故障檢測(cè)系統(tǒng)以及故障檢測(cè)方法
【專利摘要】一種故障檢測(cè)系統(tǒng)以及故障檢測(cè)方法，其對(duì)以裝置控制層次的操作者狀態(tài)為對(duì)象的FD/FP功能進(jìn)行強(qiáng)化。故障檢測(cè)系統(tǒng)具有：用于根據(jù)操作者的操作對(duì)設(shè)定值SP進(jìn)行設(shè)定變更的設(shè)定值操作部(10)；基于設(shè)定值SP和控制量PV計(jì)算出操作量MV并輸出的操作量計(jì)算部(13)；對(duì)示出設(shè)定值操作部(10)變更設(shè)定值SP的變更頻率的操作頻率信息進(jìn)行總計(jì)并保持的頻率信息處理部(20)；在從外部接收到重置信號(hào)時(shí)，將保持在頻率信息處理部(20)中的操作頻率信息重置為零的重置部(21)；以及在操作頻率信息的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)的警報(bào)輸出部(22)。
【專利說(shuō)明】故障檢測(cè)系統(tǒng)以及故障檢測(cè)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種能夠?qū)Σ僮髡邲](méi)有正常操作溫度調(diào)節(jié)計(jì)等控制器這一故障進(jìn)行檢測(cè)和預(yù)測(cè)的故障檢測(cè)系統(tǒng)以及故障檢測(cè)方法。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造裝置中，EES (設(shè)備工程系統(tǒng)(Equipment Engineering System))正向?qū)嵱秒A段過(guò)渡。EES是用數(shù)據(jù)來(lái)對(duì)半導(dǎo)體制造裝置是否正常地發(fā)揮功能進(jìn)行檢查，使裝置的可靠性、生產(chǎn)效率提高的系統(tǒng)。EES的主要目的是以裝置本身為對(duì)象的故障檢測(cè)(FD:Fault Detect1n)、故障預(yù)測(cè)(FP:Fault Predict1n)(參照非專利文獻(xiàn) I)。
[0003]FD/FP中有裝置控制層次、模塊層次、子系統(tǒng)層次、I/O設(shè)備層次這樣的層次化的掌握方法。裝置控制層次的FD/FP是基于由主機(jī)或操作人員所指示的處理?xiàng)l件，對(duì)裝置的功能是否在裝置規(guī)格的允許范圍內(nèi)動(dòng)作進(jìn)行監(jiān)視/檢測(cè)的FD/FP。模塊層次的FD/FP是對(duì)由設(shè)備或者子系統(tǒng)構(gòu)成的模塊是否能按指示值執(zhí)行處理進(jìn)行監(jiān)視/檢測(cè)的FD/FP。子系統(tǒng)層次的FD/FP是對(duì)由如執(zhí)行反饋控制那樣的多臺(tái)設(shè)備構(gòu)成的復(fù)合系統(tǒng)是否基于若干參數(shù)設(shè)定穩(wěn)定地動(dòng)作進(jìn)行監(jiān)視/檢測(cè)的FD/FP。I/O設(shè)備層次的FD/FP是對(duì)構(gòu)成裝置的傳感器、執(zhí)行器是否按設(shè)計(jì)值穩(wěn)定地動(dòng)作進(jìn)行監(jiān)視/檢測(cè)的FD/FP。這樣，I/O設(shè)備層次的主體是傳感器及執(zhí)行器。
[0004]關(guān)于執(zhí)行器的FD/FP，對(duì)于用(0，1)位串的數(shù)據(jù)(執(zhí)行器數(shù)據(jù))就可以完成的順序控制性的動(dòng)作，尤其可以說(shuō)已處于實(shí)用階段。
[0005]另一方面，關(guān)于傳感器的FD/FP，溫度、壓力、流量等過(guò)程量則成為對(duì)象數(shù)據(jù)。關(guān)于這些數(shù)據(jù)，不能說(shuō)以msec.層次保存全部數(shù)據(jù)是合理的。因此，提出有對(duì)于裝置進(jìn)行管理的每個(gè)處理單位、或者每一定期間對(duì)傳感器的數(shù)據(jù)進(jìn)行代表值化，并對(duì)代表值化了的值進(jìn)行檢查的EES對(duì)應(yīng)的基板處理裝置(參見(jiàn)專利文獻(xiàn)I)等。所謂代表值是指最大值、最小值、平均值等。如果利用這些代表值能夠?qū)崿F(xiàn)FD/FP的話，則與對(duì)所有的數(shù)據(jù)進(jìn)行監(jiān)視的情形相比，因?yàn)榭梢源蠓鹊販p少通信量、必要存儲(chǔ)量等，所以是高效的。
[0006]作為利用了代表值的FD/FP，已知的有因劣化而引起的加熱器線材斷線的FP、因過(guò)電流而引起的加熱器線材斷線的FD等。在加熱器劣化的情況下，因?yàn)榧訜崞鞯碾娮柚?非過(guò)程量)的平均值將慢慢地上升，所以如果將加熱器的電阻值的平均值作為代表值進(jìn)行檢查的話，就能夠預(yù)測(cè)因劣化而引起的加熱器線材斷線。又，在因過(guò)電流而引起加熱器線材斷線的情況下，因?yàn)榧訜崞鞯碾娮柚档淖畲笾低话l(fā)性地上升，所以如果將加熱器的電阻值的最大值作為代表值進(jìn)行檢查的話，就能夠檢測(cè)出因過(guò)電流而引起的加熱器線材斷線。
[0007]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)I日本特開(kāi)2010-219460號(hào)公報(bào)
[0010]非專利文獻(xiàn)
[0011]非專利文獻(xiàn)I “關(guān)于裝置層次的裝置功能的性能確認(rèn)的說(shuō)明書(裝置 > ?^ ^ Q裝置機(jī)能O性能確認(rèn)(二関+ 3解説書)”，社團(tuán)法人電子信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)，2005年3月23
曰


【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]發(fā)明要解決的課題
[0013]如上所述，如果是非過(guò)程量的話，就能夠進(jìn)行FD/FP的實(shí)用化。然而，在過(guò)程量的代表值化中，僅物理性狀態(tài)成為處理對(duì)象，不能對(duì)操作者的狀態(tài)進(jìn)行處理，因此作為信息來(lái)說(shuō)未必充分。因?yàn)镋ES的裝置內(nèi)分散配置是為了提高EES整體效率的有效安裝方法，所以要求以伴隨著操作者的操作的裝置控制層次進(jìn)一步強(qiáng)化FD/FP功能。
[0014]本發(fā)明正是為了解決上述問(wèn)題而做出的，目的在于提供一種能夠強(qiáng)化以裝置控制層次的操作者狀態(tài)為對(duì)象的FD/FP功能的故障檢測(cè)系統(tǒng)以及故障檢測(cè)方法。換言之，本發(fā)明以裝置控制層次提供可以內(nèi)置也可以外裝的簡(jiǎn)易型的FD/FP相關(guān)功能。
[0015]用于解決課題的手段
[0016]本發(fā)明的故障檢測(cè)系統(tǒng)的特征在于，具有:操作量計(jì)算單元，所述操作量計(jì)算單元基于設(shè)定值SP和控制量PV計(jì)算出操作量MV并輸出；設(shè)定值操作單元，所述設(shè)定值操作單元用于根據(jù)操作者的操作對(duì)所述設(shè)定值SP進(jìn)行設(shè)定變更；頻率信息處理單元，所述頻率信息處理單元對(duì)示出利用該設(shè)定值操作單元進(jìn)行的設(shè)定值SP的變更的頻率的操作頻率信息進(jìn)行總計(jì)并保持；以及重置單元，所述重置單元在從外部接收到重置信號(hào)時(shí)，將保持在所述頻率信息處理單元中的操作頻率信息重置為零。
[0017]又，在本發(fā)明的故障檢測(cè)系統(tǒng)的一構(gòu)成例中，所述操作頻率信息是以下幾項(xiàng)中的至少一項(xiàng):變更頻率信息，所述變更頻率信息示出所述設(shè)定值SP的變更的頻率；再變更頻率信息，所述再變更頻率信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下時(shí)、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的頻率；以及反方向變更頻率信息，所述反方向變更頻率信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下時(shí)、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的頻率，且該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更。
[0018]又，在本發(fā)明的故障檢測(cè)系統(tǒng)的一構(gòu)成例中，所述操作頻率信息是以下幾項(xiàng)中的至少一項(xiàng):變更頻率信息，所述變更頻率信息示出所述設(shè)定值SP的變更的頻率；再變更頻率信息，所述再變更頻率信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后所述控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP之前、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的頻率；以及反方向變更頻率信息，所述反方向變更頻率信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后所述控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP之前、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的頻率，且該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更。
[0019]又，本發(fā)明的故障檢測(cè)系統(tǒng)的一構(gòu)成例的特征在于，還具有警報(bào)輸出單元，所述警報(bào)輸出單元在所述操作頻率信息的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
[0020]又，本發(fā)明的故障檢測(cè)系統(tǒng)的特征在于，具有:操作量計(jì)算單元，所述操作量計(jì)算單元基于設(shè)定值SP和控制量PV計(jì)算出操作量MV并輸出；設(shè)定值操作單元，所述設(shè)定值操作單元用于根據(jù)操作者的操作對(duì)所述設(shè)定值SP進(jìn)行設(shè)定變更；累計(jì)信息處理單元，所述累計(jì)信息處理單元對(duì)示出該設(shè)定值操作單元變更設(shè)定值SP的變更幅度的累計(jì)的操作累計(jì)信息進(jìn)行總計(jì)并保持；以及重置單元，所述重置單元在從外部接收到重置信號(hào)時(shí)，將保持在所述累計(jì)信息處理單元中的操作累計(jì)信息重置為零。
