形成膜層圖案的方法
【專利摘要】一種形成膜層圖案的方法至少包括下列步驟。(1)利用第一對(duì)位記號(hào)與第二對(duì)位記號(hào)量測(cè)出第一膜層圖案與第二膜層圖案之間的第一偏移值D1。(2)利用第一偏移值D1計(jì)算出第一虛擬原點(diǎn)值O1。(3)利用第二對(duì)位記號(hào)與第一罩幕對(duì)位記號(hào)量測(cè)出第二膜層圖案與第一罩幕圖案之間的第二偏移值D2。(4)利用第一虛擬原點(diǎn)值O1與第二偏移值D2計(jì)算出第一罩幕圖案與第一虛擬原點(diǎn)之間的第三偏移值D3。(5)判斷第三偏移值D3是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)。
【專利說明】形成膜層圖案的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是有關(guān)于一種形成膜層圖案的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著顯示面板的分辨率的提升，顯示面板中的薄膜晶體管的尺寸越做越小。此時(shí)，若顯示面板各膜層圖案間的對(duì)位稍有偏差，則會(huì)導(dǎo)致薄膜晶體管的電性異常，進(jìn)而造成各種無法預(yù)期的異常問題。
[0003]在公知形成膜層圖案的方法中，均是以第一膜層圖案的第一對(duì)位記號(hào)為基準(zhǔn)形成后續(xù)多個(gè)膜層圖案的。然而，以目前制造機(jī)臺(tái)的對(duì)位能力而言，制造機(jī)臺(tái)僅能將任二膜層圖案間的對(duì)位偏移量控制在±1微米以內(nèi)。這樣一來，若形成第二膜層圖案時(shí)是以第一膜層圖案的第一對(duì)位記號(hào)為基準(zhǔn)，則第一膜層圖案與第二膜層圖案之間的對(duì)位偏移量可能為I微米。若形成第三膜層圖案時(shí)仍是以第一膜層圖案的第一對(duì)位記號(hào)為基準(zhǔn)，則第一膜層圖案與第三膜層圖案之間的對(duì)位偏移量可能為為一I微米。此時(shí)，第二膜層圖案與第三膜層圖案之間的對(duì)位偏移量已高達(dá)2微米，進(jìn)而造成顯示面板的各種異常問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供一種形成膜層圖案的方法，其可提高各膜層間的對(duì)位精度。
[0005]具有第一對(duì)位記號(hào)的第一膜層圖案、具有第二對(duì)位記號(hào)的第二膜層圖案、第三膜層以及用以圖案化第三膜層且具有第一罩幕對(duì)位記號(hào)的第一罩幕圖案依序堆棧在基板上。本發(fā)明的形成膜層圖案的方法包括下列步驟:
(I)利用第一對(duì)位記號(hào)與第二對(duì)位記號(hào)量測(cè)出第一膜層圖案與第二膜層圖案之間的第一偏移值Dl。
[0006](2)利用第一偏移值Dl計(jì)算出第一虛擬原點(diǎn)值01。
[0007](3)利用第二對(duì)位記號(hào)與第一罩幕對(duì)位記號(hào)量測(cè)出第二膜層圖案與用以圖案化第三膜層的第一罩幕圖案之間的第二偏移值D2。
[0008](4)利用第一虛擬原點(diǎn)值01與第二偏移值D2計(jì)算出第一罩幕圖案與第一虛擬原點(diǎn)之間的第三偏移值D3。
[0009](5)判斷第三偏移值D3是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)，若第三偏移值D3在規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(6)。若第三偏移值D3不在規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(7)-(9)。
[0010]步驟(6)為:利用第一罩幕圖案圖案化第三膜層，以形成具有一第三對(duì)位記號(hào)的
一第三膜層圖案。
[0011]步驟(7)為:去除第一罩幕圖案。
[0012]步驟(8)為:利用第三偏移值D3做為第一補(bǔ)正值，以重新形成用以圖案化第三膜
層的第一罩幕圖案。
[0013]步驟(9)為:重復(fù)步驟(3)-(5),(7)-(8)中的至少步驟(3) - (5)，直到判斷第三偏移值D3在規(guī)格值的范圍內(nèi)。[0014]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，在上述的步驟⑵中還包括:利用公式Ol = (D1/2)，計(jì)算出第一虛擬原點(diǎn)值01。
[0015]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的步驟(4)為:利用公式D3 二 01 + D2,計(jì)算出第
三偏移值D3。
[0016]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，在上述的步驟(5)中當(dāng)?shù)谌浦礑3在規(guī)格值的范圍內(nèi)。形成膜層圖案的方法還包括:
步驟(10):去除第一罩幕圖案。
[0017]步驟(11):在第三膜層圖案上形成第四膜層。
[0018]步驟(12):利用第二對(duì)位標(biāo)記與第三對(duì)位標(biāo)記量測(cè)出第二膜層圖案與第三膜層圖案之間的第四偏移值D4。
[0019]步驟(13):利用第一偏移值Dl以及第四偏移值D4計(jì)算出第二虛擬原點(diǎn)值02。
[0020]步驟(14):在第四膜層上形成用以圖案化第四膜層的第二罩幕圖案。第二罩幕圖案具有第二罩幕對(duì)位記號(hào)。
[0021]步驟(15):利用第一對(duì)位標(biāo)記與第二罩幕對(duì)位記號(hào)量測(cè)出第一膜層圖案與第二罩幕圖案之間的第五偏移值D5。
[0022]步驟(16):利用第五偏移值D5與第二虛擬原點(diǎn)值02計(jì)算出第二罩幕圖案與第二虛擬原點(diǎn)之間的第六偏移值D6。
[0023]步驟(17):判斷第六偏移值是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)，若第六偏移值D6在規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(18)，若第六偏移值D6不在規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟
(19)-(21)。
[0024]步驟(18):利用第二罩幕圖案圖案化第四膜層，以形成具有第四對(duì)位記號(hào)的第四膜層圖案。
[0025]步驟(19):去除第二罩幕圖案。
[0026]步驟(20)利用第六偏移值D6做為第二補(bǔ)正值，以進(jìn)行步驟(14)。
[0027]步驟(21):重復(fù)步驟(15)-(17)、(19)-(20)中的至少步驟(15) - (17)，直到判斷第六偏移值D6在規(guī)格值的范圍內(nèi)。
[0028]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的步驟(13)為:利用公式02= Dl + (D4/2),計(jì)
算出第二虛擬原點(diǎn)值02。
[0029]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的步驟(16)為:利用公式D6 二 D5-02 ,計(jì)算出第六偏移值D6。
[0030]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，在上述的步驟(5)中當(dāng)?shù)谌浦礑3在規(guī)格值的范圍內(nèi)。形成膜層圖案的方法還包括:
步驟(22):去除第一罩幕圖案。
[0031]步驟(23):在第三膜層圖案上形成第四膜層。
[0032]步驟(24)利用第一對(duì)位標(biāo)記與第三對(duì)位標(biāo)記量測(cè)出第一膜層圖案與第三膜層圖案之間的第七偏移值D7。
[0033]步驟(25):利用第七偏移值D7算出第三虛擬原點(diǎn)值03。
[0034]步驟(26):在第四膜層上形成用以圖案化第四膜層的第二罩幕圖案。第二罩幕圖案具有第二罩幕對(duì)位記號(hào)。
[0035]步驟(27):利用第一對(duì)位標(biāo)記與第二罩幕對(duì)位記號(hào)量測(cè)出第一膜層圖案與第二罩幕圖案之間的第八偏移值D8。
[0036]步驟(28):利用第八偏移值D8與第三虛擬原點(diǎn)值03計(jì)算出第二罩幕圖案與第二虛擬原點(diǎn)之間的第九偏移值D9。
[0037]步驟(29):判斷第九偏移值D9是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)，若第九偏移值D9在規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(30)，若第九偏移值D9不在規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟
(31)-(33)。
[0038]步驟(30):利用第二罩幕圖案圖案化第四膜層，以形成具有第四對(duì)位記號(hào)的第四膜層圖案。
[0039]步驟(31):去除第二罩幕圖案。
[0040]步驟(32):利用第九偏移值D9做為第三補(bǔ)正值，以再次進(jìn)行步驟(26)。
