一種激光燒結(jié)設(shè)備及燒結(jié)方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種激光燒結(jié)設(shè)備及燒結(jié)方法。該激光燒結(jié)設(shè)備包括：第一激光頭，用于輸出第一功率的激光；第二激光頭，用于輸出第二功率的激光；驅(qū)動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)第一激光頭與第二激光頭移動(dòng)，使第一激光頭和第二激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱。本發(fā)明利用兩個(gè)激光頭在對(duì)待燒結(jié)裝置上所設(shè)置的待燒結(jié)材料進(jìn)行加熱時(shí)，使兩個(gè)激光頭依次分別對(duì)待燒結(jié)材料的某一待加熱區(qū)域進(jìn)行加熱，這樣在進(jìn)行激光燒結(jié)之前對(duì)待燒結(jié)材料進(jìn)行預(yù)熱，或者激光燒結(jié)之后對(duì)待燒結(jié)材料進(jìn)行退火處理，從而減小激光燒結(jié)前相較于激光燒結(jié)時(shí)的溫度差或者減小激光燒結(jié)后溫度的下降速度，以減小待燒結(jié)材料基板的應(yīng)力，避免由于收縮應(yīng)力造成的裂紋甚至破損情況。
【專利說(shuō)明】一種激光燒結(jié)設(shè)備及燒結(jié)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示器制造【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是指一種激光燒結(jié)設(shè)備及燒結(jié)方法。

【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting D1de，0LED)顯示器件是通過電流驅(qū)動(dòng)發(fā)光材料自主發(fā)光的顯示器件。由于0LED顯示器中的發(fā)光材料對(duì)溫度、空氣、水十分敏感，因此良好的封裝對(duì)0LED顯示器的壽命和畫面品質(zhì)至關(guān)重要。0LED顯示器的封裝技術(shù)有多種，如激光封裝、薄膜封裝和注入封裝等。其中激光封裝技術(shù)是目前較成熟的0LED封裝技術(shù)，其主要的工作原理是利用激光的精確快速升溫融化將夾在兩片玻璃基板(一片為蓋板玻璃，一片為設(shè)置有發(fā)光材料和電路圖形的背板玻璃)間特定位置的玻璃膠來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)兩片基板的封裝。
[0003]由于傳統(tǒng)激光燒結(jié)時(shí)，玻璃膠會(huì)瞬間從室溫提高到800?1000°C，然后再降至室溫，該快速升溫和降溫的過程會(huì)在玻璃膠內(nèi)部聚集一定的收縮應(yīng)力，該收縮應(yīng)力在后續(xù)工藝中極易形成裂紋甚至破損的情況。目前針對(duì)這一問題的改善措施基本上有兩種:一、降低玻璃基板和玻璃膠材料的熱膨脹系數(shù)來(lái)降低收縮應(yīng)力；二、降低激光燒結(jié)速度，然而第一種方法使得玻璃基板和玻璃膠材料的選擇受到很大限制，第二種方法的應(yīng)用并不能適用于量產(chǎn)，因此該兩種方法使0LED顯示器的制造受到很大限制。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明技術(shù)方案的目的是提供一種激光燒結(jié)設(shè)備及燒結(jié)方法，用于解決現(xiàn)有技術(shù)顯示器制造過程中采用激光封裝時(shí)，由于激光燒結(jié)產(chǎn)生的大收縮應(yīng)力造成玻璃膠形成裂紋或破損的問題。
[0005]本發(fā)明提供一種激光燒結(jié)設(shè)備，所述激光燒結(jié)設(shè)備包括:
[0006]第一激光頭，用于輸出第一功率的激光；
[0007]第二激光頭，用于輸出第二功率的激光；
[0008]驅(qū)動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)所述第一激光頭與所述第二激光頭移動(dòng)，使所述第一激光頭和第二激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱。
[0009]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其中，所述激光燒結(jié)設(shè)備還包括:
[0010]第三激光頭，用于輸出第三功率的激光，其中所述第三功率以及所述第一功率小于所述第二功率；
[0011]所述驅(qū)動(dòng)裝置還用于使所述第三激光頭移動(dòng)，所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱。
[0012]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其中，所述驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)所述第一激光頭和所述第二激光頭以相同速率同時(shí)移動(dòng)。
[0013]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其中，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括:
[0014]第一控制結(jié)構(gòu)，用于使所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭以相同速率沿第一方向移動(dòng)對(duì)待燒結(jié)材料進(jìn)行掃描；
[0015]第二控制結(jié)構(gòu)，用于調(diào)節(jié)所述第一激光頭、所述第二激光頭和/或所述第三激光頭的位置，使從所述第二激光頭至所述第一激光頭的方向、以及從所述第三激光頭至所述第二激光頭的方向始終與所述第一方向保持相同。
[0016]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其中，所述激光燒結(jié)設(shè)備還包括一固定臺(tái)，所述固定臺(tái)上設(shè)置有環(huán)形軌道，所述第二激光頭固定設(shè)置于所述環(huán)形軌道的中心，所述第一激光頭和所述第三激光頭設(shè)置于所述環(huán)形軌道上，并分設(shè)于所述第二激光頭的兩側(cè)。
[0017]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其中，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括與所述第一激光頭連接的第一馬達(dá)，用于使所述第一激光頭繞所述環(huán)形軌道移動(dòng)；還包括與所述第三激光頭連接的第二馬達(dá)，用于使所述第三激光頭繞所述環(huán)形軌道移動(dòng)。
[0018]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其中，所述第一功率和所述第三功率相較于所述第二功率分別低20-40%。
[0019]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其中，所述第二激光頭與所述第一激光頭以及所述第二激光頭與所述第三激光頭之間的距離分別為2-5mm。
[0020]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其中，所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭的光路相互平行。
[0021]本發(fā)明還提供一種采用如上所述激光燒結(jié)設(shè)備的激光燒結(jié)方法，所述激光燒結(jié)方法包括:
[0022]所述第一激光頭輸出第一功率的激光；
[0023]所述第二激光頭輸出第二功率的激光；
[0024]所述第一激光頭與所述第二激光頭移動(dòng)，分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱。
[0025]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)方法，其中，所述激光燒結(jié)方法還包括:
[0026]第三激光頭輸出第三功率的激光，其中所述第三功率和所述第一功率小于所述第二功率;
[0027]所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱。
[0028]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)方法，其中，在所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱的步驟中，具體地使所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭以相同速率沿第一方向移動(dòng)，先后分別對(duì)待燒結(jié)材料的同一區(qū)域進(jìn)行掃描。