[0021]又，在本發(fā)明的故障檢測(cè)系統(tǒng)的一構(gòu)成例中，所述操作累計(jì)信息是以下幾項(xiàng)中的至少一項(xiàng):變更累計(jì)信息，所述變更累計(jì)信息示出所述設(shè)定值SP的變更幅度的累計(jì)；再變更累計(jì)信息，所述再變更累計(jì)信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下時(shí)、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的情況下的變更幅度的累計(jì)；以及反方向變更累計(jì)信息，所述反方向變更累計(jì)信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下時(shí)、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更且該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更的情況下的變更幅度的累計(jì)。
[0022]又，在本發(fā)明的故障檢測(cè)系統(tǒng)的一構(gòu)成例中，所述操作累計(jì)信息是以下幾項(xiàng)中的至少一項(xiàng):變更累計(jì)信息，所述變更累計(jì)信息示出所述設(shè)定值SP的變更幅度的累計(jì)；再變更累計(jì)信息，所述再變更累計(jì)信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后所述控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP之前、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的情況下的變更幅度的累計(jì)；以及反方向變更累計(jì)信息，所述反方向變更累計(jì)信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后所述控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP之前、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更且該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更的情況下的變更幅度的累計(jì)。
[0023]又，本發(fā)明的故障檢測(cè)系統(tǒng)的一構(gòu)成例的特征在于，還具有警報(bào)輸出單元，所述警報(bào)輸出單元在所述操作累計(jì)信息的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
[0024]又，本發(fā)明的故障檢測(cè)系統(tǒng)的一構(gòu)成例的特征在于，還具有:頻率信息取得單元，所述頻率信息取得單元以預(yù)先規(guī)定的間隔取得保持在所述頻率信息處理單元中的操作頻率信息；重置信號(hào)發(fā)送單元，所述重置信號(hào)發(fā)送單元在所述操作頻率信息的取得后將所述重置信號(hào)發(fā)送至所述重置單元；頻率信息履歷存儲(chǔ)單元，所述頻率信息履歷存儲(chǔ)單元對(duì)由所述頻率信息取得單元取得的操作頻率信息進(jìn)行存儲(chǔ)；以及判定單元，所述判定單元在最新的操作頻率信息的值相對(duì)于存儲(chǔ)在該頻率信息履歷存儲(chǔ)單元中的過(guò)去的任意的操作頻率信息的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
[0025]又，本發(fā)明的故障檢測(cè)系統(tǒng)的一構(gòu)成例的特征在于，還具有:累計(jì)信息取得單元，所述累計(jì)信息取得單元以預(yù)先規(guī)定的間隔取得保持在所述累計(jì)信息處理單元中的操作累計(jì)信息；重置信號(hào)發(fā)送單元，所述重置信號(hào)發(fā)送單元在所述操作累計(jì)信息的取得后將所述重置信號(hào)發(fā)送至所述重置單元；累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)單元，所述累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)單元對(duì)由所述累計(jì)信息取得單元取得的操作累計(jì)信息進(jìn)行存儲(chǔ)；以及判定單元，所述判定單元在最新的操作累計(jì)信息的值相對(duì)于存儲(chǔ)在該累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)單元中的過(guò)去的任意的操作累計(jì)信息的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
[0026]又，本發(fā)明的故障檢測(cè)方法的特征在于，包括:操作量計(jì)算步驟，基于設(shè)定值SP和控制量PV計(jì)算出操作量MV并輸出；頻率信息處理步驟，用頻率信息處理單元對(duì)示出通過(guò)操作者的操作進(jìn)行的設(shè)定值SP的變更的頻率的操作頻率信息進(jìn)行總計(jì)并保持；以及重置步驟，在從外部接收到重置信號(hào)時(shí)，將保持在所述頻率信息處理單元中的操作頻率信息重置為零。
[0027]又，本發(fā)明的故障檢測(cè)方法的一構(gòu)成例的特征在于，還包括警報(bào)輸出步驟，在所述操作頻率信息的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
[0028]又，本發(fā)明的故障檢測(cè)方法的特征在于，包括:操作量計(jì)算步驟，基于設(shè)定值SP和控制量PV計(jì)算出操作量MV并輸出；累計(jì)信息處理步驟，用累計(jì)信息處理單元對(duì)示出操作者的操作變更設(shè)定值SP的變更幅度的累計(jì)的操作累計(jì)信息進(jìn)行總計(jì)并保持；以及重置步驟，在從外部接收到重置信號(hào)時(shí)，將保持在所述累計(jì)信息處理單元中的操作累計(jì)信息重置為零。
[0029]又，本發(fā)明的故障檢測(cè)方法的一構(gòu)成例的特征在于，還包括警報(bào)輸出步驟，在所述操作累計(jì)信息的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
[0030]又，本發(fā)明的故障檢測(cè)方法的一構(gòu)成例的特征在于，還包括:頻率信息取得步驟，以預(yù)先規(guī)定的間隔取得保持在所述頻率信息處理單元中的操作頻率信息；重置信號(hào)發(fā)送步驟，在所述操作頻率信息的取得后發(fā)送所述重置信號(hào)；頻率信息履歷存儲(chǔ)步驟，將在所述頻率信息取得步驟中取得的操作頻率信息存儲(chǔ)到頻率信息履歷存儲(chǔ)單元中；以及判定步驟，在最新的操作頻率信息的值相對(duì)于存儲(chǔ)在該頻率信息履歷存儲(chǔ)單元中的過(guò)去的任意的操作頻率信息的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
[0031]又，本發(fā)明的故障檢測(cè)方法的一構(gòu)成例的特征在于，還包括:累計(jì)信息取得步驟，以預(yù)先規(guī)定的間隔取得保持在所述累計(jì)信息處理單元中的操作累計(jì)信息；重置信號(hào)發(fā)送步驟，在所述操作累計(jì)信息的取得后發(fā)送所述重置信號(hào)；累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)步驟，將在所述累計(jì)信息取得步驟中取得的操作累計(jì)信息存儲(chǔ)到累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)單元中；以及判定步驟，在最新的操作累計(jì)信息的值相對(duì)于存儲(chǔ)在所述累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)單元中的過(guò)去的任意的操作累計(jì)信息的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
[0032]發(fā)明效果
[0033]根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)設(shè)置頻率信息處理單元，能夠強(qiáng)化以裝置控制層次的操作者狀態(tài)為對(duì)象的FD/FP功能，能夠?qū)Σ僮髡邲](méi)有正常地操作溫度調(diào)節(jié)計(jì)等控制器的故障進(jìn)行檢測(cè)和預(yù)測(cè)。
[0034]又，在本發(fā)明中，通過(guò)將設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP之前、設(shè)定值SP的變更被再次進(jìn)行的頻率作為再變更頻率信息進(jìn)行總計(jì)，將設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP之前、設(shè)定值SP的變更被再次進(jìn)行的頻率作為反方向變更頻率信息進(jìn)行總計(jì)，且該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更，能夠檢測(cè)出反饋控制系統(tǒng)中特有的非正常性操作。
[0035]又，在本發(fā)明中，通過(guò)設(shè)置累計(jì)信息處理單元，能夠強(qiáng)化以裝置控制層次的操作者狀態(tài)為對(duì)象的FD/FP功能，能夠?qū)Σ僮髡邲](méi)有正常地操作溫度調(diào)節(jié)計(jì)等控制器的故障進(jìn)行檢測(cè)和預(yù)測(cè)。
[0036]又，在本發(fā)明中，通過(guò)將設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP之前、設(shè)定值SP被再次進(jìn)行變更的情況下的變更幅度的累計(jì)作為再變更累計(jì)信息進(jìn)行總計(jì)，將設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP之前、設(shè)定值SP的變更被再次進(jìn)行且該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更的情況下的變更幅度的累計(jì)作為反方向變更累計(jì)信息進(jìn)行總計(jì)，能夠檢測(cè)出反饋控制系統(tǒng)中特有的非正常性操作。
[0037]又，在本發(fā)明中，通過(guò)設(shè)置頻率信息取得單元、頻率信息履歷存儲(chǔ)單元和判定單元，能夠?qū)崿F(xiàn)更高級(jí)的操作者狀態(tài)檢測(cè)。
