輸出達到基準(zhǔn)值Ptl的情況下的激光輸出值Pal作為上次的振蕩啟動處理時的激光輸出Pp存儲在存儲器中。在步驟S28中，使用該激光輸出Pp，設(shè)定本次的振蕩啟動處理時的基準(zhǔn)值Ptl。例如，將Pp乘以預(yù)定的系數(shù)(例如0.9)所得的結(jié)果設(shè)定為基準(zhǔn)值PU。在步驟S25中，判定該基準(zhǔn)值Ptl和激光輸出值Pal的大小。
[0056]在圖7中，使用通過激光振蕩試驗得到的實際的激光輸出Pal(Pp)，設(shè)定下次振蕩器啟動處理中的激光振蕩試驗的基準(zhǔn)值PU，因此即使在每個激光裝置100存在特性的偏差的情況下，也能夠高精度地將激光輸出提高到適合于激光照射的希望的激光輸出。
[0057]第三實施方式
[0058]參照圖8?圖11說明本發(fā)明的第三實施方式。以下，主要說明與第二實施方式的不同點。第三實施方式與第二實施方式的不同點是控制部5的振蕩器啟動處理，在振蕩器啟動處理之前，進行與第一實施方式相同的振蕩器停止處理。在第二實施方式中，重復(fù)進行激光振蕩試驗直到激光輸出達到基準(zhǔn)值Ptl為止，但在第三實施方式中，設(shè)定多個振蕩條件(第一振蕩條件、第二振蕩條件)，根據(jù)各振蕩條件分別重復(fù)進行激光振蕩試驗。此外，以下將與第一振蕩條件對應(yīng)的激光振蕩試驗稱為激光振蕩試驗1，將與第二振蕩條件對應(yīng)的激光振湯試驗稱為激光振湯試驗2。
[0059]圖8是表示通過第三實施方式的控制部5執(zhí)行的振蕩器啟動處理的一個例子的流程圖。在圖8中，首先在步驟S31?步驟S35中，進行與圖6的步驟S21?步驟S25相同的處理。即，作為第一初始動作，依照第一振蕩條件重復(fù)進行激光振蕩試驗I直到激光輸出值Pal達到基準(zhǔn)值Ptl (第一基準(zhǔn)值)為止。在激光振蕩試驗I中，根據(jù)激光輸出指令Pl (第一激光輸出指令)、占空比指令Dl (第一占空比指令)的脈沖指令，只進行預(yù)定時間Tl (第一預(yù)定時間)的激光振蕩。
[0060]如果激光輸出Pal達到第一基準(zhǔn)值Ptl，則前進到步驟S36，作為第二初始動作，依照第二振蕩條件進行激光振蕩試驗2直到激光輸出(以下用Pa2表示它，與第一初始動作的激光輸出值Pal進行區(qū)別)達到第二基準(zhǔn)值Pt2為止，。在該情況下，首先在步驟S36中將激光振蕩試驗2的實施次數(shù)N2加I。此外，在初始狀態(tài)下，N2被設(shè)定為O。接著，在步驟S37中，依照預(yù)先確定的第二振蕩條件實施激光振蕩試驗2。即根據(jù)激光輸出指令P2(第二激光輸出指令)、占空比指令D2 (第二占空比指令)的脈沖指令而只進行預(yù)定時間T2 (第二預(yù)定時間)的激光振蕩。
[0061]第二激光輸出指令P2被設(shè)定為比第一激光輸出指令Pl大的值。由此，在激光振蕩試驗2中，能夠進行輸出比激光振蕩試驗I高的激光振蕩。此外,第二占空比指令D2、第二預(yù)定時間t2例如是與第一占空比指令D1、第一預(yù)定時間Tl相同的值。在步驟S38中，判定檢測出的激光輸出值Pa2是否小于預(yù)先確定的第二基準(zhǔn)值Pt2。第二基準(zhǔn)值Pt2被設(shè)定為比第一基準(zhǔn)值Ptl大的值。如果步驟S38是肯定的話則返回到步驟S36，將激光振蕩試驗2的次數(shù)N2加I。如果激光輸出值Pa2達到基準(zhǔn)值Pt2，則前進到步驟S39。