[0029]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)方法，其中，在使所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭以相同速率沿第一方向移動(dòng)的步驟中，還包括:
[0030]調(diào)節(jié)所述第一激光頭、所述第二激光頭和/或所述第三激光頭的位置，使從所述第二激光頭至所述第一激光頭的方向、以及從所述第三激光頭至所述第二激光頭的方向始終與所述第一方向保持相同。
[0031]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)方法，其中，所述第一功率和所述第三功率相較于所述第一功率分別低20-40%。
[0032]優(yōu)選地，上述所述的激光燒結(jié)方法，其中，所述第一激光頭與所述第二激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱的步驟中，所述第一激光頭和所述第二激光頭以相同速率同時(shí)移動(dòng)。
[0033]本發(fā)明具體實(shí)施例上述技術(shù)方案中的至少一個(gè)具有以下有益效果:
[0034]在現(xiàn)有激光封裝所用激光頭的基礎(chǔ)上，增加一個(gè)激光頭，利用兩個(gè)激光頭在對(duì)待燒結(jié)裝置上所設(shè)置的待燒結(jié)材料進(jìn)行加熱時(shí)，使兩個(gè)激光頭依次分別對(duì)待燒結(jié)材料的某一待加熱區(qū)域進(jìn)行加熱，這樣在進(jìn)行激光燒結(jié)之前對(duì)待燒結(jié)材料進(jìn)行預(yù)熱，或者激光燒結(jié)之后對(duì)待燒結(jié)材料進(jìn)行退火處理，從而減小激光燒結(jié)前相較于激光燒結(jié)時(shí)的溫度差或者減小激光燒結(jié)后溫度的下降速度，以減小待燒結(jié)材料基板的應(yīng)力，避免由于收縮應(yīng)力造成的裂紋甚至破損情況。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0035]圖1為通常顯示器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖2為顯示器的平面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0037]圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例所述激光燒結(jié)設(shè)備的應(yīng)用結(jié)構(gòu)示意圖；
[0038]圖4為本發(fā)明第二實(shí)施例所述激光燒結(jié)設(shè)備的應(yīng)用結(jié)構(gòu)示意圖；
[0039]圖5為本發(fā)明第三實(shí)施例的所述激光燒結(jié)設(shè)備的應(yīng)用結(jié)構(gòu)示意圖；
[0040]圖6為本發(fā)明第三實(shí)施例采用三個(gè)激光頭時(shí)玻璃膠的溫度曲線圖；
[0041]圖7為本發(fā)明第四實(shí)施例所述激光燒結(jié)設(shè)備的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0042]圖8為本發(fā)明第四實(shí)施例所述激光燒結(jié)設(shè)備的平面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0043]圖9為采用本發(fā)明第四實(shí)施例所述激光燒結(jié)設(shè)備的掃描方向改變結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0044]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0045]本發(fā)明具體實(shí)施例所述激光燒結(jié)設(shè)備，所述激光燒結(jié)設(shè)備包括:
[0046]第一激光頭，用于輸出第一功率的激光；
[0047]第二激光頭，用于輸出第二功率的激光；