[0038]又，在本發(fā)明中，通過(guò)設(shè)置累計(jì)信息取得單元、累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)單元和判定單元，能夠?qū)崿F(xiàn)更高級(jí)的操作者狀態(tài)檢測(cè)。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0039]圖1是示出本發(fā)明的第一實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0040]圖2是示出本發(fā)明的第一實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作的流程圖。
[0041]圖3是示出本發(fā)明的第一實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作例的圖。
[0042]圖4是示出本發(fā)明的第二實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0043]圖5是示出本發(fā)明的第二實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作的流程圖。
[0044]圖6是示出本發(fā)明的第二實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作例的圖。
[0045]圖7是示出本發(fā)明的第三實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0046]圖8是示出本發(fā)明的第三實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作的流程圖。
[0047]圖9是示出本發(fā)明的第三實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作例的圖。
[0048]圖10是示出本發(fā)明的第四實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0049]圖11是示出本發(fā)明的第四實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作的流程圖。
[0050]圖12是示出本發(fā)明的第五實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0051]圖13是示出本發(fā)明的第五實(shí)施形態(tài)所涉及的加熱裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0052]圖14是示出本發(fā)明的第五實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作的流程圖。
[0053]圖15是示出本發(fā)明的第五實(shí)施形態(tài)中的操作頻率信息的記錄例的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0054][發(fā)明原理I]
[0055]
【發(fā)明者】著眼于如下所述的性質(zhì)。
[0056](A)作為由操作者進(jìn)行的控制器的代表性操作，有設(shè)定值SP的變更。
[0057](B)很少在剛進(jìn)行了一次設(shè)定值SP的變更之后，緊接著再次進(jìn)行變更。
[0058](C)在剛進(jìn)行了一次設(shè)定值SP的變更之后，緊接著進(jìn)行與該變更反方向的變更(取消操作)是低效率的操作，難以被認(rèn)為是正常的操作步驟。
[0059]根據(jù)上述的㈧?(C)的性質(zhì)，
【發(fā)明者】想到，通過(guò)記錄設(shè)定值SP變更頻率、設(shè)定值SP變更后的短時(shí)間內(nèi)的再變更頻率、設(shè)定值SP變更后的短時(shí)間內(nèi)的反方向變更頻率等，能夠檢測(cè)到操作者沒(méi)有正常地操作控制器的狀態(tài)。由于作為記錄的信息量不會(huì)變得龐大，因此也能安裝在簡(jiǎn)易型的控制器層次。控制器作為信息檢測(cè)功能形成FD/FP功能的一部分。并且，用上位層次的PC等對(duì)這些頻率信息進(jìn)行加工、進(jìn)行警報(bào)發(fā)報(bào)和信息分析結(jié)果的提示的結(jié)構(gòu)是現(xiàn)實(shí)的。但是，如果是簡(jiǎn)易性的警報(bào)功能的話，就也能安裝于控制器。
[0060][發(fā)明原理2]
[0061]在設(shè)定值SP的變更的情況下，除了完全的誤操作以外，也存在一旦變更后進(jìn)行微調(diào)層次的變更的情況。例如，由于控制器的操作性的不便，存在以下這樣的有意圖的再變更:暫且向大概的設(shè)定值SP臨時(shí)變更并開(kāi)始控制動(dòng)作，這之后變更為詳細(xì)的設(shè)定值SP。在這種情況下，設(shè)定值SP變更后的短時(shí)間內(nèi)的再變更幅度比較小。
[0062]因此，通過(guò)記錄不僅包含設(shè)定值SP的變更頻率，還添加了變更幅度的再變更累計(jì)、反方向變更累計(jì)，就能夠用取得該信息的上位層次的PC等進(jìn)行更詳細(xì)的分析。但是即使在該情況下，如果是利用了這些累計(jì)信息的簡(jiǎn)易的警報(bào)功能的話，也能安裝于控制器。
[0063][發(fā)明原理3]
[0064]在設(shè)定值SP的變更后設(shè)定值SP被再次變更時(shí)，對(duì)于該第二次變更是否在自第一次變更的短時(shí)間內(nèi)被進(jìn)行的判斷，按情況的不同，處理也不同。如果是反饋控制系統(tǒng)的話，設(shè)定值SP的變更的目的應(yīng)該是使控制量PV趨于該變更后的設(shè)定值SP，因此在設(shè)定值SP變更后控制量PV達(dá)到該設(shè)定值SP(或SP的附近)以前，處理設(shè)定值SP的再變更、反方向變更進(jìn)行的頻率和累計(jì)是更現(xiàn)實(shí)的。即，通過(guò)這樣的處理，就能夠檢測(cè)到反饋控制系統(tǒng)中特有的非正常操作。
[0065][第一實(shí)施形態(tài)]
[0066]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。圖1是示出本發(fā)明的第一實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖。本實(shí)施形態(tài)是對(duì)應(yīng)于上述發(fā)明原理I的例子。在此，對(duì)以簡(jiǎn)易型的控制器(溫度調(diào)節(jié)計(jì))實(shí)現(xiàn)故障檢測(cè)系統(tǒng)的例子進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)由以往設(shè)置于溫度調(diào)節(jié)計(jì)的一般性結(jié)構(gòu)的溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部1、和作為本實(shí)施形態(tài)的特征結(jié)構(gòu)的FD/FP功能部2構(gòu)成。
[0067]溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I具有:用于操作者通過(guò)手動(dòng)操作對(duì)設(shè)定值SP進(jìn)行設(shè)定變更的設(shè)定值操作部10、從設(shè)定值操作部10輸入設(shè)定值SP的設(shè)定值輸入部11、從測(cè)量?jī)x器輸入控制量PV的控制量輸入部12、基于設(shè)定值SP和控制量PV計(jì)算操作量MV的操作量計(jì)算部13、以及將操作量MV輸出至溫度調(diào)節(jié)計(jì)外部的操作量輸出部14。
[0068]FD/FP功能部2具有:對(duì)示出設(shè)定值操作部10變更設(shè)定值SP的變更頻率的操作頻率信息進(jìn)行總計(jì)并保持的頻率信息處理部20、在從外部接收到重置信號(hào)時(shí)將保持于頻率信息處理部20的操作頻率信息重置為零的重置部21、以及在操作頻率信息的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)向溫度調(diào)節(jié)計(jì)外部輸出警報(bào)的警報(bào)輸出部22。
[0069]下面，參照?qǐng)D2、圖3對(duì)本實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖2是示出故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作的流程圖，圖3是示出故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作例的圖。圖3的橫軸是時(shí)間，縱軸是控制量PV (溫度)。在此，令設(shè)定值SP為溫度設(shè)定值，令控制量PV為溫度測(cè)量值，對(duì)收集例如加熱裝置的升溫控制中的數(shù)據(jù)的情況進(jìn)行說(shuō)明。
[0070]首先，在初始狀態(tài)，由于從外部接收到重置信號(hào)，F(xiàn)D/FP功能部2的重置部21將保持在頻率信息處理部20中的操作頻率信息(變更頻率信息A、再變更頻率信息B、反方向變更頻率信息C)全部重置為O (圖2的步驟S100)。
[0071]變更頻率信息A表示利用設(shè)定值操作部10的設(shè)定值SP的變更的頻率。再變更頻率信息B表示利用設(shè)定值操作部10的設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下時(shí)，再次利用設(shè)定值操作部10進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的頻率。反方向變更頻率信息C表示利用設(shè)定值操作部10的設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下時(shí)、再次利用設(shè)定值操作部10進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的頻率，該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更。
[0072]溫度調(diào)節(jié)計(jì)的控制動(dòng)作一旦啟動(dòng)，溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I的操作量計(jì)算部13就根據(jù)周知的控制運(yùn)算算法，計(jì)算出使從設(shè)定值輸入部11輸入的設(shè)定值SP和從控制量輸入部12輸入的控制量PV—致的操作量MV。作為控制運(yùn)算算法，例如有PID。操作量輸出部14將由操作量計(jì)算部13計(jì)算出的操作量MV輸出給控制對(duì)象。在控制對(duì)象例如是加熱處理爐的情況下，將電力供給至加熱處理爐的加熱器的電力調(diào)整器就成為操作量MV的實(shí)際的輸出對(duì)象。溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I對(duì)每個(gè)控制周期重復(fù)執(zhí)行這樣的操作量MV的計(jì)算和輸出。
