一種機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，通過(guò)在晶圓盒上臨近晶圓槽的的內(nèi)壁上設(shè)置位置感測(cè)器以檢測(cè)晶圓是否被置放在預(yù)設(shè)區(qū)域處，并在晶圓盒后方設(shè)置與晶圓槽在水平方向上對(duì)應(yīng)的槽位標(biāo)記。在調(diào)整機(jī)械手臂的過(guò)程中，一旦該位置檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置發(fā)射的信號(hào)被晶圓擋住，此時(shí)，位置檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)接收裝置因無(wú)法接收到信號(hào)而觸發(fā)警示燈亮起，以給予工程師明確的指示，并進(jìn)行相應(yīng)的位置調(diào)整。在提高工作效率的同時(shí)，也進(jìn)一步提高了工作質(zhì)量，避免了機(jī)械手臂與FOUP或晶圓間的碰撞導(dǎo)致晶圓損傷現(xiàn)象的發(fā)生，且該裝置成本較低，具有很強(qiáng)的實(shí)用性。
【專利說(shuō)明】一種機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體芯片的制造過(guò)程中，當(dāng)晶圓從當(dāng)前機(jī)臺(tái)轉(zhuǎn)入下一機(jī)臺(tái)之前，經(jīng)常采用晶圓盒(Front Opening Unified Pod，簡(jiǎn)稱F0UP)暫時(shí)存儲(chǔ)晶圓。目前，通常采用全自動(dòng)化的機(jī)械手臂進(jìn)行晶圓的取送操作，但是由于FOUP中的空間非常狹窄，晶圓間隔相對(duì)較小，因此對(duì)機(jī)械手臂取送晶圓的精度要求極高，且機(jī)械手臂的故障如單元齒輪、皮帶磨損等原因會(huì)造成晶圓傳送的位置偏移，因此需要定期對(duì)機(jī)械手臂進(jìn)行位置的調(diào)整，大約每3-6個(gè)月執(zhí)行一次。
[0003]目前，在12英寸制程中，并沒(méi)有合適的工具可以順利的幫助工程師安全、方便地執(zhí)行機(jī)械手臂的位置調(diào)整，只能使用普通FOUP承載晶圓，并通過(guò)目測(cè)判斷機(jī)械手臂在其中的位置，操作難度較大，對(duì)工程師來(lái)說(shuō)是一個(gè)挑戰(zhàn)。這是由于，在沒(méi)有合適的裝置輔助的條件下，工程師們基本上都是采用手動(dòng)操作以及目測(cè)的方式判斷機(jī)械手臂在FOUP中的位置，對(duì)機(jī)械手臂的位置調(diào)整費(fèi)時(shí)費(fèi)力，且質(zhì)量完全取決于工程師的經(jīng)驗(yàn)，難以保證，且由于缺少位置參照，在位置調(diào)整的過(guò)程中，機(jī)械手臂很容易和FOUP或FOUP中的晶圓發(fā)生碰撞而造成損傷，從而影響半導(dǎo)體晶圓制造工藝的生產(chǎn)效率。
[0004]中國(guó)專利(CN103560103A)公開(kāi)了一種用于將晶圓安全傳送至FOUP的傳送裝置，包括軌道箱和滑動(dòng)臂；所述軌道箱內(nèi)部?jī)蓚?cè)壁上由上至下依次設(shè)置有若干個(gè)對(duì)稱的軌道對(duì)，所述每個(gè)軌道對(duì)的豎直位置對(duì)應(yīng)FOUP中的一個(gè)槽位；所述滑動(dòng)臂包括底座和支架，所述底座為一矩形板狀結(jié)構(gòu)，其兩側(cè)各設(shè)有一個(gè)卡槽，用于將滑動(dòng)臂卡于軌道箱的軌道對(duì)上；所述支架包括一連接板和一圓形托盤(pán)，所述連接板的一端水平固定在所述底座的中部，另一端連接所述圓形托盤(pán)；所述連接板與底座連接處設(shè)有用于調(diào)節(jié)連接板豎直高度的調(diào)節(jié)按鈕。
[0005]中國(guó)專利(CN202728293U)公開(kāi)了一種嵌入式FOUP推車(chē)，通過(guò)放置臺(tái)上嵌入式設(shè)置FOUP凹槽，從而能有效的防止FOUP在搬送過(guò)程的安全性和穩(wěn)定性，從而提高了放置在FOUP中的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)片在靜置或移動(dòng)過(guò)程中的安全性，能有效避免由于測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)片在搬送過(guò)程中損壞造成的成本損失。
[0006]上述專利雖然公開(kāi)了晶圓安全傳送的裝置，但并未公開(kāi)本發(fā)明通過(guò)設(shè)置位置檢測(cè)器和對(duì)應(yīng)每個(gè)晶圓槽的槽位標(biāo)記，從而在晶圓盒中進(jìn)行晶圓的取放過(guò)程中可以實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)械手臂的位置的精確調(diào)整。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]針對(duì)上述存在的問(wèn)題，本發(fā)明公開(kāi)了一種機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中無(wú)法精確地對(duì)機(jī)械手臂的位置進(jìn)行調(diào)整，且由于缺少位置參照，在位置調(diào)整的過(guò)程中，機(jī)械手臂很容易和FOUP或FOUP中的晶圓發(fā)生碰撞而造成損傷的問(wèn)題。
[0008]為達(dá)到上述目的，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其中，包括:
[0009]一晶圓盒，所述晶圓盒的側(cè)壁內(nèi)表面上設(shè)置有用于放置晶圓的若干晶圓槽；
[0010]位置檢測(cè)器，臨近所述晶圓槽設(shè)置于所述晶圓盒的內(nèi)壁上，以檢測(cè)所述晶圓是否置放在預(yù)設(shè)區(qū)域處；
[0011]報(bào)警裝置，與所述位置檢測(cè)器電連接；
[0012]其中，當(dāng)所述位置檢測(cè)器檢測(cè)到放置于晶圓槽上的晶圓沒(méi)有置放在所述預(yù)設(shè)區(qū)域時(shí)，觸發(fā)所述報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信號(hào)。
[0013]上述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其中，所述位置檢測(cè)器為L(zhǎng)ED位置檢測(cè)器。
[0014]上述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其中，所述位置檢測(cè)器包括一檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置和一檢測(cè)信號(hào)接收裝置。
[0015]上述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其中，所述檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置設(shè)置于所述晶圓盒的底部，所述檢測(cè)信號(hào)接收裝置對(duì)應(yīng)于該檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置設(shè)置于所述晶圓盒的頂部。
[0016]上述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其中，所述報(bào)警裝置與所述檢測(cè)信號(hào)接收裝置電連接。
[0017]上述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其中，所述預(yù)設(shè)區(qū)域?yàn)樗鼍A槽上放置所述晶圓的正確區(qū)域。
[0018]上述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其中，若干所述位置檢測(cè)器均與一供電電源連接。
[0019]上述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其中，所述晶圓盒的外壁上還設(shè)置有若干槽位標(biāo)記，所述每個(gè)槽位標(biāo)記均與一個(gè)所述晶圓槽處于同一水平面上。
[0020]本申請(qǐng)還提供了一種利用上述機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置的調(diào)整方法，其中，所述方法包括:
[0021]步驟S1、提供一待調(diào)整的機(jī)械手臂；
[0022]步驟S2、將該輔助裝置載入該待調(diào)整的機(jī)械手臂所在的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)中，然后利用待調(diào)整的機(jī)械手臂將晶圓放置于輔助裝置的晶圓槽中；
[0023]步驟S3、對(duì)所述機(jī)械手臂進(jìn)行調(diào)整以將所述晶圓放置于所述預(yù)設(shè)區(qū)域；
[0024]若所述位置檢測(cè)器檢測(cè)到所述晶圓未放置于所述預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)，所述報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信號(hào)。
[0025]上述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其中，步驟S3中，通過(guò)使所述槽位標(biāo)記與所述晶圓處于同一水平面上，對(duì)所述機(jī)械手臂垂直方向的位置進(jìn)行調(diào)整。
[0026]上述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其中，步驟S3中，通過(guò)所述位置檢測(cè)器，對(duì)所述機(jī)械手臂水平方向的位置進(jìn)行調(diào)整。
[0027]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果:
[0028]本發(fā)明公開(kāi)了一種機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，通過(guò)在晶圓盒上臨近晶圓槽的的內(nèi)壁上設(shè)置位置感測(cè)器以檢測(cè)晶圓是否被置放在預(yù)設(shè)區(qū)域處的，并在晶圓盒后方設(shè)置與晶圓槽在水平方向上對(duì)應(yīng)的槽位標(biāo)記。在調(diào)整機(jī)械手臂的過(guò)程中，一旦該位置檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置發(fā)射的信號(hào)被晶圓擋住，此時(shí)，位置檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)接收裝置因無(wú)法接收到信號(hào)而觸發(fā)警示燈亮起，以給予工程師明確的指示，并進(jìn)行相應(yīng)的位置調(diào)整，因此該機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置的調(diào)整方式更為操作簡(jiǎn)單，傳送過(guò)程更為安全，保證了工程師高精度的調(diào)節(jié)機(jī)械手臂的位置，并避免機(jī)械手臂與FOUP或晶圓間的碰撞導(dǎo)致晶圓損傷現(xiàn)象的發(fā)生，在提高產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，也進(jìn)一步提高了工作效率，且該輔助裝置成本較低，具有很強(qiáng)的實(shí)用性。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0029]參考所附附圖，以更加充分的描述本發(fā)明的實(shí)施例。然而，所附附圖僅用于說(shuō)明和闡述，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明范圍的限制。