[0041]步驟(33)重復(fù)步驟(27)-(29)、(31)-(32)中的至少步驟(27) - (29)，直到判斷第九偏移值D9在規(guī)格值的范圍內(nèi)。
[0042]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的步驟(25)為利用公式03 = D7/2，計(jì)算出第三虛擬原點(diǎn)值03。
[0043]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的步驟(28)為利用公式D9 = D8-03 ,計(jì)算出第九偏移值D9。
[0044]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，當(dāng)上述的第九偏移值D9在規(guī)格值的范圍內(nèi)。形成膜層圖案的方法還包括下列步驟:
步驟(34):去除第二罩幕圖案。
[0045]步驟(35):在第四膜層圖案上形成第五膜層。
[0046]步驟(36):在第五膜層上形成用以圖案化第五膜層的第三罩幕圖案，第三罩幕圖案具有第三罩幕對(duì)位記號(hào)。
[0047]步驟(37):利用第一對(duì)位標(biāo)記與第三罩幕對(duì)位記號(hào)量測(cè)出第一膜層圖案與第三罩幕圖案之間的第十偏移值D10。
[0048]步驟(38):利用第十偏移值DlO與第一虛擬原點(diǎn)值01計(jì)算出第三罩幕圖案與第一虛擬原點(diǎn)之間的第i 偏移值DlI。
[0049]步驟(39):判斷第十一偏移值Dll是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)，若第十一偏移值Dll在規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(40)，若第十一偏移值Dll不在規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(41)-(43)。
[0050]步驟(40):利用第三罩幕圖案圖案化第五膜層，以形成第五膜層圖案。
[0051]步驟(41):去除第三罩幕圖案。
[0052]步驟(42):利用第十一偏移值Dll做為第四補(bǔ)正值，以再次進(jìn)行步驟(36)。
[0053]步驟(43):重復(fù)步驟(37)-(39)、(41)-(42)中的至少步驟(37) - (39)，直到判斷第十一偏移值Dll在規(guī)格值的范圍內(nèi)。
[0054]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的步驟(38)為:利用公式Dll = DlO-01，計(jì)算出第十一偏移值D11。[0055]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，當(dāng)上述的第九偏移值D9在規(guī)格值的范圍內(nèi)。形成膜層圖案的方法還包括下列步驟:
步驟(44):去除第二罩幕圖案。
[0056]步驟(45):在第四膜層圖案上形成第五膜層。
[0057]步驟(46):利用第一對(duì)位標(biāo)記與第四對(duì)位記號(hào)量測(cè)出第一膜層圖案與第四膜層圖案之間的第十二偏移值D12。
[0058]步驟(47):利用第十二偏移值D12計(jì)算出第一膜層圖案與第四膜層圖案之間的第四虛擬原點(diǎn)值04。
[0059]步驟(48):在第五膜層上形成用以圖案化第五膜層的第三罩幕圖案，第三罩幕圖案具有第三罩幕對(duì)位記號(hào)。
[0060]步驟(49):利用第一對(duì)位標(biāo)記與第三罩幕對(duì)位記號(hào)量測(cè)出第一膜層圖案與第三罩幕圖案之間的第十三偏移值D13。
[0061]步驟(50):利用第十三偏移值D13與第四虛擬原點(diǎn)值04計(jì)算出第三罩幕圖案與第四虛擬原點(diǎn)之間的第十四偏移值D14。
[0062]步驟(51):判斷第十四偏移值D14是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)，若第十四偏移值D14在規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(52)，若第十四偏移值D14不在規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(53)-(55)。
[0063]步驟(52):利用第三罩幕圖案圖案化第五膜層，以形成第五膜層圖案。
[0064]步驟(53):去除第三罩幕圖案。
[0065]步驟(54):利用第十四偏移值D14做為第五補(bǔ)正值，以再次進(jìn)行步驟(47)。
[0066]步驟(55):重復(fù)步驟(48)-(51)、(53)-(54)中的至少步驟(48) - (51)，直到判斷第十四偏移值D14在規(guī)格值的范圍內(nèi)。
[0067]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的步驟(47)為利用公式04 二 D12/2，計(jì)算出第四虛擬原點(diǎn)值04。
[0068]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的步驟(50)為利用公式D14 = D13-04，計(jì)算出第十四偏移值D14。
[0069]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第一對(duì)位標(biāo)記為十字型標(biāo)記。十字型標(biāo)記將基板劃分為沿逆時(shí)針方向依序配置的第一象限、第二象限、第三象限以及第四象限。
[0070]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第二對(duì)位標(biāo)記、第一罩幕標(biāo)記、第三對(duì)位標(biāo)記、第二罩幕標(biāo)記、第三對(duì)位標(biāo)記、第三罩幕標(biāo)記、第四對(duì)位標(biāo)記、第五對(duì)位標(biāo)記的至少其中之一包括:分別配置在第一象限、第二象限、第三象限以及第四象限的多個(gè)條狀圖案。十字型標(biāo)記包括互相垂直且交錯(cuò)的二支干。任一條狀圖案與至少一支干相隔一段距離。
[0071]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第一膜層圖案還具有薄膜晶體管的柵極。第二膜層圖案還具有薄膜晶體管的信道。第三膜層圖案還具有薄膜晶體管的源極與漏極。第四膜層圖案還具有暴露出漏極的開口。第五膜層圖案還具有用以填入開口而與漏極電性連接的像素電極。
[0072]基于上述，本發(fā)明的形成膜層圖案的方法是至少用以:在具有第一對(duì)位標(biāo)記的第一膜層圖案以及具有第二對(duì)位標(biāo)記的第二膜層圖案上形成第三膜層圖案。特別是，將第一膜層圖案與第二膜層圖案之間的虛擬原點(diǎn)視為比較的基準(zhǔn)，并判斷做為第三膜層圖案的罩幕的罩幕圖案與虛擬原點(diǎn)之間的偏移量是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)，以使第三膜層與第一膜層圖案之間的對(duì)位精度、第三膜層與第二膜層圖案之間的對(duì)位精度提升。
[0073]為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合所附圖式作詳細(xì)說明如下。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0074]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的第一膜層圖案、第二膜層圖案、第三膜層以及用以圖案化第三膜層的第一罩幕圖案的上視示意圖；
圖2為本發(fā)明另一實(shí)施例的第一膜層圖案、第二膜層圖案、第三膜層以及用以圖案化第三膜層的第一罩幕圖案的上視示意圖；
圖3為本發(fā)明再一實(shí)施例的第一膜層圖案、第二膜層圖案、第三膜層以及用以圖案化第三膜層的第一罩幕圖案的上視示意圖；
圖4為本發(fā)明一實(shí)施例的形成第三膜層圖案的流程示意圖；
圖5為本發(fā)明一實(shí)施例的第一膜層圖案、第二膜層圖案、利用前述方法形成的第三膜層圖案、第四膜層以及用以圖案化第四膜層的第二罩幕圖案的上視示意圖；
圖6為本發(fā)明一實(shí)施例的形成第四膜層圖案的流程示意圖；
圖7為本發(fā)明另一實(shí) 施例的形成第四膜層圖案的流程示意圖；
圖8為本發(fā)明一實(shí)施例的第一膜層圖案、第二膜層圖案、利用前述方法形成的第三膜層圖案、利用前述方法形成的第四膜層圖案、第五膜層以及用以圖案化第五膜層的第三罩幕圖案的上視示意圖；
圖9為本發(fā)明一實(shí)施例的形成第五膜層圖案的流程示意圖；
圖10為本發(fā)明一實(shí)施例的第一膜層圖案、第二膜層圖案、利用前述方法形成的第三膜層圖案、利用前述方法形成的第四膜層圖案以及利用前述方法形成的第五膜層圖案的上視示意圖；
圖11為本發(fā)明另一實(shí)施例形成第五膜層圖案的流程示意圖。
[0075]【主要組件符號(hào)說明】
10、10’:第一對(duì)位記號(hào)
11、12:支干
