管式pecvd石墨舟裝卸片系統(tǒng)及其工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種管式PECVD石墨舟裝卸片系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包含有：石墨舟移送機(jī)構(gòu)（1），運(yùn)載石墨舟進(jìn)行水平移動(dòng)；硅片上料機(jī)構(gòu)（2），將代加工硅片提取出花籃；硅片卸料機(jī)構(gòu)（3），對(duì)加工好的硅片進(jìn)行翻轉(zhuǎn)卸料；硅片抓取移載機(jī)構(gòu)（4），對(duì)硅片進(jìn)行吸附并以直線運(yùn)動(dòng)進(jìn)行移載；石墨舟裝卸機(jī)構(gòu)（5），對(duì)石墨舟進(jìn)行裝卸。本發(fā)明一種管式PECVD石墨舟裝卸片系統(tǒng)，定位精確且生產(chǎn)效率高。
【專利說(shuō)明】管式石墨舟裝卸片系統(tǒng)及其工藝

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種石墨舟裝卸片系統(tǒng)及其工藝，尤其是涉及一種用于管式？2(^0中對(duì)石墨舟進(jìn)行自動(dòng)化高效裝卸片的系統(tǒng)及其工藝，屬于太能能光伏生產(chǎn)設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，在晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中，需在硅片表面通過(guò)？(^1881118￡111181106(10116111108106^0811:1011)設(shè)備制備一層氮化娃減反射膜，現(xiàn)有的管式？￡(^0在長(zhǎng)膜工序完成后，需人工拉出石墨舟，從石墨舟中取出硅片裝入空花籃中(即硅片卸料過(guò)程隨后空石墨舟再次進(jìn)入爐體前，需重新貼裝已完成二次清洗的無(wú)反射膜硅片(即硅片上料過(guò)程\因石墨舟重、石墨舟電極片夾縫窄，所以常規(guī)的人工搬運(yùn)石墨舟及人工裝卸片勞動(dòng)強(qiáng)度大，生產(chǎn)效率提不上，同時(shí)碎片率較高，使得生產(chǎn)成本高；
為此，“中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所”于2013年11月22日提出了專利申請(qǐng)?zhí)枮?01310592633.1的“一種用于管式的石墨舟自動(dòng)裝卸片系統(tǒng)”，其利用機(jī)械方式進(jìn)行卸料和上料，但是其硅片抓取移載機(jī)構(gòu)采用六軸機(jī)械人進(jìn)行，由于六軸機(jī)械人結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且國(guó)內(nèi)無(wú)法自主生產(chǎn)六軸機(jī)械人，因此其成本高昂；且六軸機(jī)械人長(zhǎng)時(shí)間使用后容易在空間定位上產(chǎn)生誤差，使得在抓取過(guò)程中對(duì)硅片造成損傷；并且受制于六軸機(jī)械人的抓取方式，其一次僅能抓取20片硅片，因此其效率還是無(wú)法滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求；且上述常規(guī)系統(tǒng)中所用的花籃節(jié)距為4.76^的標(biāo)準(zhǔn)節(jié)距，而石墨舟舟片的間距為13.5^,因此需要采用專門的倒片機(jī)對(duì)其節(jié)距進(jìn)行整理，從而進(jìn)一步影響了生產(chǎn)的效率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種定位精確且生產(chǎn)效率高的管式石墨舟裝卸片系統(tǒng)及其工藝。