[0062]在步驟S39中，根據(jù)激光振蕩試驗I的實施次數(shù)NI和激光振蕩試驗2的實施次數(shù)N2來求出推定泄漏速率L2。預(yù)先通過實驗等求出例如預(yù)先將NI和N2相加所得的總實施次數(shù)和推定泄漏速率LI之間的關(guān)系、具體地說是總實施次數(shù)越是增加則推定泄漏速率LI越大這樣的關(guān)系并存儲在存儲器中，使用該關(guān)系求出與實施次數(shù)N1、N2對應(yīng)的推定泄漏速率LI。也可以將N1、N2分別乘以相互不同的系數(shù)α、β (例如α〈β)，將相乘后的a XNl和β ΧΝ2相加，求出與該相加值對應(yīng)的推定泄漏速率LI。接著，在步驟S40中，將推定泄漏速率LI顯示在顯示部6上，結(jié)束振蕩器啟動處理。
[0063]在第三實施方式中，在多個振蕩條件(第一振蕩條件、第二振蕩條件)下依次進行激光振蕩試驗(激光振蕩試驗1、激光振蕩試驗2)，根據(jù)激光振蕩試驗的實施次數(shù)N1、Ν2求出推定泄漏速率LI。由此，與第一實施方式和第二實施方式同樣，能夠容易并且正確額定掌握激光氣體容器I的密閉性的程度，并且能夠抑制激光裝置100的價格上升。另外，伴隨著激光振湯試驗從激光振湯試驗I向激光振湯試驗2的進展，增大激光輸出指令(Pal〈Pa2),因此能夠防止振蕩器啟動處理時的異常放電。
[0064]S卩，在激光氣體容器I中侵入了很多大氣的情況下，如果根據(jù)該的激光輸出指令進行激光振蕩試驗，則有可能產(chǎn)生異常放電而引起放電管的破損等。對于該點，在第三實施方式中，開始以低的激光輸出指令進行激光振蕩試驗(激光振蕩試驗1)，因此某種程度上除去在初始狀態(tài)下混入到激光氣體中的大氣中的水分，能夠降低雜質(zhì)的混入比例。因此，在其后提高激光輸出指令而進行激光振蕩試驗(激光振蕩試驗2)的情況下，能夠防止產(chǎn)生異常放電。
[0065]圖9是表示圖8的變形例子的流程圖。此外，對與圖8相同的地方附加相同的符號。在圖9中，根據(jù)激光氣體的狀態(tài)而省略第一初始動作。在進行圖9的處理時，在預(yù)先輸出了激光振蕩器2的電源關(guān)斷指令時，將切斷激光振蕩器2的電源之前的氣壓的檢測值GsO設(shè)為上次激光器運轉(zhuǎn)時的氣壓而存儲在存儲器中。然后，在指示了激光振蕩器2的電源接通時，將其后的氣壓(開始啟動處理之前的氣壓)的檢測值Gsl和GsO之間的差壓Gd(=Gsl-GsO)、即氣壓差Gd存儲在存儲器中。在該狀態(tài)下，進行圖9的振蕩器啟動處理。
[0066]在該情況下，首先啟動送風(fēng)機3 (步驟S31)，將氣壓調(diào)整為預(yù)定的氣壓Gl (步驟S32)。接著，在步驟S41中，判定氣壓差Gd是否大于預(yù)先確定的氣壓差的基準(zhǔn)值Gds?；鶞?zhǔn)值Gds是用于判斷是否進行第一初始動作的閾值。即，如果氣壓差Gd大，則可以認(rèn)為在激光氣體中混入了很多大氣，因此根據(jù)氣壓差Gd來判定是否進行第一初始動作。如果步驟S41是肯定則前進到步驟S34，如果是否定則跳過步驟S34，前進到步驟S36。
[0067]在步驟S34中，在第一振蕩條件下進行激光振蕩試驗1，前進到步驟S36。由此，在氣壓差Gd大的情況下，按照小的激光輸出指令Pl實施激光振蕩試驗1，因此能夠防止激光振蕩試驗時的異常放電。另一方面，在氣壓差Gd小的情況下，省略激光振蕩試驗1，因此能夠?qū)嵤┞勑У募す庹袷幵囼灐?br> [0068]然后，在步驟S36?步驟S38中，重復(fù)進行激光振蕩試驗2直到激光輸出值Pa2成為第二基準(zhǔn)值Pt2為止。接著，在步驟S42中，使用激光振蕩試驗2的實施次數(shù)N2，求出激光振蕩器2的推定泄漏速率LI。在該情況下，預(yù)先通過實驗等求出實施次數(shù)N2越大則推定泄漏速率LI越大這樣的關(guān)系并存儲在存儲器中，使用該關(guān)系求出推定泄漏速率LI。此外，在圖9中，在GcKGds時只進行一次激光振蕩試驗I，但也可以重復(fù)進行激光振蕩試驗I直到氣壓差Gd達到基準(zhǔn)值Gds為止。在該情況下，在步驟S42中，與圖8的步驟S39同樣，使用激光振蕩試驗I和激光振蕩試驗2的實施次數(shù)N1、N2求出推定泄漏速率LI即可。