20、20’:第二對(duì)位記號(hào)
21、31’、31、41’、51’:條狀圖案 30:第三對(duì)位記號(hào) 30’、30’’ --第一罩幕對(duì)位記號(hào) 40’:第二罩幕對(duì)位記號(hào)
40:第四對(duì)位記號(hào)
50’:第三罩幕對(duì)位記號(hào)
110:基板
A-N:距離
ch:信道
CH’:第四膜層 CH:第四膜層圖案 GE、GE’:第一膜層圖案 d:漏極 g:柵極
MCH:第二罩幕圖案 MSD、MSD’’:第一罩幕圖案 MPE:第三罩幕圖案 PE’:第五膜層 PE:第五膜層圖案 PX:像素電極 SD，、SD”:第三膜層 SE、SE’:第二膜層圖案 s:源極
S1-S8、S10-S20、S22-S32、S34-S42、S44-S54:步驟
SL:掃描線
Rl:第一象限
R2:第二象限
R3:第三象限
R4:第四象限
x、y:方向。
[0076]【具體實(shí)施方式】
[0077]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的第一膜層圖案、第二膜層圖案、第三膜層以及用以圖案化第三膜層的第一罩幕圖案的上視示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D1，第一膜層圖案GE、第二膜層圖案SE、第三膜層SD’以及用以圖案化第三膜層SD’的第一罩幕圖案MSD依序堆棧在基板110上。第一膜層圖案GE具有第一對(duì)位記號(hào)10。在本實(shí)施例中,第一膜層圖案GE還具有薄膜晶體管的柵極g以及與柵極g電性連接的掃描線SL。換言之，第一對(duì)位記號(hào)10、柵極g以及掃描線SL可屬于同一膜層。需說明的是，本發(fā)明并不限定第一膜層圖案GE必需為柵極g所屬的膜層圖案，在其他實(shí)施例中，第一膜層圖案GE亦可為像素陣列基板的其他膜層圖案。
[0078]在本實(shí)施例中，第一對(duì)位記號(hào)10可為十字型標(biāo)記。十字型標(biāo)記包括互相垂直且交錯(cuò)的二個(gè)支干11、12。一個(gè)支干11在方向X上延伸。另一個(gè)支干12在與方向X垂直的方向y上延伸。二支干11、12將基板110劃分為沿逆時(shí)針方向依序配置的第一象限R1、第二象限R2、第三象限R3以及第四象限R4。需說明的是，本發(fā)明不限定第一對(duì)位記號(hào)10的形狀必需為十字型，在其他實(shí)施例中，第一對(duì)位記號(hào)10亦可為其他適當(dāng)形狀，將于后續(xù)實(shí)施例中舉例說明。
[0079]第二膜層圖案SE配置在第一膜層圖案GE上方。第二膜層圖案SE具有第二對(duì)位記號(hào)20。在本實(shí)施例中，第二膜層圖案SE還具有薄膜晶體管的信道ch。換言之，第二對(duì)位記號(hào)20與薄膜晶體管的信道ch可屬于同一膜層圖案。需說明的是，本發(fā)明并不限定第二膜層圖案SE必需是信道ch所屬的膜層圖案，在其他實(shí)施例中，第二膜層圖案SE亦可為像素陣列基板的其他膜層圖案。
[0080]在本實(shí)施例中，第二對(duì)位記號(hào)20可為多個(gè)條狀圖案21。這些條狀圖案21可分別配置在由第一對(duì)位記號(hào)10劃分出的第一象限R1、第二象限R2、第三象限R3以及第四象限R4上。需說明的是，本發(fā)明不限定第二對(duì)位記號(hào)20的形狀必需為多個(gè)條狀圖案，在其他實(shí)施例中，第二對(duì)位記號(hào)20亦可為其他適當(dāng)形狀，將于后續(xù)實(shí)施例中舉例說明。
[0081]第三膜層SD’配置在第二膜層圖案SE上方。需說明的是，為清楚表達(dá)起見，在圖1中，系以無任何花色的圖樣代表第三膜層SD’。在本實(shí)施例中，第三膜層SD’系全面性覆蓋第一膜層圖案GE與第二膜層圖案SE。用以圖案化第三膜層SD’的第一罩幕圖案MSD配置在第三膜層SD’上。第一罩幕圖案MSD具有第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’。在本實(shí)施例中，第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’可為多個(gè)條狀圖案31’。這些條狀圖案31’可分別配置第一象限R1、第二象限R2、第三象限R3以及第四象限R4上且與第二膜層圖案SE的多個(gè)條狀圖案21錯(cuò)開。更進(jìn)一步地說，在本實(shí)施例中，第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’可配置于第二對(duì)位記號(hào)20與第一對(duì)位記號(hào)10之間。需說明的是，本發(fā)明不限定第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’的形狀需為多個(gè)條狀圖案31’，亦不限定第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’需配置于第二對(duì)位記號(hào)20與第一對(duì)位記號(hào)10之間。在其他實(shí)施例中，第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’的形狀以及第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’、第一對(duì)位記號(hào)10、第二對(duì)位記號(hào)20的相對(duì)位置均可視實(shí)際需求適當(dāng)設(shè)計(jì)之。以下利用圖2、圖3為例說明之。
[0082]圖2為本發(fā)明另一實(shí)施例的第一膜層圖案、第二膜層圖案、第三膜層以及用以圖案化第三膜層的第一罩幕圖案的上視示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D2，圖2的第一膜層圖案GE、第二膜層圖案SE、第三膜層SD’、第一罩幕圖案MSD與圖1的第一膜層圖案GE、第二膜層圖案SE、第三膜層SD’、第一罩幕圖案MSD相似，因此二者以相同的標(biāo)號(hào)表示。圖2與圖1的不同處在于:圖2的第一對(duì)位記號(hào)10、第二對(duì)位記號(hào)20、第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’的相對(duì)位置與圖1的第一對(duì)位記號(hào)10、第二對(duì)位記號(hào)20、第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’的相對(duì)位置不同。詳言之,在圖2的實(shí)施例中，第二對(duì)位記號(hào)20可配置于第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’與第一對(duì)位記號(hào)10之間。與圖1相同地，利用圖2的第一對(duì)位記號(hào)10、第二對(duì)位記號(hào)20、第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’亦可得知第一膜層圖案GE、第二膜層圖案SE、第一罩幕圖案MSD的任二者間的偏移值，本領(lǐng)域具有通常知識(shí)者參照后續(xù)與圖1相關(guān)的說明可推知如何應(yīng)用圖2的第一對(duì)位記號(hào)10、第二對(duì)位記號(hào)20、第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’，以得知第一膜層圖案GE、第二膜層圖案SE、第一罩幕圖案MSD的任二者間的偏移值，于此便不再詳述。
[0083]圖3為本發(fā)明再一實(shí)施例的第一膜層圖案、第二膜層圖案、第三膜層以及用以圖案化第三膜層的第一罩幕圖案的上視示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D3，圖3的第一膜層圖案GE’、第二膜層圖案SE’、第三膜層SD’’以及用以圖案化第三膜層SD’’的第一罩幕圖案MSD’’依序堆棧在基板110上。在圖3的實(shí)施例中，第一膜層圖案GE’的第一對(duì)位記號(hào)10’可為矩形圖案。第二膜層圖案SE’的第二對(duì)位記號(hào)20’可為包圍第一對(duì)位記號(hào)10’的口字型圖案。第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’’可為包圍第一對(duì)位記號(hào)10’以及第二對(duì)位記號(hào)20’的口字型圖案。與圖1相同地，利用圖3的第一對(duì)位記號(hào)10’、第二對(duì)位記號(hào)20’、第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’’亦可得知第一膜層圖案GE’、第二膜層圖案SE’、第一罩幕圖案MSD’ ’的任二者間的偏移值。本領(lǐng)域具有通常知識(shí)者參照與下列與圖1相關(guān)的說明可推知如何應(yīng)用圖3的第一對(duì)位記號(hào)10’、第二對(duì)位記號(hào)20’、第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’ ’得知第一膜層圖案GE’、第二膜層圖案SE’、第一罩幕圖案MSD’ ’的任二者間的偏移值，于此便不再詳述。