[0004]本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種管式石墨舟裝卸片系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包含有:
石墨舟移送機(jī)構(gòu)，運(yùn)載石墨舟進(jìn)行水平移動(dòng)；
硅片上料機(jī)構(gòu)，將代加工硅片提取出花籃；
硅片卸料機(jī)構(gòu)，對(duì)加工好的硅片進(jìn)行翻轉(zhuǎn)卸料；
硅片抓取移載機(jī)構(gòu)，對(duì)硅片進(jìn)行吸附并以直線運(yùn)動(dòng)進(jìn)行移載；
石墨舟裝卸機(jī)構(gòu)，對(duì)石墨舟進(jìn)行裝卸。
[0005]本發(fā)明一種管式石墨舟裝卸片系統(tǒng)，所述石墨舟移送機(jī)構(gòu)包含有安裝于支架上的軌道槽板，所述軌道槽板內(nèi)沿其長(zhǎng)度方向安裝有兩條直線導(dǎo)軌，所述直線導(dǎo)軌的滑塊上安裝有移送載板，石墨舟安放于上述移送載板上。
[0006]本發(fā)明一種管式石墨舟裝卸片系統(tǒng)，所述硅片抓取移載機(jī)構(gòu)包含有沿龍門架橫梁長(zhǎng)度方向設(shè)置的兩組抓手用直線導(dǎo)軌，所述抓手用直線導(dǎo)軌的滑塊與抓手滑板相連接，所述抓手滑板上豎向滑動(dòng)連接有一“[”形升降板；所述“[”形升降板的底板上豎向安裝有一旋轉(zhuǎn)電機(jī)，該旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上連接有一抓手吸盤架，所述抓手吸盤架底部安裝有三組吸盤。
[0007]本發(fā)明一種管式PECVD石墨舟裝卸片系統(tǒng)，每組吸盤設(shè)置有20個(gè)陶瓷吸盤。
[0008]本發(fā)明一種管式PECVD石墨舟裝卸片系統(tǒng)，石墨舟移送機(jī)構(gòu)的一側(cè)安裝有硅片上料機(jī)構(gòu)；所述硅片上料機(jī)構(gòu)包含有上料底板，所述上料底板通過(guò)直線導(dǎo)軌水平滑移連接有上料支座，且上料支座的移動(dòng)方向與石墨舟移送機(jī)構(gòu)上的石墨舟移動(dòng)方向相垂直；所述上料支座上通過(guò)直線導(dǎo)軌垂直滑動(dòng)連接有上料托架，所述上料托架上設(shè)置有相互平行的三組卸料定位齒板，且上料托架上方設(shè)置有物料臺(tái)，該物料臺(tái)上設(shè)置有供卸料定位齒板插入的工作槽位，該工作槽位的左右側(cè)均設(shè)置有整理氣缸，整理氣缸的活塞桿上連接有整理?xiàng)l。
[0009]本發(fā)明一種管式PECVD石墨舟裝卸片系統(tǒng)，所述石墨舟移送機(jī)構(gòu)的另一側(cè)安裝有硅片卸料機(jī)構(gòu)；所述硅片卸料機(jī)構(gòu)包含有卸料支柱，所述卸料支柱上通過(guò)直線導(dǎo)軌豎向滑動(dòng)連接有卸料底板，所述卸料底板上通過(guò)卸料托架安裝有翻轉(zhuǎn)電機(jī)，所述翻轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸與卸料花籃相連，所述卸料底板旁設(shè)置有卸料平臺(tái)，該卸料平臺(tái)上通過(guò)直線導(dǎo)軌滑動(dòng)連接有卸料板，該卸料板的一側(cè)設(shè)置有用于安放花籃的卸料倉(cāng)，另一側(cè)上裝有卸料傳輸帶，且卸料傳輸帶位于卸料花籃的下方。
[0010]本發(fā)明一種管式PECVD石墨舟裝卸片工藝，所述工藝包含有以下步驟:
步驟一、裝載有加工好的硅片的石墨舟進(jìn)行上料區(qū)域，石墨舟具有6格裝載區(qū)，每隔裝載區(qū)裝入20片硅片；
步驟二、裝載有加工好的硅片的石墨舟移送至工作區(qū)域；
步驟三、水平移動(dòng)抓手至步驟二工作區(qū)域的上方，該抓手具有3組，每組20個(gè)吸盤；步驟四、下降抓手至石墨舟內(nèi)，將石墨舟間隔排列的3格裝載區(qū)內(nèi)的總計(jì)60片硅片吸附?。?br> 步驟五、抓手帶動(dòng)硅片上升，然后水平移動(dòng)至卸片處放下硅片；
