陣列基板的制作方法及設(shè)備的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供了一種陣列基板的制作方法及設(shè)備,屬于平板顯示【技術(shù)領(lǐng)域】。其中,陣列基板的制作方法包括:對(duì)基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理;在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料。本發(fā)明的技術(shù)方案能夠解決在COA工藝中需手動(dòng)清洗陣列基板上柵金屬層的對(duì)位標(biāo)記部分對(duì)應(yīng)的BM材料的問(wèn)題,進(jìn)而提高顯示面板的產(chǎn)能和良率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】陣列基板的制作方法及設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及平板顯示【技術(shù)領(lǐng)域】,特別是指一種陣列基板的制作方法及設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著技術(shù)的發(fā)展,平板顯示裝置已取代笨重的CRT (Cathode Ray Tube,陰極射線管)顯示裝置成為目前的主流顯示裝置。目前,常用的平板顯示裝置包括LCD (LiquidCrystal Display,液晶顯示裝置)和 OLED (Organic Light-Emitting D1de,有機(jī)電致發(fā)光二極管)顯示裝置。
[0003]液晶顯示裝置包括陣列基板、彩膜基板和液晶層,其中,彩膜基板是液晶顯示裝置的主要組成部分,用于實(shí)現(xiàn)彩色畫(huà)面的顯示。早期制造液晶顯示裝置的技術(shù)中,彩膜層與作為驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)的薄膜晶體管形成在不同基板上,并分別位于液晶層兩側(cè),然而這種配置方式會(huì)因?yàn)閮苫鍖?duì)位偏差(Ass’y margin)造成顯示面板的開(kāi)口率降低,進(jìn)而影響顯示面板的亮度與畫(huà)面品質(zhì)。由于近年來(lái),市場(chǎng)上對(duì)顯示面板的開(kāi)口率及亮度的要求提高,業(yè)界為應(yīng)市場(chǎng)需求進(jìn)而開(kāi)發(fā)出一種彩膜層直接形成在陣列基板上(Color filter On Array,簡(jiǎn)稱(chēng)C0A)的技術(shù),即將彩膜層和薄膜晶體管形成在一塊基板上,如此不僅可以提升顯示面板的開(kāi)口率,增加顯示面板的亮度,而且避免了將彩膜層和薄膜晶體管形成在不同基板上所衍生的問(wèn)題。
[0004]不采用COA技術(shù)時(shí),彩膜層與作為驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)的薄膜晶體管形成在不同基板上,并分別位于液晶層兩側(cè),它們被分別制作,薄膜晶體管陣列基板的制作一般首先通過(guò)曝光設(shè)備自身的對(duì)位標(biāo)記形成gate(柵金屬)層及其對(duì)位標(biāo)記,后面在進(jìn)行每一層的曝光時(shí)都是由曝光設(shè)備與gate層的對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行精確對(duì)位之后再曝光;彩膜基板的制作一般先在玻璃基板背面沉積一層透明的ITO膜,然后通過(guò)曝光設(shè)備自身的對(duì)位標(biāo)記形成BM (黑矩陣)層及其對(duì)位標(biāo)記,后面的每一層在進(jìn)行曝光時(shí)都是由曝光設(shè)備與BM層的對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行精確對(duì)位之后再曝光。
[0005]當(dāng)采用COA技術(shù)時(shí),由于BM要做在薄膜晶體管陣列基板上,在陣列基板上涂覆BM材料之后,進(jìn)行曝光時(shí)曝光設(shè)備需要先與gate層的對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行精確對(duì)位之后再曝光,但由于BM材料是不透光的,因此曝光設(shè)備將無(wú)法找到gate層的對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行對(duì)位。目前的解決辦法是手動(dòng)清洗陣列基板上gate對(duì)位標(biāo)記部分對(duì)應(yīng)的BM材料,把gate對(duì)位標(biāo)記露出來(lái),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)位,但是這種方法效率低下,易受人為因素干擾,對(duì)顯示面板的產(chǎn)能和良率都有影響。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種陣列基板的制作方法及設(shè)備,能夠解決在COA工藝中需手動(dòng)清洗陣列基板上柵金屬層的對(duì)位標(biāo)記部分對(duì)應(yīng)的BM材料的問(wèn)題,進(jìn)而提高顯示面板的產(chǎn)能和良率。