[0084]本發(fā)明一實(shí)施例的形成膜層圖案的方法是至少用于:在依序堆棧于基板上的第一膜層圖案、第二膜層圖案上形成第三膜層圖案，以下利用圖4為例說明之。
[0085]圖4為本發(fā)明一實(shí)施例的形成第三膜層圖案的流程示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D1及圖4，首先，進(jìn)行步驟S1:利用第一對(duì)位記號(hào)10與第二對(duì)位記號(hào)20量測(cè)出第一膜層圖案GE與第二膜層圖案SE之間的第一偏移值D1。詳言之，請(qǐng)參照?qǐng)D1，分別配置在第一象限R1、第三象限R3上的第二對(duì)位記號(hào)20的二條狀圖案21與支干12平行。配置在第一象限Rl上的條狀圖案21在方向X上與支干12相隔一段距離C。配置在第三象限R3上的條狀圖案21在方向X上與支干12相隔一段距離A。透過比較距離A、C，可得知第一膜層圖案GE與第二膜層圖案SE之間在方向X上的第一偏移值Dl。詳言之，制造者在量測(cè)出距離A、C后，可將距離A、
C代入下列公式(一):D1 = (C -A)/2 ,以獲得第一膜層圖案GE與第二膜層圖案SE之間
在方向X上的第一偏移值Dl。舉例而言，若距離A為32微米，距離C為30微米，則將距離A、C代入上列公式(一)后可計(jì)算出第一膜層圖案GE與第二膜層圖案SE之間在方向X上的第一偏移值Dl為一 I微米。
[0086]需說明的是，為清楚表達(dá)起見，在本說明書中，關(guān)于各種偏移值的計(jì)算是以在方向X上的偏移值為例說明。此外，將于后續(xù)說明提及的各種虛擬原點(diǎn)值以及各種補(bǔ)正值的計(jì)算亦是以在方向X上的虛擬原點(diǎn)值、補(bǔ)正值為例說明。本領(lǐng)域具有通常知識(shí)者參照本說明中在方向X上的各種偏移值、虛擬原點(diǎn)值、補(bǔ)正值的計(jì)算可推知在方向I上的偏移值、虛擬原點(diǎn)值、補(bǔ)正值的計(jì)算，于此便不再詳述。
[0087]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D1及圖4，接著，進(jìn)行步驟S2:利用第一偏移值Dl計(jì)算出第一虛擬原點(diǎn)值01。舉例而言，在本實(shí)施例中，步驟S2可為:利用下列公式(二):01 = (Dl/2)，計(jì)算出第一虛擬原點(diǎn)值01。若公式(一)代入上列公式(二)可獲得公式(三):Ol = (C - A)/4。舉例而言，若距離A為32微米，距離C為30微米，將距離A、C代入公式
(三)后可計(jì)算出第一虛擬原點(diǎn)值01為一0.5微米。
[0088]請(qǐng)參照?qǐng)D1及圖4，接著，進(jìn)行步驟S3:利用第二對(duì)位記號(hào)20與第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’量測(cè)出第二膜層圖案SE與第一罩幕圖案MSD之間的第二偏移值D2。詳言之，請(qǐng)參照?qǐng)D1，第二對(duì)位記號(hào)20中位于第一象限Rl的條狀圖案21與第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’中位于第一象限Rl的條狀圖案31’在方向X上相隔一段距離D。第二對(duì)位記號(hào)20中位于第三象限R3的條狀圖案21與第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’中位于第三象限R3的條狀圖案31’在方向x上相隔一段距離B。透過比較距離B、D，可得知第二膜層圖案SE與第一罩幕圖案MSD之間在方向X上的第二偏移值D2。詳言之,制造者在量測(cè)出距離B、D后,可將距離B、D代入公式
(四):D2二(B -D)/2 ,以獲得第二膜層圖案SE與第一罩幕圖案MSD之間在方向X上的
第二偏移值D2。舉例而言，若距離D為6微米，距離B為10微米，則將距離B、D代入公式(四)后可計(jì)算出第二偏移值D2為2微米。
[0089]請(qǐng)參照?qǐng)D1及圖4，接著，進(jìn)行步驟S4:利用第一虛擬原點(diǎn)值01與第二偏移值D2計(jì)算出第一罩幕圖案MSD與第一虛擬原點(diǎn)之間在方向X上的第三偏移值D3。詳言之，可利用公式(五):D3 = 01 + D2，計(jì)算出第三偏移值D3。將先前計(jì)算出的第一虛擬原點(diǎn)值Ol (即一 0.5微米)、第二偏移值D2(即2微米)代入公式(五)可計(jì)算出第三偏移值D3為1.5微米。
[0090]請(qǐng)參照?qǐng)D1及圖4，接著，進(jìn)行步驟S5:判斷第三偏移值D3是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)。在本實(shí)施中，規(guī)格值的范圍例如為大于或等于一 I微米至小于或等于I微米。第三偏移值D3(即1.5微米)超出規(guī)格值的范圍。因此，制造者需依照?qǐng)D4中標(biāo)示為「否」的箭頭方向進(jìn)行步驟S7:去除第一罩幕圖案MSD。接著，進(jìn)行步驟S8:利用第三偏移值D3做為第一補(bǔ)正值，以重新形成用以圖案化第三膜層SD’的第一罩幕圖案MSD。
[0091]在重新形成第一罩幕圖案MSD后，重復(fù)進(jìn)行步驟S3-S5、S7-S8中的至少步驟S3-S5，以判斷重新形成的第一罩幕圖案MSD與第一虛擬原點(diǎn)之間的第三偏移值D3是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)。詳言之，若在重復(fù)進(jìn)行步驟S3-S5后，判斷出重新形成的第一罩幕圖案MSD與第一虛擬原點(diǎn)之間的第三偏移值D3是在規(guī)格值的范圍內(nèi)，則可依照?qǐng)D4中標(biāo)示為「是」的箭頭方向進(jìn)行步驟S6:利用符合規(guī)格的第一罩幕圖案MSD圖案化第三膜層SD’，以形成具有第三對(duì)位記號(hào)30 (標(biāo)示于圖5)的第三膜層圖案SD (標(biāo)示于圖5)。若重復(fù)進(jìn)行步驟S3-S5后，判斷重新形成的第一罩幕圖案MSD與第一虛擬原點(diǎn)之間的第三偏移值D3仍然不在規(guī)格值的范圍內(nèi)，則需再次重復(fù)步驟S7、S8、S3-S5，直到于步驟S5中判斷出再次形成第一罩幕圖案MSD與第一虛擬原點(diǎn)之間的第三偏移值D3是在規(guī)格值的范圍內(nèi)，方可進(jìn)行步驟S6，以形成第三膜層圖案SD(標(biāo)示于圖5)。
[0092]圖5為本發(fā)明一實(shí)施例的第一膜層圖案、第二膜層圖案、利用前述方法形成的第三膜層圖案、第四膜層以及用以圖案化第四膜層的第二罩幕圖案的上視示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D5，利用前述方法形成的第三膜層圖案SD具有利用圖1的第一罩幕對(duì)位記號(hào)30’形成的第三對(duì)位記號(hào)30。在本實(shí)施例中，第三膜層圖案SD還具有薄膜晶體管的源極s與漏極d。換言之，第三對(duì)位記號(hào)30與薄膜晶體管的源極s與漏極d可屬于同一膜層圖案。需說明的是，本發(fā)明并不限定第三膜層圖案SD必需是源極s與漏極d所屬的膜層圖案，在其他實(shí)施例中，第三膜層圖案SD亦可為像素陣列基板的其他膜層圖案。
[0093]圖4所述的形成第三膜層圖案SD的發(fā)明精神亦用以形成后續(xù)的第四膜層圖案CH，以下以圖6為例說明之。圖6為本發(fā)明一實(shí)施例的形成第四膜層圖案的流程示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D1、圖5及圖6，首先，進(jìn)行步驟SlO:去除第一罩幕圖案MSD (標(biāo)示于圖1)，而露出第三膜層圖案SD (標(biāo)示于圖5)。接著，請(qǐng)參照?qǐng)D5及圖6，進(jìn)行步驟Sll:在第三膜層圖案SD上形成第四膜層CH’。需說明的是，為清楚表達(dá)起見，在圖5中，系以無任何花色的圖樣代表第四膜層CH’。第四膜層CH’例如為全面性覆蓋第一膜層圖案GE、第二膜層圖案SE、第三膜層圖案SD的完整圖案。
[0094]請(qǐng)參照?qǐng)D5及圖6，接著，進(jìn)行步驟S12:利用第二對(duì)位標(biāo)記20與第三對(duì)位記號(hào)30量測(cè)出第二膜層圖案SE與第三膜層圖案SD之間的第四偏移值D4。詳言之，如圖5所示，第三對(duì)位標(biāo)記30包括分別配置在第一象限R1、第二象限R2、第三象限R3以及第四象限R4的多個(gè)條狀圖案31。第三對(duì)位記號(hào)30中位于第一象限Rl的條狀圖案31與第二對(duì)位記號(hào)20中位于第一象限Rl的條狀圖案21相隔一段距離E。第三對(duì)位記號(hào)30中位于第三象限R3的條狀圖案31與第二對(duì)位記號(hào)20中位于第三象限R3的條狀圖案21相隔一段距離F。制造者在量測(cè)出距離E、F后，可將距離E、F代入公式(六):D4_ = (F-E)/2，以獲得第二
膜層圖案SE與第三膜層圖案SD之間在方向X上的第四偏移值D4。舉例而言，若距離E為