步驟六、抓手移動(dòng)至硅片上片區(qū)域，抓取未加工的硅片，然后放入步驟四中已經(jīng)取出硅片的石墨舟的裝載區(qū)內(nèi)；
步驟七、石墨舟前行一個(gè)裝載區(qū)的距離，重復(fù)步驟三至步驟六，將剩余的60片加工好的硅片至卸片處，并將60片未加工的硅片放入至上述石墨舟裝載區(qū)內(nèi)；
步驟八、在進(jìn)行步驟二至步驟七的同時(shí)，另一裝載有加工好的硅片的石墨舟進(jìn)行上料區(qū)域；
步驟九、完成步驟七的裝載有未加工的硅片的石墨舟移動(dòng)至下料區(qū)域；同時(shí)將步驟八中的另一裝載有加工好的硅片的石墨舟移動(dòng)至工作區(qū)域。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:
本發(fā)明利用直線導(dǎo)軌移動(dòng)方式替代傳動(dòng)的六軸機(jī)械手的全方位旋轉(zhuǎn)，用直線位移代替360°空間轉(zhuǎn)移，移動(dòng)準(zhǔn)確率更高，抓取精確更高；同時(shí)，直線移動(dòng)效率也更高；并且花籃采用4.5mm的節(jié)距取代原先的標(biāo)準(zhǔn)節(jié)距，因此面對(duì)13.5mm的石墨舟，無(wú)需進(jìn)行倒片機(jī)進(jìn)行節(jié)距調(diào)整，使得整個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)單、工藝更為簡(jiǎn)潔流暢；并且，同時(shí)，采用3組吸盤，同時(shí)可以吸附60片硅片，相比于常規(guī)的20片吸附方式，效率大為提高；綜上所述，采用本發(fā)明系統(tǒng)后，生產(chǎn)效率大為提高，有助于企業(yè)降低生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)品的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本發(fā)明一種管式石墨舟裝卸片系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2為本發(fā)明一種管式石墨舟裝卸片系統(tǒng)的石墨舟移送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖3為本發(fā)明一種管式？石墨舟裝卸片系統(tǒng)的硅片抓取移載機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖4為本發(fā)明一種管式石墨舟裝卸片系統(tǒng)的硅片上料機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖5為本發(fā)明一種管式石墨舟裝卸片系統(tǒng)的圖4的側(cè)視圖。
[0017]圖6為本發(fā)明一種管式石墨舟裝卸片系統(tǒng)的硅片卸料機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖7為本發(fā)明一種管式石墨舟裝卸片系統(tǒng)的圖6的側(cè)視圖。
[0019]圖8為本發(fā)明一種管式石墨舟裝卸片系統(tǒng)的石墨舟裝卸機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]其中:
石墨舟移送機(jī)構(gòu)1、硅片上料機(jī)構(gòu)2、硅片卸料機(jī)構(gòu)3、硅片抓取移載機(jī)構(gòu)4、石墨舟裝卸機(jī)構(gòu)5、龍門架6、石墨舟7 ；
支架1.1、軌道槽板1.2、直線導(dǎo)軌1.3、移送載板1.4 ；
上料底座2.1、上料支座2.2、上料托架2.3、物料臺(tái)2.4、整理氣缸2.5、整理?xiàng)l2.6 ； 卸料定位齒板2.3.1 ；
工作槽位2.4.1、墊板2.4.2 ；