[0069]如果激光氣體中混入了很多大氣，則激光振蕩器的啟動前的氣壓變大。因此，也可以代替使用氣壓差Gd，而使用激光振蕩器2的電源接通指令后并且激光照射指令前、即激光振蕩器2的啟動時的氣壓Gsl來判定是否進行第一初始動作。圖10是表示該情況下的處理的一個例子的流程圖。此外，對與圖9相同的地方附加相同的符號。
[0070]在圖10中，代替圖9的步驟S41，在步驟S43中判定氣壓Gsl是否大于預(yù)先確定的基準(zhǔn)值Gss?；鶞?zhǔn)值Gss是用于判斷是否進行第一初始動作的閾值，如果步驟S43是肯定則前進到步驟S34，執(zhí)行第一初始動作。由此，在氣壓Gsl大的情況下，以小的激光輸出指令Pl實施激光振蕩試驗1，因此能夠防止激光振蕩試驗時的異常放電。
[0071]但是，如果在振蕩器啟動處理的結(jié)束后指示了激光照射，則控制部5進行以下的控制、即反饋控制，根據(jù)激光輸出值和激光輸出指令之間的偏差增減向激光器電源24提供的電力。因此，在振蕩器啟動處理的結(jié)束之前，使反饋有效而確認(rèn)激光輸出，由此在激光照射指令時，能夠更確實地得到希望的激光輸出。圖11考慮到該點。此外，圖11是圖10的變形例子，對與圖10相同的地方附加相同的符號。
[0072]在圖11中，如果第二初始動作結(jié)束，則從步驟S38前進到步驟S45。在步驟S45中，與步驟S43同樣，判定氣壓Gsl是否大于基準(zhǔn)值Gss。如果步驟S45是肯定則前進到步驟S46，如果是否定則前進到步驟S42。在步驟S46中，依照預(yù)先確定的第三振蕩條件實施激光振蕩試驗3。即，根據(jù)激光輸出指令P3 (第三激光輸出指令)、占空比指令D3 (第三占空比指令)的脈沖指令而只進行預(yù)定時間T3 (第三預(yù)定時間)的激光振蕩。使向激光輸出指令的反饋有效而進行該步驟S46的處理。此外，將激光輸出指令P3例如設(shè)定為比激光輸出指令P2大的值。
[0073]接著，在步驟S47中，判定檢測出的激光輸出值Pa3是否小于預(yù)先確定的第三基準(zhǔn)值Pt3。例如將第三基準(zhǔn)值Pt3設(shè)定為比第二基準(zhǔn)值Pt2大的值。如果步驟S47是肯定則返回到步驟S46。由此，重復(fù)進行激光振蕩試驗3直到激光輸出值Pa3達到基準(zhǔn)值Pt3為止。如果步驟S47是否定則前進到步驟S42。
[0074]此外，在圖11中，在氣壓Gsl大于基準(zhǔn)值Gss的情況下，即在振蕩器啟動處理的開始時在激光氣體中混入了很多大氣的情況下，使反饋有效地實施激光振蕩試驗3。這是因為如果在激光氣體中混入了很多大氣，則激光輸出指令和激光輸出之間的偏差變大，可以認(rèn)為反饋的效果高。但是，并不限于此，也可以在第二初始動作后使反饋持續(xù)有效地實施激光振蕩試驗3。[0075]第四實施方式
[0076]參照圖12?圖16說明本發(fā)明的第四實施方式。以下，主要說明與第一實施方式的不同點。在第一實施方式中，根據(jù)激光輸出Pal求出激光振蕩器2的推定泄漏速率LI (圖4的步驟S15)，但在第四實施方式中，預(yù)先根據(jù)其他方法求出成為基準(zhǔn)的泄漏速率Lc，根據(jù)該泄漏速率Lc和激光輸出Pal求出推定泄漏速率LI。