6.5微米，距離F為9.5微米，則將距離E、F代入公式(六)后可計(jì)算出第四偏移值D4為
1.5微米。
[0095]請(qǐng)參照?qǐng)D5及圖6，接著，進(jìn)行步驟S13:利用第一偏移值Dl以及第四偏移值D4計(jì)
算出第二虛擬原點(diǎn)值02。詳言之，在本實(shí)施例中，可利用公式(七):02 二 Dl + (D4/2)
，計(jì)算出第二虛擬原點(diǎn)值02。舉例而言，將上述的第四偏移值D4(即1.5微米)、第一偏移值Dl (即一 I微米)代入公式(七)可得第二虛擬原點(diǎn)值02為一 0.25微米。
[0096]請(qǐng)參照?qǐng)D5及圖6，接著，進(jìn)行步驟S14:在第四膜層CH’上形成用以圖案化第四膜層CH’的第二罩幕圖案MCH。第二罩幕圖案MCH具有第二罩幕對(duì)位記號(hào)40’。接著，進(jìn)行步驟S15:利用第一對(duì)位標(biāo)記10與第二罩幕對(duì)位記號(hào)40’量測(cè)出第一膜層圖案GE與第二罩幕圖案MCH之間的第五偏移值D5。詳言之,在本實(shí)施例中，第二罩幕對(duì)位記號(hào)40’包括分別配置在第一象限R1、第二象限R2、第三象限R3以及第四象限R4的多個(gè)條狀圖案41’。第二罩幕對(duì)位記號(hào)40’中位于第一象限Rl的條狀圖案41’與第一對(duì)位標(biāo)記10的支干12在方向x上相隔一段距離G。第二罩幕對(duì)位記號(hào)40’中位于第三象限R3的條狀圖案41’與支干12在方向X上相隔一段距離H。制造者在量測(cè)出距離G、H后，可將距離G、H代入公式(八):
D5 = (G-H)/2，以獲得第一膜層圖案GE與第二罩幕圖案MCH之間在方向X上的第五偏
移值D5。舉例而言，若距離G為8微米，距離H為6微米，則將距離G、H代入公式(八)后可計(jì)算出第五偏移值D5為I微米。
[0097]接著，進(jìn)行步驟S16:利用第五偏移值D5與第二虛擬原點(diǎn)值02計(jì)算出第二罩幕圖案MCH與第二虛擬原點(diǎn)之間的第六偏移值D6。詳言之,在本實(shí)施例中，可利用公式(九):D6 = -02 ,計(jì)算出第六偏移值D6。舉例而言，將上述的第五偏移值D5(即I微米)與第二虛擬原點(diǎn)值02 (即一 0.25微米)代入公式(九)，可得出第六偏移值D6為1.25微米。
[0098]接著，進(jìn)行步驟S17:判斷第六偏移值D6是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)。在本實(shí)施中，規(guī)格值的范圍例如為大于或等于一 I微米至小于或等于I微米。第六偏移值D6(即1.25微米)超出規(guī)格值的范圍。因此，制造者需依照?qǐng)D6中標(biāo)示為「否」的箭頭方向進(jìn)行步驟S19:去除第二罩幕圖案MCH。接著，進(jìn)行步驟S20:利用第六偏移值D6做為第二補(bǔ)正值，以再次進(jìn)行步驟S14。于步驟S14重新形成第二罩幕圖案MCH后，重復(fù)步驟S15-S17、S19-S20中的至少步驟S15-S17，以判斷重新形成第二罩幕圖案MCH與第二虛擬原點(diǎn)之間的第六偏移值D6是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)。詳言之，若重復(fù)進(jìn)行步驟S15-S17后，判斷重新形成第二罩幕圖案MCH與第二虛擬原點(diǎn)之間的第六偏移值D6是在規(guī)格值的范圍內(nèi)，則可依照?qǐng)D6中標(biāo)示為「是」的箭頭方向進(jìn)行步驟S18:利用第二罩幕圖案MCH圖案化第四膜層CH’，以形成具有第四對(duì)位記號(hào)40 (標(biāo)示于圖8)的第四膜層圖案CH (標(biāo)示于圖8)。
[0099]若重復(fù)進(jìn)行步驟S15-S17后，判斷重新形成第二罩幕圖案MCH與第二虛擬原點(diǎn)之間的第六偏移值D6仍然不在規(guī)格值的范圍內(nèi)，則需再次重復(fù)步驟S19、S20、S14-S17，直到于步驟S17中判斷出再次形成第二罩幕圖案CH與第二虛擬原點(diǎn)之間的第六偏移值D6是在規(guī)格值的范圍內(nèi)，方進(jìn)行步驟S18，以形成第四膜層圖案CH(標(biāo)示于圖8)。
[0100]需說明的是，形成第四膜層圖案的方法并不限于圖6所示。在其他實(shí)施例中，亦可視實(shí)際的需求，以不同的方法形成第四膜層圖案，以下利用圖7為例說明之。
[0101]圖7為本發(fā)明另一實(shí)施例的形成第四膜層圖案的流程示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D1、圖5及圖7，首先，進(jìn)行步驟S22:去除第一罩幕圖案MSD(標(biāo)示于圖1)，而露出第三膜層圖案SD(標(biāo)示于圖5)。接著，請(qǐng)參照?qǐng)D5及圖7，進(jìn)行步驟S23:在第三膜層圖案SD上形成第四膜層CH’。需說明的是，為清楚表達(dá)起見，在圖5中，是以無任何花色的圖樣代表第四膜層CH’。第四膜層CH’例如為全面性覆蓋第一膜層圖案GE、第二膜層圖案SE、第三膜層圖案SD的完整圖案。請(qǐng)參照?qǐng)D5及圖7，接著，進(jìn)行步驟S24:利用第一對(duì)位標(biāo)記10與第三對(duì)位標(biāo)記30量測(cè)出第一膜層圖案GE與第三膜層圖案SD之間的第七偏移值D7。詳言之，請(qǐng)參照?qǐng)D5，第三對(duì)位記號(hào)30中位于第一象限Rl的條狀圖案31與第一對(duì)位記號(hào)10的支干12在方向X上相隔一段距離I。第三對(duì)位記號(hào)30中位于第三象限R3的條狀圖案31與第一對(duì)位記號(hào)10的支干12在方向X上相隔一段距離J。制造者在量測(cè)出距離1、J后，可將距離1、J代入公
式(十):D7 二 (1-J)/2 ,以獲得第一膜層圖案GE與第三膜層圖案SD之間在方向X上的
第七偏移值D7。舉例而言，若距離I為19.5微米，距離J為18.5微米，則將距離1、J代入公式(十)后可計(jì)算出第七偏移值D7為0.5微米。
[0102]請(qǐng)參照?qǐng)D5及圖7，接著，進(jìn)行步驟S25:利用第七偏移值D7算出第三虛擬原點(diǎn)值
03。詳言之，在圖7的實(shí)施例中，可利用公式(十一):03 = D7/2，計(jì)算出第三虛擬原點(diǎn)值03。舉例而言，將第七偏移值D7(即0.5微米)代入公式(十一)后，可獲得第三虛擬原點(diǎn)值03為0.25微米。
[0103]請(qǐng)參照?qǐng)D5及圖7，接著，進(jìn)行步驟S26:在第四膜層CH’上形成用以圖案化第四膜層CH’的第二罩幕圖案MCH。第二罩幕圖案MCH具有第二罩幕對(duì)位記號(hào)40’。接著，進(jìn)行步驟S27:利用第一對(duì)位標(biāo)記10與第二罩幕對(duì)位記號(hào)40’量測(cè)出第一膜層圖案GE與第二罩幕圖案MCH之間的第八偏移值D8。詳言之，請(qǐng)參照?qǐng)D5，第二罩幕對(duì)位記號(hào)40’中位于第一象限Rl的條狀圖案41’與第一對(duì)位記號(hào)10的支干12在方向X上相隔一段距離G。第二罩幕對(duì)位記號(hào)40’中位于第三象限R3的條狀圖案41’與第一對(duì)位記號(hào)10的支干12在方向X上相隔一段距離H。制造者在量測(cè)出距離G、H后，可將距離G、H代入公式(十二):
D8 二 (G-H)/2，以獲得第一膜層圖案GE與第二罩幕圖案MCH之間在方向X上的第八偏
移值D8。舉例而言，若距離G為8微米，距離H為6微米，則將距離G、H代入公式(十二)后可計(jì)算出第八偏移值D8為I微米。
[0104]請(qǐng)參照?qǐng)D5及圖7，接著，進(jìn)行步驟S28:利用第五偏移值D5與第三虛擬原點(diǎn)值03計(jì)算出第二罩幕圖案MCH與第二虛擬原點(diǎn)之間的第九偏移值D9。詳言之，在圖7的實(shí)施例中，可利用公式(十三):D9 二 D8-03，計(jì)算出第九偏移值D9。舉例而言，將上述的第八偏移值D8(即I微米)、第三虛擬原點(diǎn)值03(即0.25微米)代入公式(十三)，可得第九偏移值D9為0.75。
