一種微帶濾波器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種微帶濾波器，解決了現(xiàn)有技術(shù)中微帶濾波器體積較大的技術(shù)問題，微帶濾波器包括：一基板；濾波單元，埋入基板中，濾波單元包括電感元件和電容元件，以及連接電感元件和電容元件的微帶線。
【專利說明】一種微帶濾波器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體領(lǐng)域，尤其涉及一種微帶濾波器。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著無線頻譜資源的匱乏，開辟新的頻帶成為通信規(guī)劃的重要目標。2002年，美國聯(lián)邦通信委員會(FCC)授權(quán)了超寬帶(Ultra-Wideband Bandpass, UffB)頻段,超寬帶系統(tǒng)及通信技術(shù)迅速成為研究熱點。UWB頻段被FCC定義為3.1?10.6GHz，相對帶寬能夠達到110%，超寬帶濾波器作為超寬帶系統(tǒng)的核心部件之一，扮演了十分重要的角色，同樣受到了極大的關(guān)注。
[0003]微帶濾波器的通帶較寬，更能滿足超寬頻帶濾波器設計要求，但是，微帶濾波器受到材料限制，體積較大或者比較長，現(xiàn)在一般用于對體積沒有限制的情況，假如為了減小微帶濾波器的體積，只能通過將微帶線設計的很細的方式，但是現(xiàn)有工藝無法滿足微帶線足夠小，僅僅對微帶線寬度減小的方式不能對微帶濾波器的體積產(chǎn)生較大改變，因此現(xiàn)有技術(shù)中的微帶濾波器體積較大。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本申請實施例通過提供一種微帶濾波器，解決了現(xiàn)有技術(shù)中微帶濾波器體積較大的技術(shù)問題。
[0005]本發(fā)明實施例里中的濾波器，包括:
[0006]一基板；
[0007]濾波單元，埋入所述基板中，所述濾波單元包括電感元件和電容元件，以及連接所述電感元件和所述電容元件的微帶線。
[0008]優(yōu)選的，所述濾波單元包括:
[0009]多個濾波子單元；
[0010]所述微帶線，還用于連接所述多個濾波子單元。
[0011]優(yōu)選的,所述電容元件具體為:
[0012]疊層電容，所述疊層電容包括M個介電層，所述M個介電層通過兩層介電層之間的金屬層并聯(lián)，其中，所述介電層的介電常數(shù)大于一閾值，M為大于等于I的正整數(shù)。
[0013]優(yōu)選的,所述電感元件具體為:磁芯繞線電感，或標貼電感。
[0014]優(yōu)選的，所述微帶線的材料為左手材料。
[0015]本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，至少具有如下技術(shù)效果:
[0016]由于采用了一基板，將濾波單元包括的電感元件，電容元件，以及連接電感元件和電容元件的微帶線埋入基板中，從而不需要設置在表面，從而能夠減小微帶線濾波器的體積。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0017]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。
[0018]圖1為本發(fā)明實施例中的微帶濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2A為本發(fā)明實施例中的疊層電容的側(cè)視圖；
[0020]圖2B為本發(fā)明實施例中的疊層電容的俯視圖；
[0021]圖3為本發(fā)明實施例中的濾波子單元的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4為本發(fā)明實施例中的多個濾波子單元級聯(lián)的示意圖。
【具體實施方式】
[0023]本發(fā)明實施例通過提供一種微帶濾波器方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)中微帶濾波器體積較大的技術(shù)問題。
[0024]為使本發(fā)明實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0025]參考圖1所示，本發(fā)明實施例中的微帶濾波器包括:
[0026]一基板10和濾波單元20，濾波單元20埋入基板10中，濾波單元20包括電感元件201和電容元件202，以及連接電感元件201和電容元件202的微帶線30。
[0027]在具體實施過程中，電感元件201具體為磁芯繞線電感，或標貼電感，以實現(xiàn)較小的空間產(chǎn)生較大的電感值。