[0007]為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明的實(shí)施例提供技術(shù)方案如下:
[0008]—方面,提供一種陣列基板的制作方法,所述制作方法包括:
[0009]對(duì)基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理;
[0010]在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料。
[0011]進(jìn)一步地,所述對(duì)基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理包括:
[0012]在所述基板的所述邊緣位置以及所述對(duì)位位置上涂覆疏油藥液。
[0013]進(jìn)一步地,所述疏油藥液包括全氟辛酸鹽分散液。
[0014]進(jìn)一步地,所述在所述基板的所述邊緣位置以及所述對(duì)位位置上涂覆疏油藥液包括:
[0015]使所述基板沿輥輪傳輸,所述輥輪與所述基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置接觸,所述輥輪的表面涂覆有疏油藥液,當(dāng)所述輥輪通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述基板運(yùn)動(dòng)時(shí),將自身表面涂覆的疏油藥液涂覆在所述邊緣位置上;
[0016]所述基板將要涂覆不透光感光材料的表面上方設(shè)置有吸收有疏油藥液的清洗頭,所述輥輪通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述基板運(yùn)動(dòng),在所述基板運(yùn)動(dòng)到所述清洗頭位于所述對(duì)位位置正上方時(shí)停止,控制所述清洗頭與所述對(duì)位位置相接觸,以便所述清洗頭將疏油藥液涂覆在所述對(duì)位位置上,之后控制所述清洗頭與所述對(duì)位位置脫離接觸。
[0017]進(jìn)一步地,所述在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料包括:
[0018]在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆不透光的親油性光刻膠。
[0019]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種陣列基板的制作設(shè)備,所述制作設(shè)備包括:
[0020]疏油處理裝置,用于對(duì)基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理;
[0021]涂覆裝置,用于在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料。
[0022]進(jìn)一步地,所述疏油處理裝置用于在所述基板的所述邊緣位置以及所述對(duì)位位置上涂覆疏油藥液。
[0023]進(jìn)一步地,所述疏油處理裝置包括總藥液導(dǎo)管、藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件、輥輪、設(shè)置在所述輥輪上方的橫梁、固定在所述橫梁兩端的自動(dòng)伸縮桿和位于所述自動(dòng)伸縮桿頂端的清洗頭,其中,
[0024]所述總藥液導(dǎo)管,用于導(dǎo)入疏油藥液;
[0025]所述藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件的輸入端與所述總藥液導(dǎo)管的輸出端口緊密連接,一輸出端與所述輥輪的圓柱側(cè)面接觸,另一輸出端與所述清洗頭連接;
[0026]所述總藥液導(dǎo)管用于通過(guò)所述藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件將所述疏油藥液涂覆在所述輥輪的表面上以及所述清洗頭上;
[0027]所述輥輪與基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置接觸,用于在通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述基板運(yùn)動(dòng)時(shí),將自身表面涂覆的藥液涂覆在所述基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置;