[0105]請(qǐng)參照?qǐng)D5及圖7，接著，進(jìn)行步驟S29:判斷第九偏移值D9是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)。在圖7的實(shí)施例中，規(guī)格值的范圍例如為大于或等于一 I微米至小于或等于I微米。第九偏移值D9(即0.75微米)在規(guī)格值的范圍內(nèi)。因此，不需進(jìn)行補(bǔ)正，制造者可依照標(biāo)示為「是」的箭頭指示，進(jìn)行步驟S30:利用第二罩幕圖案MCH圖案化第四膜層CH’，以形成具有第四對(duì)位記號(hào)40 (標(biāo)示于圖8)的第四膜層圖案CH (標(biāo)示于圖8)。[0106]在其他實(shí)施例中，若第九偏移值D9不在規(guī)格值的范圍內(nèi)，制造者需依照?qǐng)D7中標(biāo)示為「否」的箭頭方向進(jìn)行步驟S31:去除第二罩幕圖案MCH。接著，進(jìn)行步驟S32:利用第九偏移值D9做為第三補(bǔ)正值，以再次進(jìn)行步驟S26。然后，重復(fù)步驟S26-S29、S30-S31中的至少步驟S26-S29，以判斷重新形成第二罩幕圖案MCH與第三虛擬原點(diǎn)之間的第九偏移值D9是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)。詳言之，若重復(fù)進(jìn)行步驟S26-S29后，判斷重新形成第二罩幕圖案MCH與第三虛擬原點(diǎn)之間的第九偏移值D9是在規(guī)格值的范圍內(nèi)，則可依照?qǐng)D7中標(biāo)示為「是」的箭頭方向進(jìn)行步驟S30:利用第二罩幕圖案MCH圖案化第四膜層CH’，以形成具有第四對(duì)位記號(hào)40 (標(biāo)示于圖8)的第四膜層圖案CH(標(biāo)示于圖8)。若重復(fù)進(jìn)行步驟S26-S29后，判斷重新形成第二罩幕圖案MCH與第三虛擬原點(diǎn)之間的第九偏移值D6仍然不在規(guī)格值的范圍內(nèi)，則須再次重復(fù)步驟S31、32、S26-S29，直到于步驟S29中判斷出再次形成的第二罩幕圖案MCH與第三虛擬原點(diǎn)之間的第九偏移值D9是在規(guī)格值的范圍內(nèi)，方可進(jìn)行步驟S30，以形成第四膜層圖案CH(標(biāo)示于圖8)。
[0107]上述的形成第四膜層圖案CH的發(fā)明精神亦用以形成后續(xù)的第五膜層，以下以圖
8、9為例說明之。圖8為本發(fā)明一實(shí)施例的第一膜層圖案、第二膜層圖案、利用前述方法形成的第三膜層圖案、利用前述方法形成的第四膜層圖案、第五膜層以及用以圖案化第五膜層的第三罩幕圖案的上視示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D8，在本實(shí)施例中，第四膜層圖案CH(以無花色的圖樣代表)還具有暴露出漏極s的開口 TH。換言之，第四對(duì)位記號(hào)40與夾設(shè)在薄膜晶體管與像素電極間的絕緣層屬于同一膜層圖案。需說明的是，本發(fā)明并不限定第四膜層圖案CH必需是絕緣層，在其他實(shí)施例中，第四膜層圖案CH亦可為像素陣列基板的其他膜層圖案。
[0108]圖9為本發(fā)明一實(shí)施例的形成第五膜層圖案的流程示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D5、圖8及圖9，首先，進(jìn)行步驟S34:去除第二罩幕圖案MCH (標(biāo)示于圖5)，以露出第四膜層圖案CH (標(biāo)示于圖8)。請(qǐng)參照?qǐng)D8及圖9，接著，進(jìn)行步驟S35:在第四膜層圖案CH上形成第五膜層PE’。第五膜層PE’可為全面性覆蓋第一膜層圖案GE、第二膜層圖案SE、第三膜層圖案SD、第四膜層圖案CH的完整圖案。接著，進(jìn)行步驟S36:在第五膜層PE’上形成用以圖案化第五膜層PE’的第三罩幕圖案MPE。第三罩幕圖案MPE具有第三罩幕對(duì)位記號(hào)50’。在本實(shí)施例中，第三罩幕對(duì)位記號(hào)50’包括分別配置在第一象限R1、第二象限R2、第三象限R3以及第四象限R4的多個(gè)條狀圖案51’。
[0109]請(qǐng)參照?qǐng)D8及圖9，接著，進(jìn)行步驟S37:利用第一對(duì)位標(biāo)記10與第三罩幕對(duì)位記號(hào)50’量測(cè)出第一膜層圖案GE與第三罩幕圖案MPE之間的第十偏移值D10。詳言之，第三罩幕對(duì)位記號(hào)50’之位于第一象限Rl的條狀圖案51’與第一對(duì)位標(biāo)記10的支干12在方向X上相隔一段距離K。第三罩幕對(duì)位記號(hào)50’之位于第三象限R3的條狀圖案51’與第一對(duì)位標(biāo)記10的支干12在方向X上相隔一段距離L。制造者在量測(cè)出距離K、L后，可將
距離K、L代入公式(十四):D10 = (K-L)/2 ,以獲得第一膜層圖案GE與第三罩幕圖案
MPE之間在方向X上的第十偏移值D10。舉例而言，若距離K為8微米，距離L為6微米，則將距離K、L代入公式(十四)后可計(jì)算出第一膜層圖案GE與第三罩幕圖案MPE之間在方向X上的第十偏移值DlO為I微米。
[0110]請(qǐng)參照?qǐng)D8及圖9，接著，進(jìn)行步驟S38:利用第十偏移值DlO與第一虛擬原點(diǎn)值01計(jì)算出第三罩幕圖案MPE與第一虛擬原點(diǎn)之間的第十一偏移值D11。詳言之，在本實(shí)施例中，可利用公式(十五):D11 = DlO-Ol，計(jì)算出第十一偏移值Dll。舉例而言，若將上述的第十偏移值Dio(即I微米)以及第一虛擬原點(diǎn)值Oi (即一 0.5微米)代入公式(十五)，則可得第十一偏移值Dll為1.5微米。
[0111]請(qǐng)參照?qǐng)D8及圖9，接著，進(jìn)行步驟S39:判斷第十一偏移值Dll是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)。在圖9的實(shí)施例中，規(guī)格值的范圍為大于或等于一 I微米至小于或等于I微米。第十一偏移值Dll (即1.5微米)超出規(guī)格值的范圍。因此，制造者需依照?qǐng)D9中標(biāo)示為「否」的箭頭方向進(jìn)行步驟S41:去除第三罩幕圖案MPE。接著，進(jìn)行步驟S42:利用第十一偏移值Dll做為第四補(bǔ)正值，以再次進(jìn)行步驟S36。接著，重復(fù)步驟S36-S39、S41-S42中的至少步驟S36-S39，直到第十一偏移值Dll在規(guī)格值的范圍內(nèi)。詳言之，若重復(fù)進(jìn)行步驟S36-S39后，判斷重新形成的第三罩幕圖案MPE與第一虛擬原點(diǎn)之間的第十一偏移值Dll是在規(guī)格值的范圍內(nèi)，則可依照?qǐng)D9中標(biāo)示為「是」的箭頭方向進(jìn)行步驟S40:利用符合規(guī)格的第三罩幕圖案MPE圖案化第五膜層PE’，以形成第五膜層圖案PE。若重復(fù)進(jìn)行步驟S36-S39后，判斷重新形成第三罩幕圖案MPE與第一虛擬原點(diǎn)之間的第十一偏移值Dll仍然不在規(guī)格值的范圍內(nèi)，則須再次重復(fù)步驟S41、S42、S36-S39，直到于步驟S39中判斷出再次形成第三罩幕圖案MPE與第一虛擬原點(diǎn)之間的第十一偏移值Dll是在規(guī)格值的范圍內(nèi)，方進(jìn)行步驟S40，以形成第五膜層圖案PE(標(biāo)示于圖10)。
[0112]圖10為本發(fā)明一實(shí)施例的第一膜層圖案、第二膜層圖案、利用前述方法形成的第三膜層圖案、利用前述方法形成的第四膜層圖案以及利用前述方法形成的第五膜層圖案的上視示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D8及圖10，在利用第三罩幕圖案MPE(標(biāo)示于圖8)圖案化第五膜層PE’(標(biāo)示于圖8)后，接著可去除第三罩幕圖案MPE，以露出第五膜層圖案PE(標(biāo)示于圖10)。如圖10所示，在本實(shí)施例中，第五膜層圖案PE還具有用以填入開口 TH而與漏極d電性連接的像素電極PX。需說明的是，本發(fā)明并不限定第五膜層圖案PE必需是像素電極PX所屬膜層圖案，在其他實(shí)施例中，第五膜層圖案PE亦可為像素陣列基板的其他膜層圖案。
[0113]此外，需說明的是，形成第五膜層圖案PE的方法并不限于圖9所示。在其他實(shí)施例中，亦可視實(shí)際需求，以不同的方法形成第五膜層圖案PE，以下利用圖11為例說明之。
[0114]圖11為本發(fā)明另一實(shí)施例的形成第五膜層圖案的流程示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D5、圖8及圖11，首先，進(jìn)行步驟S44:去除第二罩幕圖案MCH(標(biāo)示于圖5)，以露出第四膜層圖案CH (標(biāo)示于圖8)。請(qǐng)參照?qǐng)D8及圖11，接著，進(jìn)行步驟S45:在第四膜層圖案CH上形成第五膜層PE’。第五膜層PE’可為全面性覆蓋第一膜層圖案GE、第二膜層圖案SE、第三膜層圖案SD、第四膜層圖案CH的完整圖案。
[0115] 請(qǐng)參照?qǐng)D8及圖11，接著，進(jìn)行步驟S46:利用第一對(duì)位標(biāo)記10與第四對(duì)位記號(hào)40量測(cè)出第一膜層圖案GE與第四膜層圖案CH之間的第十二偏移值D12。詳言之，第四對(duì)位記號(hào)40之位于第一象限Rl的條狀圖案41與第一對(duì)位標(biāo)記10的支干12在方向x上相隔一段距離M。第四對(duì)位記號(hào)40之位于第三象限R3的條狀圖案41與第一對(duì)位標(biāo)記10的支干12在方向X上相隔一段距離N。制造者在量測(cè)出距離M、N后，可將距離M、N代入公式
(十六):D12 =(M-N)/2,以獲得第一膜層圖案GE與第四膜層圖案CH之間在方向X上
的第十二偏移值D12。舉例而言，若距離M為19.75微米，距離N為18.25微米，則將距離M、N代入公式(十六)后可計(jì)算出第一膜層圖案GE與第四膜層圖案CH之間在方向X上的第十二偏移值D12為0.75微米。