[0077]在求出泄漏速率Lc的情況下，控制部5預(yù)先將指示激光振蕩器2的電源切斷時的氣壓GsO和時刻TsO分別存儲在存儲器中。接著，在指示了激光振蕩器2的電源接通時，控制部5例如進行圖12所示的處理(振蕩器電源接通處理)。如圖12所示，在步驟S51中，將在振蕩器電源接通處理的開始后檢測出的氣壓Gsl存儲在存儲器中。在步驟S52中，計算氣壓Gsl和電源切斷指令時的氣壓GsO之間的差壓、即氣壓差Gd (Gsl-GsO)0在步驟S53中，將當(dāng)前的時刻Tsl存儲在存儲器中。
[0078]在步驟S54中，從Tsl減去TsO，計算激光振蕩器2的停止時間Ts (振蕩器停止時間)。在步驟S55，將氣壓差Gd除以振蕩器停止時間Ts而計算出泄漏速率Lc (單位是Pa/小時)。在步驟S56，將激光振蕩器2的電源(激光器電源24)接通，結(jié)束振蕩器電源接通處理。由此，成為能夠接受激光振湯器2的啟動的狀態(tài)。
[0079]圖13是表示第四實施方式的振蕩器啟動處理的一個例子的流程圖。如果振蕩器電源接通處理結(jié)束，則開始圖13的處理。在步驟S61?步驟S64，進行與圖4的步驟Sll?步驟S14相同的處理。S卩，在步驟S61中啟動送風(fēng)機3，在步驟S62將激光氣壓調(diào)整為預(yù)定值Gl，在步驟S63實施激光振蕩試驗，在步驟S64將這時的激光輸出值Pal存儲在存儲器中。
[0080]接著，在步驟S65，根據(jù)預(yù)先通過振蕩器電源接通處理計算出的泄漏速率Lc和激光輸出值Pal，求出推定泄漏速率LI。例如，與圖4的步驟S15同樣，根據(jù)激光輸出Pal求出泄漏速率，計算該泄漏速率和泄漏速率Lc的平均值作為推定泄漏速率。在步驟S66中，將推定泄漏速率LI顯示在顯示部6上，結(jié)束振蕩器啟動處理。
[0081]在第四實施方式中，將在激光振蕩器2的停止時間中所測量的氣壓差Gd除以停止時間Ts來計算成為基準(zhǔn)的泄漏速率Lc，根據(jù)該泄漏速率Lc和激光輸出值Pal來計算推定泄漏速率LI。由此，能夠根據(jù)激光輸出的泄漏速率來修正通過簡單計算求出的泄漏速率Lc，因此能夠求出更正確的推定泄漏速率LI。
[0082]此外，也可以代替在步驟S55根據(jù)氣壓差Gd和振蕩器停止時間Ts求出泄漏速率Lc，而根據(jù)激光振蕩器2的啟動之前的氣壓Gsl和振蕩器停止時間Ts求出泄漏速率Lc，在步驟S65，根據(jù)該泄漏速率Lc和激光輸出值Pal來計算推定泄漏速率LI。也可以代替顯示推定泄漏速率LI，而根據(jù)推定泄漏速率LI來判斷激光氣體容器I的密閉性的好壞而顯示警
生口 ο
[0083]也可以不是氣壓差Gd和氣壓Gsl，而是監(jiān)視其他物理量而求出推定泄漏速率LI，或判定密閉性的好壞。圖14是表示圖13的變形例子的流程圖。此外，對與圖13相同的地方附加相同的符號。在圖14，考慮到如果激光氣體容器I的密閉性差則送風(fēng)機3的逆變器電力增大這一點，而監(jiān)視逆變器電力。此外，在圖14中，不使用振蕩器停止時間Ts而判定密閉性的好壞，因此在振蕩器啟動處理的開始之前不進行圖12的振蕩器電源接通處理。
[0084]在圖14中，在步驟S61中啟動了送風(fēng)機3后，在步驟S67中，將送風(fēng)機驅(qū)動用的逆變器的電力Eb存儲在存儲器中?？梢杂煽刂撇? (圖2的激光控制部52)取得逆變器電力Eb0接著，在步驟S62將激光氣壓調(diào)整為預(yù)定值G1，在步驟S63實施激光振蕩試驗，在步驟S64將激光輸出Pal存儲在存儲器中后，在步驟S68中，與圖5的步驟S17同樣，判定激光輸出值Pal是否小于基準(zhǔn)值PU。