[0028]在所述基板運(yùn)動(dòng)到所述清洗頭位于所述對(duì)位位置正上方時(shí)停止,所述自動(dòng)伸縮桿用于控制所述清洗頭與所述對(duì)位位置相接觸,在所述清洗頭將疏油藥液涂覆在所述對(duì)位位置上之后,控制所述清洗頭與所述對(duì)位位置脫離接觸。
[0029]進(jìn)一步地,所述藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件包括藥液傳遞部件和與所述藥液傳遞部件連接的藥液導(dǎo)管,所述藥液導(dǎo)管與所述總藥液導(dǎo)管的輸出端口緊密連接。
[0030]進(jìn)一步地,所述藥液傳遞部件為海綿或棉球。
[0031]本發(fā)明的實(shí)施例具有以下有益效果:
[0032]上述方案中,對(duì)基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理,之后在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料,不透光感光材料在經(jīng)過(guò)疏油處理的位置不會(huì)存在殘留,即基板的邊緣位置和對(duì)位位置不會(huì)存在不透光感光材料,從而可以將柵金屬層的對(duì)位標(biāo)記露出來(lái)進(jìn)而進(jìn)行對(duì)位,通過(guò)本發(fā)明的技術(shù)方案,能夠解決在COA工藝中需手動(dòng)清洗陣列基板上柵金屬層的對(duì)位標(biāo)記部分對(duì)應(yīng)的BM材料的問(wèn)題,進(jìn)而提聞顯不面板的廣能和良率。
【專(zhuān)利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0033]圖1為本發(fā)明實(shí)施例陣列基板的制作方法的流程示意圖;
[0034]圖2為本發(fā)明實(shí)施例陣列基板的制作設(shè)備的側(cè)面示意圖;
[0035]圖3為本發(fā)明實(shí)施例陣列基板的制作設(shè)備的正面示意圖;
[0036]圖4和圖5為本發(fā)明實(shí)施例對(duì)基板進(jìn)彳丁疏油處理的不意圖。
[0037]附圖標(biāo)記
[0038]I基板2上輥輪3下輥輪
[0039]4疏油藥液周轉(zhuǎn)及傳遞部分 5藥液傳遞部分
[0040]6橫梁7總藥液導(dǎo)管8自動(dòng)伸縮桿
[0041]9清洗頭10第一藥液導(dǎo)管 11第二藥液導(dǎo)管
[0042]12第三藥液導(dǎo)管 13第四藥液導(dǎo)管 14對(duì)位位置
[0043]15第一邊緣位置 16第二邊緣位置
【具體實(shí)施方式】
[0044]為使本發(fā)明的實(shí)施例要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0045]本發(fā)明的實(shí)施例提供一種陣列基板的制作方法及設(shè)備,能夠解決在COA工藝中需手動(dòng)清洗陣列基板上柵金屬層的對(duì)位標(biāo)記部分對(duì)應(yīng)的BM材料的問(wèn)題,進(jìn)而提高顯示面板的產(chǎn)能和良率。
[0046]圖1為本發(fā)明實(shí)施例陣列基板的制作方法的流程示意圖,如圖1所示,所述制作方法包括:
[0047]步驟101:對(duì)基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理;
[0048]步驟102:在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料。
[0049]本發(fā)明的陣列基板的制作方法,對(duì)基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理,之后在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料,親油性的不透光感光材料在經(jīng)過(guò)疏油處理的位置不會(huì)存在殘留,即基板的邊緣位置和對(duì)位位置不會(huì)存在不透光感光材料,從而可以將柵金屬層的對(duì)位標(biāo)記露出來(lái)進(jìn)而進(jìn)行對(duì)位,通過(guò)本發(fā)明的技術(shù)方案,能夠解決在COA工藝中需手動(dòng)清洗陣列基板上柵金屬層的對(duì)位標(biāo)記部分對(duì)應(yīng)的BM材料的問(wèn)題,進(jìn)而提高顯示面板的產(chǎn)能和良率。
[0050]進(jìn)一步地,本發(fā)明的另一實(shí)施例中,包括上述步驟的基礎(chǔ)上,所述對(duì)基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理包括:
[0051]在所述基板的所述邊緣位置以及所述對(duì)位位置上涂覆疏油藥液。
[0052]進(jìn)一步地,本發(fā)明的另一實(shí)施例中,包括上述步驟的基礎(chǔ)上,所述疏油藥液包括全氟辛酸鹽分散液。
