分離上電極與冷卻盤的裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種分離上電極與冷卻盤的裝置。其包括分離臂、與所述分離臂連接的操作桿，當(dāng)需要對上電極進行維護時，操作人員操作所述操作桿時，所述分離臂勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙后，以分離所述上電極與所述冷卻盤。由于采用操作桿和分離臂機械配合的方式，使得分離臂可以勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙，因此，無須單純的依靠蠻力硬性將工具插入到安裝間隙中，避免了出現(xiàn)人為造成電極被損壞，同時也避免了上電極的邊緣較為鋒利導(dǎo)致的操作人員受傷。
【專利說明】分離上電極與冷卻盤的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地說，涉及一種分離上電極與冷卻盤的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]干法刻蝕是用等離子體進行薄膜刻蝕的技術(shù)。當(dāng)氣體以等離子體形式存在時，它具備兩個特點:一方面等離子體中的這些氣體化學(xué)活性比常態(tài)下時要強很多，根據(jù)被刻蝕材料的不同，選擇合適的氣體，就可以更快地與材料進行反應(yīng)，實現(xiàn)刻蝕去除的目的?’另一方面，還可以利用電場對等離子體進行引導(dǎo)和加速，使其具備一定能量，當(dāng)其轟擊被刻蝕物的表面時，會將被刻蝕物材料的原子擊出，從而達到利用物理上的能量轉(zhuǎn)移來實現(xiàn)刻蝕的目的。因此，干法刻蝕是晶圓片表面物理和化學(xué)兩種過程平衡的結(jié)果。
[0003]干法刻蝕有離子銑刻蝕、等離子刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕三種主要方法，下面將逐一進行簡要介紹。
[0004]離子銑刻蝕的簡要過程為:低氣壓下惰性氣體輝光放電所產(chǎn)生的離子加速后入射到薄膜表面裸露的薄膜被濺射而除去。由于刻蝕是純物理作用各向異性程度很高可以得到分辨率優(yōu)于I微米的線條。這種方法已在磁泡存儲器、表面波器件和集成光學(xué)器件等制造中得到應(yīng)用。但是這種方法的刻蝕選擇性極差須采用專門的刻蝕終點監(jiān)測技術(shù)而且刻蝕速率也較低。
[0005]等離子刻蝕的簡要過程是為:利用氣壓為101000帕的特定氣體或混合氣體的輝光放電產(chǎn)生能與薄膜發(fā)生離子化學(xué)反應(yīng)的分子或分子基團生成的反應(yīng)產(chǎn)物是揮發(fā)性的。它在低氣壓的真空室中被抽走從而實現(xiàn)刻蝕。通過選擇和控制放電氣體的成分可以得到較好的刻蝕選擇性和較高的刻蝕速率但刻蝕精度不高`一般僅用于大于45微米線條的工藝中。
[0006]反應(yīng)離子刻蝕的簡要過程為:這種刻蝕過程同時兼有物理和化學(xué)兩種作用。輝光放電在零點幾到幾十帕的低真空下進行。硅片處于陰極電位放電時的電位大部分降落在陰極附近。大量帶電粒子受垂直于硅片表面的電場加速垂直入射到硅片表面上以較大的動量進行物理刻蝕同時它們還與薄膜表面發(fā)生強烈的化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生化學(xué)刻蝕作用。
[0007]以上述等離子刻蝕為例，在刻蝕的過程中，刻蝕腔體中設(shè)置有上下電極，被刻蝕晶圓吸附在下電極上，通過給上下電極加載射頻電壓，對刻蝕的氣體進行等離子化得到等離子體，等離子體對被刻蝕晶圓的表面進行刻蝕。由于在整個刻蝕的過程中，電極比如上電極會不斷發(fā)熱，其溫度會急劇升高，因此，上電極實質(zhì)上還配置有一冷卻盤，用于對上電極實時進行散熱處理。
[0008]在整個刻蝕過程中，上電極上會被黏上許多刻蝕產(chǎn)生的生成物或者顆粒，容易導(dǎo)致硅片良率低下。另外，在刻蝕的過程中，等離子體也會刻蝕上電極，使得上電極容易變薄，影響刻蝕速率和均勻性，需要定期更換上電極，比如在射頻時間450至500小時之間更換上電極。由此可見，需要定期對上電極進行維護。
[0009]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中上電極與冷卻盤的局部位置關(guān)系示意圖；如圖1所示，冷卻盤101的下方設(shè)置有上電極102，冷卻盤101和上電極102之間存在一定的安裝間隙103。圖2為現(xiàn)有技術(shù)分離上電極和冷卻盤的一工具示意圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)分離上電極和冷卻盤的另一工具示意圖；當(dāng)需要維護上電極時，維護人員手動將圖2或圖3所示的工具插入到安裝間隙中，撬動上電極和冷卻盤，以使上電極完全從冷卻盤上分離下來。
[0010]但是，本發(fā)明的發(fā)明人在實現(xiàn)的過程中發(fā)現(xiàn)，上述分離上電極的方案存在如下技術(shù)缺陷:
[0011](I)對于脫離后的上電極沒有必要的保護措施，單純地依靠維護人員用手掌從下往上拖住，容易發(fā)生脫落，導(dǎo)致電極跌落完全被摔壞。
[0012](2)只是單純的依靠蠻力硬性將圖2或圖3的工具插入到安裝間隙中，容易人為造成電極被損壞。
[0013](3)上電極的邊緣較為鋒利，在分離的過程中，容易導(dǎo)致操作人員受傷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種分離上電極與冷卻盤的裝置，用以部分或全部解決現(xiàn)有技術(shù)中依賴于操作人員純手工操作導(dǎo)致的電極易被摔壞、易被損壞、容易致操作人員受傷等技術(shù)問題。
[0015]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種分離上電極與冷卻盤的裝置，其包括分離臂、與所述分離臂連接的操作桿，在操作人員操作所述操作桿時，所述分離臂勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙后，以分離所述上電極與所述冷卻盤。
[0016]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明還提供了一種分離上電極與冷卻盤的裝置，其包括安全收納系統(tǒng)，所述安全收納系統(tǒng)包括安全托盤以及控制機構(gòu)，所述安全托盤用于在控制機構(gòu)的控制下，移動到適宜收納被分離的所述上電極的位置上，用于在所述上電極被所述分離臂從所述冷卻盤上分離下來后，被所述安全托盤所收納。
[0017]優(yōu)選地，在本發(fā)明的一實施例中，所述操作桿為一旋轉(zhuǎn)杠桿，用于通過操作人員對其進行旋轉(zhuǎn)控制，使所述分離臂勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙。
[0018]優(yōu)選地，在本發(fā)明的一實施例中，所述操作桿的中心軸與所述分離臂之間設(shè)置有一力矩轉(zhuǎn)換機構(gòu)，用于將所述操作桿的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為所述分離臂的水平直行力。
[0019]優(yōu)選地，在本發(fā)明的一實施例中，所述的裝置還包括一安全收納系統(tǒng)，用于在所述上電極被所述分離臂從所述冷卻盤上分離下來后，收納被分離的所述上電極。
[0020]優(yōu)選地，在本發(fā)明的一實施例中，所述安全收納系統(tǒng)包括安全托盤以及控制機構(gòu)，所述安全托盤用于在控制機構(gòu)的控制下，移動到適宜收納被分離的所述上電極的位置上。
[0021]優(yōu)選地，在本發(fā)明的一實施例中，所述安全托盤的邊緣設(shè)置有若干個卡槽，用于在收納被分離的所述上電極時，卡住被分離的所述上電極防止跌落。
[0022]優(yōu)選地，在本發(fā)明的一實施例中，所述控制機構(gòu)基于液壓進行的控制機構(gòu)。
[0023]與現(xiàn)有的方案相比，本發(fā)明可以達到如下任一或者任一組合的技術(shù)優(yōu)點:
[0024](I)由于采用操作桿和分離臂機械配合的方式，使得分離臂可以勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙，因此，無須單純的依靠蠻力硬性將圖2或圖3的工具插入到安裝間隙中，避免了出現(xiàn)人為造成電極被損壞。
[0025](2)由于采用操作桿和分離臂機械配合的方式，無須操作人員單純的依靠蠻力硬性將圖2或圖3的工具插入到安裝間隙中，避免了上電極的邊緣較為鋒利導(dǎo)致的操作人員受傷。
[0026](3)由于采用了安全托盤以及控制機構(gòu)相互配合，收納被分離的上電極，因此，對于脫離后的上電極沒有必要的保護措施，單純地依靠維護人員用手掌從下往上拖住，容易發(fā)生脫落，導(dǎo)致電極跌落完全被摔壞。
[0027](4)由于采用了安全托盤以及控制機構(gòu)相互配合，收納被分離的上電極，單純地依靠維護人員用手掌從下往上拖住，避免了上電極的邊緣較為鋒利導(dǎo)致的操作人員受傷。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中上電極與冷卻盤的局部位置關(guān)系示意圖；
[0029]圖2為現(xiàn)有技術(shù)分離上電極和冷卻盤的一工具示意圖；
[0030]圖3為現(xiàn)有技術(shù)分離上電極和冷卻盤的另一工具示意圖；
[0031]圖4為本發(fā)明實施例一中分離上電極與冷卻盤的裝置的簡要結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖5為本發(fā)明實施例中力矩轉(zhuǎn)換機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖6為本發(fā)明實施例二中分離上電極與冷卻盤的裝置結(jié)構(gòu)簡要示意圖；