[0116]請(qǐng)參照?qǐng)D8及圖11，接著，進(jìn)行步驟S47:利用第十二偏移值D12計(jì)算出第一膜層圖案GE與第四膜層圖案CH之間的第四虛擬原點(diǎn)值04。詳言之，在本實(shí)施例中，可利用公式(十七):04 = D12/2，計(jì)算出第四虛擬原點(diǎn)值04。舉例而言，若將上述的第十二偏移值DlO (即0.75微米)代入公式(十七)，則可計(jì)算出第四虛擬原點(diǎn)值04為0.375微米。接著，進(jìn)行步驟S48:在第五膜層PE’上形成用以圖案化第五膜層PE’的第三罩幕圖案MPE。第三罩幕圖案MPE具有第三罩幕對(duì)位記號(hào)50’。在圖10的實(shí)施例中，第三罩幕對(duì)位記號(hào)50’包括分別配置于第一象限R1、第二象限R2、第三象限R3、第四象限R4的多個(gè)條狀圖案51’。
[0117]請(qǐng)參照?qǐng)D8及圖11，接著，進(jìn)行步驟S49:利用第一對(duì)位標(biāo)記10與第三罩幕對(duì)位記號(hào)50’量測(cè)出第一膜層圖案GE與第三罩幕圖案MPE之間的第十三偏移值D13。詳言之，第三罩幕對(duì)位記號(hào)50’的位于第一象限Rl的條狀圖案51’與第一對(duì)位標(biāo)記10的支干12在方向X上相隔一段距離K。第三罩幕對(duì)位記號(hào)50’的位于第三象限R3的條狀圖案51’與第一對(duì)位標(biāo)記10的支干12在方向X上相隔一段距離L。制造者在量測(cè)出距離K、L后，可將
距離K、L代入公式(十八):D13 二 (K-L)/2 ,以獲得第一膜層圖案GE與第三罩幕圖案
MPE之間在方向X上的第十三偏移值D13。舉例而言，若距離K為8微米，距離L為6微米，則將距離K、L代入上列公式(十八)后可計(jì)算出第一膜層圖案GE與第三罩幕圖案MPE之間在方向X上的第十三偏移值D13為I微米。
[0118]請(qǐng)參照?qǐng)D8及圖11，接著，進(jìn)行步驟S50:利用第十三偏移值D13與第四虛擬原點(diǎn)值04計(jì)算出第三罩幕圖案MPE與第四虛擬原點(diǎn)之間的第十四偏移值D14。詳言之，在本實(shí)施例中，可將第十三偏移值D13與第四虛擬原點(diǎn)值04代入公式(十九):D14 = D13-04，便可獲得第十四偏移值D14。舉例而言，若將上述的第十三偏移值D13(即I微米)以及上述的第四虛擬原點(diǎn)值04 (即0.375微米)代入公式(十九)，可獲得第十四偏移值D14為
0.625微米。
[0119]請(qǐng)參照?qǐng)D8及圖11，接著，進(jìn)行步驟S51:判斷第十四偏移值D14是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)。在圖11的實(shí)施例中，規(guī)格值的范圍例如為大于或等于一 I微米至小于或等于I微米。第十四偏移值D14 (即0.625微米)在規(guī)格值的范圍內(nèi)。因此，不需進(jìn)行補(bǔ)正，制造者可依照標(biāo)示為「是」的箭頭指示，進(jìn)行步驟S52:利用第三罩幕圖案MPE圖案化第五膜層PE’，以形成第五膜層圖案PE (標(biāo)示于圖10)。
[0120]在其他實(shí)施例中，若第十四偏移值D14不在規(guī)格值的范圍內(nèi)，制造者需依照?qǐng)D11中標(biāo)示為「否」的箭頭方向進(jìn)行步驟S53:去除第三罩幕圖案MPE。接著，進(jìn)行步驟S54:利用第十四偏移值D14做為第四補(bǔ)正值，以再次進(jìn)行步驟S48。接著，重復(fù)步驟S48-S50、S53-S54中的至少步驟S48-S50，以判斷重新形成第三罩幕圖案MPE與第四虛擬原點(diǎn)之間的第十四偏移值D14是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)。詳言之，若重復(fù)進(jìn)行步驟S48-S50后，判斷重新形成第三罩幕圖案MPE與第四虛擬原點(diǎn)之間的第十四偏移值D14是在規(guī)格值的范圍內(nèi)，則可依照?qǐng)D11中標(biāo)示為「是」的箭頭方向進(jìn)行步驟S52:利用第三罩幕圖案MPE圖案化第五膜層PE’，以形成具第五膜層圖案PE。若重復(fù)進(jìn)行步驟S48-S50后，判斷重新形成第三罩幕圖案MPE與第四虛擬原點(diǎn)之間的第十四偏移值D14仍然不在規(guī)格值的范圍內(nèi)，則須再次重復(fù)步驟S53、24、S48-S50，直到于步驟S50中判斷出再次形成的第三罩幕圖案MPE與第四虛擬原點(diǎn)之間的第十四偏移值D14是在規(guī)格值的范圍內(nèi)，方可進(jìn)行步驟S52，以形成第五膜層圖案PE0
[0121]綜上所述，本發(fā)明的形成膜層圖案的方法是至少用以:在具有第一對(duì)位標(biāo)記的第一膜層圖案以及具有第二對(duì)位標(biāo)記的第二膜層圖案上形成第三膜層圖案。特別是，將第一膜層圖案與第二膜層圖案之間的虛擬原點(diǎn)視為基準(zhǔn)，并判斷做為第三膜層圖案的罩幕的罩幕圖案與虛擬原點(diǎn)之間的偏移量是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)，以使第三膜層與第一膜層圖案之間的對(duì)位精度、第三膜層與第二膜層圖案之間的對(duì)位精度提升。如此一來，公知技術(shù)中，由于各膜層圖案只對(duì)第一膜層的對(duì)位記號(hào)對(duì)位，而造成其他膜層間的對(duì)位誤差過大的問題便可獲得改善。
[0122]雖然本發(fā)明已以實(shí)施例公開如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，故本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視前述的申請(qǐng)專利范圍所界定者為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種形成膜層圖案的方法，具有一第一對(duì)位記號(hào)的一第一膜層圖案、具有一第二對(duì)位記號(hào)的一第二膜層圖案、一第三膜層以及用以圖案化該第三膜層且具有一第一罩幕對(duì)位記號(hào)的一第一罩幕圖案依序堆棧在一基板上，該形成膜層圖案的方法包括下列步驟: (1)利用該第一對(duì)位記號(hào)與該第二對(duì)位記號(hào)量測(cè)出該第一膜層圖案與該第二膜層圖案之間的一第一偏移值Dl ； (2)利用該第一偏移值Dl計(jì)算出一第一虛擬原點(diǎn)值Ol； (3)利用該第二對(duì)位記號(hào)與該第一罩幕對(duì)位記號(hào)量測(cè)出該第二膜層圖案與用以圖案化該第三膜層的該第一罩幕圖案之間的一第二偏移值D2 ； (4)利用該第一虛擬原點(diǎn)值01與該第二偏移值D2計(jì)算出該第一罩幕圖案與一第一虛擬原點(diǎn)之間的一第三偏移值D3 ； (5)判斷該第三偏移值D3是否在一規(guī)格值的范圍內(nèi)，若該第三偏移值D3在該規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行步驟(6)，若該第三偏移值D3不在該規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行步驟(7)-(9)； (6)利用該第一罩幕圖案圖案化該第三膜層，以形成具有一第三對(duì)位記號(hào)的一第三膜層圖案； (7)去除該第一罩幕圖案； (8)利用該第三偏移值D3做為一第一補(bǔ)正值，以重新形成用以圖案化該第三膜層的該第一罩幕圖案；以及 (9)重復(fù)步驟(3)-(5),(7)-(8)中的至少步驟(3)-(5)，直到判斷該第三偏移值D3在該規(guī)格值的范圍內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，在步驟(2)中還包括: 利用公式:
3.如權(quán)利要求2所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，步驟(4)為: 利用公式:
4.如權(quán)利要求1所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，在步驟(5)中當(dāng)該第三偏移值D3在該規(guī)格值的范圍內(nèi)，還包括: (10)去除該第一罩幕圖案； (11)在該第三膜層圖案上形成一第四膜層； (12)利用該第二對(duì)位標(biāo)記與該第三對(duì)位標(biāo)記量測(cè)出該第二膜層圖案與該第三膜層圖案之間的一第四偏移值D4 ； (13)利用該第一偏移值Dl以及該第四偏移值D4計(jì)算出一第二虛擬原點(diǎn)值02； (14)在該第四膜層上形成用以圖案化該第四膜層的一第二罩幕圖案，該第二罩幕圖案具有一第二罩幕對(duì)位記號(hào)； (15)利用該第一對(duì)位標(biāo)記與該第二罩幕對(duì)位記號(hào)量測(cè)出該第一膜層圖案與該第二罩幕圖案之間的一第五偏移值D5 ； (16)利用該第五偏移值D5與該第二虛擬原點(diǎn)值02計(jì)算出該第二罩幕圖案與一第二虛擬原點(diǎn)之間的一第六偏移值D6 ； (17)判斷該第六偏移值是否在該規(guī)格值的范圍內(nèi)，若該第六偏移值D6在該規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(18)，若該第六偏移值D6不在該規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(19)-(21)； (18)利用該第二罩幕圖案圖案化該第四膜層，以形成具有一第四對(duì)位記號(hào)的一第四膜層圖案 (19)去除該第二罩幕圖案； (20)利用該第六偏移值D6做為一第二補(bǔ)正值，以進(jìn)行步驟(14)； (21)重復(fù)步驟(15)-(17)、(19)-(20)中的至少步驟(15)- (17)，直到判斷該第六偏移值D6在該規(guī)格值的范圍內(nèi)。