[0030]圖1是本發(fā)明中機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置的俯視圖的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖2是本發(fā)明中機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置的后視圖的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖3是本發(fā)明中機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置上槽位標(biāo)記的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖4是本發(fā)明中晶圓未被放置在預(yù)定區(qū)域的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖5是本發(fā)明中晶圓放置在預(yù)定區(qū)域的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0035]下面結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明，但是不作為本發(fā)明的限定。
[0036]一種機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，包括:
[0037]—晶圓盒，該晶圓盒的側(cè)壁內(nèi)表面上設(shè)置有用于放置晶圓的若干晶圓槽；
[0038]位置檢測(cè)器，臨近晶圓槽設(shè)置于該晶圓盒的內(nèi)壁上，以檢測(cè)該晶圓是否置放在預(yù)設(shè)區(qū)域處；
[0039]報(bào)警裝置，與該位置檢測(cè)器電連接；
[0040]其中，當(dāng)位置檢測(cè)器檢測(cè)到放置于晶圓槽上的晶圓沒(méi)有置放在預(yù)設(shè)區(qū)域時(shí)，觸發(fā)該報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信號(hào)。
[0041]為使機(jī)械手臂傳送晶圓的過(guò)程更為安全，以及保證工程師能夠高精度的調(diào)節(jié)機(jī)械手臂的位置以將晶圓更快的放置到預(yù)設(shè)區(qū)域，并避免與FOUP或晶圓間的碰撞，本發(fā)明提供了一種機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，具體的如下:
[0042]如圖1-5所示，一種機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，包括一晶圓盒和位置檢測(cè)器2，該晶圓盒的內(nèi)壁上設(shè)置有若干晶圓槽，該晶圓槽用于支撐晶圓；在本發(fā)明的實(shí)施例中，該晶圓盒的外形和標(biāo)準(zhǔn)晶圓盒基本一致，同時(shí)晶圓盒內(nèi)部設(shè)置的晶圓槽的高度、間距也均和標(biāo)準(zhǔn)晶圓盒一致，即在該裝置中的晶圓位置和標(biāo)準(zhǔn)晶圓盒均一一對(duì)應(yīng)，且該晶圓盒能夠正常在半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)上載入、載出。另外，晶圓盒的內(nèi)壁上臨近晶圓槽的位置處還設(shè)有若干位置檢測(cè)器2，該位置檢測(cè)器2用于實(shí)時(shí)的檢測(cè)放置于晶圓槽上的晶圓是否被置放在預(yù)設(shè)區(qū)域。其中，該位置檢測(cè)器2包括一檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置和一檢測(cè)信號(hào)接收裝置，該檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置設(shè)置于晶圓盒的底部，檢測(cè)信號(hào)接收裝置對(duì)應(yīng)于該檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置設(shè)置于晶圓盒的頂部，或者，檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置設(shè)置于晶圓盒的頂部，檢測(cè)信號(hào)接收裝置對(duì)應(yīng)于該檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置設(shè)置于晶圓盒的底部，這同樣能實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的。另外，該機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置還包括一報(bào)警裝置(圖中未示出)，該報(bào)警裝置電連接于該位置檢測(cè)器2的檢測(cè)信號(hào)接收裝置。