[0048]驅(qū)動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)所述第一激光頭與所述第二激光頭移動(dòng)，使所述第一激光頭和第二激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱。
[0049]本發(fā)明實(shí)施例所述激光燒結(jié)設(shè)備，在現(xiàn)有激光封裝所用激光頭的基礎(chǔ)上，增加一個(gè)激光頭，利用兩個(gè)激光頭在對(duì)待燒結(jié)裝置上所設(shè)置的待燒結(jié)材料進(jìn)行加熱時(shí)，使兩個(gè)激光頭依次分別對(duì)待燒結(jié)材料進(jìn)行加熱，這樣在進(jìn)行激光燒結(jié)之前對(duì)待待燒結(jié)材料進(jìn)行預(yù)熱，或者激光燒結(jié)之后對(duì)待燒結(jié)材料進(jìn)行退火處理，從而減小激光燒結(jié)前相較于激光燒結(jié)時(shí)的溫度差或者減小激光燒結(jié)后溫度的下降速度，以減小待燒結(jié)材料和基板的應(yīng)力，避免由于收縮應(yīng)力造成的裂紋甚至破損情況。
[0050]較佳地，所述第一激光頭與所述第二激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱時(shí)，使所述第一激光頭和所述第二激光頭以相同速率同時(shí)移動(dòng)，這樣第一激光頭和第二激光頭在同時(shí)對(duì)待燒結(jié)材料的其中一區(qū)域進(jìn)行移動(dòng)掃描的過程，先后對(duì)該區(qū)域進(jìn)行加熱，使整個(gè)激光燒結(jié)設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于控制。
[0051]本發(fā)明實(shí)施例中，第二激光頭輸出為第二功率的激光，第一激光頭輸出為第一功率的激光，第二功率大于第一功率，具體地第二激光頭所輸出激光用于顯示器封裝時(shí)玻璃膠的燒結(jié)，使玻璃膠達(dá)到溫度為800至1000度；第一激光頭所輸出激光用于在玻璃膠燒結(jié)之前的預(yù)熱，或者用于玻璃燒結(jié)之后的退火，使玻璃膠加熱達(dá)到溫度為400至500度。
[0052]本發(fā)明上述結(jié)構(gòu)的激光燒結(jié)設(shè)備，可以用于顯示器的封裝，通過激光對(duì)待封裝顯示器所涂覆的玻璃膠部分進(jìn)行加熱，以使玻璃膠升溫融化將顯示器的兩部分組裝在一起。因此，上述的激光燒結(jié)設(shè)備應(yīng)用于顯示器封裝時(shí)，所述待燒結(jié)裝置為待封裝顯示器，所述待燒結(jié)材料為玻璃膠。
[0053]以下將以本發(fā)明所述激光燒結(jié)設(shè)備應(yīng)用于顯示器封裝為例，對(duì)本發(fā)明具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0054]圖1為通常顯示器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為顯示器的平面結(jié)構(gòu)示意圖，參閱圖1和圖2，顯不器包括相對(duì)且平行設(shè)置的背板玻璃1和蓋板玻璃2，其中背板玻璃1與蓋板玻璃2之間設(shè)置用于實(shí)現(xiàn)圖像顯示的器件，對(duì)于OLED顯示器來(lái)說(shuō)，背板玻璃1與蓋板玻璃2之間設(shè)置各發(fā)光功能層。在封裝時(shí)，沿背板玻璃1的邊框部分四周涂覆玻璃膠3，將蓋板玻璃2蓋設(shè)于發(fā)光功能層的上方，之后使激光頭所輸出激光對(duì)準(zhǔn)蓋板玻璃2表面的玻璃膠對(duì)應(yīng)區(qū)域，并沿著邊框的玻璃膠對(duì)應(yīng)區(qū)域進(jìn)行掃描，進(jìn)行激光燒結(jié)，使背板玻璃1與蓋板玻璃2固結(jié)在一起。
[0055]圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例所述激光燒結(jié)設(shè)備的應(yīng)用結(jié)構(gòu)示意圖，以圖2中剖面A-A上方設(shè)置激光燒結(jié)設(shè)備為例。在第一實(shí)施例中，第一激光頭10與第二激光頭20固連在一起，以相同速率在蓋板玻璃2上方沿玻璃膠3的對(duì)應(yīng)區(qū)域進(jìn)行掃描，當(dāng)?shù)诙す忸^20至第一激光頭10的方向與掃描方向一致，也即第二激光頭20相較于第一激光頭10位于第一激光頭10朝掃描方向的相反方向時(shí)，則進(jìn)行移動(dòng)掃描，在同時(shí)移動(dòng)掃描的過程中，第一激光頭10與第二激光頭20均輸出激光時(shí)，第一激光頭10所輸出激光首先到達(dá)蓋板玻璃2上玻璃膠3的對(duì)應(yīng)區(qū)域，之后第二激光頭10所輸出激光才能達(dá)到玻璃膠3的對(duì)應(yīng)區(qū)域。