卸料支柱3.1、卸料底板3.2、卸料托架3.3、翻轉(zhuǎn)電機(jī)3.4、卸料花籃3.5、卸料平臺(tái)
3.6、卸料板3.7、卸料傳輸帶3.8、卸料倉(cāng)3.9 ；
抓手用直線導(dǎo)軌4.1、抓手滑板4.2、抓手電機(jī)4.3、抓手絲桿4.4、升降板4.5、升降用直線導(dǎo)軌4.6 (該直線導(dǎo)軌安裝與背面，圖3中僅為示意該直線導(dǎo)軌在此處背面?、升降電機(jī)
4.7、旋轉(zhuǎn)電機(jī)4.8、抓手吸盤架4.9、吸盤4.10 ；
滑移塊5.1、升降板5.2、石墨舟抓手5.3。

【具體實(shí)施方式】
[0021]參見(jiàn)圖廣8，本發(fā)明涉及的一種管式？2(^0石墨舟裝卸片系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包含有石墨舟移送機(jī)構(gòu)1、硅片上料機(jī)構(gòu)2、硅片卸料機(jī)構(gòu)3、硅片抓取移載機(jī)構(gòu)4和石墨舟裝卸機(jī)構(gòu)5，
參見(jiàn)圖2，所述石墨舟移送機(jī)構(gòu)1包含有安裝于支架1.1上的軌道槽板1.2，所述軌道槽板1.2內(nèi)沿其長(zhǎng)度方向安裝有兩條直線導(dǎo)軌1.3，所述直線導(dǎo)軌1.3的滑塊上安裝有移送載板1.4，石墨舟安放于上述移送載板1.4上，優(yōu)選的，上述移送載板1.4安裝有定位機(jī)構(gòu)對(duì)石墨舟進(jìn)行定位及固定，該定位機(jī)構(gòu)包含有由多個(gè)定位塊構(gòu)成的框形結(jié)構(gòu)，所述石墨舟放置于該框形結(jié)構(gòu)內(nèi)，且定位塊上安裝有夾緊氣缸，當(dāng)石墨舟放置于定位塊上后，啟動(dòng)夾緊氣缸，從而對(duì)石墨舟起到定位和夾緊的作用；同時(shí)，對(duì)于移送載板1.4采用絲桿驅(qū)動(dòng)方式對(duì)其進(jìn)行平移驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝于軌道槽板1.2中，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸與一絲桿相連接，該絲桿旋置于移送載板1.4上，從而實(shí)現(xiàn)絲桿驅(qū)動(dòng)配合；
參見(jiàn)圖1，所述石墨舟移送機(jī)構(gòu)1上架設(shè)有龍門架6(優(yōu)選的，該龍門架6設(shè)置有前后兩個(gè)，前后兩個(gè)龍門架6上均安裝有石墨舟裝卸機(jī)構(gòu)5，分別用于裝、卸石墨舟)，所述龍門架6的橫梁上安裝有娃片抓取移載機(jī)構(gòu)4 (該娃片抓取移載機(jī)構(gòu)4安裝于位于前方的龍門架6上)；
參見(jiàn)圖3，所述硅片抓取移載機(jī)構(gòu)4包含有沿龍門架6橫梁長(zhǎng)度方向設(shè)置的兩組抓手用直線導(dǎo)軌4.1，所述抓手用直線導(dǎo)軌4.1的滑塊與抓手滑板4.2相連接(具體的，該抓手滑板4.2同樣通過(guò)絲桿方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，安裝于龍門架6橫梁上的抓手電機(jī)4.3驅(qū)動(dòng)抓手絲桿4.4，該抓手絲桿4.4旋置于上述抓手滑板4.2，從而實(shí)現(xiàn)抓手滑板4.2的平移)，所述抓手滑板4.2上豎向滑動(dòng)連接有一“L”形升降板4.5 (具體的講，此時(shí)“L”形升降板4.5的側(cè)板上豎向安裝有升降用直線導(dǎo)軌4.6，該升降用直線導(dǎo)軌4.6的滑塊連接于抓手滑板4.2上，上述“L”形升降板4.5側(cè)板頂部安裝的升降電機(jī)4.7驅(qū)動(dòng)一絲桿，該絲桿旋置于上述抓手滑板4.2上，從而實(shí)現(xiàn)升降板4.5與抓手滑板4.2的滑動(dòng)連接，當(dāng)然，該滑動(dòng)連接的方式僅為一優(yōu)化方案，本領(lǐng)域的技術(shù)人員所采用的其他任何形式的連接方式，均在本專利的保護(hù)范圍之內(nèi))，所述“L”形升降板4.5的底板上豎向安裝有一旋轉(zhuǎn)電機(jī)4.8,該旋轉(zhuǎn)電機(jī)4.8的轉(zhuǎn)軸上連接有一抓手吸盤架4.9，所述抓手吸盤架4.9底部安裝有三組吸盤4.10,每組吸盤
