一種基于pid自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，根據(jù)爐體中側(cè)熱電偶和控溫?zé)犭娕紮z測(cè)到的溫度，利用PID技術(shù)對(duì)管式擴(kuò)散爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散工藝的溫度穩(wěn)定和溫差自動(dòng)補(bǔ)償，具體過程包括以下步驟：（1）溫度T1的穩(wěn)定階段；（2）溫度T1溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段；其中溫度T1的穩(wěn)定階段為恒溫設(shè)置，溫度T1與擴(kuò)散溫度T0的關(guān)系為T1=T0，T0為擴(kuò)散工藝所需要的目標(biāo)溫度。本發(fā)明在自動(dòng)運(yùn)行工藝中實(shí)現(xiàn)了溫區(qū)溫度的自動(dòng)校準(zhǔn)，且可以在同一工藝運(yùn)行中實(shí)現(xiàn)多個(gè)溫區(qū)的校準(zhǔn)，替代了手工操作，簡(jiǎn)化操作流程，提高設(shè)備和工藝的可靠性，提高生產(chǎn)效率。
【專利說明】—種基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于太陽能電池【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝。

【背景技術(shù)】
[0002]在晶體硅太陽能電池生產(chǎn)中，擴(kuò)散爐恒溫區(qū)溫度的穩(wěn)定性和精確性直接影響P-N結(jié)的品質(zhì)，決定了太陽能電池的性能優(yōu)劣。擴(kuò)散工藝對(duì)擴(kuò)散溫度的要求十分嚴(yán)格，一般在850?1250°C范圍內(nèi)的某一給定溫度下進(jìn)行擴(kuò)散，溫度漂移不得超過±1°C，而且溫度漂移越小越好。因此，在高溫?cái)U(kuò)散工藝中，爐溫的控制是至關(guān)重要的。為了保證擴(kuò)散爐溫度的可控性和穩(wěn)定性，需要定期對(duì)恒溫區(qū)溫度進(jìn)行校準(zhǔn)。
[0003]目前擴(kuò)散爐恒溫區(qū)校準(zhǔn)過程需要在相應(yīng)的軟件控制界面進(jìn)行手動(dòng)設(shè)定溫度和氣體流量，且每次手動(dòng)設(shè)定一種溫度，只能實(shí)現(xiàn)一種溫區(qū)的校準(zhǔn)。人工手動(dòng)設(shè)定進(jìn)行溫區(qū)校準(zhǔn)，校準(zhǔn)時(shí)間長(zhǎng)，人為影響因素大，不利于標(biāo)準(zhǔn)化操作，生產(chǎn)過程擴(kuò)散爐溫區(qū)異常時(shí)，不能及時(shí)有效的解決溫區(qū)問題，耽誤正常生產(chǎn)使用。
[0004]PID (Proport1nal-1ntegral-Differential,即比例、積分、微分)控制方法蘊(yùn)含了動(dòng)態(tài)控制過程中過去、現(xiàn)在和將來的主要信息，在實(shí)際的過程控制和運(yùn)動(dòng)控制中，是經(jīng)典控制算法的典型代表。調(diào)節(jié)和溫度控制的原理:當(dāng)熱電偶采集的被測(cè)溫度偏離希望的給定值時(shí)，PID控制可根據(jù)測(cè)量信號(hào)與給定值的偏差進(jìn)行比例(P)積分(I)微分(D)運(yùn)算，從而輸出某個(gè)適當(dāng)?shù)膱?zhí)行信號(hào)給執(zhí)行單位，促使測(cè)量值恢復(fù)到給定值，達(dá)到自動(dòng)控制的目的。
[0005]目前的擴(kuò)散爐中，一般自帶PID的溫度控制和調(diào)節(jié)系統(tǒng)，但如何將該溫度控制和調(diào)節(jié)系統(tǒng)與目前擴(kuò)散爐溫區(qū)校準(zhǔn)時(shí)手動(dòng)設(shè)定的工藝參數(shù)相結(jié)合，以及如何結(jié)合擴(kuò)散工藝中溫度控制的關(guān)鍵步驟，設(shè)定一種或幾種需要精確控溫的溫度，在自動(dòng)運(yùn)行工藝中實(shí)現(xiàn)溫區(qū)校準(zhǔn)，是未來保證擴(kuò)散爐溫度的可控性和穩(wěn)定性的發(fā)展方向。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，該工藝?yán)肞ID的溫度控制和調(diào)節(jié)系統(tǒng)，結(jié)合擴(kuò)散工藝中溫度控制的關(guān)鍵步驟，以及擴(kuò)散工藝中的工藝參數(shù)，設(shè)定一種或幾種需要精確控制的溫度，自動(dòng)運(yùn)行自動(dòng)校準(zhǔn)工藝實(shí)現(xiàn)溫區(qū)校準(zhǔn)。
[0007]本發(fā)明的上述目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:一種基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，根據(jù)爐體中側(cè)熱電偶和控溫?zé)犭娕紮z測(cè)到的溫度，利用PID技術(shù)對(duì)管式擴(kuò)散爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散工藝的溫度穩(wěn)定和溫差自動(dòng)補(bǔ)償，具體包括以下步驟:
