有機發(fā)光二極管裝置及其制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種有機發(fā)光二極管裝置及其制造方法。公開了一種有機發(fā)光二極管顯示器。在一方面中，顯示器包括：顯示面板；網(wǎng)格層，位于顯示面板上，其中，網(wǎng)格層包括由第一凸起和形成在第一凸起的表面上的第二凸起形成的多個凸起；窗口，位于網(wǎng)格層上。
【專利說明】有機發(fā)光二極管裝置及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 公開的技術(shù)涉及一種有機發(fā)光二極管裝置及制造該發(fā)光二極管的方法。更具體地 說，有機發(fā)光二極管裝置包括網(wǎng)格層。
【背景技術(shù)】
[0002] 有機發(fā)光二極管（0LED)是自發(fā)光元件并且與液晶顯示器（IXD)不同，其不需要單 獨的光源。因此，0LED裝置的厚度和重量減小并且其柔性得以改善。另外，0LED裝置具有 其它有益質(zhì)量，例如低功耗、高亮度和高啟動速度。
[0003] 由于0LED裝置可以被制造為具有減小了的重量和厚度，所以其在便攜式電子裝 置的一體化方面也是有用的。
[0004] 然而，當在室外觀看0LED裝置的圖像時，陽光被金屬反射層反射，并且裝置的對 比度和可視性會被折中。
[0005] 為了解決該問題，可以將圓偏振板形成在0LED裝置上。然而，在使用該偏振板的 情況下，還需要例如TAC的保護層和粘合層，從而增大裝置的厚度和強度。
[0006] 因此，偏振板的使用能夠限制0LED裝置的柔性，并且提高由于多個層的層疊而導 致的外來顆粒引起的生產(chǎn)缺陷的比率。
[0007] 在本【背景技術(shù)】部分中公開的上述信息僅用于增強對本公開的背景的理解，因此其 可以包括未形成本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0008] 本公開已經(jīng)致力于提供一種具有改善了的柔性特性和減小了的厚度的0LED裝 置。
[0009] 另外，本公開已經(jīng)致力于提供一種具有改善了的可視性和對比度的0LED裝置。
[0010] 這里描述的一些實施例提供了一種有機發(fā)光二極管裝置，包括：顯示面板；網(wǎng)格 層，位于顯示面板上并且包括多個凸起，所述多個凸起由第一凸起和形成在第一凸起的表 面上的第二凸起形成；以及窗口，位于網(wǎng)格層上。
[0011] 在一些實施例中，第一凸起可以由A1 (鋁）形成。
[0012] 在一些實施例中，在第一凸起和第二凸起之間可以設置有保護層，保護層可以由 Ti (鈦）或Cr (鉻）形成。
[0013] 在一些實施例中，保護層的厚度可以是第一凸起的厚度的1/5或更小。
[0014] 在一些實施例中，第二凸起可以由鋁的氧化物形成并且被著色為黑色。
[0015] 在一些實施例中，多個凸起的高度可以為150nm或更大，凸起之間的間距可以為 50nm或更小。
[0016] 在一些實施例中，第二凸起的厚度可以從20nm至30nm。
[0017] 在一些實施例中，有機發(fā)光二極管裝置還可以包括位于顯示面板和網(wǎng)格層之間的 觸摸面板。
[0018] 在一些實施例中，有機發(fā)光二極管裝置還可以包括位于觸摸面板和網(wǎng)格層之間的 延遲層。
[0019] 在一些實施例中，有機發(fā)光二極管裝置還可以包括：位于觸摸面板和網(wǎng)格層之間 的光學透明膠層。
[0020] 在一些實施例中，窗口層可由單層或多層形成，包括聚碳酸酯（PC)、聚甲基丙烯酸 甲酯（PMMA)、聚芳酯（PAR)、聚醚砜（PES)、聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET)、聚萘二甲酸乙二 醇酯（PEN)中的至少一種。