采用該實(shí)施例的激光燒結(jié)設(shè)備，第一激光頭10所輸出激光用于在玻璃膠燒結(jié)之前的預(yù)熱，使玻璃膠3達(dá)到溫度至400至500度時(shí)，第二激光頭20所輸出激光對(duì)玻璃膠3進(jìn)行燒結(jié)，使玻璃膠3達(dá)到溫度至800至1000度，通過在進(jìn)行激光燒結(jié)之前對(duì)待封裝顯示器的玻璃膠部分進(jìn)行預(yù)熱，能夠減小激光燒結(jié)前相較于激光燒結(jié)時(shí)的溫度差，以減小玻璃膠和玻璃基板的應(yīng)力，避免由于收縮應(yīng)力造成的裂紋甚至破損情況。
[0056]圖4為本發(fā)明第二實(shí)施例所述激光燒結(jié)設(shè)備的應(yīng)用結(jié)構(gòu)示意圖，同樣以圖2中剖面A-A上方設(shè)置激光燒結(jié)設(shè)備為例。與第一實(shí)施例相同，在第二實(shí)施例中，第一激光頭10與第二激光頭20固連在一起，以相同速率在蓋板玻璃2上方沿玻璃膠3的對(duì)應(yīng)區(qū)域進(jìn)行掃描。但與第一實(shí)施例不同，第二實(shí)施例中，第一激光頭10至第二激光頭20的方向與掃描方向一致，也即第一激光頭10相較于第二激光頭20位于第二激光頭20朝掃描方向的相反方向，進(jìn)行掃描。則當(dāng)?shù)谝患す忸^10與第二激光頭20同時(shí)輸出激光時(shí)，第二激光頭20所輸出激光首先到達(dá)蓋板玻璃2上玻璃膠3的對(duì)應(yīng)區(qū)域，之后第一激光頭10所輸出激光才到達(dá)玻璃膠3的對(duì)應(yīng)區(qū)域。采用該實(shí)施例的激光燒結(jié)設(shè)備，首先第二激光頭20所輸出激光對(duì)玻璃膠3加熱，使玻璃膠3達(dá)到溫度800至1000度，對(duì)玻璃膠3進(jìn)行燒結(jié)，之后第一激光頭10所輸出激光才到達(dá)玻璃膠3的對(duì)應(yīng)區(qū)域，使玻璃膠3的溫度緩慢達(dá)到400至500度時(shí)停止加熱，對(duì)玻璃膠3進(jìn)行退火處理，從而減小激光燒結(jié)后溫度的下降速度，以減小玻璃膠和玻璃基板的應(yīng)力，避免由于收縮應(yīng)力造成的裂紋甚至破損情況。
[0057]圖5為本發(fā)明第三實(shí)施例所述激光燒結(jié)設(shè)備的應(yīng)用結(jié)構(gòu)示意圖，同樣以圖2中剖面A-A上方設(shè)置激光燒結(jié)設(shè)備為例。在第三實(shí)施例中，所述激光燒結(jié)設(shè)備除包括第一激光頭10和第二激光頭20之外，還包括第三激光頭30，用于輸出第三功率的激光，所述第三功率小于第二功率。在第三實(shí)施例中，第一激光頭10、第二激光頭20和第三激光頭30固連在一起，以相同速率在蓋板玻璃2上方沿玻璃膠3的對(duì)應(yīng)區(qū)域進(jìn)行掃描。所述驅(qū)動(dòng)裝置還用于使所述第三激光頭30與所述第一激光頭10、所述第二激光頭20 —起對(duì)玻璃膠3的對(duì)應(yīng)區(qū)域進(jìn)行掃描，所述第一激光頭10、所述第二激光頭20和所述第三激光頭30依序先后分別對(duì)玻璃膠進(jìn)行加熱。這樣，利用第一激光頭10先對(duì)玻璃膠3進(jìn)行預(yù)熱，使玻璃膠3的溫度達(dá)到400至500度，之后再利用第二激光頭20對(duì)玻璃膠3進(jìn)行燒結(jié)，使玻璃膠3的溫度達(dá)到800至1000度，再后再利用第三激光頭30對(duì)玻璃膠3進(jìn)行退火，使玻璃膠3緩慢降溫至400至500度，如圖6所示的溫度曲線圖，激光燒結(jié)前玻璃膠緩慢升溫以及激光燒結(jié)之后緩慢降溫，采用該溫度梯度燒結(jié)和退火，能夠減小玻璃膠和玻璃基板的應(yīng)力，避免由于收縮應(yīng)力造成的裂紋甚至破損情況。