(1)溫度Tl的穩(wěn)定階段；
(2)溫度Tl溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段；
其中溫度Tl的穩(wěn)定階段為恒溫設(shè)置，溫度Tl與擴(kuò)散溫度TO的關(guān)系為Tl=TO, TO為擴(kuò)散工藝所需要的目標(biāo)溫度。
[0008]其中，管式擴(kuò)散爐內(nèi)各溫區(qū)溫度設(shè)置相同，TO的溫度范圍優(yōu)選為800?900°C。
[0009]其中溫度Tl的檢測(cè)通過溫控?zé)犭娕紮z測(cè)，溫度Tl溫差通過側(cè)熱電偶檢測(cè)。
[0010]步驟(2)溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段，該階段以擴(kuò)散爐中的側(cè)熱電偶檢測(cè)值作為反饋信號(hào)，通過側(cè)熱電偶檢測(cè)溫度與控制目標(biāo)之間的溫度差，進(jìn)行溫度補(bǔ)償達(dá)到獲得恒溫區(qū)的控制目標(biāo)。
[0011]在擴(kuò)散爐控制系統(tǒng)中一般裝有側(cè)熱電偶和溫控?zé)犭娕?，以及采用單片機(jī)和上位機(jī)的控制系統(tǒng)進(jìn)行PID運(yùn)算控制。恒溫區(qū)間的溫度控制通過溫控?zé)犭娕紮z測(cè)值作為反饋信號(hào)，溫度信號(hào)與目標(biāo)之間的差值通過自動(dòng)補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)，需要側(cè)熱電偶的參與，通過側(cè)熱電偶可以獲得爐膛內(nèi)的實(shí)際溫度，進(jìn)而獲得與溫控?zé)犭娕嫉臏囟炔?，特定溫度點(diǎn)Tl恒溫控制時(shí)，通過控溫-溫度穩(wěn)定-獲得溫度補(bǔ)償值-控溫四個(gè)過程迭代，最終使?fàn)t膛內(nèi)溫度達(dá)到溫控目標(biāo)值，同時(shí)獲得此點(diǎn)的補(bǔ)償值；多段爐體和多個(gè)溫區(qū)可以通過工藝自動(dòng)運(yùn)行，在短時(shí)間內(nèi)自動(dòng)獲得溫度補(bǔ)償值和恒溫區(qū)間，達(dá)到溫區(qū)控制的目標(biāo)。
[0012]以上是作為單一溫區(qū)擴(kuò)散過程的校準(zhǔn)工藝。在實(shí)際使用中更多使用的是兩溫區(qū)的校準(zhǔn)，針對(duì)需要兩個(gè)溫度區(qū)間的擴(kuò)散工藝過程，本發(fā)明中的基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，包括以下步驟:
(1)溫度Tl的穩(wěn)定階段；
(2)溫度Tl溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段；
(3)溫度T2的穩(wěn)定階段；
(4)溫度T2溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段；
其中溫度T1、T2的關(guān)系為Tl ^ Τ2，且溫度Τ1、Τ2與擴(kuò)散工藝需要精確控溫溫度Τ0’、TO”的關(guān)系為T1=T0’，T2=T0”，其中TO’和TO”的溫度范圍為800?900°C。
[0013]TO’關(guān)T0’’，且TO’和TO”為兩溫區(qū)擴(kuò)散工藝所需要的目標(biāo)溫度。
[0014]優(yōu)選的，溫度Tl <溫度T2。
[0015]針對(duì)更為復(fù)雜的三溫區(qū)的擴(kuò)散過程，本發(fā)明中的基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，包括以下步驟:
(1)溫度Tl的穩(wěn)定階段；
(2)溫度Tl溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段；
(3)溫度T2的穩(wěn)定階段；
(4)溫度T2溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段；
(5)溫度T3的穩(wěn)定階段；
(6)溫度T3溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段；
其中溫度T1、T2、T3的關(guān)系為Tl古Τ2古Τ3，且溫度Τ1、Τ2、Τ3與擴(kuò)散工藝需要精確控溫溫度 Τ0’、Τ0”、Τ0’’’ 的關(guān)系為1'1=1'0’，了2=1'0’’43=1'0’’’，其中1'0’、1'0” 和 Τ0，，，的溫度范圍為800?900°C。
[0016]其中TO’關(guān)TO”關(guān)TO’’’，且TO’、TO’’和TO’’’為三溫區(qū)擴(kuò)散工藝所需要的目標(biāo)溫度。
[0017]優(yōu)選的，溫度Tl <溫度T2 <溫度T3。