[0085]如果步驟S68是否定則前進到步驟S69，如果是肯定則跳過步驟S69前進到步驟S70。在步驟S69，判定逆變器電力Eb是否大于預(yù)先確定的基準(zhǔn)值Ebs?；鶞?zhǔn)值Ebs是用于判斷密閉性的好壞的閾值，是預(yù)先通過實驗等求出的值。如果步驟S69是肯定則前進到步驟S70，如果是否定則跳過步驟S70，結(jié)束處理。在步驟S70，將表示激光氣體容器I的密閉性差的警告顯示在顯示部6上。
[0086]在圖14的例子中，在激光輸出值Pal小于基準(zhǔn)值Ptl的情況、或送風(fēng)機3的逆變器電力Eb大于基準(zhǔn)值Ebs的情況下，顯示警告。因此，能夠更確實地判斷激光氣體容器I的密閉性的好壞。此外，也可以代替判斷密閉性的好壞，而求出推定泄漏速率LI并進行顯示。在該情況下，也可以例如預(yù)先通過實驗等求出逆變器電力Eb和泄漏速率之間的關(guān)系并存儲在存儲器中，根據(jù)該關(guān)系計算出與逆變器電力Eb對應(yīng)的泄漏速率，將與根據(jù)該泄漏速率和激光輸出值Pal求出的泄漏速率的平均值作為推定泄漏速率LI。
[0087]圖15是表示圖13的另一個變形例子的流程圖。此外，對與圖13相同的地方附加相同的符號。在圖15中，考慮到如果激光振蕩器2的溫度(振蕩器溫度)低則激光輸出變低這一點，監(jiān)視振蕩器溫度。即，即使在密閉性沒有問題的情況下，有時也有因振蕩器溫度Tm低而激光輸出變低的情況，圖15是在防止該情況下錯誤地判斷密閉性差的例子。此外，在圖15中，也不使用振蕩器停止時間Ts來判定密閉性的好壞，因此在振蕩器啟動處理的開始之前不進行圖12的振蕩器電源接通處理。 [0088]圖16是與圖15的處理對應(yīng)的激光裝置100的框圖。如圖16所示，控制部5與檢測激光振蕩器2的溫度的溫度檢測器8連接。此外，也可以代替溫度檢測器8而使用溫度開關(guān)等其他溫度檢測部。
[0089]在圖15中，如果在步驟S64存儲了激光振蕩試驗時的激光輸出值Pal則前進到步驟S71，將通過溫度檢測器8檢測出的振蕩器溫度Tm存儲在存儲器中。在步驟S72中，判定激光輸出值Pal是否小于基準(zhǔn)值Ptl，如果是肯定則前進到步驟S73。在步驟S73，判定振蕩器溫度Tm是否高于預(yù)先確定的基準(zhǔn)值Tms?；鶞?zhǔn)值Tms是用于判斷是否能夠有效地進行密閉性好壞的判定的閾值，可以通過實驗等預(yù)先求出。
[0090]如果步驟S73是肯定則前進到步驟S74，將警告顯示在顯示部6上。如果步驟S73是否定，則跳過步驟S74而結(jié)束處理。由此，在振蕩器溫度Tm低的情況下(Tm ^Tms),即使在激光輸出值Pal小于基準(zhǔn)值Ptl的情況下，也不進行警告顯示，因此能夠防止錯誤地判定密閉性的好壞。
[0091](變形例子)
[0092]在上述實施方式中，將氣壓檢測器33設(shè)置在第一熱交換器31的下游側(cè)并且送風(fēng)機3的上游側(cè)，但只要檢測激光氣體容器I內(nèi)的激光氣壓，則可以將氣壓檢測部設(shè)置在其他位置。根據(jù)氣壓檢測器33的監(jiān)測值控制吸氣裝置13和排氣裝置14，將激光氣壓調(diào)整為預(yù)定值Gl，但壓力調(diào)整部的結(jié)構(gòu)并不限于此。在激光振蕩器2的啟動之前，激光氣壓成為比大氣壓低的目標(biāo)氣壓GO (第一氣壓)，激光振蕩器2的啟動并且激光照射之前的準(zhǔn)備階段中，只要對壓力調(diào)整部進行控制使得激光氣壓成為能夠振蕩激光的預(yù)定值Gl (第二氣壓)，則壓力控制部51的結(jié)構(gòu)可以是任意的。
[0093]只要在準(zhǔn)備階段中，控制激光振蕩器2使得激光振蕩器2執(zhí)行依照預(yù)先確定的振蕩條件輸出激光的初始動作(激光振蕩試驗)，則激光控制部52的結(jié)構(gòu)可以是任意的。只要根據(jù)通過作為激光檢測部的激光檢測器26檢測出的檢測值Pal，推定激光氣體容器I的密閉性的程度，則作為密閉推定部的控制部5的結(jié)構(gòu)可以是任意的。
