基于熱穩(wěn)頻和聲光移頻的單縱模激光器互鎖方法和裝置制造方法
【專利摘要】基于熱穩(wěn)頻和聲光移頻的單縱模激光器互鎖方法和裝置屬于激光應用【技術(shù)領(lǐng)域】，本發(fā)明采用聲光移頻技術(shù)將多臺基于熱穩(wěn)頻的單縱模激光器的輸出激光頻率鎖定于同一臺參考單縱模穩(wěn)頻激光器的輸出激光頻率上，從而使所有激光器輸出激光具有統(tǒng)一的頻率值，目的是解決傳統(tǒng)穩(wěn)頻激光器相互之間的頻率一致性較低的不足，為超精密激光干涉測量提供一種新型的激光光源。
【專利說明】基于熱穩(wěn)頻和聲光移頻的單縱模激光器互鎖方法和裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于激光應用【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是一種基于熱穩(wěn)頻和聲光移頻的單縱模激光器互鎖方法及其裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，以光刻機和數(shù)控機床為代表的超精密測量與加工技術(shù)朝著大尺度、高精度、多空間自由度同步測量方向發(fā)展，對激光干涉測量系統(tǒng)的總激光功率消耗急劇增加，遠超過單臺穩(wěn)頻激光器的輸出激光功率，因此需要同時采用多臺穩(wěn)頻激光器進行組合測量。然而，不同穩(wěn)頻激光器在相對頻率穩(wěn)定度、激光波長值、波長漂移方向等方面存在差異，這將帶來激光干涉測量系統(tǒng)不同空間自由度的測量精度、波長基準和空間坐標不一致的問題，從而影響整個多維激光干涉測量系統(tǒng)的綜合測量精度。為了保證激光干涉測量系統(tǒng)的綜合測量精度，要求組合使用的多臺穩(wěn)頻激光器的頻率一致性要達到10_8，因此穩(wěn)頻激光器之間的頻率一致性已經(jīng)成為超精密測量與加工技術(shù)發(fā)展亟需解決的關(guān)鍵問題之一。
[0003]目前應用于激光干涉測量系統(tǒng)的穩(wěn)頻激光光源主要有雙縱模穩(wěn)頻激光器、橫向塞曼穩(wěn)頻激光器和縱向塞曼激光器等，這類激光器在穩(wěn)頻基準上以激光增益曲線的中心頻率作為穩(wěn)頻控制的參考頻率，而激光增益曲線的中心頻率隨工作氣體氣壓和放電條件而改變，且多臺穩(wěn)頻激光器在物理參數(shù)上無法做到高度一致，故其穩(wěn)頻控制的參考頻率存在差異，從而導致多臺穩(wěn)頻激光器輸出激光的頻率一致性較低，只能到達10_6?10_7。
[0004]為了解決穩(wěn)頻激光器之間的頻率一致性較差的問題，哈爾濱工業(yè)大學提出一種雙縱模激光器偏頻鎖定方法(中國專利申請?zhí)朇N200910072517、CN200910072518、CN200910072519和CN200910072523)，該方法以一臺碘穩(wěn)頻激光器或雙縱模激光器輸出激光的頻率作為基準，其余多臺雙縱模激光器相對于基準頻率偏移一定的數(shù)值進行鎖定，從而使多臺雙縱模激光器的輸出激光具有相同的波長(頻率)，但是該方法在激光頻率的鎖定過程中，需要調(diào)整激光器的內(nèi)部工作參數(shù)，一方面由于調(diào)整的方式屬于間接調(diào)整，系統(tǒng)的響應速度相對比較遲緩，另一方面由于每個激光器的特性參數(shù)存在一定差異，激光器內(nèi)部工作參數(shù)的改變可能會對激光的頻率穩(wěn)定度產(chǎn)生不良影響，嚴重的情況甚至會導致激光器失鎖。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明提出一種基于基于熱穩(wěn)頻和聲光移頻的單縱模激光器互鎖方法，其目的是結(jié)合聲光移頻器的移頻特性和熱穩(wěn)頻的單縱模穩(wěn)頻激光器的優(yōu)點，為超精密加工與測量技術(shù)提供一種波長一致性優(yōu)良的激光光源。本發(fā)明還提供了一種基于熱穩(wěn)頻和聲光移頻的單縱模激光器互鎖裝置。