[0018]在上述各步驟中:步驟(I)、步驟(3)或步驟(5)中的穩(wěn)定階段的時(shí)間優(yōu)選為l(T20min ;步驟(2)、步驟(4)或步驟(6)中的溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段的時(shí)間優(yōu)選為9(Tl20min。
[0019]步驟(I)- (6)中的穩(wěn)定階段和溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段中還通入有氮?dú)?，氮?dú)獾牧髁績(jī)?yōu)選為 10000mL/mirT20000mL/min。
[0020]其中步驟(2)、(4)、(6)中的溫度的調(diào)整是通過擴(kuò)散爐中的側(cè)熱電偶和爐體加熱區(qū)附近的控溫?zé)犭娕甲饔脕韺?shí)現(xiàn)的。
[0021]優(yōu)選的，控溫模式為溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段時(shí)，工藝的參數(shù)設(shè)定以是否滿足側(cè)熱電偶溫度穩(wěn)定性標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)束條件，若當(dāng)前工藝未到時(shí)間，而調(diào)整恒溫區(qū)結(jié)束，工藝自動(dòng)跳轉(zhuǎn)到下一步操作，故溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段時(shí)間設(shè)定值可以稍長(zhǎng)。
[0022]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)如下:
(1)本發(fā)明中的工藝能夠科學(xué)有效的解決復(fù)機(jī)和擴(kuò)散設(shè)備溫度異常時(shí)的恒溫區(qū)修復(fù)和調(diào)整；
(2)本發(fā)明中的工藝是自動(dòng)溫區(qū)分布工藝，只需運(yùn)行工藝，就可實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散爐的溫度校準(zhǔn)，且可以在同一工藝運(yùn)行中實(shí)現(xiàn)多個(gè)溫區(qū)的校準(zhǔn)，簡(jiǎn)化了操作流程，縮短了校準(zhǔn)時(shí)間；
(3)本發(fā)明中的工藝自動(dòng)操作替代了原先手動(dòng)設(shè)定的過程，簡(jiǎn)化了操作流程，通過設(shè)定工藝參數(shù)，統(tǒng)一規(guī)范溫區(qū)校準(zhǔn)過程，并將此操作標(biāo)準(zhǔn)化，排除人為影響因素；
(4)本發(fā)明在自動(dòng)運(yùn)行工藝中實(shí)現(xiàn)了溫區(qū)溫度的自動(dòng)校準(zhǔn)，且可以在同一工藝運(yùn)行中實(shí)現(xiàn)多個(gè)溫區(qū)的校準(zhǔn)，提高了設(shè)備和工藝的可靠性，提高了生產(chǎn)效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1為本發(fā)明實(shí)施例1側(cè)熱電偶和控溫?zé)犭娕冀Y(jié)構(gòu)示意圖，圖1中I為側(cè)熱電偶，2為溫控?zé)犭娕迹?為爐體加熱區(qū)；
圖2為本發(fā)明實(shí)施例2中的溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝的流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0024]實(shí)施例1單個(gè)溫區(qū)的溫度校準(zhǔn)工藝
如圖1中所示，本實(shí)施例提供的基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，利用PID技術(shù)，根據(jù)爐體中側(cè)熱電偶I和控溫?zé)犭娕?檢測(cè)到的溫度，利用PID技術(shù)對(duì)管式擴(kuò)散爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散工藝的溫度穩(wěn)定和溫差自動(dòng)補(bǔ)償，擴(kuò)散爐中的側(cè)熱電偶和控溫?zé)犭娕冀Y(jié)構(gòu)示意圖如圖1中所示，側(cè)熱電偶I靠近爐膛，溫控?zé)犭娕?靠近爐體加熱區(qū)3，具體包括以下步驟:
(1)溫度800°C穩(wěn)定階段:升溫至800°C并恒溫，通入流量為15000mL/min的氮?dú)?，保持溫度恒定，恒?5min ；
(2)溫度80(TC溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段:保持溫度繼續(xù)維持在80(TC進(jìn)行溫區(qū)分布，通入流量為15000mL/min的氮?dú)?，自?dòng)調(diào)整溫度補(bǔ)償值，持續(xù)120min。
[0025]該工藝?yán)肞ID技術(shù)，通過擴(kuò)散爐中的側(cè)熱電偶I和加熱器附近的控溫?zé)犭娕?作用，調(diào)整擴(kuò)散爐的溫度，能夠科學(xué)有效的解決復(fù)機(jī)和擴(kuò)散設(shè)備溫度異常時(shí)的恒溫區(qū)修復(fù)和調(diào)整。