[0021] 這里描述的一些實施例還提供了一種制造有機發(fā)光二極管裝置的方法，該方法包 括下述步驟：在基底上形成金屬層；在金屬層上形成抗蝕層；加熱抗蝕層，以允許抗蝕層通 過模具成型，并且使成型后的抗蝕層固化，其中，模具包括彼此分隔開的多個凸起；利用成 型后的抗蝕層作為掩模來蝕刻金屬層，以形成多個第一凸起；通過陽極化工藝在每個第一 凸起上形成第二凸起；以及將第二凸起著色為黑色，以形成多個凸起部件。
[0022] 在一些實施例中，有機發(fā)光二極管裝置可以具有改善了的對比度而不增加偏振 板。
[0023] 另外，由于去除了厚的偏振板，因此可以改善有機發(fā)光二極管裝置的柔性特性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0024] 圖1是根據(jù)一些實施例的網(wǎng)格層的剖視圖。
[0025] 圖2和圖3是根據(jù)一些實施例的網(wǎng)格層的剖視圖。
[0026] 圖4是示意性地示出根據(jù)示例性實施例的網(wǎng)格層的光路的圖。
[0027] 圖5至圖12是順序地示出根據(jù)示例性實施例的網(wǎng)格層的制造方法的剖視圖。
[0028] 圖13是根據(jù)一些實施例的有機發(fā)光二極管裝置的示意性剖視圖。
[0029] 圖14是根據(jù)示例性實施例的有機發(fā)光二極管裝置面板的一個像素的等效電路 圖。
[0030] 圖15和圖16是根據(jù)一些實施例的有機發(fā)光二極管裝置的示意性剖視圖。
【具體實施方式】
[0031] 在下文中，將參照附圖更充分地描述本公開，在附圖中示出了說明書的實施例。如 本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解的，描述的實施例可以以許多不同的方式修改，而全部不脫離本公 開的精神或范圍。
[0032] 為了描述本公開，省略了與說明書不相關(guān)的部分，在整個說明書中，相同或相似的 組成元件由相同的參考標號指示。
[0033] 另外，為了理解和便于描述，在附圖中示出的每個組件的尺寸和厚度被任意地示 出，但是本公開不限于此。
[0034] 在附圖中，為了清楚起見，夸大了層、膜、面板和區(qū)域等的厚度。在附圖中，為了理 解和便于描述，夸大了一些層和區(qū)域的厚度。將理解的是，當諸如層、膜、區(qū)域或基底的元件 被稱作"在"另一元件"上"時，該元件可以直接在所述另一元件上，或者也可以存在中間元 件。
[0035] 另外，除非明確地描述為相反，否則詞語"包括"及其變形將被理解為暗示包括所 述元件，但是不排除任何其它元件。另外，在說明書中，詞語"在……上"表示位于目標部分 之上或之下，而不實質(zhì)上表示位于目標部分基于重力方向的上側(cè)上。
[0036] 在下文中，將參照附圖描述根據(jù)本公開的一些實施例的光學單元。
[0037] 圖1是根據(jù)一些實施例的網(wǎng)格層的剖視圖。
[0038] 如圖1中所示，根據(jù)本公開的網(wǎng)格層包括形成在基底100上的多個凸起300?；?100可以是包括有機發(fā)光二極管的顯示面板。
[0039] 凸起300包括從基底100突出的第一凸起22以及形成在第一凸起22的表面上的 第二凸起52。
[0040] 第一凸起22可以由單種金屬材料形成，例如鋁。保護層42可以設置在第一凸起 和第二凸起之間。保護層42可以由鈦、鑰、鉻或它們的任意組合形成。在一些實施例中，可 以形成保護層42來保護第一凸起22的鋁。保護層42的厚度可以是第一凸起22的厚度的 1/5或更小。
[0041] 第二凸起52由鋁的氧化物形成。在一些實施例中，可以通過陽極化來形成第二凸 起52。在一些實施例中，第二凸起52可以是黑色的。
[0042] 如圖1中所示，凸起300的高度（H)可以是150nm或更大，凸起300之間的間距（D) 可以是50nm或更小。第二凸起52的厚度可以是20nm至30nm。
[0043] 圖2和圖3是根據(jù)一些實施例的網(wǎng)格層的剖視圖。
[0044] 如圖2中所示，根據(jù)本公開的網(wǎng)格層包括形成在基底100上的多個凸起302。
[0045] 凸起302包括從基底100突出的第一凸起22以及形成在第一凸起22的表面上的 第二凸起52。