[0094]在上述實施方式(圖4)中，使用在激光振蕩試驗時檢測出的激光輸出值Pal求出推定泄漏速率LI，但也可以使用與激光輸出值Pal具有相關(guān)關(guān)系的其他物理量(例如激光器電源24的電流、電壓、功率等)計算推定泄漏速率LI。因此，也可以由激光檢測器26以外構(gòu)成激光檢測部。在上述實施方式(圖6)中，根據(jù)激光振蕩試驗的實施次數(shù)NI來推定激光氣體容器I的密閉性的程度，但也可以根據(jù)實施激光振蕩試驗的時間(總時間)來推定它。
[0095]在上述實施方式(圖7)中，將在初始動作的結(jié)束時檢測出的激光輸出值Pal存儲在作為激光輸出存儲部的控制部5的存儲器中，使用該存儲的值Pp (=Pal)設(shè)定激光振蕩試驗時的基準(zhǔn)值Ptl(預(yù)定值)，但預(yù)定值的設(shè)定的方法并不限于此。在上述實施方式(圖5)中，對檢測出的激光輸出值Pal和閾值Pt I進行比較而判定密閉性的好壞，但也可以重復(fù)進行激光振蕩試驗直到激光輸出值Pal成為預(yù)定值Ptl為止，對這時的激光振蕩試驗進行的次數(shù)或時間和閾值進行比較，判定密閉性的好壞。
[0096]在上述實施方式(圖8)中,執(zhí)行依照第一振蕩條件輸出激光的激光振蕩試驗I (第一初始動作)、依照第二振蕩條件輸出激光的激光振蕩試驗2 (第二初始動作)，但也可以設(shè)定比這更多的振蕩條件，進行激光振蕩試驗。在該情況下，伴隨著激光振蕩試驗的進展，設(shè)定振蕩條件使得激光輸出指令逐漸增大即可。在圖8的步驟S39中，也可以與圖9?圖11同樣，根據(jù)通過第二初始動作輸出的激光的檢測值Pa2來求出推定泄漏速率LI。
[0097]在上述實施方式(圖9)中，將輸入了激光振蕩器2的電源的切斷指令時的氣壓的檢測值GsO存儲在作為氣壓存儲部的控制部5的存儲器中，但氣壓存儲部的結(jié)構(gòu)并不限于此。通過控制部5計算存儲在氣壓存儲部中的氣壓GsO和在激光振蕩器2的啟動之后檢測出的氣壓Gsl之間的差壓Gd，但也可以使用差壓計等檢測差壓Gd。在上述實施方式(圖10)中，將在激光振蕩器2的振蕩器啟動處理開始之前檢測出的氣壓Gsl存儲在作為氣壓存儲部的控制部5的存儲器中，但氣壓存儲部的結(jié)構(gòu)并不限于此。
[0098]在上述實施方式(圖11)中，在氣壓Gsl大于基準(zhǔn)值Gss時，依照第三振蕩條件通過反饋控制執(zhí)行第三初始動作，但也可以使反饋有效地進行其他初始動作。在上述實施方式(圖12)中，通過控制部5計算從激光振蕩器2的電源切斷到激光振蕩器2開始啟動為止的時間(振蕩器停止時間Ts)，但停止時間計算部的結(jié)構(gòu)并不限于此。對根據(jù)使用振蕩器停止時間Ts計算出的泄漏速率Lc和激光輸出值Pal求出的泄漏速率進行平均而求出推定泄漏速率LI，但只要根據(jù)振蕩器停止時間Ts和檢測出的激光輸出值Pal來推定密閉性的程度的話，則控制部5的結(jié)構(gòu)可以是任意的。
[0099]在上述實施方式(圖14)中，對送風(fēng)機3的逆變器電力Eb和基準(zhǔn)值Ebs的大小進行比較來推定密閉性的程度，但也可以使用與送風(fēng)機3的旋轉(zhuǎn)具有相關(guān)關(guān)系的其他物理量(例如送風(fēng)機3的電壓、功率、噴出壓力、吸入壓力等)來推定密閉性的程度。在該情況下，也可以使用與送風(fēng)機3的旋轉(zhuǎn)具有相關(guān)關(guān)系的多個物理量來推定密閉性的程度。在上述實施方式(圖15)中，通過溫度檢測器8檢測激光振蕩器2的溫度Tm，但也可以檢測與激光氣體容器I內(nèi)的激光氣體溫度具有相關(guān)關(guān)系的其他物理量，根據(jù)該檢測值和激光輸出值Pal來推定密閉性的程度。