4.10設(shè)置有20個(gè)陶瓷吸盤；
參見(jiàn)圖1，所述石墨舟移送機(jī)構(gòu)I的兩側(cè)分別安裝有硅片上料機(jī)構(gòu)2和硅片卸料機(jī)構(gòu)
3，
參見(jiàn)圖4和圖5，所述硅片上料機(jī)構(gòu)2包含有上料底板2.1，所述上料底板2.1通過(guò)直線導(dǎo)軌水平滑移連接有上料支座2.2，且上料支座2.2的移動(dòng)方向與石墨舟移送機(jī)構(gòu)I上的石墨舟移動(dòng)方向相垂直；所述上料支座2.2上通過(guò)直線導(dǎo)軌垂直滑動(dòng)連接有上料托架2.3，所述上料托架2.3上設(shè)置有相互平行的三組卸料定位齒板2.3.1，且上料托架2.3上方設(shè)置有物料臺(tái)2.4，該物料臺(tái)2.4上設(shè)置有供卸料定位齒板2.3.1插入的工作槽位2.4.1，工作槽位2.4.1上用于放置裝載有待加工硅片的花籃(所述花籃節(jié)距為4.5mm，此時(shí)每隔三片取一片即可實(shí)現(xiàn)13.5mm的節(jié)距，省去了倒片機(jī)構(gòu)以及該道工序，從而大大提供了生產(chǎn)效率)，且工作槽位2.4.1前后側(cè)設(shè)置有卡位件以及夾緊氣缸，用于對(duì)花籃進(jìn)行定位和夾緊，該工作槽位2.4.1的左右側(cè)均通過(guò)墊板2.4.2設(shè)置有整理氣缸2.5，整理氣缸2.5的活塞桿上連接有與花籃長(zhǎng)度方向相平行的整理?xiàng)l2.6 ；
具體的講，上述上料底板2.1與上料支座2.2的水平滑移連接，上料支座2.2與上料托架2.3的垂直滑動(dòng)連接，均通過(guò)由電機(jī)帶動(dòng)的絲桿驅(qū)動(dòng)方式提供動(dòng)力，其結(jié)構(gòu)與上述硅片抓取移載機(jī)構(gòu)4中的水平以及豎向直線運(yùn)動(dòng)方式均類似，此處不再贅述；
參見(jiàn)圖6和圖7，所述硅片卸料機(jī)構(gòu)3包含有卸料支柱3.1，所述卸料支柱3.1上通過(guò)直線導(dǎo)軌豎向滑動(dòng)連接有卸料底板3.2，所述卸料底板3.2上通過(guò)卸料托架3.3安裝有翻轉(zhuǎn)電機(jī)3.4，所述翻轉(zhuǎn)電機(jī)3.4的轉(zhuǎn)軸與卸料花籃3.5相連，從而使得翻轉(zhuǎn)電機(jī)3.4能夠驅(qū)動(dòng)卸料花籃3.5旋轉(zhuǎn)90°后至垂直狀態(tài)；所述卸料底板3.2旁設(shè)置有卸料平臺(tái)3.6，該卸料平臺(tái)3.6上通過(guò)直線導(dǎo)軌滑動(dòng)連接有卸料板3.7，該卸料板3.7的一側(cè)設(shè)置有用于安放花籃的卸料倉(cāng)3.9，另一側(cè)上裝有卸料傳輸帶3.8，且卸料傳輸帶3.8位于卸料花籃3.5的下方；參見(jiàn)圖8，所述石墨舟裝卸機(jī)構(gòu)5，所述石墨舟裝卸機(jī)構(gòu)5包含有通過(guò)直線導(dǎo)軌滑動(dòng)連接與龍門架6橫梁上的滑移塊5.1，所述滑移塊5.1上通過(guò)直線導(dǎo)軌豎向滑動(dòng)連接有升降板
5.2，所述升降板5.2底部水平連接有石墨舟抓手5.3，所述石墨舟抓手5.3呈一倒置的“U”形機(jī)構(gòu)；
需要注意的是:上述所有直線運(yùn)動(dòng)均通過(guò)直線導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)，其動(dòng)力驅(qū)動(dòng)方式為由電機(jī)驅(qū)動(dòng)的絲桿進(jìn)行；
