一種半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，包括機(jī)械臂、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、控制器和若干角度傳感器，若干角度傳感器設(shè)于機(jī)械臂的一端上，機(jī)械臂的另一端與旋轉(zhuǎn)馬達(dá)連接，旋轉(zhuǎn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)馬達(dá)和若干角度傳感器分別與控制器連接，若干角度傳感器實(shí)時(shí)將機(jī)械臂一端的旋轉(zhuǎn)角度傳遞至控制器。本發(fā)明的技術(shù)方案精確控制硅片在機(jī)械傳送過程中的物理狀態(tài)，實(shí)時(shí)調(diào)整目標(biāo)角度，適應(yīng)了先進(jìn)半導(dǎo)體制程的需要。
【專利說明】一種半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]機(jī)械臂在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中被廣泛使用，通常采用多種方式接觸硅片背面，用來傳送硅片。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，以及半導(dǎo)體制程研發(fā)的不斷創(chuàng)新，為了不斷解決實(shí)際生產(chǎn)中所遇到的新問題，例如需要對硅片背面進(jìn)行激光標(biāo)記，有利于硅片的識別及后續(xù)制程；需要對硅片的背面經(jīng)行顆粒的測量，以評估顆粒對元器件良率的影響；需要對硅片背面經(jīng)行檢測其是否有異常，以判斷是否對元器件性能有影響；在快速退火技術(shù)中，遇到了由于硅片正面有圖形而帶來的許多問題，采用背部退火是其未來的發(fā)展趨勢，所以選擇在硅片背面展開工藝是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)先進(jìn)制程的發(fā)展方向。
[0003]專利CN102867769A公開了晶圓傳遞機(jī)械臂以及半導(dǎo)體制造設(shè)備。根據(jù)本發(fā)明的晶圓傳遞機(jī)械臂包括:機(jī)械臂吸盤、以及布置在所述機(jī)械臂吸盤的一個(gè)表面上的多個(gè)橡膠頭；所述機(jī)械臂吸盤能夠進(jìn)行吸氣以吸附晶圓；并且其中，所述橡膠頭為與所述機(jī)械臂吸盤接觸面積較大而與所述晶圓的接觸面積較小的錐形體。該專利提供一種能夠在利用晶圓傳遞機(jī)械臂移動(dòng)晶圓時(shí)不會將晶圓帶出晶舟槽從而使得晶圓存在破碎危險(xiǎn)和能夠提高產(chǎn)能的晶圓傳遞機(jī)械臂。但該專利存在機(jī)械臂動(dòng)作控制不準(zhǔn)確的問題。
[0004]專利CN101202209公開了一種制造半導(dǎo)體元件之裝置。該裝置包含真空晶片傳輸模塊，設(shè)置成列以對應(yīng)機(jī)臺，承載室模塊，用以在真空中傳輸晶片，第一處理室，設(shè)置于上述這些真空晶片傳輸模塊周圍，以處理從該承載室模塊傳輸之上述這些晶片，第一緩沖機(jī)臺，設(shè)置于上述這些真空晶片傳輸模塊內(nèi)，使得上述這些晶片可加載于其上且從其卸載，第一傳輸機(jī)械臂，設(shè)置于上述這些第一處理室間，以將上述這些晶片從該承載室模塊傳輸至上述這些第一處理室，接著將上述這些晶片從該承載室模塊傳輸至上述這些第一緩沖機(jī)臺上，第二處理室，設(shè)置于上述這些真空晶片傳輸模塊周圍，以處理從上述這些第一緩沖機(jī)臺傳輸之上述這些晶片，以及第二傳輸機(jī)械臂，設(shè)置于上述這些第二處理室間，以將傳輸至上述這些第一緩沖機(jī)臺之上述這些晶片傳輸至上述這些第二處理室。但該專利任然存在機(jī)械臂動(dòng)作控制不準(zhǔn)確的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]鑒于上述問題，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)。
[0006]本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為:
[0007]一種半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其中，包括機(jī)械臂、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、控制器和若干角度傳感器，所述若干角度傳感器設(shè)于所述機(jī)械臂的一端上，所述機(jī)械臂的另一端與所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)連接，所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)和若干角度傳感器分別與所述控制器連接，所述若干角度傳感器實(shí)時(shí)將所述機(jī)械臂一端的旋轉(zhuǎn)角度傳遞至所述控制器，所述控制器根據(jù)預(yù)定的旋轉(zhuǎn)角度和所述若干角度傳感器傳遞的旋轉(zhuǎn)角度控制所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)。
[0008]所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其中，還包括吸附裝置和硅片，所述吸附裝置設(shè)于所述機(jī)械臂的一端，所述硅片通過所述吸附裝置與所述機(jī)械臂的一端相連。
[0009]所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其中，還包括與所述機(jī)械臂的一端相配合的多層傳送平臺，所述多層傳送平臺上還設(shè)有方向定位器。