[0073]溫度調(diào)節(jié)計(jì)的操作者在想要變更設(shè)定值SP的情況下，操作設(shè)定值操作部10以進(jìn)行設(shè)定值SP的變更。
[0074]FD/FP功能部2的頻率信息處理部20在溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I的控制動(dòng)作啟動(dòng)時(shí)，在設(shè)定值SP的變更通過(guò)設(shè)定值操作部10被進(jìn)行的情況下(圖2的步驟SlOl中:是)，根據(jù)該設(shè)定值SP的變更按下式那樣更新變更頻率信息A的值(圖2的步驟S102)。
[0075]A — A+1...(I)
[0076]在圖3的例子中，在時(shí)刻tl，設(shè)定值SP被從20°C變更為52°C，變更頻率信息A增加1，從A = O更新至A= I。又，在時(shí)刻t3，設(shè)定值SP被從80°C變更為20°C，變更頻率信息A被從A = 2更新為A = 3。又，在時(shí)刻t4，設(shè)定值SP被從20°C變更為88°C，變更頻率信息A被從A = 3更新為A = 4。進(jìn)一步地，在時(shí)刻t6，設(shè)定值SP被從80°C變更為20°C，變更頻率信息A被從A = 5更新為A = 6。
[0077]頻率信息處理部20將設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間重置為O并開(kāi)始經(jīng)過(guò)時(shí)間的測(cè)量(圖2的步驟S103)，在該經(jīng)過(guò)時(shí)間在預(yù)先規(guī)定的時(shí)間以下時(shí)(圖2的步驟S104中:是)，設(shè)定值SP的變更通過(guò)設(shè)定值操作部102被進(jìn)一步進(jìn)行的情況下(圖2的步驟S105中:是)，根據(jù)該設(shè)定值SP的變更按式(I)那樣更新變更頻率信息A的值(圖2的步驟S106)，同時(shí)按下式那樣更新再變更頻率信息B的值(圖2的步驟S107)。
[0078]B — B+1...(2)
[0079]在圖3的例子中，在時(shí)刻t2設(shè)定值SP被從52°C變更為80°C時(shí)，由于自時(shí)刻tl的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下，因此在變更頻率信息A增加1、從A = I被更新為A = 2的同時(shí)，再變更頻率信息B增加1，從B = O被更新為B = I。
[0080]又，頻率信息處理部20在設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在預(yù)先規(guī)定的時(shí)間以下時(shí)(步驟S104中:是)，設(shè)定值SP的變更通過(guò)設(shè)定值操作部10被進(jìn)一步進(jìn)行(步驟S105中:是)、該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更(取消操作)的情況下(圖2的步驟S108中:是)，按下式那樣更新反方向變更頻率信息C的值(圖2的步驟S109)。
[0081]C — C+1...(3)
[0082]在圖3的例子中，在時(shí)刻t5設(shè)定值SP被從88°C變更為80°C時(shí)，由于自時(shí)刻t4的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下，因此在變更頻率信息A被從A = 4更新為A = 5的同時(shí)，再變更頻率信息B被從B = I更新為B = 2，進(jìn)一步地，由于該變更相對(duì)于時(shí)刻t4的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更，因此反方向變更頻率信息C也被從C = O更新為C = I。
[0083]FD/FP功能部2的警報(bào)輸出部22在變更頻率信息A的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值Ta的情況下(圖2的步驟SllO中:是)，將與此對(duì)應(yīng)的警報(bào)Aa輸出到溫度調(diào)節(jié)計(jì)外部(圖2的步驟SI 11)。
[0084]警報(bào)輸出部22在再變更頻率信息B的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值Tb的情況下(圖2的步驟S112中:是)，將與此對(duì)應(yīng)的警報(bào)Ab輸出到溫度調(diào)節(jié)計(jì)外部(圖2的步驟S113)。
[0085]又，警報(bào)輸出部22在反方向變更頻率信息C的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值Tc的情況下(圖2的步驟SI 14中:是)，將與此對(duì)應(yīng)的警報(bào)Ac輸出到溫度調(diào)節(jié)計(jì)外部(圖2的步驟S115)。另外，再變更頻率信息B以及反方向變更頻率信息C的值為零是理想的。作為警報(bào)Aa, Ab, Ac的輸出形態(tài)，例如有向上位層次的PC等的警報(bào)信號(hào)的輸出等。
[0086]每一定周期地重復(fù)執(zhí)行以上那樣的步驟SlOl?S115的處理，直到例如根據(jù)來(lái)自操作者的指令使FD/FP功能部2的動(dòng)作結(jié)束(圖2的步驟SI 16中:是)。該FD/FP功能部2的動(dòng)作周期可以和溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I的控制周期相同，也可以不同。
[0087]根據(jù)以上所述，在本實(shí)施形態(tài)中，能夠?qū)D/FP功能分散配置于簡(jiǎn)易型的裝置控制層次(溫度調(diào)節(jié)計(jì)等)，該FD/FP功能是將與設(shè)定值SP的設(shè)定變更相關(guān)的操作頻率信息作為表示操作者的狀態(tài)的信息進(jìn)行處理的功能。即，只要是溫度控制系統(tǒng)，就能夠檢測(cè)出操作者沒(méi)有正常地操作控制器這一故障。
[0088][第二實(shí)施形態(tài)]
[0089]接下來(lái)，關(guān)于本發(fā)明的第二實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。圖4是示出本發(fā)明的第二實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖，對(duì)與圖1相同的結(jié)構(gòu)賦予相同的符號(hào)。本實(shí)施形態(tài)是對(duì)應(yīng)于上述發(fā)明原理2的例子。在本實(shí)施形態(tài)中，也對(duì)以簡(jiǎn)易型的控制器(溫度調(diào)節(jié)計(jì))實(shí)現(xiàn)故障檢測(cè)系統(tǒng)的例子進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)由溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I和FD/FP功能部2a構(gòu)成。
[0090]溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I的結(jié)構(gòu)以及動(dòng)作如在第一實(shí)施形態(tài)中所說(shuō)明的那樣。FD/FP功能部2a具有:在從外部接收到重置信號(hào)時(shí)，將保持在后面敘述的累計(jì)信息處理部中的操作累計(jì)信息重置為O的重置部21a ;在操作累計(jì)信息的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，將警報(bào)輸出到溫度調(diào)節(jié)計(jì)外部的警報(bào)輸出部22a ;以及對(duì)示出設(shè)定值操作部10變更設(shè)定值SP的變更幅度的累計(jì)的操作累計(jì)信息進(jìn)行總計(jì)并保持的累計(jì)信息處理部23。
[0091]下面，參照?qǐng)D5、圖6對(duì)本實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖5是示出故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作的流程圖，圖6是示出故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作例的圖。圖6的橫軸是時(shí)間，縱軸是控制量PV (溫度)。
[0092]首先，在初始狀態(tài)，由于從外部接收到重置信號(hào)，F(xiàn)D/FP功能部2a的重置部21a將保持在累計(jì)信息處理部23中的操作累計(jì)信息(變更累計(jì)信息D、再變更累計(jì)信息E、反方向變更累計(jì)信息F)全部重置為O (圖5的步驟S200)。
[0093]變更累計(jì)信息D表示利用設(shè)定值操作部10的設(shè)定值SP的變更幅度的累計(jì)。再變更累計(jì)信息E表示利用設(shè)定值操作部10的設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下時(shí)，再次利用設(shè)定值操作部10進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的情況下的變更幅度的累計(jì)。反方向變更累計(jì)信息F表示利用設(shè)定值操作部10的設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下時(shí)、再次利用設(shè)定值操作部10進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的情況下的變更幅度的累計(jì)，該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更。
[0094]FD/FP功能部2a的累計(jì)信息處理部23在溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I的控制動(dòng)作啟動(dòng)時(shí)，設(shè)定值SP的變更通過(guò)設(shè)定值操作部10被進(jìn)行的情況下(圖5的步驟S201中:是)，檢測(cè)出相對(duì)于變更前的設(shè)定值SP的值的設(shè)定值SP的變更幅度△ SP，并按下式那樣更新變更累計(jì)信息D的值(圖5的步驟S202)。