[0006]本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):
一種基于熱穩(wěn)頻和聲光移頻的單縱模激光器互鎖方法，該方法包括以下步驟:
(I)開啟參考單縱模穩(wěn)頻激光器的電源，經(jīng)過預熱和穩(wěn)頻過程后，激光器輸出單個縱模激光，其光波頻率記為此輸出光由光纖分束器分離成η > I路，記為光束Xi(i=l，2，…，η)，分別作為單縱模激光器Li (i=l, 2，…，η)頻率鎖定的參考光束；
(2)開啟單縱模激光器Li(i=l，2，...，!!)的電源，所有單縱模激光器同時進入預熱過程，測量當前環(huán)境的溫度值，據(jù)此設(shè)定預熱的目標溫度Tsrt,且Tsrt高于環(huán)境溫度，利用電熱器對激光器內(nèi)部的激光管進行加熱，使激光管的溫度趨于預先設(shè)定的溫度值Tsrt并達到熱平衡狀態(tài)，利用偏振分光鏡將激光管副輸出端激光中的水平偏振和豎直偏振激光分量分離，其光功率Pi1 (1=1, 2，…，η)和Pi2 (i=l, 2，…，η)由兩個相同的光電探測器測量得出，穩(wěn)頻控制模塊根據(jù)預熱算法調(diào)整電熱器的工作電流值，使水平偏振激光分量的功率值Pi1Q=I, 2,…，η) =0,此時激光管主輸出端和副輸出端的激光為豎直偏振的單縱模激光；
(3)預熱過程結(jié)束后，單縱模激光器Li(i=l, 2，…，η)進入穩(wěn)頻控制過程，穩(wěn)頻控制模塊進一步微調(diào)電熱器的工作電流值的大小，使豎直偏振激光分量的功率值Pi2 (i=l，2，…，η)趨于最大值，并且根據(jù)穩(wěn)頻控制算法控制電熱器的工作電流值，使Pi2Q=I, 2，…，η)始終保持為最大值，進而使激光的頻率趨于穩(wěn)定數(shù)值；
(4)將激光管主輸出端的激光記為光束Ti(i=l, 2，…，η)，其頻率記為V i (i=l, 2，…，η)，光束 Ti (i=l, 2，...，η)進入驅(qū)動頻率為 Zi (i=l, 2，...，η)的聲光移頻器 Si (i=l, 2，...，η)進行移頻，其對應的輸出激光的頻率記為〃，((^一’…^^此激光再由分光鏡分為強度比為9:1的兩部分光，其中強度相對較大的部分光記為光束Zi (i=l，2，…，η)，作為單縱模激光器Li (i=l, 2，…，η)的輸出激光，強度相對較小的部分光記為光束Yi (i=l, 2，…，η)；
(5)將光束Xi(i=l，2，…，η)分別與光束Yi(i=l，2，…，η)進行光學混頻形成光學拍頻信號，利用光電探測器將光學拍頻信號轉(zhuǎn)換為電信號，其頻率值△ Vi=Vi+/;-vr(i=l,2,-,n)由頻率測量模塊測得，頻率調(diào)整模塊根據(jù)測量得到的光學拍頻信號的頻率值Δ Vi(i=l，2，. ..，!!)，計算得出光束XiQ=IJ,"'!!)和Yi(i=l，2，…，η)的頻率差值Vr - Vi=/;- Δ Vi(i=l，2，…，η)，并將聲光移頻器3力=1，2，...，!!)的驅(qū)動頻率^(1=1,2,…，η)調(diào)整為vr - V ^i=I, 2,…，η)，從而使單縱模激光器Li (i=l，2，…，η)輸出光束Zi (i=l，2，...，!!)的頻率等于參考光束Xi (i=l，2，...，!!)的頻率，即Vi+/;= vr(i=l, 2，…，η)；
(6)循環(huán)重復步驟(4)到(5)，通過調(diào)整聲光移頻器Sia=^，...，!!)的工作頻率^(1=1,2,…，η)，使單縱模激光器Li (i=l，2，…，η)的輸出激光Zi (i=l，2，…，η)的頻率始終
