監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法
【專利摘要】本發(fā)明提出了一種監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀態(tài)的方法，通過EAP服務(wù)器收集設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)數(shù)據(jù)，并進(jìn)入數(shù)據(jù)庫，經(jīng)過服務(wù)器對(duì)所述數(shù)據(jù)值的處理和分析，從而判斷控制基板是否存在異常，達(dá)到對(duì)控制基板進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控的目的，及時(shí)偵測故障并通知技術(shù)人員進(jìn)行相應(yīng)處理，避免造成更大損害，能夠提高設(shè)備機(jī)臺(tái)的利用率并達(dá)到一定的經(jīng)濟(jì)效益。
【專利說明】監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體行業(yè)所使用的設(shè)備機(jī)臺(tái)通常都屬于高精密設(shè)備，內(nèi)嵌有許多控制基板，控制不同部件進(jìn)行相應(yīng)的動(dòng)作和功能。例如尼康(Nikon)步進(jìn)式光刻機(jī)、掃描式光刻機(jī)就屬于一種高精密設(shè)備，安裝了超過100塊的控制基板。
[0003]然而，控制基板自身的工作狀況卻并非能被現(xiàn)有的軟件系統(tǒng)完全偵測到。也就是說，控制基板自判斷存在問題時(shí)，會(huì)通知設(shè)備報(bào)警，生產(chǎn)停止，人工介入干預(yù)；若控制基板發(fā)生無法自判斷的問題或基板軟件死機(jī)時(shí)，設(shè)備得不到基板異常的信號(hào)故不會(huì)報(bào)警，生產(chǎn)也并不會(huì)停止，所產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓存在異常，不符合工藝要求等。
[0004]因此，控制基板的工作狀況如何直接決定了設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的好壞。那么，如何對(duì)所述控制基板進(jìn)行監(jiān)測便成為本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種遠(yuǎn)程判斷設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法，能夠監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)部控制基板的工作狀況，達(dá)到監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的目的。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法，包括步驟:
[0007]EAP服務(wù)器間隔預(yù)定時(shí)間t向設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)部的控制基板發(fā)送索取數(shù)據(jù)值的信號(hào)；
[0008]所述控制基板將所述數(shù)據(jù)值反饋至所`述EAP服務(wù)器內(nèi)；
[0009]所述EAP服務(wù)器對(duì)所述數(shù)據(jù)值進(jìn)行處理，并判斷所述控制基板是否存在異常。
[0010]進(jìn)一步的，所述EAP服務(wù)器對(duì)所述數(shù)據(jù)值進(jìn)行處理的步驟包括:
[0011]記錄不同時(shí)間點(diǎn)的數(shù)據(jù)值Dp DfDn ；
[0012]數(shù)據(jù)處理后生成判斷差值dn=Dn_Dn_k在連續(xù)時(shí)間T之內(nèi)是否均為0，若所述差值dn在連續(xù)時(shí)間T之內(nèi)均為0，則說明控制基板反饋的數(shù)據(jù)已經(jīng)不變化，可推斷出控制基板存在異常。
[0013]其中，所述數(shù)據(jù)值DpD^Dn分別為預(yù)定時(shí)間為lt、2t?"nt時(shí)，所述控制基板反饋至所述EAP服務(wù)器內(nèi)的不同數(shù)據(jù)值；所述差值dn=Dn-Dn_k，η為正整數(shù)，k為小于η的正整數(shù)。
[0014]進(jìn)一步的，所述連續(xù)時(shí)間T大于等于5分鐘。
[0015]進(jìn)一步的，所述預(yù)定時(shí)間t時(shí)間為3秒。
[0016]進(jìn)一步的，所述EAP服務(wù)器通過RS232協(xié)議向設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)部的控制基板發(fā)送索取數(shù)據(jù)值的信號(hào)。
[0017]進(jìn)一步的，所述EAP服務(wù)器包括一數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)值均存儲(chǔ)在所述數(shù)據(jù)庫內(nèi)。
[0018]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)在:通過EAP服務(wù)器實(shí)時(shí)獲取設(shè)備狀態(tài)數(shù)據(jù)，經(jīng)處理后實(shí)現(xiàn)判斷，達(dá)到對(duì)控制基板進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控的目的，可實(shí)現(xiàn)極早期故障偵測，及時(shí)通知技術(shù)人員進(jìn)行相應(yīng)處理，避免造成制品異常，大大減少報(bào)廢接近達(dá)到O損失，提高制品質(zhì)量、良率從而實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)效益。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為本發(fā)明監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法的流程圖；
[0020]圖2為本發(fā)明監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明的監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0022]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0023]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、 明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0024]請參考圖1和圖2，在本實(shí)施例中，提出了一種監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法，包括步驟:
[0025]SlOO:EAP (設(shè)備自動(dòng)化程序，Equipment Automation Program)服務(wù)器間隔預(yù)定時(shí)間t向設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)部的控制基板發(fā)送索取數(shù)據(jù)值的信號(hào)；
[0026]在步驟SlOO中，所述預(yù)定時(shí)間t時(shí)間為3秒，即，EAP服務(wù)器每隔3s便向設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)部的控制基板發(fā)送索取數(shù)據(jù)值的信號(hào)，以便從所述控制基板獲取數(shù)據(jù)值，其中，所述EAP服務(wù)器是通過RS232協(xié)議向設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)部的控制基板發(fā)送索取數(shù)據(jù)值的信號(hào)。
[0027]S200:所述控制基板將所述數(shù)據(jù)值反饋至所述EAP服務(wù)器內(nèi)；
[0028]在步驟S200中，所述EAP服務(wù)器包括一數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)值均存儲(chǔ)在所述數(shù)據(jù)庫內(nèi)。
[0029]S300:所述EAP服務(wù)器對(duì)所述數(shù)據(jù)值進(jìn)行處理，并判斷所述控制基板是否存在異
常
[0030]在步驟S300中，所述EAP服務(wù)器對(duì)所述數(shù)據(jù)值進(jìn)行處理的步驟包括:
[0031]記錄不同時(shí)間點(diǎn)的數(shù)據(jù)值D1'DfDn ；
[0032]數(shù)據(jù)處理后生成判斷差值dn=Dn_Dn_k在連續(xù)時(shí)間T之內(nèi)是否均為0，若所述差值dn在連續(xù)時(shí)間T之內(nèi)均為0，則說明控制基板反饋的數(shù)據(jù)已經(jīng)不變化，可推斷出控制基板存在異常。
[0033]其中，所述數(shù)據(jù)值DpD^Dn分別為預(yù)定時(shí)間為lt、2t?"nt時(shí)，所述控制基板反饋至所述EAP服務(wù)器內(nèi)的不同數(shù)據(jù)值；所述差值dn=Dn-Dn_k，η為正整數(shù)，k為小于η的正整數(shù)。
[0034]在本實(shí)施例中，所述連續(xù)時(shí)間T大于等于5分鐘，具體的連線時(shí)間T可以根據(jù)工藝要求來決定。
[0035]由于設(shè)備機(jī)臺(tái)的均處于一種動(dòng)態(tài)變動(dòng)的狀態(tài)下，若監(jiān)測一數(shù)據(jù)值在超過5分鐘時(shí)的差值Cln均為0，即一直未出現(xiàn)任何變化，則說明該控制基板存在異常，此時(shí)需要對(duì)設(shè)備機(jī)臺(tái)進(jìn)行檢查。
[0036]綜上，在本發(fā)明實(shí)施例提供的監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法中，通過EAP服務(wù)器對(duì)設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)的控制基板間隔發(fā)送索取數(shù)據(jù)值的信號(hào)，控制基板根據(jù)信號(hào)反饋數(shù)據(jù)值至EAP服務(wù)器，經(jīng)過EAP服務(wù)器對(duì)所述數(shù)據(jù)值的處理和分析，從而判斷控制基板是否存在異常，達(dá)到對(duì)控制基板進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控的目的，及時(shí)偵測故障并通知技術(shù)人員進(jìn)行相應(yīng)處理，避免造成更大損害，能夠提高設(shè)備機(jī)臺(tái)的利用率并達(dá)到一定的經(jīng)濟(jì)效益，采用本實(shí)施例提出的方法能夠?qū)崿F(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)的狀況
[0037]上述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法，包括步驟: EAP服務(wù)器間隔預(yù)定時(shí)間t向設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)部的控制基板發(fā)送索取數(shù)據(jù)值的信號(hào)； 所述控制基板將所述數(shù)據(jù)值反饋至所述EAP服務(wù)器內(nèi)； 所述EAP服務(wù)器對(duì)所述數(shù)據(jù)值進(jìn)行處理，并判斷所述控制基板是否存在異常。
2.如權(quán)利要求1所述的監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法，其特征在于，所述EAP服務(wù)器對(duì)所述數(shù)據(jù)值進(jìn)行處理的步驟包括: 記錄不同時(shí)間點(diǎn)的數(shù)據(jù)值D1、D2…Dn ； 數(shù)據(jù)處理后生成判斷差值dn=Dn-Dn-k在連續(xù)時(shí)間T之內(nèi)是否均為O，若所述差值dn在連續(xù)時(shí)間T之內(nèi)均為O，則說明控制基板反饋的數(shù)據(jù)已經(jīng)不變化，可推斷出控制基板存在異常 其中，所述數(shù)據(jù)值D1、D2…Dn分別為預(yù)定時(shí)間為lt、2t…nt時(shí)，所述控制基板反饋至所述EAP服務(wù)器內(nèi)的不同數(shù)據(jù)值；所述差值dn=Dn-Dn-k，n為正整數(shù)，k為小于η的正整數(shù)。
3.如權(quán)利要求2所述的監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法，其特征在于，所述連續(xù)時(shí)間T大于等于5分鐘。
4.如權(quán)利要求2所述的監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法，其特征在于，所述預(yù)定時(shí)間t時(shí)間為3秒。
5.如權(quán)利要求1所述的監(jiān)測設(shè)備機(jī)臺(tái)狀況的方法，其特征在于，所述EAP服務(wù)器通過RS232協(xié)議向設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)部的控制基板發(fā)送索取數(shù)據(jù)值的信號(hào)。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK103871934SQ201410098498
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2014年3月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月17日
【發(fā)明者】葛斌 申請人:上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司