[0034]圖7為本發(fā)明實施例三中分離上電極與冷卻盤的裝置的簡要結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0035]以下將配合圖式及實施例來詳細(xì)說明本發(fā)明的實施方式，藉此對本發(fā)明如何應(yīng)用技術(shù)手段來解決技術(shù)問題并達成技術(shù)功效的實現(xiàn)過程能充分理解并據(jù)以實施。
[0036]本發(fā)明的核心思想之一
[0037]本發(fā)明實施例提供了一種分離上電極與冷卻盤的裝置，其包括分離臂、與所述分離臂連接的操作桿，當(dāng)需要對上電極進行維護時，操作人員操作所述操作桿時，所述分離臂勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙后，以分離所述上電極與所述冷卻盤。
[0038]本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以通過實施本發(fā)明的核心思想之一達到如下技術(shù)效果:
[0039](I)由于采用操作桿和分離臂機械配合的方式，使得分離臂可以勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙，因此，無須單純的依靠蠻力硬性將圖2或圖3的工具插入到安裝間隙中，避免了出現(xiàn)人為造成電極被損壞。
[0040](2)由于采用操作桿和分離臂機械配合的方式，無須操作人員單純的依靠蠻力硬性將圖2或圖3的工具插入到安裝間隙中，避免了上電極的邊緣較為鋒利導(dǎo)致的操作人員受傷。
[0041 ] 本發(fā)明的核心思想之二
[0042]本發(fā)明實施例提供了一種分離上電極與冷卻盤的裝置，其包括安全收納系統(tǒng)，所述安全收納系統(tǒng)包括安全托盤以及控制機構(gòu)，當(dāng)需要對上電極進行維護時，所述安全托盤用于在控制機構(gòu)的控制下，移動到適宜收納被分離的所述上電極的位置上，用于在所述上電極被所述分離臂從所述冷卻盤上分離下來后，被所述安全托盤所收納。
[0043]本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以通過實施本發(fā)明的核心思想之二達到如下技術(shù)效果:
[0044](I)由于采用了安全托盤以及控制機構(gòu)相互配合，收納被分離的上電極，因此，對于脫離后的上電極沒有必要的保護措施，單純地依靠維護人員用手掌從下往上拖住，容易發(fā)生脫落，導(dǎo)致電極跌落完全被摔壞。
[0045](2)由于采用了安全托盤以及控制機構(gòu)相互配合，收納被分離的上電極，單純地依靠維護人員用手掌從下往上拖住，避免了上電極的邊緣較為鋒利導(dǎo)致的操作人員受傷。
[0046]本發(fā)明的核心思想之三
[0047]本發(fā)明實施例提供了一種分離上電極與冷卻盤的裝置，其包括分離臂、與所述分離臂連接的操作桿，當(dāng)需要對上電極進行維護時，操作人員操作所述操作桿時，所述分離臂勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙后，以分離所述上電極與所述冷卻盤；分離上電極與冷卻盤的裝置還包括安全收納系統(tǒng)，所述安全收納系統(tǒng)包括安全托盤以及控制機構(gòu)，當(dāng)需要對上電極進行維護時，所述安全托盤用于在控制機構(gòu)的控制下，移動到適宜收納被分離的所述上電極的位置上，用于在所述上電極被所述分離臂從所述冷卻盤上分離下來后，被所述安全托盤所收納。
[0048]本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以通過實施本發(fā)明的核心思想之三達到如下技術(shù)效果:
[0049](I)由于采用操作桿和分離臂機械配合的方式，使得分離臂可以勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙，因此，無須單純的依靠蠻力硬性將圖2或圖3的工具插入到安裝間隙中，避免了出現(xiàn)人為造成電極被損壞。
[0050](2)由于采用操作桿和分離臂機械配合的方式，無須操作人員單純的依靠蠻力硬性將圖2或圖3的工具插入到安裝間隙中，避免了上電極的邊緣較為鋒利導(dǎo)致的操作人員受傷。
[0051](3)由于采用了安全托盤以及控制機構(gòu)相互配合，收納被分離的上電極，因此，對于脫離后的上電極沒有必要的保護措施，單純地依靠維護人員用手掌從下往上拖住，容易發(fā)生脫落，導(dǎo)致電極跌落完全被摔壞。
[0052](4)由于采用了安全托盤以及控制機構(gòu)相互配合，收納被分離的上電極，單純地依靠維護人員用手掌從下往上拖住，避免了上電極的邊緣較為鋒利導(dǎo)致的操作人員受傷。
[0053]裝置實施例一