鎖定于同一頻率值V r。
[0007]—種基于熱穩(wěn)頻和聲光移頻的單縱模激光器互鎖裝置，包括激光器電源A、穩(wěn)頻狀態(tài)指示燈、參考單縱模穩(wěn)頻激光器、光纖分束器，該裝置中還包括η > I個結(jié)構(gòu)相同、呈并聯(lián)關(guān)系的單縱模激光器(L1, L2,…，Ln),其中每一個單縱模激光器(L1, L2,…，Ln)的裝配結(jié)構(gòu)是:激光器電源B與激光管連接，電熱器纏繞在激光管外壁上，其輸入端接穩(wěn)頻控制模塊，激光管溫度傳感器粘附在激光管外壁上，其輸出端接穩(wěn)頻控制模塊，環(huán)境溫度傳感器與穩(wěn)頻控制模塊連接，偏振分光鏡放置在激光管副輸出端后，其后并列放置光電探測器A和光電探測器B，二者的輸出端都與穩(wěn)頻控制模塊連接，聲光移頻器放置在激光管主輸出端前，分光鏡放置在聲光移頻器與光纖合束器的一個輸入端之間，光纖合束器的另一個輸入端與光纖分束器的輸出端之一連接，檢偏器放置在光纖合束器的輸出端與光電探測器C之間，光電探測器C、頻率測量模塊、頻率調(diào)整模塊、聲光移頻器依次連接，鎖頻狀態(tài)指示燈與頻率調(diào)整模塊連接。
[0008]本發(fā)明具有以下特點及良好效果:
(I)本發(fā)明采用聲光移頻器對多個雙縱模激光器進行并聯(lián)頻率鎖定，所有單縱模穩(wěn)頻激光器輸出激光具有統(tǒng)一的頻率值，由于聲光移頻器極高的頻率調(diào)節(jié)分辨力，多個激光器的頻率一致性可高達到10_9，比現(xiàn)有方法提高一到兩個數(shù)量級，這是區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的創(chuàng)新點之一 .
[0009](2)本發(fā)明采用聲光移頻器對多個單縱模激光器進行并聯(lián)頻率鎖定，由于聲光移頻器較高的頻率調(diào)整響應速度，可有效抑制外界干擾因素引起的激光波長漂移和躍變，從而提高了光源的穩(wěn)定性和環(huán)境適用性，這是區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的創(chuàng)新點之二。
[0010](3)本發(fā)明采用聲光移頻器對多個單縱模激光器進行并聯(lián)頻率鎖定，由于激光器最終輸出激光的頻率調(diào)整方式對于激光器內(nèi)部激光管而言，屬于一種外部調(diào)整方法，因此不會對激光管的穩(wěn)頻控制機制產(chǎn)生不良影響，有利于提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性和頻率穩(wěn)定精度，這是區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的創(chuàng)新點之三。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本發(fā)明裝置的原理示意圖
圖2為本發(fā)明裝置中單縱模激光器穩(wěn)頻結(jié)構(gòu)的示意圖圖3為本發(fā)明裝置中單縱模激光器預熱過程的閉環(huán)控制功能框圖圖4為本發(fā)明裝置中單縱模激光器穩(wěn)頻過程的閉環(huán)控制功能框圖圖5為本發(fā)明裝置中單縱模激光器頻率鎖定過程的閉環(huán)控制功能框圖圖中，I激光器電源A、2穩(wěn)頻狀態(tài)指示燈、3參考單縱模穩(wěn)頻激光器、4光纖分束器，5激光管、6偏振分光鏡、7光電探測器A、8光電探測器B、9穩(wěn)頻控制模塊、10激光管溫度傳感器、11電熱器、12環(huán)境溫度傳感器、13激光器電源B、14聲光移頻器、15分光鏡、16光纖合束器、17檢偏器、18光電探測器C、19頻率測量模塊、20頻率調(diào)整模塊、21鎖頻狀態(tài)指示燈。