[0095]D — D+1 Λ SP 卜..(4)
[0096]在圖6的例子中，在時(shí)刻110，設(shè)定值SP被從20°C變更為50°C，變更累計(jì)信息D僅增加變更幅度ASP的絕對(duì)值I ASPl = 32，并被從D = O更新為D = 32。又，在時(shí)刻tl2，設(shè)定值SP被從80°C變更為20°C，變更累計(jì)信息D僅增加變更幅度Λ SP的絕對(duì)值| Λ SP=60，并被從D = 60更新為D = 120。又，在時(shí)刻tl3，設(shè)定值SP被從20°C變更為88°C，變更累計(jì)信息D僅增加變更幅度Λ SP的絕對(duì)值I Λ SP I = 68，并被從D = 120更新為D =188。進(jìn)一步地，在時(shí)刻tl5，設(shè)定值SP被從80°C變更為20°C，變更累計(jì)信息D僅增加變更幅度Λ SP的絕對(duì)值I Λ SP I = 60，并被從D = 196更新為D = 256。
[0097]累計(jì)信息處理部23將設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間重置為O并開(kāi)始經(jīng)過(guò)時(shí)間的測(cè)量(圖5的步驟S203)，在該經(jīng)過(guò)時(shí)間在預(yù)先規(guī)定的時(shí)間以下時(shí)(圖5的步驟S204中:是)，設(shè)定值SP的變更通過(guò)設(shè)定值操作部10被進(jìn)一步進(jìn)行的情況下(圖5的步驟S205中:是)，檢測(cè)出相對(duì)于變更前的設(shè)定值SP的值的設(shè)定值SP的變更幅度△ SP，并按式(4)那樣更新變更累計(jì)信息D的值(圖5的步驟S206)，同時(shí)按下式那樣更新再變更累計(jì)信息E (圖5的步驟S207)。
[0098]E — E+1 Λ SP 卜..(5)
[0099]在圖6的例子中，在時(shí)刻til設(shè)定值SP被從52°C變更為80°C時(shí)，由于自時(shí)刻tlO的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下，因此變更累計(jì)信息D僅增加變更幅度Λ SP的絕對(duì)值I ASP=28，并被從D = 32更新為D = 60，同時(shí)再變更累計(jì)信息E被從E = O更新為E = 28。
[0100]又，累計(jì)信息處理部23在設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在預(yù)先規(guī)定的時(shí)間以下時(shí)(步驟S204中:是)，設(shè)定值SP的變更通過(guò)設(shè)定值操作部10被進(jìn)一步進(jìn)行(步驟S205中:是)、該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更(取消操作)的情況下(圖5的步驟S208中:是)，按下式那樣更新反方向變更累計(jì)信息F的值(圖5的步驟S209)。
[0101]F — F+1 ASP|...(6)
[0102]在圖6的例子中，在時(shí)刻tl4設(shè)定值SP被從88°C變更為80°C時(shí)，由于自時(shí)刻tl3的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下，因此在變更累計(jì)信息D僅增加變更幅度ASP的絕對(duì)值I ASP=8，并被從D = 188更新為D = 196的同時(shí)，再變更累計(jì)信息E被從E = 28更新為E =36，進(jìn)一步地，由于該變更相對(duì)于時(shí)刻tl3的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更，因此反方向變更累計(jì)信息F也被從F = O更新為F = 8。
[0103]FD/FP功能部2a的警報(bào)輸出部22a在變更累計(jì)信息D的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值Td的情況下(圖5的步驟S210中:是)，將與此對(duì)應(yīng)的警報(bào)Ad輸出到溫度調(diào)節(jié)計(jì)外部(圖5的步驟S211)。
[0104]警報(bào)輸出部22a在再變更累計(jì)信息E的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值Te的情況下(圖5的步驟S212中:是)，將與此對(duì)應(yīng)的警報(bào)Ae輸出到溫度調(diào)節(jié)計(jì)外部(圖5的步驟S213)。
[0105]又，警報(bào)輸出部22a在反方向變更累計(jì)信息F的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值Tf的情況下(圖5的步驟S214中:是)，將與此對(duì)應(yīng)的警報(bào)Af輸出到溫度調(diào)節(jié)計(jì)外部(圖5的步驟S215)。另外，再變更累計(jì)信息E以及反方向變更累計(jì)信息F的值為零是理想的。作為警報(bào)Ad、Ae、Af的輸出形態(tài)，例如有向上位層次的PC等的警報(bào)信號(hào)的輸出等。
[0106]每一定周期地重復(fù)執(zhí)行以上那樣的步驟S201?S215的處理，直到例如根據(jù)來(lái)自操作者的指令使FD/FP功能部2a的動(dòng)作結(jié)束(圖5的步驟S216中:是)。
[0107]在本實(shí)施形態(tài)中，能夠?qū)D/FP功能分散配置于簡(jiǎn)易型的裝置控制層次(溫度調(diào)節(jié)計(jì)等)，該FD/FP功能是將與設(shè)定值SP的設(shè)定變更相關(guān)的操作累計(jì)信息作為表示操作者的狀態(tài)的信息進(jìn)行處理的功能。即，只要是溫度控制系統(tǒng)，就能夠檢測(cè)出操作者沒(méi)有正常地操作控制器這一故障。如果并用本實(shí)施形態(tài)和第一實(shí)施形態(tài)的話，就能用上位層次的PC等進(jìn)行更詳細(xì)的分析。
[0108][第三實(shí)施形態(tài)]
[0109]接下來(lái)，對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。圖7是示出本發(fā)明的第三實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖，對(duì)與圖1相同的結(jié)構(gòu)賦予相同的符號(hào)。本實(shí)施形態(tài)是對(duì)應(yīng)于上述發(fā)明原理1、發(fā)明原理3的例子。在本實(shí)施形態(tài)中，也對(duì)以簡(jiǎn)易型的控制器(溫度調(diào)節(jié)計(jì))實(shí)現(xiàn)故障檢測(cè)系統(tǒng)的例子進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)由溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I和FD/FP功能部2b構(gòu)成。
[0110]溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I的結(jié)構(gòu)以及動(dòng)作如在第一實(shí)施形態(tài)中所說(shuō)明的那樣。FD/FP功能部2b參照設(shè)定值SP和控制量PV，具有頻率信息處理部20b、重置部21以及警報(bào)輸出部22，該頻率信息處理部20b對(duì)示出設(shè)定值操作部10變更設(shè)定值SP的變更的頻率的操作頻率信息進(jìn)行總計(jì)并保持。
[0111]下面，參照?qǐng)D8、圖9對(duì)本實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖8是示出故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作的流程圖，圖9是示出故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作例的圖。圖9的橫軸是時(shí)間，縱軸是控制量PV (溫度)。
[0112]首先，在初始狀態(tài)，由于從外部接收到重置信號(hào)，F(xiàn)D/FP功能部2b的重置部21將保持在頻率信息處理部20b中的操作頻率信息(變更頻率信息A、再變更頻率信息B、反方向變更頻率信息C)全部重置為O (圖8的步驟S300)。
[0113]FD/FP功能部2b的頻率信息處理部20b在溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I的控制動(dòng)作啟動(dòng)時(shí)，在設(shè)定值SP的變更通過(guò)設(shè)定值操作部10被進(jìn)行的情況下(圖8的步驟S301中:是)，根據(jù)該設(shè)定值SP的變更按式(I)那樣更新變更頻率信息A的值(圖8的步驟S302)。
[0114]在圖9的例子中，在時(shí)刻t20設(shè)定值SP被從20°C變更為52°C，變更頻率信息A增力口 1，從A = O更新至A = I。又，在時(shí)刻t22，設(shè)定值SP被從80°C變更為20°C，變更頻率信息A被從A = 2更新為A = 3。又，在時(shí)刻t23，設(shè)定值SP被從20°C變更為88°C，變更頻率信息A被從A = 3更新為A = 4。進(jìn)一步地，在時(shí)刻t25，設(shè)定值SP被從80°C變更為20°C，變更頻率信息A被從A = 5更新為A = 6。
[0115]頻率信息處理部20b參照設(shè)定值SP和控制量PV，在控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP此前(圖8的步驟S303中:否)，設(shè)定值SP的變更進(jìn)一步通過(guò)設(shè)定值操作部10被進(jìn)行的情況下(圖8的步驟S304中:是)，根據(jù)該設(shè)定值SP的變更按式(I)那樣更新變更頻率信息A的值(圖8的步驟S305)，同時(shí)，按式(2)那樣更新再變更頻率信息B的值(圖8的步驟S306)。
[0116]在圖9的例子中，在時(shí)刻t21設(shè)定值SP被從52°C變更為80°C時(shí)，由于控制量PV未達(dá)到此前被變更成的設(shè)定值SP = 52°C，因此在變更頻率信息A增加1、從A = I被更新為A = 2的同時(shí)，再變更頻率信息B增加1，從B = O被更新為B = I。