5.如權(quán)利要求4所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，步驟(13)為: 利用公式:
6.如權(quán)利要求5所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，步驟(16)為: 利用公式:
7.如權(quán)利要求1所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，在步驟(5)中當(dāng)該第三偏移值D3在該規(guī)格值的范圍內(nèi)，還包括: (22)去除該第一罩幕圖案； (23)在該第三膜層圖案上形成一第四膜層； (24)利用該第一對(duì)位標(biāo)記與該第三對(duì)位標(biāo)記量測(cè)出該第一膜層圖案與該第三膜層圖案之間的一第七偏移值D7 ； (25)利用該第七偏移值D7算出一第三虛擬原點(diǎn)值03； (26)在該第四膜層上形成用以圖案化該第四膜層的一第二罩幕圖案，該第二罩幕圖案具有一第二罩幕對(duì)位記號(hào)； (27)利用該第一對(duì)位標(biāo)記與該第二罩幕對(duì)位記號(hào)量測(cè)出該第一膜層圖案與該第二罩幕圖案之間的一第八偏移值D8 ； (28)利用該第八偏移值D8與該第三虛擬原點(diǎn)值03計(jì)算出該第二罩幕圖案與一第二虛擬原點(diǎn)之間的一第九偏移值D9 ； (29)判斷該第九偏移值D9是否在該規(guī)格值的范圍內(nèi)，若該第九偏移值D9在該規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(30)，若該第九偏移值D9不在該規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(31)-(33)； (30)利用該第二罩幕圖案圖案化該第四膜層，以形成具有一第四對(duì)位記號(hào)的一第四膜層圖案； (31)去除該第二罩幕圖案； (32)利用該第九偏移值D9做為一第三補(bǔ)正值，以再次進(jìn)行步驟(26)； (33)重復(fù)步驟(27)-(29)、(31)-(32)中的至少步驟(27)- (29)，直到判斷該第九偏移值D9在該規(guī)格值的范圍內(nèi)。
8.如權(quán)利要求7所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，步驟(25)為: 利用公式:
9.如權(quán)利要求8所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，步驟(28)為: 利用公式:
10.如權(quán)利要求7所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，該第九偏移值D9在該規(guī)格值的范圍內(nèi)，該形成膜層圖案的方法更包括: (34)去除該第二罩幕圖案； (35)在該第四膜層圖案上形成一第五膜層； (36)在該第五膜層上形成用以圖案化該第五膜層的一第三罩幕圖案，該第三罩幕圖案具有一第三罩幕對(duì)位記號(hào)； (37)利用該第一對(duì)位標(biāo)記與該第三罩幕對(duì)位記號(hào)量測(cè)出該第一膜層圖案與該第三罩幕圖案之間的一第十偏移值DlO ;以及 (38)利用該第十偏移值DlO與該第一虛擬原點(diǎn)值Ol計(jì)算出該第三罩幕圖案與該第一虛擬原點(diǎn)之間的一第i 偏移值Dll ； (39)判斷該第十一偏移值DlI是否在該規(guī)格值的范圍內(nèi)，若該第十一偏移值DlI在該規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(40)，若該第十一偏移值Dll不在該規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(41)-(43)； (40)利用該第三罩幕圖案圖案化該第五膜層，以形成一第五膜層圖案； (41)去除該第三罩幕圖案；以及 (42)利用該第十一偏移值Dll做為一第四補(bǔ)正值，以再次進(jìn)行步驟(36)； (43)重復(fù)步驟(37)-(39)、(41)-(42)中的至少步驟(37)- (39)，直到判斷該第十一偏移值Dll在該規(guī)格值的范圍內(nèi)。
11.如權(quán)利要求10所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，步驟(38)為: 利用公式
12.如權(quán)利要求7所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，當(dāng)該第九偏移值D9在該規(guī)格值的范圍內(nèi)，還包括: (44)去除該第二罩幕圖案； (45)在該第四膜層圖案上形成一第五膜層； (46)利用該第一對(duì)位標(biāo)記與該第四對(duì)位記號(hào)量測(cè)出該第一膜層圖案與該第四膜層圖案之間的一第十二偏移值D12 ； (47)利用該第十二偏移值D12計(jì)算出該第一膜層圖案與該第四膜層圖案之間的一第四虛擬原點(diǎn)值04 ； (48)在該第五膜層上形成用以圖案化該第五膜層的一第三罩幕圖案，該第三罩幕圖案具有一第三罩幕對(duì)位記號(hào)； (49)利用該第一對(duì)位標(biāo)記與該第三罩幕對(duì)位記號(hào)量測(cè)出該第一膜層圖案與該第三罩幕圖案之間的一第十三偏移值D13 ； (50)利用該第十三偏移值D13與該第四虛擬原點(diǎn)值04計(jì)算出該第三罩幕圖案與一第四虛擬原點(diǎn)之間的一第十四偏移值D14 ； (51)判斷該第十四偏移值D14是否在該規(guī)格值的范圍內(nèi)，若該第十四偏移值D14在該規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(52)，若該第十四偏移值D14不在該規(guī)格值的范圍內(nèi)則進(jìn)行下列步驟(53)-(55)； (52)利用該第三罩幕圖案圖案化該第五膜層，以形成一第五膜層圖案； (53)去除該第三罩幕圖案；(54)利用該第十四偏移值D14做為一第五補(bǔ)正值，以再次進(jìn)行步驟(47)； (55)重復(fù)步驟(48)-(51)、(53)-(54)中的至少步驟(48)-(51)，直到判斷該第十四偏移值D14在該規(guī)格值的范圍內(nèi)。
13.如權(quán)利要求12所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，步驟(47)為: 利用公式:
14.如權(quán)利要求13所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，步驟(50)為: 利用公式:
15.如權(quán)利要求1所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，該第一對(duì)位標(biāo)記為一十字型標(biāo)記，該十字型標(biāo)記將該基板劃分為沿逆時(shí)針方向依序配置的一第一象限、一第二象限、一第三象限以及一第四象限。
16.如權(quán)利要求15所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，該第二對(duì)位標(biāo)記、該第一罩幕標(biāo)記、該第三對(duì)位標(biāo)記、該第二罩幕標(biāo)記、該第三對(duì)位標(biāo)記、該第三罩幕標(biāo)記、該第四對(duì)位標(biāo)記、該第五對(duì)位標(biāo)記的至少其中之一包括:分別配置在該第一象限、該第二象限、該第三象限以及該第四象限的多個(gè)條狀圖案，該十字型標(biāo)記包括互相垂直且交錯(cuò)的二支干，而任一該條狀圖案與至少一該支干相隔一段距離。
17.如權(quán)利要求12所述的形成膜層圖案的方法，其特征在于，該第一膜層圖案還具有一薄膜晶體管的一柵極，該第二膜層圖案還具有一薄膜晶體管的一信道，該第三膜層圖案還具有該薄膜晶體管的一源極與一漏極，該第四膜層圖案還具有暴露出該漏極的一開口，而該第五膜層圖案還具有用以填入該開口而與該漏極電性連接的一像素電極。
【文檔編號(hào)】H01L21/68GK103887217SQ201410116809
【公開日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2014年3月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月27日
【發(fā)明者】李一帆 申請(qǐng)人:華映視訊（吳江）有限公司, 中華映管股份有限公司