[0053]進(jìn)一步地,本發(fā)明的另一實(shí)施例中,包括上述步驟的基礎(chǔ)上,所述在所述基板的所述邊緣位置以及所述對(duì)位位置上涂覆疏油藥液包括:
[0054]使所述基板沿輥輪傳輸,所述輥輪與所述基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置接觸,所述輥輪的表面涂覆有疏油藥液,當(dāng)所述輥輪通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述基板運(yùn)動(dòng)時(shí),將自身表面涂覆的疏油藥液涂覆在所述邊緣位置上;
[0055]所述基板將要涂覆不透光感光材料的表面上方設(shè)置有吸收有疏油藥液的清洗頭,所述輥輪通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述基板運(yùn)動(dòng),在所述基板運(yùn)動(dòng)到所述清洗頭位于所述對(duì)位位置正上方時(shí)停止,控制所述清洗頭與所述對(duì)位位置相接觸,以便所述清洗頭將疏油藥液涂覆在所述對(duì)位位置上,之后控制所述清洗頭與所述對(duì)位位置脫離接觸。
[0056]進(jìn)一步地,本發(fā)明的另一實(shí)施例中,包括上述步驟的基礎(chǔ)上,所述在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆不透光感光材料包括:
[0057]在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆不透光的親油性光刻膠,所述光刻膠在經(jīng)過(guò)疏油處理的所述邊緣位置和對(duì)位位置不會(huì)存在殘留。
[0058]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種陣列基板的制作設(shè)備,本發(fā)明的陣列基板的制作設(shè)備包括疏油處理裝置和涂覆裝置,其中,疏油處理裝置用于對(duì)基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理;涂覆裝置用于在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料。具體地,疏油處理裝置用于在所述基板的所述邊緣位置以及所述對(duì)位位置上涂覆疏油藥液。
[0059]如圖2和圖3所示,疏油處理裝置包括總藥液導(dǎo)管7、藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件4、棍輪、設(shè)置在輥輪上方的橫梁6、固定在橫梁6兩端的自動(dòng)伸縮桿8和位于自動(dòng)伸縮桿8頂端的清洗頭9,其中,輥輪包括上輥輪2和下輥輪3??偹幰簩?dǎo)管7從外部導(dǎo)入疏油藥液,藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件4的輸入端與總藥液導(dǎo)管7的輸出端口緊密連接,一輸出端與上輥輪2的圓柱側(cè)面接觸,另一輸出端與清洗頭9連接,總藥液導(dǎo)管7通過(guò)藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件4將疏油藥液涂覆在上輥輪2的表面上以及清洗頭9上。
[0060]如圖3所示,藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件4包括藥液傳遞部件5、與藥液傳遞部件5連接的第一藥液導(dǎo)管10、第二藥液導(dǎo)管U、第三藥液導(dǎo)管12和第四藥液導(dǎo)管13,第一藥液導(dǎo)管
10、第二藥液導(dǎo)管11、第三藥液導(dǎo)管12和第四藥液導(dǎo)管13均與總藥液導(dǎo)管7的輸出端口緊密連接,第一藥液導(dǎo)管10和第四藥液導(dǎo)管13分別將總藥液導(dǎo)管7輸出的疏油藥液導(dǎo)入與上輥輪2連接的藥液傳遞部件5,以便藥液傳遞部件5將第一藥液導(dǎo)管10和第四藥液導(dǎo)管13導(dǎo)入的疏油藥液涂覆在上輥輪2的表面上;第二藥液導(dǎo)管11和第三藥液導(dǎo)管12分別將總藥液導(dǎo)管7輸出的疏油藥液導(dǎo)入與清洗頭9連接的藥液傳遞部件5,以便藥液傳遞部件5將第二藥液導(dǎo)管11和第三藥液導(dǎo)管12導(dǎo)入的疏油藥液涂覆在清洗頭9上,藥液傳遞部件5采用能夠吸附疏油藥液的材料,具體地,藥液傳遞部件5可以為海綿或棉球。
[0061]橫梁6兩端固定有自動(dòng)伸縮桿8,通過(guò)控制自動(dòng)伸縮桿8的伸縮可以控制其頂端的清洗頭9的上下移動(dòng),使清洗頭9與基板接觸或脫離?;逦挥谏陷佪?和下輥輪3之間,輥輪通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)基板運(yùn)動(dòng),其中,上輥輪2與基板將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置相接觸。