本發(fā)明還涉及一種管式？2(^0石墨舟裝卸片工藝，其工藝為:
步驟一、裝載有加工好的硅片的石墨舟進(jìn)行上料區(qū)域，石墨舟具有6格裝載區(qū)，每隔裝載區(qū)裝入20片硅片；
步驟二、裝載有加工好的硅片的石墨舟移送至工作區(qū)域；
步驟三、水平移動(dòng)抓手至步驟二工作區(qū)域的上方，該抓手具有3組，每組20個(gè)吸盤；步驟四、下降抓手至石墨舟內(nèi)，將石墨舟間隔排列的3格裝載區(qū)內(nèi)的總計(jì)60片硅片吸附住；
步驟五、抓手帶動(dòng)硅片上升，然后水平移動(dòng)至卸片處放下硅片；
步驟六、抓手移動(dòng)至硅片上片區(qū)域，抓取未加工的硅片，然后放入步驟四中已經(jīng)取出硅片的石墨舟的裝載區(qū)內(nèi)；
步驟七、石墨舟前行一個(gè)裝載區(qū)的距離，重復(fù)步驟三至步驟六，將剩余的60片加工好的硅片至卸片處，并將60片未加工的硅片放入至上述石墨舟裝載區(qū)內(nèi)；
步驟八、在進(jìn)行步驟二至步驟七的同時(shí)，另一裝載有加工好的硅片的石墨舟進(jìn)行上料區(qū)域，進(jìn)行等待；
步驟九、完成步驟七的裝載有未加工的硅片的石墨舟移動(dòng)至下料區(qū)域；同時(shí)將步驟八中的另一裝載有加工好的硅片的石墨舟移動(dòng)至工作區(qū)域；
重復(fù)上述步驟即可實(shí)現(xiàn)一完整的工藝流程，在此工藝中，所有步驟有機(jī)結(jié)合，且沒(méi)有相應(yīng)的浪費(fèi)等待時(shí)間，相比與常規(guī)的六軸機(jī)械手方式，進(jìn)一步提高了工作效率，可使得整體工作效率提高至三倍以上；
另外:特別需要注意的是，上述【具體實(shí)施方式】?jī)H為本專利的一個(gè)優(yōu)化方案，本領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)上述構(gòu)思所做的任何改動(dòng)或改進(jìn)，均在本專利的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種管式PECVD石墨舟裝卸片系統(tǒng)，其特征在于:所述系統(tǒng)包含有: 石墨舟移送機(jī)構(gòu)(I )，運(yùn)載石墨舟進(jìn)打水平移動(dòng)； 硅片上料機(jī)構(gòu)(2)，將代加工硅片提取出花籃； 硅片卸料機(jī)構(gòu)(3)，對(duì)加工好的硅片進(jìn)行翻轉(zhuǎn)卸料； 硅片抓取移載機(jī)構(gòu)(4)，對(duì)硅片進(jìn)行吸附并以直線運(yùn)動(dòng)進(jìn)行移載； 石墨舟裝卸機(jī)構(gòu)(5 )，對(duì)石墨舟進(jìn)行裝卸。
2.如權(quán)利要求1所述一種管式PECVD石墨舟裝卸片系統(tǒng)，其特征在于:所述石墨舟移送機(jī)構(gòu)(I)包含有安裝于支架(1.1)上的軌道槽板(1.2)，所述軌道槽板(1.2)內(nèi)沿其長(zhǎng)度方向安裝有兩條直線導(dǎo)軌(1.3)，所述直線導(dǎo)軌(1.3)的滑塊上安裝有移送載板(1.4)，石墨舟安放于上述移送載板(1.4)上。
3.如權(quán)利要求1或2所述一種管式PECVD石墨舟裝卸片系統(tǒng)，其特征在于:所述硅片抓取移載機(jī)構(gòu)(4)包含有沿龍門架(6)橫梁長(zhǎng)度方向設(shè)置的兩組抓手用直線導(dǎo)軌(4.1)，所述抓手用直線導(dǎo)軌(4.1)的滑塊與抓手滑板(4.2)相連接，所述抓手滑板(4.2)上豎向滑動(dòng)連接有一 “L”形升降板(4.5);所述“L”形升降板(4.5)的底板上豎向安裝有一旋轉(zhuǎn)電機(jī)(4.8)，該旋轉(zhuǎn)電機(jī)(4.8)的轉(zhuǎn)軸上連接有一抓手吸盤架(4.9)，所述抓手吸盤架(4.9)底部安裝有三組吸盤(4.10)。
4.如權(quán)利要求3所述一種管式PECVD石墨舟裝卸片系統(tǒng)，其特征在于:每組吸盤(4.10)設(shè)置有20個(gè)陶瓷吸盤。