[0010]所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其中，所述吸附裝置為真空吸附裝置。
[0011]所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其中，所述若干角度傳感器的數(shù)量為3個(gè)。
[0012]所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其中，所述3個(gè)角度傳感器間距相等的設(shè)于所述機(jī)械臂的一端。
[0013]所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其中，所述機(jī)械臂的一端的形狀呈V形，所述V形機(jī)械臂一端的開口的底端通過所述機(jī)械臂的另一端與所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)相連。
[0014]所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其中，所述3個(gè)角度傳感器分別設(shè)于V形機(jī)械臂一端的兩個(gè)端部和開口的底端。
[0015]所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其中，所述V形機(jī)械臂的一端的中心線與所述機(jī)械臂的旋轉(zhuǎn)軸線重合。
[0016]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果:
[0017]本發(fā)明采用旋轉(zhuǎn)馬達(dá)帶動(dòng)機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)，由位于機(jī)械臂上的間距相等的動(dòng)態(tài)角度傳感器實(shí)時(shí)同步反饋旋轉(zhuǎn)度數(shù)，由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的控制器對其進(jìn)行判斷，旋轉(zhuǎn)馬達(dá)系統(tǒng)對其進(jìn)行校正，達(dá)到精確控制硅片在機(jī)械傳送過程中的物理狀態(tài)，動(dòng)態(tài)角度傳感器實(shí)時(shí)反饋目標(biāo)角度，使其達(dá)到目標(biāo)角度，以適應(yīng)先進(jìn)半導(dǎo)體制程需要的目的。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]參考所附附圖，以更加充分的描述本發(fā)明的實(shí)施例。然而，所附附圖僅用于說明和闡述，并不構(gòu)成對本發(fā)明范圍的限制。
[0019]圖1是本發(fā)明實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是本發(fā)明實(shí)施例機(jī)械臂一端的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3是本發(fā)明實(shí)施例工作流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明方法進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0023]如圖1中所示的本發(fā)明實(shí)施例的一種半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其中，包括機(jī)械臂1、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)2、控制器和若干角度傳感器3。若干角度傳感器3設(shè)于機(jī)械臂I的一端上，機(jī)械臂I的另一端與旋轉(zhuǎn)馬達(dá)2連接。旋轉(zhuǎn)馬達(dá)2驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂I旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)馬達(dá)2和若干角度傳感器3分別與控制器連接。若干角度傳感器3實(shí)時(shí)將機(jī)械臂I一端的旋轉(zhuǎn)角度傳遞至控制器?？刂破鞲鶕?jù)預(yù)定的旋轉(zhuǎn)角度和若干角度傳感器3傳遞的旋轉(zhuǎn)角度控制旋轉(zhuǎn)馬達(dá)2驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂I旋轉(zhuǎn)。
[0024]本發(fā)明實(shí)施例采用旋轉(zhuǎn)馬達(dá)帶動(dòng)機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)，由位于機(jī)械臂上的間距相等的動(dòng)態(tài)角度傳感器實(shí)時(shí)同步反饋旋轉(zhuǎn)度數(shù)，由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的控制器對其進(jìn)行判斷，旋轉(zhuǎn)馬達(dá)系統(tǒng)對其進(jìn)行校正，達(dá)到精確控制硅片在機(jī)械傳送過程中的物理狀態(tài)，動(dòng)態(tài)角度傳感器實(shí)時(shí)反饋目標(biāo)角度，使其達(dá)到目標(biāo)角度，以適應(yīng)先進(jìn)半導(dǎo)體制程需要的目的