[0046] 第一凸起22由諸如鋁的單種材料形成，第二凸起52由通過陽極化形成的鋁的氧 化物形成并且是黑色的。
[0047] 在一些實施例中，凸起302的高度可以是150nm或更大，凸起302之間的間距可以 是50nm或更小。在一些實施例中，第二凸起52的厚度可以是大約20nm至30nm。
[0048] 如圖3中所示的根據(jù)本公開的網(wǎng)格層包括形成在基底100上的多個凸起300。
[0049] 由于圖3的凸起與圖2的凸起相同，所以將僅具體描述不同的部分。
[0050] 圖3的網(wǎng)格層還包括形成在凸起302上的黑色矩陣層72。黑色矩陣層72由諸如 氧化鉻的材料形成。
[0051] 在一些實施例中，當形成網(wǎng)格層時，能夠提供從0LED裝置到外部傳輸光的光路， 并且防止由于來自外部的入射光而降低0LED裝置的亮度。因此，改善了有機發(fā)光二極管顯 示器的對比度。
[0052] 將參照圖4具體地描述上述特征。
[0053] 圖4是示出根據(jù)一些實施例的網(wǎng)格層的光路的示意圖。
[0054] 圖4的網(wǎng)格層位于0LED裝置的陰極730上。因此，從發(fā)射層720傳輸?shù)墓獯┻^凸 起302之間的空間以被發(fā)射至外部。
[0055] 另外，由于外部光被黑色的第二凸起52吸收，所以可以減少外部光的反射。因此， 可以改善0LED裝置的對比度。
[0056] 同時，由于根據(jù)實施例的網(wǎng)格層被形成為具有150nm或更小的厚度，所以網(wǎng)格層 可以替代具有幾十微米的厚度的偏振板。因此，可以減小有機發(fā)光二極管顯示器的厚度。另 夕卜，在有機發(fā)光二極管顯示器由柔性基底形成的情況下，由于未使用厚的和剛性材料的已 知的偏振板，所以可以改善有機發(fā)光二極管裝置的柔性特性。
[0057] 在下文中，將參照圖5至圖12具體地描述圖1的網(wǎng)格層的制造方法。
[0058] 圖5至圖12是順序地示出根據(jù)一些實施例的網(wǎng)格層的制造方法的剖視圖。
[0059] 如圖5中所不，在基底100上形成金屬層2,在金屬層2上形成抗蝕層6。金屬層2 由鋁形成。還可包括由例如鑰或鈦的金屬或例如Si0 2的絕緣材料形成的保護層4,以保護 金屬層2的鋁。
[0060] 抗蝕層6可以由熱固性聚合物樹脂或熱塑性聚合物樹脂來形成。
[0061]當熱固性聚合物樹脂與模具500接觸時，熱固性聚合物樹脂以充分可流動的狀態(tài) 前進，使得樹脂流至由模具500限定的圖案中。另外，在被模具500擠壓之前，熱塑性聚合 物樹脂可以被加熱以形成可流動狀態(tài)，并且可以被加熱至高于普通樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)換溫度 的溫度。
[0062] 熱塑性聚合物樹脂的示例包括但不限于聚（甲基丙烯酸甲酯)、聚苯乙烯、聚（甲基 丙烯酸苯甲酯)、聚（甲基丙烯酸環(huán)己酯）或它們的任意組合。
[0063] 然后，如圖6中所示，抗蝕層被模具500擠壓，以使樹脂流入至由模具500限定的 圖案中，然后固化以形成犧牲圖案62。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，模具500限定的圖案包括 彼此分隔開的多個凸起。
[0064] 在一些實施例中，當抗蝕層由熱固性聚合物樹脂形成時，抗蝕層可以被模具擠壓， 加熱，固化，然后去除模具。在抗蝕層由熱塑性聚合物樹脂形成的情況下，可以通過加熱使 抗蝕層成為液態(tài)，然后抗蝕層被模具擠壓。然后，在抗蝕層通過冷卻而固化之后，去除模具。 施加熱的過程可以與擠壓一起執(zhí)行。
[0065] 然后，如圖7中所示，通過使用蝕刻掩模來蝕刻保護層和金屬層，來形成第一凸起 22和保護層42。
[0066] 然后，如圖1中所示，在第一凸起22上形成第二凸起52。可以通過陽極化工藝來 形成第二凸起52。