[0100]也可以任意地組合上述實施方式和變形例子的一個或多個。
[0101]根據(jù)本發(fā)明，在激光振蕩器的啟動之前將激光氣體容器內(nèi)的氣壓設(shè)為比大氣壓低，在激光振蕩器的啟動時，根據(jù)激光輸出的檢測值來推定激光氣體容器的密閉性的程度，因此能夠容易并且正確地推定激光氣體容器的密閉性的程度。
[0102]以上，與其適合的實施方式關(guān)聯(lián)地說明了本發(fā)明，但本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員應(yīng)該理解能夠不脫離后述的權(quán)利要求的公開范圍而進行各種修正和變更。
【權(quán)利要求】
1.一種激光裝置，其特征在于，具備: 激光氣體容器(I )，其形成激光氣體所循環(huán)的氣體流路(Ia); 激光振蕩器(2)，其將在上述氣體流路中流動的激光氣體作為激勵介質(zhì)而振蕩激光； 氣壓檢測部(33)，其檢測上述激光氣體容器內(nèi)的激光氣壓； 壓力調(diào)整部(13，14)，其根據(jù)上述氣壓檢測部的監(jiān)測值來調(diào)整上述激光氣體容器內(nèi)的激光氣壓； 壓力控制部(51)，其控制上述壓力調(diào)整部，使得在上述激光振蕩器的啟動前，上述激光氣體容器內(nèi)的激光氣壓成為比大氣壓低的第一氣壓(GO),在上述激光振蕩器的啟動后，并且在激光向外部照射之前的準(zhǔn)備階段中，上述激光氣體容器內(nèi)的激光氣壓成為能夠振蕩激光的第二氣壓(Gl)； 激光控制部(52)，其控制上述激光振蕩器，使得在上述準(zhǔn)備階段中，上述激光振蕩器執(zhí)行依照預(yù)先確定的振蕩條件輸出激光的初始動作； 激光檢測部(26)，其檢測通過上述激光振蕩器的上述初始動作而輸出的激光或與該激光具有相關(guān)關(guān)系的物理量； 密閉推定部(5 )，其根據(jù)通過上述激光檢測部檢測出的檢測值，推定上述激光氣體容器的密閉性的程度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所 述的激光裝置，其特征在于， 上述激光控制部對上述激光振蕩器進行控制，使得執(zhí)行上述初始動作直到通過上述激光檢測部檢測出的檢測值(Pal)達到預(yù)定值(Ptl)為止， 上述密閉推定部根據(jù)上述初始動作所執(zhí)行的次數(shù)或時間來推定上述激光氣體容器的密閉性的程度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光裝置，其特征在于， 還具備:激光輸出存儲部(5)，其存儲在上述初始動作的結(jié)束時通過上述激光檢測部檢測出的檢測值， 預(yù)先根據(jù)存儲在上述激光輸出存儲部中的檢測值來設(shè)定上述預(yù)定值。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3的任意一項所述的激光裝置，其特征在于， 上述密閉推定部對通過上述激光檢測部檢測出的檢測值、或上述初始動作的執(zhí)行次數(shù)或時間和預(yù)先確定的閾值進行比較，判定上述激光氣體容器的密閉性的好壞。