【具體實施方式】
[0012]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施實例進行詳細的描述。
[0013]如圖1和圖2所示，本發(fā)明裝置中基于熱穩(wěn)頻和聲光移頻的單縱模激光器互鎖裝置，包括激光器電源Al、穩(wěn)頻狀態(tài)指示燈2、參考單縱模穩(wěn)頻激光器3、、光纖分束器4，該裝置中還包括η≥I個結(jié)構(gòu)相同、呈并聯(lián)關(guān)系的單縱模激光器L1, L2,-, Ln，其中每一個單縱模激光器L1, L2,…，Ln的裝配結(jié)構(gòu)是:激光器電源Β13與激光管5連接，電熱器11纏繞在激光管5外壁上，其輸入端接穩(wěn)頻控制模塊9，激光管溫度傳感器10粘附在激光管5外壁上，其輸出端接穩(wěn)頻控制模塊9，環(huán)境溫度傳感器12與穩(wěn)頻控制模塊9連接，偏振分光鏡6放置在激光管5副輸出端后，其后并列放置光電探測器Α7和光電探測器Β8，二者的輸出端都與穩(wěn)頻控制模塊9連接，聲光移頻器14放置在激光管5主輸出端前，分光鏡15放置在聲光移頻器14與光纖合束器16的一個輸入端之間,光纖合束器16的另一個輸入端與光纖分束器4的輸出端之一連接,檢偏器17放置在光纖合束器16的輸出端與光電探測器C18之間，光電探測器C18、頻率測量模塊19、頻率調(diào)整模塊20、聲光移頻器14依次連接，鎖頻狀態(tài)指示燈21與頻率調(diào)整模塊20連接。[0014]鑒于裝置中包括多個結(jié)構(gòu)相同的單縱模穩(wěn)頻激光器L1, L2,-, Ln，這些單縱模穩(wěn)頻激光器的工作過程完全一致，以下僅對其中一個單縱模穩(wěn)頻激光器L1進行工作過程描述，這些描述文字同樣適用于裝置中的其它同類單縱模穩(wěn)頻激光器。
[0015]開始工作時，開啟激光器電源Al，參考單縱模穩(wěn)頻激光器3進入預熱和穩(wěn)頻過程，當上述過程完成時，使能穩(wěn)頻狀態(tài)指示燈2，表示參考單縱模穩(wěn)頻激光器3進入穩(wěn)定工作狀態(tài)，其輸出激光為單個縱模光，并耦合進入光纖分束器4，被分離成η路頻率基準光束，記為光束X1, X2,-, Xn，其頻率記為V r，作為單縱模激光器L1, L2,-, 1^頻率鎖定的參考頻率。
[0016]穩(wěn)頻狀態(tài)指示燈2使能的同時，開啟激光管電源B13，單縱模穩(wěn)頻激光器L1進入預熱過程。穩(wěn)頻控制模塊9根據(jù)環(huán)境溫度傳感器11測量得到的環(huán)境溫度值而設(shè)定預熱的目標溫度Tsrt,且Tsrt高于環(huán)境溫度，將Tsrt作為如圖3所示的預熱閉環(huán)控制系統(tǒng)的參考輸入量，同時以激光管溫度傳感器10測量得到激光管5的實際溫度TMal作為反饋信號，穩(wěn)頻控制模塊9計算二者的差值，并根據(jù)穩(wěn)頻控制算法調(diào)整電熱器11的工作電流的大小，對激光管5進行加熱，使其溫度趨于預設(shè)的目標溫度Tsrt,利用偏振分光鏡6將激光管5副輸出端激光中的水平偏振和豎直偏振激光分量分離，其光功率P11和P12分別由光電探測器A7和光電探測器B8測量得出，穩(wěn)頻控制模塊9根據(jù)預熱算法調(diào)整電熱器11的工作電流值，使水平偏振激光分量的功率值P11 =0，此時激光管5主輸出端和副輸出端的激光為豎直偏振的單縱模激光。