5.如權(quán)利要求3所述一種管式PECVD石墨舟裝卸片系統(tǒng)，其特征在于:石墨舟移送機(jī)構(gòu)(I)的一側(cè)安裝有硅片上料機(jī)構(gòu)(2);所述硅片上料機(jī)構(gòu)(2)包含有上料底板(2.1)，所述上料底板(2.1)通過(guò)直線導(dǎo)軌水平滑移連接有上料支座(2.2)，且上料支座(2.2)的移動(dòng)方向與石墨舟移送機(jī)構(gòu)(I)上的石墨舟移動(dòng)方向相垂直；所述上料支座(2.2)上通過(guò)直線導(dǎo)軌垂直滑動(dòng)連接有上料托架(2.3)，所述上料托架(2.3)上設(shè)置有相互平行的三組卸料定位齒板(2.3.1 )，且上料托架(2.3)上方設(shè)置有物料臺(tái)(2.4)，該物料臺(tái)(2.4)上設(shè)置有供卸料定位齒板(2.3.1)插入的工作槽位(2.4.1)，該工作槽位(2.4.1)的左右側(cè)均設(shè)置有整理氣缸(2.5)，整理氣缸(2.5)的活塞桿上連接有整理?xiàng)l(2.6)。
6.如權(quán)利要求5所述一種管式PECVD石墨舟裝卸片系統(tǒng)，其特征在于:所述石墨舟移送機(jī)構(gòu)(I)的另一側(cè)安裝有硅片卸料機(jī)構(gòu)(3);所述硅片卸料機(jī)構(gòu)(3)包含有卸料支柱(3.1)，所述卸料支柱(3.1)上通過(guò)直線導(dǎo)軌豎向滑動(dòng)連接有卸料底板(3.2)，所述卸料底板(3.2)上通過(guò)卸料托架(3.3)安裝有翻轉(zhuǎn)電機(jī)(3.4)，所述翻轉(zhuǎn)電機(jī)(3.4)的轉(zhuǎn)軸與卸料花籃(3.5)相連，所述卸料底板(3.2)旁設(shè)置有卸料平臺(tái)(3.6)，該卸料平臺(tái)(3.6)上通過(guò)直線導(dǎo)軌滑動(dòng)連接有卸料板(3.7)，該卸料板(3.7)的一側(cè)設(shè)置有用于安放花籃的卸料倉(cāng)(3.9)，另一側(cè)上裝有卸料傳輸帶(3.8)，且卸料傳輸帶(3.8)位于卸料花籃(3.5)的下方。
7.一種管式PECVD石墨舟裝卸片工藝，其特征在于:所述工藝包含有以下步驟: 步驟一、裝載有加工好的硅片的石墨舟進(jìn)行上料區(qū)域，石墨舟具有6格裝載區(qū)，每隔裝載區(qū)裝入20片硅片； 步驟二、裝載有加工好的硅片的石墨舟移送至工作區(qū)域； 步驟三、水平移動(dòng)抓手至步驟二工作區(qū)域的上方，該抓手具有3組，每組20個(gè)吸盤； 步驟四、下降抓手至石墨舟內(nèi)，將石墨舟間隔排列的3格裝載區(qū)內(nèi)的總計(jì)60片硅片吸附住； 步驟五、抓手帶動(dòng)硅片上升，然后水平移動(dòng)至卸片處放下硅片； 步驟六、抓手移動(dòng)至硅片上片區(qū)域，抓取未加工的硅片，然后放入步驟四中已經(jīng)取出硅片的石墨舟的裝載區(qū)內(nèi)； 步驟七、石墨舟前行一個(gè)裝載區(qū)的距離，重復(fù)步驟三至步驟六，將剩余的60片加工好的硅片至卸片處，并將60片未加工的硅片放入至上述石墨舟裝載區(qū)內(nèi)； 步驟八、在進(jìn)行步驟二至步驟七的同時(shí)，另一裝載有加工好的硅片的石墨舟進(jìn)行上料區(qū)域； 步驟九、完成步驟七的裝載有未加工的硅片的石墨舟移動(dòng)至下料區(qū)域；同時(shí)將步驟八中的另一裝載有加工好的硅片的石墨舟移動(dòng)至工作區(qū)域。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK104377154SQ201410605136
【公開(kāi)日】2015年2月25日 申請(qǐng)日期:2014年11月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月3日
【發(fā)明者】李長(zhǎng)英, 陳 光, 高玉良 申請(qǐng)人:江陰方艾機(jī)器人有限公司