[0117]又，頻率信息處理部20b在如上述所述控制量PV未達(dá)到設(shè)定值SP前(圖8的步驟S303中:否)，設(shè)定值SP的變更進(jìn)一步通過(guò)設(shè)定值操作部10被進(jìn)行(圖8的步驟S304中:是)，且在該步驟S304中進(jìn)行的最新的設(shè)定值SP的變更相對(duì)于在步驟S301中進(jìn)行的此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更(取消操作)的情況下(圖8的步驟S307中:是)，按式(3)那樣更新反方向變更頻率信息C的值(圖8的步驟S308)。
[0118]在圖9的例子中，在時(shí)刻t24設(shè)定值SP被從88°C變更為80°C時(shí)，由于控制量PV未達(dá)到此前被變更成的設(shè)定值SP = 88°C，因此在變更頻率信息A被從A = 4更新為A = 5的同時(shí)，再變更頻率信息B被從B = I更新為B = 2，進(jìn)一步地，由于該變更相對(duì)于時(shí)刻t23的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更，因此反方向變更頻率信息C也被從C = O更新為C =
1
[0119]由于圖8的步驟S309、S310、S311、S312、S313、S314的處理分別和圖2的步驟S110、S111、S112、S113、S114、S115 相同，因此省略其說(shuō)明。
[0120]每一定周期地重復(fù)執(zhí)行以上那樣的步驟S301?S314的處理，直到例如根據(jù)來(lái)自操作者的指令使FD/FP功能部2b的動(dòng)作結(jié)束(圖8的步驟S315中:是)。這樣，采用本實(shí)施形態(tài)，能夠檢測(cè)出反饋控制系統(tǒng)中特有的非正常性操作。
[0121][第四實(shí)施形態(tài)]
[0122]在第三實(shí)施形態(tài)中，將上述發(fā)明原理3與第一實(shí)施形態(tài)(發(fā)明原理I)進(jìn)行了組合，但是也可以將發(fā)明原理3與第二實(shí)施形態(tài)(發(fā)明原理2)進(jìn)行組合。圖10是示出本發(fā)明的第四實(shí)施形態(tài)所涉及的故障檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖，對(duì)與圖4相同的結(jié)構(gòu)賦予相同的符號(hào)。本實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)由溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I和FD/FP功能部2c構(gòu)成。
[0123]溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I的結(jié)構(gòu)以及動(dòng)作如在第一實(shí)施形態(tài)中所說(shuō)明的那樣。FD/FP功能部2c具有:重置部21a、警報(bào)輸出部22a以及累計(jì)信息處理部23c，該累計(jì)信息處理部23c參照設(shè)定值SP和控制量PV，對(duì)示出設(shè)定值操作部10變更設(shè)定值SP的變更幅度的累計(jì)的操作累計(jì)信息進(jìn)行總計(jì)并保持。
[0124]下面，參照?qǐng)D11對(duì)本實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。首先，在初始狀態(tài)，由于從外部接收到重置信號(hào)，F(xiàn)D/FP功能部2c的重置部21a將保持在累計(jì)信息處理部23c中的操作累計(jì)信息(變更累計(jì)信息D、再變更累計(jì)信息E、反方向變更累計(jì)信息F)全部重置為0(圖11的步驟S400)。
[0125]FD/FP功能部2c的累計(jì)信息處理部23c在溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I的控制動(dòng)作啟動(dòng)時(shí)，設(shè)定值SP的變更通過(guò)設(shè)定值操作部10被進(jìn)行的情況下(圖11的步驟S401中:是)，檢測(cè)出相對(duì)于變更前的設(shè)定值SP的值的設(shè)定值SP的變更幅度ASP，并按式(4)那樣更新變更累計(jì)信息D的值(圖11的步驟S402)。
[0126]累計(jì)信息處理部23c參照設(shè)定值SP和控制量PV，在控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP前(圖11的步驟S403中:否)，設(shè)定值SP的變更進(jìn)一步通過(guò)設(shè)定值操作部10被進(jìn)行的情況下(圖11的步驟S404中:是)，檢測(cè)出相對(duì)于變更前的設(shè)定值SP的值(步驟S401的變更后的設(shè)定值SP的值)的設(shè)定值SP的變更幅度ASP，并按式(4)那樣更新變更累計(jì)信息D的值(圖11的步驟S405)，同時(shí)，按式(5)那樣更新再變更累計(jì)信息E (圖11的步驟S406)。
[0127]又，累計(jì)信息處理部23c在如上述所述控制量PV未達(dá)到設(shè)定值SP前(圖11的步驟S403中:否)，設(shè)定值SP的變更進(jìn)一步通過(guò)設(shè)定值操作部10被進(jìn)行(圖11的步驟S404中:是)，且在該步驟S404中進(jìn)行的最新的設(shè)定值SP的變更相對(duì)于在步驟S401中進(jìn)行的此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更(取消操作)的情況下(圖11的步驟S407中:是)，按式(6)那樣更新反方向變更累計(jì)信息F的值(圖11的步驟S408)。
[0128]由于圖11的步驟S409、S410、S411、S412、S413、S414的處理分別和圖5的步驟S210、S211、S212、S213、S214、S215 相同，因此省略其說(shuō)明。
[0129]每一定周期地重復(fù)執(zhí)行以上那樣的步驟S401?S414的處理，直到例如根據(jù)來(lái)自操作者的指令使FD/FP功能部2c的動(dòng)作結(jié)束(圖11的步驟S415中:是)。這樣，采用本實(shí)施形態(tài)，能夠與第三實(shí)施形態(tài)同樣地檢測(cè)出反饋控制系統(tǒng)中特有的非正常性操作。
[0130][第五實(shí)施形態(tài)]
[0131]接下來(lái)，對(duì)本發(fā)明的第五實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施形態(tài)示出在加熱裝置的溫度控制系統(tǒng)中應(yīng)用了第一實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)的情況下的例子。圖12是示出本實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖，對(duì)與圖1相同的結(jié)構(gòu)賦予相同的符號(hào)。本實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)由溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部1、FD/FP功能部2以及FD/FP功能部3構(gòu)成。
[0132]溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I和FD/FP功能部2的結(jié)構(gòu)以及動(dòng)作如在第一實(shí)施形態(tài)中所說(shuō)明的那樣。FD/FP功能部3具有:頻率信息取得部30，其以預(yù)先規(guī)定的間隔取得保持在頻率信息處理部20中的操作頻率信息(變更頻率信息A、再變更頻率信息B、反方向變更頻率信息C);重置信號(hào)發(fā)送部31，其在取得操作頻率信息后將重置信號(hào)發(fā)送至重置部21 ;頻率信息履歷存儲(chǔ)部32，其對(duì)由頻率信息取得部30取得的操作頻率信息進(jìn)行存儲(chǔ)；以及判定部33，其在最新的操作頻率信息的值相對(duì)于存儲(chǔ)在頻率信息履歷存儲(chǔ)部32中的過(guò)去的任意操作頻率信息的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)，該警報(bào)示出向操作者沒(méi)有正常地操作溫度調(diào)節(jié)計(jì)的狀態(tài)推移的危險(xiǎn)性。
[0133]圖13是示出成為本實(shí)施形態(tài)的應(yīng)用對(duì)象的加熱裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。加熱裝置由以下部分構(gòu)成:對(duì)作為處理對(duì)象的被加熱物進(jìn)行加熱的加熱腔室100 ;電熱器101 ;對(duì)加熱腔室100內(nèi)的溫度進(jìn)行測(cè)量的溫度傳感器102 ;對(duì)加熱腔室100內(nèi)的溫度進(jìn)行控制的溫度調(diào)節(jié)計(jì)103 ;電力調(diào)整器104 ;供電電路105 ;以及對(duì)加熱裝置整體進(jìn)行控制的PLC(可編程邏輯控制器(Programmable Logic Controller)) 106。
[0134]溫度調(diào)節(jié)計(jì)103計(jì)算出使溫度傳感器102測(cè)量到的溫度PV與溫度設(shè)定值SP —致的操作量MV。電力調(diào)整器104決定與操作量MV相對(duì)應(yīng)的電力，通過(guò)供電電路105將該決定了的電力供給至電熱器101。這樣，溫度調(diào)節(jié)計(jì)103就對(duì)加熱腔室100內(nèi)的被加熱物的溫度進(jìn)行控制。
[0135]圖12的溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I和FD/FP功能部2被安裝在溫度調(diào)節(jié)計(jì)103中，F(xiàn)D/FP功能部3被安裝在由比溫度調(diào)節(jié)計(jì)103更上位層次的PC等構(gòu)成的PLC106中。
[0136]下面，參照?qǐng)D14對(duì)本實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)的FD/FP功能部3的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
[0137]頻率信息取得部30取得保持在FD/FP功能部2的頻率信息處理部20b中的操作頻率信息(變更頻率信息A、再變更頻率信息B、反方向變更頻率信息C)(圖14的步驟S500)。
[0138]取得操作頻率信息后，頻率信息取得部30對(duì)重置信號(hào)發(fā)送部31發(fā)出發(fā)送重置信號(hào)的指令。根據(jù)該指令，重置信號(hào)發(fā)送部31將重置信號(hào)發(fā)送給FD/FP功能部2的重置部21(圖14的步驟S501)。重置部21的動(dòng)作如在第一實(shí)施形態(tài)中所說(shuō)明的那樣。