[0054]圖4為本發(fā)明實施例一中分離上電極與冷卻盤的裝置的簡要結(jié)構(gòu)示意圖；如圖4所示，本實施例中，分離上電極與冷卻盤的裝置包括分離臂401和操作桿402，其中，所述分離臂401與操作桿402連接。當(dāng)需要對上電極進行維護時，操作人員操作所述操作桿402，所述分離臂401勻速水平進入圖1中所示的所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙后，以分離所述上電極與所述冷卻盤。如圖4所示，分離臂401具體可以為一叉形的結(jié)構(gòu)，以剛好從所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙的左右兩側(cè)進入。
[0055]具體地，當(dāng)分離臂插入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙，控制分離臂進行從而使得所述上電極與所述冷卻盤分離。
[0056]本實施例中，為了便于操作人員進行操作時，更好的控制速度以及力度，所述操作桿402具體采用一旋轉(zhuǎn)杠桿，通過操作人員對其進行旋轉(zhuǎn)控制，使所述分離臂401勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙。需要說明的是，操作桿402不局限于為一旋轉(zhuǎn)杠桿，只要可以使所述分離臂401勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙即可。
[0057]本實施例中，為了避免手臂在插入的過程中對上電極的損傷，所述操作桿402選用的材質(zhì)可以為特氟龍。為了保證分離的時候循序漸進無需上下晃動并可以適時的做前后調(diào)整，分離臂401前端可以參照圖2所示緩慢上升的斜坡進行設(shè)計。
[0058]本實施例中，為了防止作為操作桿402的旋轉(zhuǎn)杠桿在旋轉(zhuǎn)的過程中，導(dǎo)致分離臂發(fā)生旋轉(zhuǎn)，而無法準(zhǔn)確進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙。因此，本實施例中，所述操作桿402的中心軸與所述分離臂401之間設(shè)置有一力矩轉(zhuǎn)換機構(gòu)403，用于將所述操作桿402的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為所述分離臂401的水平直行力。具體地，可用使用若干個旋轉(zhuǎn)的鋼珠構(gòu)成一力矩轉(zhuǎn)換機構(gòu)。圖5為本發(fā)明實施例中力矩轉(zhuǎn)換機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖5所示，該力矩轉(zhuǎn)換機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)鋼珠413、聯(lián)動旋轉(zhuǎn)橫軸423、外圈433,通過旋轉(zhuǎn)鋼珠413、聯(lián)動旋轉(zhuǎn)橫軸423的旋轉(zhuǎn)配合動作，從而使操作桿402旋轉(zhuǎn)過程中，不會造成分離臂401發(fā)生旋轉(zhuǎn)，保證分離臂401可以順利進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙。
[0059]裝置實施例二
[0060]圖6為本發(fā)明實施例二中分離上電極與冷卻盤的裝置結(jié)構(gòu)簡要示意圖；如圖6所示，本實施例中的，分離上電極與冷卻盤的裝置包括一安全收納系統(tǒng)，所述安全收納系統(tǒng)包括安全托盤501以及控制機構(gòu)502，所述安全托盤501用于在控制機構(gòu)502的控制下，移動到適宜收納被分離的所述上電極的位置上，用于在所述上電極被所述分離臂401從所述冷卻盤上分離下來后，被所述安全托盤501所收納。
[0061]本實施例中，為了防止被分離的上電極放置跌落，所述安全托盤501的邊緣設(shè)置有若干個比如4個卡槽511，用于在收納被分離的所述上電極時，卡住被分離的所述上電極。
[0062]本實施例中，所述控制機構(gòu)502為基于液壓進行的控制機構(gòu)。
[0063]本實施例中，安全托盤501固定在一對導(dǎo)軌512上，這樣便于安全托盤501在導(dǎo)軌512上水平滑動，控制安全托盤501的水平位置。需要說明的是，導(dǎo)軌512的具體固定位置并無特別限定，比如固定在圖6中所示的主軸503上。
[0064]為了可以在垂直方向上，靈活調(diào)整安全托盤501的高度，安全托盤501還連接有一液壓桿522，通過液壓控制液壓桿522伸縮，帶動液壓桿522升降。
[0065]本實施例中，為了便于整個裝置移動，還設(shè)置了一移動小車532。
[0066](3)本發(fā)明中對安全托盤位置進行控制的液壓結(jié)構(gòu)包括哪幾部分結(jié)構(gòu)，各個結(jié)構(gòu)之間如何進行配合工作，確保安全托盤位置的，請用文字和【專利附圖】

【附圖說明】，并在圖中標(biāo)明各個結(jié)構(gòu)部件。
[0067]裝置實施例三