[0026]實(shí)施例2單個(gè)溫區(qū)的溫度校準(zhǔn)工藝
本實(shí)施例提供的基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，根據(jù)爐體中側(cè)熱電偶I和控溫?zé)犭娕?檢測(cè)到的溫度，利用PID技術(shù)對(duì)管式擴(kuò)散爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散工藝的溫度穩(wěn)定和溫差自動(dòng)補(bǔ)償，具體包括以下步驟:
(1)溫度800°C穩(wěn)定階段:升溫至800°C并恒溫，通入流量為25000mL/min的氮?dú)猓３譁囟群愣?，恒?0min ；
(2)溫度80(TC溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段:保持溫度繼續(xù)維持在80(TC進(jìn)行溫區(qū)分布，通入流量為25000mL/min的氮?dú)?，自?dòng)調(diào)整溫度補(bǔ)償值，持續(xù)lOOmin。
[0027]實(shí)施例3兩個(gè)溫區(qū)的溫度校準(zhǔn)工藝
如圖2所示，本實(shí)施例提供的基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，根據(jù)爐體中側(cè)熱電偶I和控溫?zé)犭娕?檢測(cè)到的溫度，利用PID技術(shù)對(duì)管式擴(kuò)散爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散工藝的溫度穩(wěn)定和溫差自動(dòng)補(bǔ)償，具體包括以下步驟:
(1)溫度810°C穩(wěn)定階段:升溫至810°C并恒溫，通入流量為20000mL/min的氮?dú)?，保持溫度恒定，恒?5min ；
(2)溫度810°C溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段:保持溫度繼續(xù)維持在810°C進(jìn)行溫區(qū)分布，通入流量為20000mL/min的氮?dú)?，自?dòng)調(diào)整溫度補(bǔ)償值，持續(xù)120min ；
(3)溫度850°C穩(wěn)定階段:斜變升溫20min至850°C后恒溫，通入流量為20000mL/min的氮?dú)猓３譁囟群愣?，恒?5min ；
(4)溫度850°C溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段:保持溫度繼續(xù)維持在850°C進(jìn)行溫區(qū)分布，通入流量為20000mL/min的氮?dú)猓詣?dòng)調(diào)整溫度補(bǔ)償值，持續(xù)120min。
[0028]該工藝?yán)肞ID技術(shù)，通過擴(kuò)散爐中的側(cè)熱電偶I和加熱器附近的控溫?zé)犭娕?作用，調(diào)整擴(kuò)散爐的溫度，能夠科學(xué)有效的解決復(fù)機(jī)和擴(kuò)散設(shè)備溫度異常時(shí)的恒溫區(qū)修復(fù)和調(diào)整；且在自動(dòng)運(yùn)行工藝中實(shí)現(xiàn)了溫區(qū)溫度的自動(dòng)校準(zhǔn)，可以在同一工藝運(yùn)行中實(shí)現(xiàn)2個(gè)溫區(qū)的校準(zhǔn)，提高了設(shè)備和工藝的可靠性，提高了生產(chǎn)效率。
[0029]實(shí)施例4三個(gè)溫區(qū)的溫度校準(zhǔn)工藝
本實(shí)施例提供的基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，根據(jù)爐體中側(cè)熱電偶I和控溫?zé)犭娕?檢測(cè)到的溫度，利用PID技術(shù)對(duì)管式擴(kuò)散爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散工藝的溫度穩(wěn)定和溫差自動(dòng)補(bǔ)償，具體包括以下步驟:
(1)溫度820°C穩(wěn)定階段:升溫至820°C并恒溫，通入流量為10000mL/min的氮?dú)?，保持溫度恒定，恒?min ；
(2)溫度820°C溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段:保持溫度繼續(xù)維持在820°C進(jìn)行溫區(qū)分布，通入流量為10000mL/min的氮?dú)猓詣?dòng)調(diào)整溫度補(bǔ)償值，持續(xù)90min ；
(3)溫度850°C穩(wěn)定階段:斜變升溫20min至850°C后恒溫，通入流量為10000mL/min的氮?dú)?，保持溫度恒定，恒?min ；
(4)溫度850°C溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段:保持溫度繼續(xù)維持在850°C進(jìn)行溫區(qū)分布，通入流量為10000mL/min的氮?dú)猓詣?dòng)調(diào)整溫度補(bǔ)償值，持續(xù)90min ；
(5)溫度900°C穩(wěn)定階段:斜變升溫20min至900°C后恒溫，通入流量為10000mL/min的氮?dú)?，保持溫度恒定，恒?min ；