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4的任意一項所述的激光裝置，其特征在于， 上述初始動作包括:依照包含第一激光輸出的指令(Pl)的第一振蕩條件輸出激光的第一初始動作；依照包含比上述第一激光輸出大的第二激光輸出的指令(P2)的第二振蕩條件輸出激光的第二初始動作， 上述激光控制部對上述激光振蕩器進行控制，使得在上述準(zhǔn)備階段中，在執(zhí)行了上述第一初始動作后，執(zhí)行上述第二初始動作， 上述密閉推定部至少根據(jù)通過上述第二初始動作輸出的激光的檢測值(Pa2)，推定上述激光氣體容器的密閉性的程度。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光裝置，其特征在于， 還具備:氣壓存儲部(5)，其存儲輸入了上述激光振蕩器的電源的切斷指令時的通過上述氣壓檢測部檢測出的激光氣壓(GO )，上述激光控制部對上述激光振蕩器進行控制，使得在存儲在上述氣壓存儲部中的激光氣壓和在上述激光振蕩器的啟動后通過上述氣壓檢測部檢測出的激光氣壓(Gsl)之間的差壓(Gd)為預(yù)定值(Gds)以下時，不執(zhí)行上述第一初始動作而執(zhí)行上述第二初始動作。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光裝置，其特征在于， 還具備:氣壓存儲部(5)，其存儲在上述激光振蕩器的啟動前通過上述氣壓檢測部檢測出的激光氣壓(Gsl )， 上述激光控制部對上述激光振蕩器進行控制，使得在通過上述氣壓存儲部存儲的激光氣壓為預(yù)定值(Gss)以下時，不執(zhí)行上述第一初始動作而執(zhí)行上述第二初始動作。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的激光裝置，其特征在于， 上述激光控制部對上述激光振蕩器進行控制，使得在存儲在上述氣壓存儲部中的激光氣壓和在上述激光振蕩器的啟動后通過上述氣壓檢測部檢測出的激光氣壓之間的差壓大于上述預(yù)定值時、或通過上述氣壓存儲部存儲的激光氣壓大于上述預(yù)定值時，在執(zhí)行上述第二初始動作后，進而通過反饋控制來執(zhí)行依照包含第三激光輸出的指令(P3)的第三振蕩條件而輸出激光的第三初始動作。
9.根據(jù)權(quán)利要求1~8的任意一項所述的激光裝置，其特征在于， 還具備:停止時間計算部(5)，其求出從切斷上述激光振蕩器的電源到上述激光振蕩器開始啟動為止的振蕩器停止時間(Ts)， 上述密閉推定部根據(jù)通過上述激光檢測部檢測出的檢測值和通過上述停止時間計算部計算出的振蕩器停止時間，推定上述激光氣體容器的密閉性的程度。
10.根據(jù)權(quán)利要求1~9的任意一項所述的激光裝置，其特征在于， 還具備:送風(fēng)機(3 )，其使激光氣體在上述激光氣體容器內(nèi)循環(huán)， 上述密閉推定部根據(jù)通過上述激光檢測部檢測出的檢測值、與上述送風(fēng)機的旋轉(zhuǎn)具有相關(guān)關(guān)系的物理量(Eb)，推定上述激光氣體容器的密閉性的程度。
11.根據(jù)權(quán)利要求1~10的任意一項所述的激光裝置，其特征在于， 還具備:溫度檢測部(8)，其檢測與上述激光氣體容器內(nèi)的激光氣體溫度具有相關(guān)關(guān)系的物理量(Tm)， 上述密閉推定部根據(jù)通過上述激光檢測部檢測出的檢測值和通過上述溫度檢測部檢測出的物理量，推定上述激光氣體容器的密閉性的程度。
【文檔編號】H01S3/036GK104037596SQ201410078517
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2014年3月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月5日
【發(fā)明者】西尾明彥 申請人:發(fā)那科株式會社