[0017]預熱過程結(jié)束后，穩(wěn)頻控制模塊9切換單縱模激光器L1進入穩(wěn)頻控制過程，穩(wěn)頻控制模塊9進一步微調(diào)電熱器11的工作電流值的大小，使豎直偏振激光分量的功率值P12趨于最大值，該最大值記為P12maiS并將Pi2max作為如圖4所示的穩(wěn)頻閉環(huán)控制系統(tǒng)的參考量，同時將光電探測器B8測量得到的豎直偏振激光分量的功率值P12作為反饋量，穩(wěn)頻控制模塊9計算出二者的差 值，并根據(jù)穩(wěn)頻控制算法控制電熱器件11的工作電流值，使P12始終保持為最大值P12maiS進而使激光的頻率趨于穩(wěn)定數(shù)值。
[0018]穩(wěn)頻過程結(jié)束后，激光器L1進入頻率鎖定過程，激光管5主輸出端的單縱模激光作為聲光移頻器14的輸入光，其頻率記為V 17聲光移頻器14的工作頻率記為Λ，由于聲光相互作用，聲光移頻器14輸出激光的頻率為V1Z1，該光束再通過分光鏡15分離為強度為9:1兩部分光，其中強度相對較大的部分光記為光束Z1，作為單縱模激光器L1的輸出激光，強度相對較小的部分光記為光束Y1，該光束與光束X1由光纖合束器16稱合進入光纖合成為一束同軸光束，該同軸光束通過檢偏器17后形成光學拍頻信號，經(jīng)光電探測器C18進行光電轉(zhuǎn)換后，其頻率值Λ V1=V1+/;- \由頻率測量模塊19測量得到，并作為如圖5所示的頻率鎖定閉環(huán)控制系統(tǒng)的反饋輸入量，參考輸入量設(shè)置為零，頻率調(diào)整模塊20根據(jù)二者的差值Λ V1，計算得出光束X1與光束Y1的頻率差值為V ^fl - Δ Vl，并將聲光移頻器14的驅(qū)動頻率調(diào)整為? i，從而使激光器L1輸出光束Z1的頻率(光束Z1與光束Y1同頻率)等于參考光束X1的頻率當上述頻率鎖定過程完成后，頻率調(diào)整模塊20使能鎖頻狀態(tài)指示燈21。
[0019]當外界環(huán)境變化或其它因素導致參考單縱模穩(wěn)頻激光器3或者單縱模激光器L1輸出激光的頻率發(fā)生變化時，自動循環(huán)上述穩(wěn)頻鎖定過程，通過調(diào)整聲光移頻器14的工作頻率/；，使單縱模激光器L1輸出激光的頻率V i始終鎖定于參考頻率V rD同理，單模激光器L2, L3，…，Ln輸出激光的頻率v2，V3,-, vn也始終鎖定在參考頻率\上。
【權(quán)利要求】
1.一種基于熱穩(wěn)頻和聲光移頻的單縱模激光器互鎖方法，其特征在于該方法包括以下步驟: (1)開啟參考單縱模穩(wěn)頻激光器的電源，經(jīng)過預熱和穩(wěn)頻過程后，激光器輸出單個縱模激光，其光波頻率記為此輸出光由光纖分束器分離成η > I路，記為光束Xi(i=l，2，…，η)，分別作為單縱模激光器Li (i=l, 2，…，η)頻率鎖定的參考光束； (2)開啟單縱模激光器Li(i=l，2，...，!!)的電源，所有單縱模激光器同時進入預熱過程，測量當前環(huán)境的溫度值，據(jù)此設(shè)定預熱的目標溫度Tsrt,且Tsrt高于環(huán)境溫度，利用電熱器對激光器內(nèi)部的激光管進行加熱，使激光管的溫度趨于預先設(shè)定的溫度值Tsrt并達到熱平衡狀態(tài)，利用偏振分光鏡將激光管副輸出端激光中的水平偏振和豎直偏振激光分量分離，其光功率Pi1 (1=1, 2，…，η)和Pi2 (i=l, 2，…，η)由兩個相同的光電探測器測量得出，穩(wěn)頻控制模塊根據(jù)預熱算法調(diào)整電熱器的工作電流值，使水平偏振激光分量的功率值Pi1Q=I, 2，…，η) =0,此時激光管主輸出端和副輸出端的激光為豎直偏振的單縱模激光； (3)預熱過程結(jié)束后，單縱模激光器Li(i=l, 2，…，η)進入穩(wěn)頻控制過程，穩(wěn)頻控制模塊進一步微調(diào)電熱器的工作電流值的大小，使豎直偏振激光分量的功率值Pi2 (i=l，2，…，η)趨于最大值，并且根據(jù)穩(wěn)頻控制算法控制電熱器的工作電流值，使Pi2Q=I, 2，…，η)始終保持為最大值，進而使激光的頻率趨于穩(wěn)定數(shù)值； (4)將激光管主輸出端的激光記為光束Ti(i=l, 2，…，η)，其頻率記為V i (i=l, 2，…，η)，光束 Ti (i=l, 2，...