[0139]頻率信息履歷存儲(chǔ)部32對(duì)由頻率信息取得部30取得的操作頻率信息進(jìn)行存儲(chǔ)(圖14的步驟S502)。
[0140]判定部33對(duì)由頻率信息取得部30取得的最新的變更頻率信息A和存儲(chǔ)在頻率信息履歷存儲(chǔ)部32中的過(guò)去的任意變更頻率信息A進(jìn)行比較，在最新的變更頻率信息A的值相對(duì)于過(guò)去的變更頻率信息A的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值Tax的情況下(圖14的步驟S503)，輸出警報(bào)Xa，該警報(bào)Xa示出向操作者沒(méi)有正常地操作溫度調(diào)節(jié)計(jì)103的狀態(tài)推移的危險(xiǎn)性(圖14的步驟S504)。
[0141]判定部33對(duì)由頻率信息取得部30取得的最新的再變更頻率信息B和存儲(chǔ)在頻率信息履歷存儲(chǔ)部32中的過(guò)去的任意的再變更頻率信息B進(jìn)行比較，在最新的再變更頻率信息B的值相對(duì)于過(guò)去的再變更頻率信息B的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值Tbx的情況下(圖14的步驟S505)，輸出警報(bào)Xb，該警報(bào)Xb示出向操作者沒(méi)有正常地操作溫度調(diào)節(jié)計(jì)103的狀態(tài)推移的危險(xiǎn)性(圖14的步驟S506)。
[0142]又，判定部33對(duì)由頻率信息取得部30取得的最新的反方向變更頻率信息C和存儲(chǔ)在頻率信息履歷存儲(chǔ)部32中的過(guò)去的任意的反方向變更頻率信息C進(jìn)行比較，在最新的反方向變更頻率信息C的值相對(duì)于過(guò)去的反方向變更頻率信息C的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值Tcx的情況下(圖14的步驟S507)，輸出警報(bào)Xe，該警報(bào)Xe示出向操作者沒(méi)有正常地操作溫度調(diào)節(jié)計(jì)103的狀態(tài)推移的危險(xiǎn)性(圖14的步驟S508)。作為警報(bào)Xa、Xb、Xe的輸出形態(tài)，例如有LED的點(diǎn)燈、消息的顯示以及聲音輸出等。
[0143]每一定周期地重復(fù)執(zhí)行以上那樣的步驟S500?S508的處理，直到例如根據(jù)來(lái)自操作者的指令使FD/FP功能部3的動(dòng)作結(jié)束(圖14的步驟S509中:是)。該FD/FP功能部3的動(dòng)作周期被設(shè)定成比FD/FP功能部2的動(dòng)作周期以及溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部I的控制周期長(zhǎng)的值。
[0144][操作者狀態(tài)檢測(cè)例]
[0145]在此，對(duì)將本實(shí)施形態(tài)的故障檢測(cè)系統(tǒng)應(yīng)用到了圖13所示的加熱裝置的溫度控制系統(tǒng)中的情況進(jìn)行說(shuō)明。在利用了加熱裝置的生產(chǎn)過(guò)程中，根據(jù)對(duì)象產(chǎn)品的不同有各種各樣的溫度變更，升溫工序也是各種各樣的，但是升溫模式是有限的，在一周之中以平均的頻率執(zhí)行大致標(biāo)準(zhǔn)的升溫模式。因此，設(shè)FD/FP功能部3的動(dòng)作周期為一周。設(shè)閾值為Tax=50次，Tbx = 10次，Tcx = 5次。如圖15所示那樣將每一周的操作頻率信息(變更頻率信息A、再變更頻率信息B、反方向變更頻率信息C)記錄在頻率信息履歷存儲(chǔ)部32中。
[0146]如圖15所明確示出的那樣，由于在第27周和第28周示出了各自的再變更頻率信息B的值至少相對(duì)于第2周的再變更頻率信息B的值增加的部分(18次-7次=11次，22次-7次=15次)超過(guò)閾值Tbx = 10次，因此輸出警報(bào)Xb。
[0147]又，由于在第28周示出了反方向變更頻率信息C的值至少相對(duì)于第I周和第2周的反方向變更頻率信息C的值增加的部分(8次-2次=6次)超過(guò)閾值Tcx = 5次，因此輸出警報(bào)Xe。
[0148]如上所述，根據(jù)本實(shí)施形態(tài)，能夠與第一實(shí)施形態(tài)相比進(jìn)行更高級(jí)的操作者狀態(tài)檢測(cè)。根據(jù)本實(shí)施形態(tài)，生產(chǎn)過(guò)程管理者能夠確認(rèn)因操作者的交替等而導(dǎo)致的、向操作者沒(méi)有正常地操作溫度調(diào)節(jié)計(jì)103的狀態(tài)推移的危險(xiǎn)性，從而采取一些措施。
[0149]另外，在本實(shí)施形態(tài)中，將FD/FP功能部3應(yīng)用到第一實(shí)施形態(tài)中，但是當(dāng)然也可以將FD/FP功能部3應(yīng)用到第二?第四實(shí)施形態(tài)中。在將FD/FP功能部3應(yīng)用到第二、第四實(shí)施形態(tài)中的情況下，設(shè)置累計(jì)信息取得部和累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)部來(lái)代替頻率信息取得部30和頻率信息履歷存儲(chǔ)部32，該累計(jì)信息取得部以預(yù)先規(guī)定的間隔取得被保持在累計(jì)信息處理部23、23c中的操作累計(jì)信息，該累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)部對(duì)由累計(jì)信息取得部取得的操作累計(jì)信息進(jìn)行存儲(chǔ)，判定部33在最新的操作累計(jì)信息的值相對(duì)于存儲(chǔ)在累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)部中的過(guò)去的任意的操作累計(jì)信息的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)即可。
[0150]另外，在【背景技術(shù)】中以EES的裝置內(nèi)分散配置為課題進(jìn)行了提出，但是第一?第五實(shí)施形態(tài)不限于EES，在建筑物的空調(diào)控制、化學(xué)成套設(shè)備等中運(yùn)用的裝置控制層次也在對(duì)象范圍內(nèi)。
[0151]第一?第五實(shí)施形態(tài)中說(shuō)明的故障檢測(cè)系統(tǒng)可以通過(guò)具備CPU(中央處理單元(Central Processing Unit))、存儲(chǔ)裝置及界面的計(jì)算機(jī)和對(duì)這些硬件資源進(jìn)行控制的程序來(lái)實(shí)現(xiàn)。CPU根據(jù)存放于存儲(chǔ)裝置中的程序，執(zhí)行第一?第五實(shí)施形態(tài)中說(shuō)明的處理。另夕卜，如上述說(shuō)明的那樣，在故障檢測(cè)系統(tǒng)分散配置于多個(gè)裝置中的情況下，各裝置的CPU根據(jù)存放于各自裝置的存儲(chǔ)裝置的程序來(lái)執(zhí)行處理即可。
[0152]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0153]本發(fā)明能夠適用于對(duì)操作者沒(méi)有正常地操作溫度調(diào)節(jié)計(jì)等控制器的故障進(jìn)行檢測(cè)和預(yù)測(cè)的技術(shù)。
[0154]符號(hào)說(shuō)明
[0155]1:溫度調(diào)節(jié)計(jì)控制功能部，2、2a、2b、2c、3:FD/FP功能部，10:設(shè)定值操作部，11:設(shè)定值輸入部，12:控制量輸入部，13:操作量計(jì)算部，14:操作量輸出部，20、20b:頻率信息處理部，21、21a:重置部，22、22a:警報(bào)輸出部，23、23c:累計(jì)信息處理部，30:頻率信息取得部，31:重置信號(hào)發(fā)送部，32:頻率信息履歷存儲(chǔ)部，33:判定部。
【權(quán)利要求】
1.一種故障檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，具有: 操作量計(jì)算單元，所述操作量計(jì)算單元基于設(shè)定值SP和控制量PV計(jì)算出操作量MV并輸出； 設(shè)定值操作單元，所述設(shè)定值操作單元用于根據(jù)操作者的操作對(duì)所述設(shè)定值SP進(jìn)行設(shè)定變更； 頻率信息處理單元，所述頻率信息處理單元對(duì)示出利用該設(shè)定值操作單元進(jìn)行的設(shè)定值SP的變更的頻率的操作頻率信息進(jìn)行總計(jì)并保持；以及 重置單元，所述重置單元在從外部接收到重置信號(hào)時(shí)，將保持在所述頻率信息處理單元中的操作頻率信息重置為零。
2.如權(quán)利要求1所記載的故障檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于， 所述操作頻率信息是以下幾項(xiàng)中的至少一項(xiàng): 變更頻率信息，所述變更頻率信息示出所述設(shè)定值SP的變更的頻率； 再變更頻率信息，所述再變更頻率信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下時(shí)、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的頻率；以及反方向變更頻率信息，所述反方向變更頻率信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下時(shí)、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的頻率，且該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更。
3.如權(quán)利要求1所記載的故障檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于， 所述操作頻率信息是以下幾項(xiàng)中的至少一項(xiàng): 變更頻率信息，所述變更頻率信息示出所述設(shè)定值SP的變更的頻率； 再變更頻率信息，所述再變更頻率信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后所述控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP之前、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的頻率；以及 反方向變更頻率信息，所述反方向變更頻率信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后所述控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP之前、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的頻率，且該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更。