[0067] 在陽極化工藝中，其上形成有第一凸起的基底被浸漬到酸溶液(例如，濃度為10% 至30%的稀硫酸溶液）中，并且施加電壓(例如，2V至10V的電壓)，以使第一凸起的表面氧 化。在一些實施例中，第二凸起被形成為具有20nm至30nm的厚度。
[0068] 在這種情況下，當硫酸處于10°C至20°C的硫酸溶液的溫度時，執(zhí)行10分鐘至2小 時的浸漬。
[0069] 然后，通過著色工藝來使第二凸起52的顏色改變?yōu)楹谏?br>
[0070] 在60°C至70°C的溫度下，在包含用于鍍覆的染料的水性溶液中執(zhí)行著色工藝5分 鐘至50分鐘。通過著色工藝使第二凸起被著色為具有黑色。
[0071] 圖8至圖12是示出根據(jù)一些實施例的網(wǎng)格層的制造方法的圖。
[0072] 如圖8中所示，在基底100上形成抗蝕層6,并設置用于壓印的模具500。
[0073] 然后，如圖9中所示，通過壓印工藝形成犧牲圖案62。壓印工藝通過與圖5中的方 法相同的方法來執(zhí)行。
[0074] 然后，如圖10中所示，形成金屬層2以覆蓋犧牲圖案62。金屬層2由鋁形成。金 屬層2被形成為填充犧牲圖案62之間的間隙。在圖10中，金屬層僅由鋁形成。在一些實 施例中，可以在金屬層2上形成保護層。
[0075] 然后，如圖11中所示，通過化學機械拋光（CMP)工藝來執(zhí)行拋光，直至暴露犧牲圖 案62。
[0076] 然后，如圖12中所示，去除犧牲圖案62,以形成第一凸起22。
[0077] 然后，如圖2中所示，在第一凸起22上形成第二凸起52。可以通過陽極化工藝來 形成第二凸起52。然后，通過著色工藝來將第二凸起52著色為具有黑色。
[0078] 在下文中，將參照圖13至圖16來具體地描述包括在圖1至圖3中描述的網(wǎng)格層 的0LED裝置。
[0079] 圖13是根據(jù)一些實施例的0LED裝置的示意性剖視圖。
[0080] 如圖13中所示，0LED裝置可以包括顯示面板800、位于顯示面板800上的觸摸面 板820、位于觸摸面板820上的網(wǎng)格層840和位于網(wǎng)格層840上的窗口 860。
[0081] 顯示面板800可以是包括有機發(fā)光二極管的有機發(fā)光顯示面板。有機發(fā)光顯示面 板可以包括基底100以及形成在基底100上的多個像素(未示出）。
[0082] 基底100可以是由玻璃、石英、陶瓷或塑料等形成的透明絕緣基底，或者基底100 可以是由不銹鋼等形成的金屬基底。
[0083] 參照圖14,將具體地描述有機發(fā)光顯示面板中包括的像素。
[0084] 圖14是根據(jù)一些實施例的有機發(fā)光顯示面板的一個像素的等效電路圖。
[0085] 參照圖14,有機發(fā)光顯示面板包括形成在基底上的多條信號線121、171和172以 及連接到它們的像素（PX)。
[0086] 信號線包括傳輸柵極信號(或掃描信號）的掃描信號線121、傳輸數(shù)據(jù)信號的數(shù)據(jù) 信號線171和傳輸驅(qū)動電壓的驅(qū)動電壓線172等。掃描信號線121沿基本水平的方向延伸 并且彼此基本平行，數(shù)據(jù)信號線171沿基本垂直的方向延伸并且彼此基本平行。示出了沿 基本垂直的方向延伸的驅(qū)動電壓線172,但是驅(qū)動電壓線172可以沿水平方向或垂直方向 延伸，或者可以被形成為具有網(wǎng)狀。
[0087] 一個像素（PX)包括開關(guān)晶體管（Qs)、驅(qū)動晶體管（Qd)、存儲電容器（Cst)和有機 發(fā)光二極管70。
[0088] 開關(guān)晶體管（Qs)具有控制端、輸入端和輸出端，控制端連接到掃描信號線121，輸 入端連接到數(shù)據(jù)線171，輸出端連接到驅(qū)動晶體管（Qd)。開關(guān)晶體管（Qs)響應于從掃描信 號線121接收的掃描信號來將從數(shù)據(jù)線171接收的數(shù)據(jù)信號傳輸至驅(qū)動晶體管（Qd)。
[0089] 驅(qū)動晶體管（Qd)具有控制端、輸入端和輸出端，控制端連接到開關(guān)晶體管（Qs)， 輸入端連接到驅(qū)動電壓線172,輸出端連接到有機發(fā)光二極管70。驅(qū)動晶體管（Qd)允許根 據(jù)施加到控制端和輸出端之間的電壓來改變將穿過其流動的輸出電流（ILD)