，η)進入驅(qū)動頻率為 Zi (i=l, 2，...，η)的聲光移頻器 Si (i=l, 2，...，η)進行移頻，其對應的輸出激光的頻率記為〃，((^一’…^^此激光再由分光鏡分為強度比為9:1的兩部分光，其中強度相對較大的部分光記為光束Zi (i=l，2，…，η)，作為單縱模激光器Li (i=l, 2，…，η)的輸出激光，強度相對較小的部分光記為光束Yi (i=l, 2，…，η)； ^片等光束乂“^，〗，…，η)分別與光束Yi(i=l，2，…，η)進行光學混頻形成光學拍頻信號，利用光電探測器將光學拍頻信號轉(zhuǎn)換為電信號，其頻率值Λ Vi=Vi+/;- \(i=l，2^..,η)由頻率測量模塊測得，頻率調(diào)整模塊根據(jù)測量得到的光學拍頻信號的頻率值Δ V^i=I, 2,…，η)，計算得出光束Xi (i=l，2，…，η)和YiQ=I, 2，…，η)的頻率差值vr-Vi=Z1- Δ V ^i=I, 2,…，η)，并將聲光移頻器Si (i=l，2，…，η)的驅(qū)動頻率(i=l，2，…，η)調(diào)整為vr- V^i=I, 2,…，η)，從而使單縱模激光器Li (i=l，2，…，η)輸出光束Zi (i=l，2，…,η)的頻率等于參考光束Xi (i=l，2，…，η)的頻率，即vi+/；= v r (i=l，2，…，η)； (6)循環(huán)重復步驟(4)到(5)，通過調(diào)整聲光移頻器Sia=^，...，!!)的工作頻率^(1=1,2,…，η)，使單縱模激光器Li (i=l，2，…，η)的輸出激光Zi (i=l，2，…，η)的頻率始終鎖定于同一頻率值V r。
2.一種基于熱穩(wěn)頻和聲光移頻的單縱模激光器互鎖裝置，包括激光器電源A (I)、穩(wěn)頻狀態(tài)指示燈(2)、參考單縱模穩(wěn)頻激光器(3)、光纖分束器(4)，其特征在于裝置中還包括η > I個結(jié)構(gòu)相同、呈并聯(lián)關(guān)系的單縱模激光器(L1, L2,-, Ln)，其中每一個單縱模激光器(L1, L2，…，Ln)的裝配結(jié)構(gòu)是:激光器電源B (13)與激光管(5)連接，電熱器(11)纏繞在激光管(5)外壁上，其輸入端接穩(wěn)頻控制模塊(9)，激光管溫度傳感器(10)粘附在激光管(5)外壁上，其輸出端接穩(wěn)頻控制模塊(9)，環(huán)境溫度傳感器(12)與穩(wěn)頻控制模塊(9)連接，偏振分光鏡(6)放置在激光管(5)副輸出端后，其后并列放置光電探測器A (7)和光電探測器B (8)，二者的輸出端都與穩(wěn)頻控制模塊(9)連接，聲光移頻器(14)放置在激光管(5)主輸出端前，分光鏡(15)放置在聲光移頻器(14)與光纖合束器(16)的一個輸入端之間,光纖合束器(16)的 另一個輸入端與光纖分束器(4)的輸出端之一連接,檢偏器(17)放置在光纖合束器(16)的輸出端與光電探測器C (18)之間，光電探測器C (18)、頻率測量模塊(19)、頻率調(diào)整模塊(20 )、聲光移頻器(14 )依次連接，鎖頻狀態(tài)指示燈(21)與頻率調(diào)整模塊(20 )連接。
【文檔編號】H01S3/13GK104037610SQ201410308375
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2014年7月1日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月1日
【發(fā)明者】譚久彬, 付海金, 胡鵬程 申請人:哈爾濱工業(yè)大學