(6)溫度90(TC溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段:保持溫度繼續(xù)維持在90(TC進(jìn)行溫區(qū)分布，通入流量為10000mL/min的氮?dú)?，自?dòng)調(diào)整溫度補(bǔ)償值，持續(xù)90min。
[0030]上述參照實(shí)施例的目的在于對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，是說明性的而不是限定性的。對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來說，在不背離本發(fā)明的范圍和總體構(gòu)思的前提下，按照本發(fā)明的方法作出不同的修改和變化是顯而易見的，應(yīng)屬本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，其特征是:根據(jù)爐體中側(cè)熱電偶和控溫?zé)犭娕紮z測(cè)到的溫度，利用PID技術(shù)對(duì)管式擴(kuò)散爐內(nèi)溫度進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散工藝的溫度穩(wěn)定和溫差自動(dòng)補(bǔ)償，具體包括以下步驟: (1)溫度Tl的穩(wěn)定階段； (2)溫度Tl溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段； 其中溫度Tl的穩(wěn)定階段為恒溫設(shè)置，溫度Tl與擴(kuò)散溫度TO的關(guān)系為Tl=TO, TO為擴(kuò)散工藝所需要的目標(biāo)溫度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，其特征是包括以下步驟: (1)溫度Tl的穩(wěn)定階段； (2)溫度Tl溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段； (3)溫度T2的穩(wěn)定階段； (4)溫度T2溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段； 其中溫度Tl、T2的關(guān)系為Tl ^ T2，且溫度Tl、T2與擴(kuò)散溫度T0’、TC’ ’的關(guān)系為T1=T0’，T2=T0”，TO’和TO”為兩溫區(qū)擴(kuò)散工藝所需要的目標(biāo)溫度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，其特征是:溫度Tl <溫度T2。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，其特征是包括以下步驟: (1)溫度Tl的穩(wěn)定階段； (2)溫度Tl溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段； (3)溫度T2的穩(wěn)定階段； (4)溫度T2溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段； (5)溫度T3的穩(wěn)定階段； (6)溫度T3溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段； 其中溫度Tl、T2、T3的關(guān)系為Tl關(guān)T2關(guān)T3，且溫度Tl、T2、T3與擴(kuò)散溫度TO’、TO”、TO，，，的關(guān)系為Tl=TO，，T2=T0，，，Τ3=Τ0，”，TO，、TO’ ’和TO’ ’ ’為三溫區(qū)擴(kuò)散工藝所需要的目標(biāo)溫度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，其特征是:溫度Tl <溫度T2 <溫度T3。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，其特征是:步驟(I)、步驟(3)或步驟(5)中的穩(wěn)定階段的時(shí)間為1lOmin ;步驟(2)、步驟(4)或步驟(6)中的溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段的時(shí)間為9(Tl20min。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的基于PID自整定的管式擴(kuò)散爐溫區(qū)自動(dòng)校準(zhǔn)工藝，其特征是:步驟(I) - (6)中的穩(wěn)定階段和溫差自動(dòng)補(bǔ)償階段中還通入有氮?dú)?，氮?dú)獾牧髁繛?10000?20000mL/min。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK104391530SQ201410592750
【公開日】2015年3月4日 申請(qǐng)日期:2014年10月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月30日
【發(fā)明者】金凌云, 張志敏, 康磊杰, 高雪超, 劉曉娜 申請(qǐng)人:晶澳太陽能有限公司