[0062]在通過(guò)不透光感光材料制作黑矩陣時(shí),疏油處理裝置需要先對(duì)基板的邊緣位置和對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理,總藥液導(dǎo)管7將疏油藥液從藥液容器中導(dǎo)入第一藥液導(dǎo)管10、第二藥液導(dǎo)管11、第三藥液導(dǎo)管12和第四藥液導(dǎo)管13,其中,疏油藥液可以是全氟辛酸鹽分散液,但不局限于該材料。第一藥液導(dǎo)管10、第二藥液導(dǎo)管11、第三藥液導(dǎo)管12和第四藥液導(dǎo)管13通過(guò)藥液傳遞部分5分別將疏油藥液涂覆在上輥輪2上和清洗頭9上。輥輪通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)基板運(yùn)動(dòng),基板運(yùn)動(dòng)過(guò)程中,上輥輪2與基板將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置相接觸,在基板運(yùn)動(dòng)時(shí)上輥輪2將自身涂覆的疏油藥液涂覆在該邊緣位置。疏油處理裝置可以控制輥輪的運(yùn)動(dòng)和停止,從而控制基板的運(yùn)動(dòng)和停止,按照設(shè)定,在基板運(yùn)動(dòng)到清洗頭在對(duì)位位置正上方時(shí)控制基板停止運(yùn)動(dòng),此時(shí)通過(guò)控制自動(dòng)伸縮桿8的伸張使清洗頭9與基板將要涂覆不透光感光材料的表面的對(duì)位位置相接觸,清洗頭9吸收了疏油藥液,并將疏油藥液涂覆在該對(duì)位位置,之后通過(guò)控制自動(dòng)伸縮桿8的收縮使清洗頭9與該對(duì)位位置脫離接觸,并控制基板繼續(xù)運(yùn)動(dòng),如此,在整個(gè)基板經(jīng)過(guò)上輥輪2之后就得到了如圖4所示的結(jié)構(gòu),其中陰影部分都涂覆了疏油藥液,陰影部分包括第一邊緣位置15和對(duì)位位置14。
[0063]之后疏油處理裝置控制基板平轉(zhuǎn)180度,調(diào)節(jié)上輥輪2的間距,使上輥輪2的間距與基板此時(shí)的寬度相適配,并控制輥輪轉(zhuǎn)動(dòng),帶動(dòng)基板運(yùn)動(dòng),在基板運(yùn)動(dòng)過(guò)程中,控制清洗頭9不與基板相接觸,如此,在整個(gè)基板重新經(jīng)過(guò)上輥輪2之后就得到了如圖5所示的結(jié)構(gòu),基板的第二邊緣位置16也涂覆了疏油藥液。
[0064]這樣,經(jīng)過(guò)上述處理,基板將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置及對(duì)位位置都涂覆上了疏油藥液,在進(jìn)行疏油處理后,基板將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置及對(duì)位位置由親油性變?yōu)槭栌托?,可以很好地與親油性的不透光感光材料阻隔,起到分離劑作用。
[0065]之后涂覆裝置在整個(gè)基板上涂覆親油性的不透光感光材料,親油性的不透光感光材料在經(jīng)過(guò)疏油處理的邊緣位置和對(duì)位位置不會(huì)殘留,這樣不需要手動(dòng)清洗邊緣位置和對(duì)位位置的不透光感光材料,就可以將柵金屬層的對(duì)位標(biāo)記露出來(lái)進(jìn)而進(jìn)行對(duì)位。通過(guò)本發(fā)明的技術(shù)方案,能夠解決在COA工藝中需手動(dòng)清洗陣列基板上柵金屬層的對(duì)位標(biāo)記部分對(duì)應(yīng)的BM材料的問(wèn)題,進(jìn)而提聞顯不面板的廣能和良率。
[0066]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下,還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾,這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種陣列基板的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括: 對(duì)基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理; 在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述對(duì)基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理包括: 在所述基板的所述邊緣位置以及所述對(duì)位位置上涂覆疏油藥液。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述疏油藥液包括全氟辛酸鹽分散液。