[0090] 電容器（Cst)連接在驅(qū)動晶體管（Qd)的控制端和輸入端之間。該電容器（Cst)充 入施加到驅(qū)動晶體管（Qd)的控制端的數(shù)據(jù)信號并且即使在開關(guān)晶體管（Qs)截止之后仍保 持該數(shù)據(jù)信號。
[0091] 在一些實施例中，有機發(fā)光二極管70可具有連接到驅(qū)動晶體管（Qd)的輸出端的 陽極以及連接到共電壓（Vss)的陰極。有機發(fā)光二極管70通過發(fā)光同時使光的強度根據(jù) 驅(qū)動晶體管（Qd)的輸出電流（ILD)來改變，來顯示圖像。有機發(fā)光二極管70可以包括本身 發(fā)射原色(例如，紅、綠、藍三原色）光的至少一種或任意一種的有機材料，有機發(fā)光二極管 裝置通過顏色的空間總和來顯示期望的圖像。
[0092] 再次參照圖13,觸摸面板820可以是電容式或壓敏式，并將用戶的觸摸操作感測 至有機發(fā)光二極管顯示器。
[0093] 在圖13中，網(wǎng)格層840可以是圖1至圖3中的網(wǎng)格層的任意一種，并且可以是圖 1的網(wǎng)格層。
[0094] 網(wǎng)格層840用于減少被發(fā)射光的顯示面板以及感測觸摸操作的觸摸面板反射的 外部光。因此，網(wǎng)格層的使用可以使從有機發(fā)光二極管發(fā)射至外部的光的損失最小，并且改 善整個顯示裝置的可視性。
[0095] 窗口 860位于光學膜上，并且由透明材料形成，從而用戶可以在顯示面板的前面 看到顯示部分。例如，窗口 860可以由包括鋼化玻璃或聚合物材料的單層或多層形成。聚 合物材料可以是聚碳酸酯（PC)、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA)、聚芳酯（PAR)、聚醚砜（PES)、聚 對苯二甲酸乙二醇酯（PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN)或它們的任意組合。
[0096] 窗口 860位于顯示裝置的最外部分，以防止內(nèi)部顯示面板等被外部碰撞損壞。
[0097] 圖15和圖16是根據(jù)一些實施例的有機發(fā)光二極管顯示器的示意性剖視圖。
[0098] 由于圖15和圖16的0LED裝置的層間構(gòu)造與圖14的0LED裝置的層間構(gòu)造基本 相同，所以將僅具體描述不同的部分。
[0099] 圖15的有機發(fā)光二極管顯不器包括顯不面板800、位于顯不面板800上的觸摸面 板820、位于觸摸面板820上的延遲層832、位于延遲層832上的光學透明膠（0CA)層834、 位于光學透明膠層834上的網(wǎng)格層840以及位于網(wǎng)格層840上的窗口 860。
[0100] 延遲層832可以使相位延遲λ /4。外部光的一部分穿過網(wǎng)格層，穿過延遲層并在 顯示面板的電極上反射。反射的光再次穿過延遲層，并且相位被延遲90°，因此，光不穿過 網(wǎng)格層并且消散。因此，可以提高有機發(fā)光二極管顯示器的對比度。
[0101] 圖16的有機發(fā)光二極管顯示器包括顯示面板800、位于顯示面板800上的觸摸面 板820、位于觸摸面板820上的網(wǎng)格層840、位于網(wǎng)格層840上的窗口 860和位于窗口 860 上的抗反射層或抗指紋層872。
[0102] 在上面描述的實施例中，描述了直接在窗口的下方的網(wǎng)格層的位置，但是如果需 要，網(wǎng)格層可以被形成在不同的位置，例如在窗口上，在延遲層832下方或直接在延遲層 832上，或者直接在觸摸面板上。
[0103] 雖然已經(jīng)結(jié)合當前認為是可實施的示例性實施例描述了本公開，但是應當理解， 本公開不限于公開的實施例，而是相反，本公開意圖覆蓋包括在權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi) 的各種修改和等同布置。