[0025]如圖1中所示，在本發(fā)明實(shí)施例中，一種半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，還包括通過真空吸附裝置與機(jī)械臂3 —端相連的硅片4，設(shè)于多層傳送平臺5上的方向定位器6。
[0026]如圖2中所示，在本發(fā)明實(shí)施例中，優(yōu)選3個(gè)動(dòng)態(tài)角度傳感器3間距相等，實(shí)時(shí)同步反饋硅片旋轉(zhuǎn)度數(shù)。
[0027]如圖3中所示，在本發(fā)明實(shí)施例的一種半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)的工作流程為:使用真空系統(tǒng)從硅片背面吸住硅片，機(jī)械臂運(yùn)動(dòng)至安全位置，由旋轉(zhuǎn)馬達(dá)帶動(dòng)機(jī)械臂抓爪旋轉(zhuǎn)180°，由機(jī)械臂上的3個(gè)間距相等的角度傳感器實(shí)時(shí)同步反饋旋轉(zhuǎn)度數(shù)，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)判斷是否旋轉(zhuǎn)180°，判斷結(jié)果為是則翻轉(zhuǎn)硅片完成，進(jìn)行下一步動(dòng)作，否則對機(jī)械臂抓爪旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行校正，旋轉(zhuǎn)馬達(dá)系統(tǒng)開始工作，3個(gè)間距相等的角度傳感器實(shí)時(shí)同步反饋旋轉(zhuǎn)度數(shù)，校正完成后再由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)判斷是否旋轉(zhuǎn)180°，校正機(jī)械臂抓爪旋轉(zhuǎn)角度的動(dòng)作反復(fù)進(jìn)行，直至計(jì)算機(jī)系統(tǒng)判斷旋轉(zhuǎn)180°完成后，進(jìn)行下一步動(dòng)作。
[0028]本發(fā)明實(shí)施例的一種半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)精確控制硅片在機(jī)械傳送過程中的物理狀態(tài)，動(dòng)態(tài)角度傳感器實(shí)時(shí)調(diào)整目標(biāo)角度，以適應(yīng)先進(jìn)半導(dǎo)體制程的需要。
[0029]對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括機(jī)械臂、旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、控制器和若干角度傳感器，所述若干角度傳感器設(shè)于所述機(jī)械臂的一端上，所述機(jī)械臂的另一端與所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)連接，所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)和若干角度傳感器分別與所述控制器連接，所述若干角度傳感器實(shí)時(shí)將所述機(jī)械臂一端的旋轉(zhuǎn)角度傳遞至所述控制器，所述控制器根據(jù)預(yù)定的旋轉(zhuǎn)角度和所述若干角度傳感器傳遞的旋轉(zhuǎn)角度控制所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括吸附裝置和硅片，所述吸附裝置設(shè)于所述機(jī)械臂的一端，所述硅片通過所述吸附裝置與所述機(jī)械臂的一端相連。
3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括與所述機(jī)械臂的一端相配合的多層傳送平臺，所述多層傳送平臺上還設(shè)有方向定位器。
4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述吸附裝置為真空吸附裝置。
5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述若干角度傳感器的數(shù)量為3個(gè)。
6.如權(quán)利要求5中所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述3個(gè)角度傳感器間距相等的設(shè)于所述機(jī)械臂的一端。
7.如權(quán)利要求6中所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述機(jī)械臂的一端的形狀呈V 形，所述V形機(jī)械臂一端的開口的底端通過所述機(jī)械臂的另一端與所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)相連。
8.如權(quán)利要求7中所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述3個(gè)角度傳感器分別設(shè)于V形機(jī)械臂一端的兩個(gè)端部和開口的底端。
9.如權(quán)利要求8中所述的半導(dǎo)體設(shè)備的機(jī)械臂的動(dòng)態(tài)傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述V形機(jī)械臂的一端的中心線與所述機(jī)械臂的旋轉(zhuǎn)軸線重合。
【文檔編號】H01L21/67GK103904008SQ201410106605
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2014年3月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月20日
【發(fā)明者】鄧尚上, 賴朝榮, 蘇俊銘, 張旭昇 申請人:上海華力微電子有限公司