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述在所述基板的所述邊緣位置以及所述對(duì)位位置上涂覆疏油藥液包括: 使所述基板沿輥輪傳輸,所述輥輪與所述基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置接觸,所述輥輪的表面涂覆有疏油藥液,當(dāng)所述輥輪通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述基板運(yùn)動(dòng)時(shí),將自身表面涂覆的疏油藥液涂覆在所述邊緣位置上; 所述基板將要涂覆不透光感光材料的表面上方設(shè)置有吸收有疏油藥液的清洗頭,所述輥輪通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述基板運(yùn)動(dòng),在所述基板運(yùn)動(dòng)到所述清洗頭位于所述對(duì)位位置正上方時(shí)停止,控制所述清洗頭與所述對(duì)位位置相接觸,以便所述清洗頭將疏油藥液涂覆在所述對(duì)位位置上,之后控制所述清洗頭與所述對(duì)位位置脫離接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料包括: 在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆不透光的親油性光刻膠。
6.一種陣列基板的制作設(shè)備,其特征在于,所述制作設(shè)備包括: 疏油處理裝置,用于對(duì)基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置以及對(duì)位位置進(jìn)行疏油處理; 涂覆裝置,用于在經(jīng)過(guò)疏油處理的基板表面涂覆親油性的不透光感光材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列基板的制作設(shè)備,其特征在于,所述疏油處理裝置用于在所述基板的所述邊緣位置以及所述對(duì)位位置上涂覆疏油藥液。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的陣列基板的制作設(shè)備,其特征在于,所述疏油處理裝置包括總藥液導(dǎo)管、藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件、輥輪、設(shè)置在所述輥輪上方的橫梁、固定在所述橫梁兩端的自動(dòng)伸縮桿和位于所述自動(dòng)伸縮桿頂端的清洗頭,其中, 所述總藥液導(dǎo)管,用于導(dǎo)入疏油藥液; 所述藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件的輸入端與所述總藥液導(dǎo)管的輸出端口緊密連接,一輸出端與所述輥輪的圓柱側(cè)面接觸,另一輸出端與所述清洗頭連接; 所述總藥液導(dǎo)管用于通過(guò)所述藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件將所述疏油藥液涂覆在所述輥輪的表面上以及所述清洗頭上; 所述輥輪與基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置接觸,用于在通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述基板運(yùn)動(dòng)時(shí),將自身表面涂覆的藥液涂覆在所述基板上將要涂覆不透光感光材料的表面的邊緣位置; 在所述基板運(yùn)動(dòng)到所述清洗頭位于所述對(duì)位位置正上方時(shí)停止,所述自動(dòng)伸縮桿用于控制所述清洗頭與所述對(duì)位位置相接觸,在所述清洗頭將疏油藥液涂覆在所述對(duì)位位置上之后,控制所述清洗頭與所述對(duì)位位置脫離接觸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的陣列基板的制作設(shè)備,其特征在于,所述藥液周轉(zhuǎn)及傳遞組件包括藥液傳遞部件和與所述藥液傳遞部件連接的藥液導(dǎo)管,所述藥液導(dǎo)管與所述總藥液導(dǎo)管的輸出端口緊密連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的陣列基板的制作設(shè)備,其特征在于,所述藥液傳遞部件為海綿或棉球。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK104134631SQ201410338911
【公開(kāi)日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2014年7月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月16日
【發(fā)明者】黎午升 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司