[0028]在具體實施過程中，電容元件202具體為疊層電容，疊層電容包括M個介電層，M個介電層通過兩層介電層之間的金屬層并聯(lián)，具體的，兩層介電層之間的金屬層可以為通過在每一個介電層表明鍍上薄金屬層形成。通過M個介電層形成的疊層電容的側(cè)視圖參考圖2A所示，再參考圖2B所示的疊層電容的俯視圖可見，形成的疊層電容包括左通孔和右通孔，用于與微帶線30連接。具體的，由于本發(fā)明實施例中的濾波單元20通過埋入基板10的方式，因此結(jié)合參考圖3所示，左通孔用于將基板10中的底層焊盤導入到頂層微帶線301，右通孔用于與微帶線302相連，以連接到電感元件201。其中，疊層電容的介電層的介電常數(shù)大于一閾值，M為大于等于I的正整數(shù)。
[0029]具體來講，介電層為高介電常數(shù)與介電層的厚度成正比，即介電常數(shù)越大，對應的介電層越薄，因此本發(fā)明實施例中的疊層電容中的介電層選擇介電常數(shù)大于一閾值的介電層，能夠?qū)崿F(xiàn)疊加的疊層電容在很小的面積或空間內(nèi)實現(xiàn)了較大的電容值。而在具體實施過程中疊加介電層的數(shù)量和每一層介電層的介電常數(shù)根據(jù)實際微帶線濾波器中的電容元件202所需要的電容值選定，而介電層的數(shù)量和選擇哪種介電常數(shù)的介電層為本領(lǐng)域技術(shù)人員所知曉的，為了說明書的簡潔，在此不再詳述。
[0030]優(yōu)選的，微帶線的材料為左手材料，左手材料為一種介電常數(shù)和磁導率同時為負值的材料。電磁波在其傳播時，波矢k、電場E和磁場H之間的關(guān)系符合左手定律，因此稱之為“左手材料”。它具有負相速度、負折射率、理想成像、逆Doppler頻移、反常Cerenkov輻射等奇異的物理性質(zhì)。
[0031]在介紹了濾波單元20中每個元件的結(jié)構(gòu)之后，基于前述介紹的每個元件形成的一個濾波子單元參考圖3所示，微帶線301的一端與電容元件202的左通孔連接，微帶線302的一端與電容元件202的右通孔連接。具體的，濾波單元20可以為一個濾波子單元或多個濾波子單元。假如在具體實施過程中，濾波單元20由多個如圖3所示的濾波子單元級聯(lián)形成。比如參考圖4所示，濾波單元20由3個圖3中的濾波子單元級聯(lián)形成，則微帶線301的另一端與上一個濾波子單元的電感元件201連接，微帶線302的另一端與下一個電容元件202的左通孔連接。
[0032]在具體實施過程中，在多個濾波子單元之間還可以包括其他電子元件，比如，電阻元件，也可以給予圖3所示的濾波子單元和其他電子元件進行其他形式的級聯(lián)方式，通過對級聯(lián)濾波子單元的個數(shù)選擇，本發(fā)明實施例中的微帶濾波器具有帶通頻率寬度任意調(diào)節(jié)的效果。
[0033]本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，至少具有如下技術(shù)效果:
[0034]由于采用了一基板，將濾波單元包括的電感元件，電容元件，以及連接電感元件和電容元件的微帶線埋入基板中，從而不需要設置在表面，從而能夠減小微帶線濾波器的體積。
[0035]盡管已描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，但本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對這些實施例作出另外的變更和修改。所以，所附權(quán)利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實施例以及落入本發(fā)明范圍的所有變更和修改。
[0036]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種微帶濾波器，其特征在于，包括: 一基板； 濾波單元，埋入所述基板中，所述濾波單元包括電感元件和電容元件，以及連接所述電感元件和所述電容元件的微帶線。
2.如權(quán)利要求1所述的微帶濾波器，其特征在于，所述濾波單元包括: 多個濾波子單元； 所述微帶線，還用于連接所述多個濾波子單元。
3.如權(quán)利要求1或2所述的微帶濾波器，其特征在于，所述電容元件具體為: 疊層電容，所述疊層電容包括M個介電層，所述M個介電層通過兩層所述介電層之間的金屬層并聯(lián)，其中，所述介電層的介電常數(shù)大于一閾值，M為大于等于I的正整數(shù)。
4.如權(quán)利要求1或2所述的微帶濾波器，其特征在于，所述電感元件具體為:磁芯繞線電感，或標貼電感。
5.如權(quán)利要求1或2所述的微帶濾波器，其特征在于，所述微帶線的材料為左手材料。
【文檔編號】H01P1/203GK104241745SQ201410453000
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年9月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月5日
【發(fā)明者】汪柳平 申請人:中國科學院微電子研究所, 華進半導體封裝先導技術(shù)研發(fā)中心有限公司