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一種太赫茲、激光疊層探測(cè)器的制造方法與工藝

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一種太赫茲、激光疊層探測(cè)器的制造方法與工藝
本發(fā)明涉及一種太赫茲/激光疊層探測(cè)器,屬于多模、多光譜復(fù)合探測(cè)中的探測(cè)器技術(shù)。

背景技術(shù):
采用雙?;蚨嗄L綔y(cè)技術(shù)能夠更加有效的對(duì)目標(biāo)的特性進(jìn)行探測(cè),是未來(lái)探測(cè)技術(shù)發(fā)展的主流方向之一。由于雙模或多模復(fù)合探測(cè)能夠探測(cè)同一目標(biāo)的兩種電磁譜段以上的目標(biāo)特性,因此能夠提供更多的信息量,有利于發(fā)揮各自優(yōu)勢(shì),解決單一模式所難以解決的問題。將天線作為光學(xué)探測(cè)器的窗口可實(shí)現(xiàn)雙模共孔徑探測(cè),但該天線必須透光。透明電子學(xué)是近年來(lái)十分熱門的研究領(lǐng)域,納米級(jí)厚度的石墨烯既具有良好的導(dǎo)電性能,又有寬光譜的高透過率。因此,可以采用石墨烯薄膜替代以往的微帶貼片天線中的金屬貼片(薄膜)和地板,制備透激光的太赫茲(THz)天線,其與激光探測(cè)器的結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)太赫茲/激光復(fù)合的疊層探測(cè)器。激光具有高定向性、高單色性或高相干性特點(diǎn)。在激光制導(dǎo)、激光經(jīng)緯儀等光電跟蹤、定位和準(zhǔn)直儀器中常用四象限探測(cè)器作為光電傳感器。目前激光制導(dǎo)主要采用半主動(dòng)方式,即導(dǎo)引頭與激光照射器分開放置,導(dǎo)引頭中的核心部件就是四象限探測(cè)器。而在四象限探測(cè)器中目前廣泛應(yīng)用的是采用1.06微米波段的Si四象限探測(cè)器。四象限光電探測(cè)器具有電子線路簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)。太赫茲波通常指的是波長(zhǎng)在1-0.03毫米之間的電磁輻射,其波段位于微波和紅外光之間相當(dāng)寬泛圍的電磁輻射區(qū)域。物質(zhì)的THz光譜包含有豐富的物理和化學(xué)信息。研究THz不僅在科學(xué)上具有重要意義,而且在通信、醫(yī)學(xué)成像等方面也具有重要的應(yīng)用價(jià)值。將THz探測(cè)與半主動(dòng)激光探測(cè)相結(jié)合是獲取被探測(cè)目標(biāo)更為豐富信息的一種有效的技術(shù)途徑。在某些應(yīng)用系統(tǒng)中要求結(jié)構(gòu)緊湊、體積小且同軸共視場(chǎng)。為了滿足這種需求,本發(fā)明制備出一種結(jié)構(gòu)緊湊、體積小又能實(shí)現(xiàn)雙模探測(cè)的探測(cè)器,即太赫茲/激光疊層探測(cè)器。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明的目的是提供一種太赫茲/激光疊層探測(cè)器,用以解決某些應(yīng)用系統(tǒng)中對(duì)探測(cè)器既要結(jié)構(gòu)緊湊、體積小,又能實(shí)現(xiàn)雙模探測(cè)的需求的技術(shù)問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的方案包括一種太赫茲/激光疊層探測(cè)器,由微帶天線和探測(cè)器元件構(gòu)成,所述微帶天線由處于絕緣介質(zhì)基片上面的導(dǎo)電薄膜貼片和金屬饋線,以及處于絕緣介質(zhì)基片下面的導(dǎo)電薄膜接地板構(gòu)成,其特征在于,微帶天線附有導(dǎo)電薄膜接地板的一面通過粘合劑黏貼在探測(cè)器元件的表面,探測(cè)器元件通過金屬電極進(jìn)行信號(hào)輸出;所述微帶天線接收太赫茲波,所述導(dǎo)電薄膜透射激光。所述探測(cè)器元件為四象限激光探測(cè)器。所述導(dǎo)電薄膜貼片至少成2*2陣列,依據(jù)探測(cè)器的中心對(duì)稱分布,每個(gè)陣列內(nèi)的導(dǎo)電薄膜貼片都由金屬饋線進(jìn)行饋電。所述四象限激光探測(cè)器為雪崩光電二極管(APD)或PIN型光電二極管。所述導(dǎo)電薄膜由2-8層石墨烯薄膜制成。所述絕緣介質(zhì)基片選取二氧化硅、藍(lán)寶石、氟化鎂或者尖晶石。所述金屬饋線由鉻/金(Cr/Au)或銅(Cu)制成。本發(fā)明的技術(shù)方案提供的疊層探測(cè)器中微帶天線和探測(cè)器元件通過粘合劑粘貼在一起,探測(cè)器元件通過金屬電極進(jìn)行信號(hào)輸出,這使疊層探測(cè)器結(jié)構(gòu)緊湊、體積小。另外,微帶天線的導(dǎo)電薄膜使用的石墨烯薄膜,不僅具有良好的導(dǎo)電性,還具有寬光譜的高透過率,當(dāng)包含有激光和THz的射線射入該雙模探測(cè)器時(shí),首先經(jīng)過導(dǎo)電薄膜制備的微帶天線,對(duì)THz波進(jìn)行接收,由于該微帶天線整體對(duì)激光有良好的透過率,因此四象限激光探測(cè)器能夠接收到大部分入射的激光射線,從而實(shí)現(xiàn)了雙模疊層探測(cè),并且結(jié)構(gòu)緊湊、體積小,簡(jiǎn)化了整體結(jié)構(gòu),為THz/激光雙模復(fù)合探測(cè)的廣泛應(yīng)用奠定基礎(chǔ)。附圖說(shuō)明圖1是本發(fā)明實(shí)施例1中疊層探測(cè)器的俯視圖;圖2是本發(fā)明實(shí)施例1中疊層探測(cè)器的側(cè)視圖;圖3是本發(fā)明實(shí)施例2中疊層探測(cè)器的俯視圖圖中1為絕緣介質(zhì)基片,2為導(dǎo)電薄膜貼片,3為金屬饋線,4為導(dǎo)電...
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