[0068]圖7為本發(fā)明實施例三中分離上電極與冷卻盤的裝置的簡要結(jié)構(gòu)示意圖；如圖7所示，本實施例中，分離上電極與冷卻盤的裝置包括分離臂601和操作桿602，其中，所述分離臂601與操作桿602連接。當(dāng)需要對上電極進行維護時，操作人員操作所述操作桿602，所述分離臂601勻速水平進入圖1中所示的所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙后，以分離所述上電極與所述冷卻盤。
[0069]分離上電極與冷卻盤的裝置包括一安全收納系統(tǒng)，所述安全收納系統(tǒng)包括安全托盤605以及控制機構(gòu)604，所述安全托盤605用于在控制機構(gòu)604的控制下，移動到適宜收納被分離的所述上電極的位置上，用于在所述上電極被所述分離臂601從所述冷卻盤上分離下來后，被所述安全托盤605所收納。
[0070]為了防止被分離的上電極放置跌落，所述安全托盤604的邊緣設(shè)置有若干個比如4個卡槽615，用于在收納被分離的所述上電極時，卡住被分離的所述上電極。
[0071]所述控制機構(gòu)604包括導(dǎo)軌614、液壓桿624、移動小車634，其相關(guān)技術(shù)作用請參見圖6所示，在此不再贅述。
[0072]需要說明的是，本實施例中，分離臂601與操作桿602組成的整體結(jié)構(gòu)設(shè)置在主軸606上，可以起到調(diào)節(jié)該整體結(jié)構(gòu)的高度，使其適用于不同高度。另外也可以在主軸606內(nèi)也帶有齒輪，借助其內(nèi)部的齒輪與圖2所示旋轉(zhuǎn)橫軸423上的齒輪433達到讓分離手臂前進、后退自如的功能。
[0073]上述說明示出并描述了本發(fā)明的若干優(yōu)選實施例，但如前所述，應(yīng)當(dāng)理解本發(fā)明并非局限于本文所披露的形式，不應(yīng)看作是對其他實施例的排除，而可用于各種其他組合、修改和環(huán)境，并能夠在本文所述發(fā)明構(gòu)想范圍內(nèi)，通過上述教導(dǎo)或相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)或知識進行改動。而本領(lǐng)域人員所進行的改動和變化不脫離本發(fā)明的精神和范圍，則都應(yīng)在本發(fā)明所附權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種分離上電極與冷卻盤的裝置，其特征在于，包括分離臂、與所述分離臂連接的操作桿，當(dāng)需要維護上電極時，操作人員操作所述操作桿時，所述分離臂勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙后，以分離所述上電極與所述冷卻盤。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述操作桿為一旋轉(zhuǎn)杠桿，用于通過操作人員對其進行旋轉(zhuǎn)控制，使所述分離臂勻速水平進入所述上電極與所述冷卻盤之間的安裝間隙。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述操作桿的中心軸與所述分離臂之間設(shè)置有一力矩轉(zhuǎn)換機構(gòu)，用于將所述操作桿的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為所述分離臂的水平直行力。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括一安全收納系統(tǒng)，用于在所述上電極被所述分離臂從所述冷卻盤上分離下來后，收納被分離的所述上電極。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述安全收納系統(tǒng)包括安全托盤以及控制機構(gòu)，所述安全托盤用于在控制機構(gòu)的控制下，移動到適宜收納被分離的所述上電極的位置上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述安全托盤的邊緣設(shè)置有若干個卡槽，用于在收納被分離的所述上電極時，卡住被分離的所述上電極防止跌落。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述控制機構(gòu)基于液壓進行的控制機構(gòu)。
8.一種分離上電極與冷卻盤的裝置，其特征在于，包括安全收納系統(tǒng)，所述安全收納系統(tǒng)包括安全托盤以及控制機構(gòu)，當(dāng)需要對所述上電極進行維護時，所述安全托盤用于在控制機構(gòu)的控制下，移動到適宜收納被分離的所述上電極的位置上，用于在所述上電極被所述分離臂從所述冷卻盤上分離下來后，被所述安全托盤所收納。
【文檔編號】H01L21/67GK103871936SQ201410117683
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2014年3月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月27日
【發(fā)明者】朱懷昊, 季高明 申請人:上海華力微電子有限公司