[0043]在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述位置檢測(cè)器2為L(zhǎng)ED位置檢測(cè)器，且該LED位置檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)接收裝置上集成有上述報(bào)警裝置，優(yōu)選的該報(bào)警裝置為警示燈。
[0044]在本發(fā)明的實(shí)施例中，該機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置中的位置檢測(cè)器均與一供電電源I連接，即若干位置檢測(cè)器均由該供電電源I統(tǒng)一供電，優(yōu)選的該供電電源為電池。
[0045]進(jìn)一步的，晶圓盒的外壁上還設(shè)置有若干槽位標(biāo)記5，每個(gè)槽位標(biāo)記5均與一個(gè)晶圓槽處于同一水平面上，在對(duì)機(jī)械手臂進(jìn)行垂直方向的位置調(diào)整時(shí)可以直觀的根據(jù)該槽位標(biāo)記5進(jìn)行調(diào)整。
[0046]在本發(fā)明的實(shí)施例中，如圖2所示，該輔助裝置包括4個(gè)位置感測(cè)器(每個(gè)位置感測(cè)器包括一檢測(cè)信號(hào)接收裝置和一檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置)，且每個(gè)位置感測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)接收裝置和檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置在豎直方向上均對(duì)準(zhǔn)設(shè)置。檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置發(fā)射的LED光束恰好不被放置在晶圓槽上的晶圓阻擋(若該LED光束若被阻擋，則會(huì)觸發(fā)報(bào)警裝置的報(bào)警)。這樣，機(jī)械手臂在進(jìn)行水平方向的位置調(diào)整時(shí)，只要其上承載的晶圓超出預(yù)設(shè)區(qū)域(晶圓槽5上放置晶圓3的正確區(qū)域)，該方向的LED光束將被阻擋，(如圖中標(biāo)記4)與檢測(cè)信號(hào)接收裝置電連接的警示燈立即發(fā)生報(bào)警，可以隨時(shí)提醒工程師對(duì)該機(jī)械手臂的位置進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。
[0047]本實(shí)施例中，如圖4和圖5所示，利用該機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置進(jìn)行位置調(diào)整時(shí)，可采取以下步驟:
[0048]步驟S1、提供一待調(diào)整的機(jī)械手臂；
[0049]步驟S2、將該輔助裝置載入該待調(diào)整的機(jī)械手臂所在的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)中，然后利用待調(diào)整的機(jī)械手臂將晶圓3放置于輔助裝置的晶圓槽中；
[0050]步驟S3、對(duì)機(jī)械手臂進(jìn)行調(diào)整以將晶圓3放置于預(yù)設(shè)區(qū)域；
[0051 ] 具體的，通過(guò)使槽位標(biāo)記5與晶圓3處于同一水平面上，對(duì)機(jī)械手臂垂直方向的位置進(jìn)行調(diào)整；通過(guò)位置檢測(cè)器2對(duì)機(jī)械手臂水平方向的位置進(jìn)行調(diào)整，使位置檢測(cè)裝置的LED光束均不被晶圓3阻擋，即報(bào)警裝置不被觸發(fā)為止。
[0052]如圖4所示的位置即右下角的位置檢測(cè)器2發(fā)出的LED光束被晶圓3阻擋(如圖中標(biāo)記4所示)，此時(shí)，對(duì)應(yīng)的檢測(cè)信號(hào)接收裝置無(wú)法接收到LED光束從而觸發(fā)警示燈發(fā)出高亮度的報(bào)警警示，此時(shí)工程師等操作人員會(huì)根據(jù)警示燈的位置對(duì)機(jī)械手臂的位置進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整，本實(shí)施例中，通過(guò)機(jī)械手臂將晶圓3向左上角的方向調(diào)整，直至該位置檢測(cè)器2的所有LED光束均未被阻擋，如圖5所示，則位置調(diào)整完成。
[0053]綜上所述，本發(fā)明公開(kāi)了一種機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，通過(guò)在晶圓盒上臨近晶圓槽的的內(nèi)壁上設(shè)置位置感測(cè)器以檢測(cè)晶圓是否被置放在預(yù)設(shè)區(qū)域處的，并在晶圓盒后方設(shè)置與晶圓槽在水平方向上對(duì)應(yīng)的槽位標(biāo)記。在調(diào)整機(jī)械手臂的過(guò)程中，一旦該位置檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置發(fā)射的信號(hào)被晶圓擋住，此時(shí)，位置檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)接收裝置因無(wú)法接收到信號(hào)而觸發(fā)警示燈亮起，以給予工程師明確的指示，并進(jìn)行相應(yīng)的位置調(diào)整，因此該機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置的調(diào)整方式更為操作簡(jiǎn)單，傳送過(guò)程更為安全，保證了工程師高精度的調(diào)節(jié)機(jī)械手臂的位置，并避免機(jī)械手臂與FOUP或晶圓間的碰撞導(dǎo)致晶圓損傷現(xiàn)象的發(fā)生，在提高產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，也進(jìn)一步提高了工作效率，且該輔助裝置成本較低，具有很強(qiáng)的實(shí)用性。