【權(quán)利要求】
1. 一種有機發(fā)光二極管裝置，所述有機發(fā)光二極管裝置包括： 顯示面板； 網(wǎng)格層，位于顯示面板上并且包括多個凸起，所述多個凸起包括第一凸起和形成在第 一凸起的表面上的第二凸起；以及 窗口，位于網(wǎng)格層上。
2. 如權(quán)利要求1所述的有機發(fā)光二極管裝置，其中，在第一凸起和第二凸起之間設置 有保護層。
3. 如權(quán)利要求1所述的有機發(fā)光二極管裝置，其中： 第一凸起由鋁形成。
4. 如權(quán)利要求1所述的有機發(fā)光二極管裝置，其中： 保護層的厚度是第一凸起的厚度的1/5或更小。
5. 如權(quán)利要求1所述的有機發(fā)光二極管裝置，其中： 第二凸起由鋁的氧化物形成并且具有黑色。
6. 如權(quán)利要求1所述的有機發(fā)光二極管裝置，其中： 第二凸起的厚度從20nm至30nm。
7. 如權(quán)利要求1所述的有機發(fā)光二極管裝置，其中： 所述多個凸起的高度等于或大于150nm，凸起之間的間距等于或小于50nm。
8. 如權(quán)利要求1所述的有機發(fā)光二極管裝置，所述有機發(fā)光二極管裝置還包括： 觸摸面板，位于顯示面板和網(wǎng)格層之間。
9. 如權(quán)利要求8所述的有機發(fā)光二極管裝置，所述有機發(fā)光二極管裝置還包括： 延遲層，位于觸摸面板和網(wǎng)格層之間。
10. 如權(quán)利要求8所述的有機發(fā)光二極管裝置，所述有機發(fā)光二極管裝置還包括： 光學透明膠層，位于觸摸面板和網(wǎng)格層之間。
11. 如權(quán)利要求1所述的有機發(fā)光二極管裝置，其中： 窗口層由單層或多層形成，包括聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚芳酯、聚醚砜、聚對苯 二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或它們的任意組合。
12. 如權(quán)利要求2所述的有機發(fā)光二極管裝置，其中： 保護層由鈦或鉻形成。
13. 如權(quán)利要求1所述的有機發(fā)光二極管裝置，其中： 光學透明膠層位于觸摸面板和網(wǎng)格層之間。
14. 一種制造有機發(fā)光二極管裝置的方法，該方法包括下述步驟： 在基底上形成金屬層； 在金屬層上形成抗蝕層； 加熱抗蝕層，以允許抗蝕層通過模具成型，并且使成型后的抗蝕層固化，其中，模具包 括彼此分隔開的多個凸起； 利用成型后的抗蝕層作為掩模來蝕刻金屬層，以形成多個第一凸起； 通過陽極化工藝在每個第一凸起上形成第二凸起；以及 將第二凸起著色為黑色以形成多個凸起部件。
15. 如權(quán)利要求14所述的方法，所述方法還包括在金屬層和抗蝕層之間形成保護層， 以保護金屬層。
16. 如權(quán)利要求14所述的方法，其中，第一凸起由鋁形成。
17. 如權(quán)利要求14所述的方法，其中： 第二凸起由鋁的氧化物形成并具有黑色。
18. 如權(quán)利要求14所述的方法，其中： 第二凸起的厚度為20nm至30nm。
19. 如權(quán)利要求14所述的方法，其中，所述多個凸起部件的高度大于或等于150nm，凸 起部件之間的間距小于或等于50nm。
20. 如權(quán)利要求14所述的方法，其中，通過將其上形成有第一凸起的基底浸漬到酸溶 液中，并施加電壓來使第一凸起的表面氧化，來執(zhí)行陽極化工藝。
【文檔編號】H01L51/52GK104103670SQ201410148120
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年4月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月15日
【發(fā)明者】王盛民, 金武謙, 趙國來, 李大榮, 南重建, 張大煥, 李賢載 申請人:三星顯示有限公司