4.如權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所記載的故障檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，還具有 警報(bào)輸出單元，所述警報(bào)輸出單元在所述操作頻率信息的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
5.如權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所記載的故障檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，還具有: 頻率信息取得單元，所述頻率信息取得單元以預(yù)先規(guī)定的間隔取得保持在所述頻率信息處理單元中的操作頻率信息； 重置信號(hào)發(fā)送單元，所述重置信號(hào)發(fā)送單元在所述操作頻率信息的取得后將所述重置信號(hào)發(fā)送至所述重置單元； 頻率信息履歷存儲(chǔ)單元，所述頻率信息履歷存儲(chǔ)單元對(duì)由所述頻率信息取得單元取得的操作頻率信息進(jìn)行存儲(chǔ)；以及 判定單元，所述判定單元在最新的操作頻率信息的值相對(duì)于存儲(chǔ)在該頻率信息履歷存儲(chǔ)單元中的過(guò)去的任意的操作頻率信息的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
6.一種故障檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，具有: 操作量計(jì)算單元，所述操作量計(jì)算單元基于設(shè)定值SP和控制量PV計(jì)算出操作量MV并輸出； 設(shè)定值操作單元，所述設(shè)定值操作單元用于根據(jù)操作者的操作對(duì)所述設(shè)定值SP進(jìn)行設(shè)定變更； 累計(jì)信息處理單元，所述累計(jì)信息處理單元對(duì)示出該設(shè)定值操作單元變更設(shè)定值SP的變更幅度的累計(jì)的操作累計(jì)信息進(jìn)行總計(jì)并保持；以及 重置單元，所述重置單元在從外部接收到重置信號(hào)時(shí)，將保持在所述累計(jì)信息處理單元中的操作累計(jì)信息重置為零。
7.如權(quán)利要求6所記載的故障檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于， 所述操作累計(jì)信息是以下幾項(xiàng)中的至少一項(xiàng): 變更累計(jì)信息，所述變更累計(jì)信息示出所述設(shè)定值SP的變更幅度的累計(jì)； 再變更累計(jì)信息，所述再變更累計(jì)信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下時(shí)、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的情況下的變更幅度的累計(jì)；以及 反方向變更累計(jì)信息，所述反方向變更累計(jì)信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后的經(jīng)過(guò)時(shí)間在規(guī)定時(shí)間以下時(shí)、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更且該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更的情況下的變更幅度的累計(jì)。
8.如權(quán)利要求6所記載的故障檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于， 所述操作累計(jì)信息是以下幾項(xiàng)中的至少一項(xiàng): 變更累計(jì)信息，所述變更累計(jì)信息示出所述設(shè)定值SP的變更幅度的累計(jì)； 再變更累計(jì)信息，所述再變更累計(jì)信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后所述控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP之前、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更的情況下的變更幅度的累計(jì)；以及 反方向變更累計(jì)信息，所述反方向變更累計(jì)信息示出在所述設(shè)定值SP的變更進(jìn)行后所述控制量PV達(dá)到變更后的設(shè)定值SP之前、再次利用所述設(shè)定值操作單元進(jìn)行設(shè)定值SP的變更且該設(shè)定值SP的變更相對(duì)于此前的設(shè)定值SP的變更是反方向的變更的情況下的變更幅度的累計(jì)。
9.如權(quán)利要求6至8中的任意一項(xiàng)所記載的故障檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，還具有 警報(bào)輸出單元，所述警報(bào)輸出單元在所述操作累計(jì)信息的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
10.如權(quán)利要求6至8中的任意一項(xiàng)所記載的故障檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，還具有: 累計(jì)信息取得單元，所述累計(jì)信息取得單元以預(yù)先規(guī)定的間隔取得保持在所述累計(jì)信息處理單元中的操作累計(jì)信息； 重置信號(hào)發(fā)送單元，所述重置信號(hào)發(fā)送單元在所述操作累計(jì)信息的取得后將所述重置信號(hào)發(fā)送至所述重置單元； 累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)單元，所述累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)單元對(duì)由所述累計(jì)信息取得單元取得的操作累計(jì)信息進(jìn)行存儲(chǔ)；以及 判定單元，所述判定單元在最新的操作累計(jì)信息的值相對(duì)于存儲(chǔ)在該累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)單元中的過(guò)去的任意的操作累計(jì)信息的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
11.一種故障檢測(cè)方法，其特征在于，包括: 操作量計(jì)算步驟，基于設(shè)定值SP和控制量PV計(jì)算出操作量MV并輸出； 頻率信息處理步驟，用頻率信息處理單元對(duì)示出通過(guò)操作者的操作進(jìn)行的設(shè)定值SP的變更的頻率的操作頻率信息進(jìn)行總計(jì)并保持；以及 重置步驟，在從外部接收到重置信號(hào)時(shí)，將保持在所述頻率信息處理單元中的操作頻率信息重置為零。
12.如權(quán)利要求11所記載的故障檢測(cè)方法，其特征在于，還包括 警報(bào)輸出步驟，在所述操作頻率信息的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
13.如權(quán)利要求11或12所記載的故障檢測(cè)方法，其特征在于，還包括: 頻率信息取得步驟，以預(yù)先規(guī)定的間隔取得保持在所述頻率信息處理單元中的操作頻率信息； 重置信號(hào)發(fā)送步驟，在所述操作頻率信息的取得后發(fā)送所述重置信號(hào)； 頻率信息履歷存儲(chǔ)步驟，將在所述頻率信息取得步驟中取得的操作頻率信息存儲(chǔ)到頻率信息履歷存儲(chǔ)單元中；以及 判定步驟，在最新的操作頻率信息的值相對(duì)于存儲(chǔ)在該頻率信息履歷存儲(chǔ)單元中的過(guò)去的任意的操作頻率信息的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
14.一種故障檢測(cè)方法，其特征在于，包括: 操作量計(jì)算步驟，基于設(shè)定值SP和控制量PV計(jì)算出操作量MV并輸出； 累計(jì)信息處理步驟，用累計(jì)信息處理單元對(duì)示出操作者的操作變更設(shè)定值SP的變更幅度的累計(jì)的操作累計(jì)信息進(jìn)行總計(jì)并保持；以及 重置步驟，在從外部接收到重置信號(hào)時(shí)，將保持在所述累計(jì)信息處理單元中的操作累計(jì)信息重置為零。
15.如權(quán)利要求14所記載的故障檢測(cè)方法，其特征在于，還包括 警報(bào)輸出步驟，在所述操作累計(jì)信息的值超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
16.如權(quán)利要求14或15所記載的故障檢測(cè)方法，其特征在于，還包括: 累計(jì)信息取得步驟，以預(yù)先規(guī)定的間隔取得保持在所述累計(jì)信息處理單元中的操作累計(jì)信息； 重置信號(hào)發(fā)送步驟，在所述操作累計(jì)信息的取得后發(fā)送所述重置信號(hào)； 累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)步驟，將在所述累計(jì)信息取得步驟中取得的操作累計(jì)信息存儲(chǔ)到累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)單元中；以及 判定步驟，在最新的操作累計(jì)信息的值相對(duì)于存儲(chǔ)在所述累計(jì)信息履歷存儲(chǔ)單元中的過(guò)去的任意的操作累計(jì)信息的值的增加量超過(guò)預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)，輸出警報(bào)。
【文檔編號(hào)】H01L21/66GK104465437SQ201410478109
【公開(kāi)日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年9月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月24日
【發(fā)明者】田中雅人 申請(qǐng)人:阿自倍爾株式會(huì)社