[0054]以上所述僅為本發(fā)明較佳的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的實(shí)施方式及保護(hù)范圍，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，應(yīng)當(dāng)能夠意識(shí)到凡運(yùn)用本發(fā)明說(shuō)明書(shū)及圖示內(nèi)容所做出的等同替換和顯而易見(jiàn)的變化所得到的方案，均應(yīng)當(dāng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其特征在于，包括: 一晶圓盒，所述晶圓盒的側(cè)壁內(nèi)表面上設(shè)置有用于放置晶圓的若干晶圓槽； 位置檢測(cè)器，臨近所述晶圓槽設(shè)置于所述晶圓盒的內(nèi)壁上，以檢測(cè)所述晶圓是否置放在預(yù)設(shè)區(qū)域處； 報(bào)警裝置，與所述位置檢測(cè)器電連接； 其中，當(dāng)所述位置檢測(cè)器檢測(cè)到放置于晶圓槽上的晶圓沒(méi)有置放在所述預(yù)設(shè)區(qū)域時(shí)，觸發(fā)所述報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信號(hào)。
2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其特征在于，所述位置檢測(cè)器為L(zhǎng)ED位置檢測(cè)器。
3.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其特征在于，所述位置檢測(cè)器包括一檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置和一檢測(cè)信號(hào)接收裝置。
4.如權(quán)利要求3所述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其特征在于，所述檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置設(shè)置于所述晶圓盒的底部，所述檢測(cè)信號(hào)接收裝置對(duì)應(yīng)于該檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置設(shè)置于所述晶圓盒的頂部。
5.如權(quán)利要求3所述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其特征在于，所述報(bào)警裝置與所述檢測(cè)信號(hào)接收裝置電連接。
6.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其特征在于，所述預(yù)設(shè)區(qū)域?yàn)樗鼍A槽上放置所述晶圓的正確區(qū)域。
7.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其特征在于，若干所述位置檢測(cè)器均與一供電電源連接。
8.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其特征在于，所述晶圓盒的外壁上還設(shè)置有若干槽位標(biāo)記，所述每個(gè)槽位標(biāo)記均與一個(gè)所述晶圓槽處于同一水平面上。
9.一種利用上述權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置的調(diào)整方法，其特征在于，所述方法包括: 步驟S1、提供一待調(diào)整的機(jī)械手臂； 步驟S2、將該輔助裝置載入該待調(diào)整的機(jī)械手臂所在的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)中，然后利用待調(diào)整的機(jī)械手臂將晶圓放置于輔助裝置的晶圓槽中； 步驟S3、對(duì)所述機(jī)械手臂進(jìn)行調(diào)整以將所述晶圓放置于所述預(yù)設(shè)區(qū)域； 若所述位置檢測(cè)器檢測(cè)到所述晶圓未放置于所述預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)，所述報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信號(hào)。
10.如權(quán)利要求9所述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其特征在于，步驟S3中，通過(guò)使所述槽位標(biāo)記與所述晶圓處于同一水平面上，對(duì)所述機(jī)械手臂垂直方向的位置進(jìn)行調(diào)MiF.0
11.如權(quán)利要求9所述的機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，其特征在于，步驟S3中，通過(guò)所述位置檢測(cè)器，對(duì)所述機(jī)械手臂水平方向的位置進(jìn)行調(diào)整。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK104078402SQ201410311052
【公開(kāi)日】2014年10月1日 申請(qǐng)日期:2014年6月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月30日
【發(fā)明者】詹云 申請(qǐng)人:武漢新芯集成電路制造有限公司