[0058]參閱圖2，在顯示器中，玻璃膠3通常沿邊框設(shè)置，因此在蓋板玻璃2所在平面形成為封閉的長(zhǎng)方形形狀，在采用兩個(gè)激光頭或三個(gè)激光頭同時(shí)沿蓋板玻璃2上方玻璃膠3的形狀進(jìn)行掃描加熱時(shí)，為保證各激光頭對(duì)玻璃膠3的加熱順序不變，需要根據(jù)玻璃膠3的形狀改變各激光頭之間的相對(duì)關(guān)系。因此，本發(fā)明實(shí)施例所述激光燒結(jié)設(shè)備，所述驅(qū)動(dòng)裝置還用于調(diào)節(jié)各激光頭的位置。以第三實(shí)施例中所包括的三個(gè)激光頭為例，所述驅(qū)動(dòng)裝置具體包括:
[0059]第一控制結(jié)構(gòu)，用于使所述第一激光頭10、所述第二激光頭20和所述第三激光頭30以相同速率沿第一方向?qū)ΣＡz3進(jìn)行掃描；
[0060]第二控制結(jié)構(gòu)，用于調(diào)節(jié)所述第一激光頭10、所述第二激光頭20和/或所述第三激光頭30的位置，使從所述第二激光頭30至所述第一激光頭10的方向、以及從所述第三激光頭30至所述第二激光頭20的方向始終與所述第一方向保持相同。
[0061]也即通過調(diào)節(jié)所述第一激光頭10、所述第二激光頭20和/或所述第三激光頭30的位置，使第三激光頭30、第二激光頭20和第一激光頭10的排列方向與掃描方向相同，這樣沿掃描方向進(jìn)行掃描時(shí)，第一激光頭10、第二激光頭20和第三激光頭30依次對(duì)同一區(qū)域的玻璃膠30進(jìn)行加熱。
[0062]上述中的第一方向?yàn)轱@示器封裝過程中，沿顯示器邊框的玻璃膠移動(dòng)的方向，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解，顯示器的邊框通常為長(zhǎng)方形，沿邊框設(shè)置的玻璃膠也形成為長(zhǎng)方形，因此對(duì)于顯示器的封裝過程，利用激光燒結(jié)設(shè)備對(duì)玻璃膠時(shí)，所輸出激光沿玻璃膠掃描時(shí)，方向依據(jù)玻璃膠的設(shè)置形狀變化，也即第一方向?yàn)橐罁?jù)玻璃膠的設(shè)置形狀而變化。上述各激光頭進(jìn)行移動(dòng)掃描的過程也即是將整個(gè)玻璃膠進(jìn)行激光加熱固化的過程。
[0063]為使各激光頭的位置調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單、方便，本發(fā)明提供第四實(shí)施例的激光燒結(jié)設(shè)備，參閱圖7和圖8所示，在第四實(shí)施例中，所述激光燒結(jié)設(shè)備還包括一固定臺(tái)40，所述固定臺(tái)40上設(shè)置有環(huán)有軌道41，其中所述第二激光頭20固定設(shè)置于所述環(huán)形軌道41的中心，所述第一激光頭10和所述第三激光頭30設(shè)置于所述環(huán)形軌道41上，并分設(shè)于第二激光頭20的兩側(cè)。
[0064]進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括與所述第一激光頭10連接的第一馬達(dá)11，用于使所述第一激光頭10繞所述環(huán)形軌道41移動(dòng)；還包括與所述第三激光頭30連接的第二馬達(dá)31，用于使所述第三激光頭30繞所述環(huán)形軌道41移動(dòng)。
[0065]利用上述的結(jié)構(gòu)，參閱圖9所示，當(dāng)使激光燒結(jié)設(shè)備沿玻璃膠3的形狀進(jìn)行掃描加熱時(shí)，當(dāng)掃描方向改變時(shí)，通過第一馬達(dá)11使第一激光頭10在環(huán)形軌道41上繞第二激光頭30轉(zhuǎn)動(dòng)，通過第二馬達(dá)31使第三激光頭30繞環(huán)形軌道41轉(zhuǎn)動(dòng)，無(wú)論掃描方向如何改變，保證第三激光頭30、第二激光頭20和第一激光頭10的依序排列方向與掃描方向相同。
[0066]本發(fā)明第三實(shí)施例和第四實(shí)施例的激光燒結(jié)設(shè)備中，第一激光頭10所輸出激光的第一功率和第三激光頭30所輸出激光的第三功率相較于第二激光頭所輸出激光的第二功率低20-40%。此外，第一功率可以等于第三功率，但不限于此。且較佳地，所述第二激光頭20與所述第一激光頭10以及所述第二激光頭20與所述第三激光頭30之間的距離分別為2-5_，以該結(jié)構(gòu)參數(shù)和工藝參數(shù)能夠保證獲得較佳的燒結(jié)效果。
[0067]另外，優(yōu)選地，所述第一激光頭10、所述第二激光頭20和所述第三激光頭30的光路相互平行，分別相對(duì)于蓋板玻璃2所在平面垂直地入射至玻璃膠3所在區(qū)域。
[0068]本發(fā)明實(shí)施例另一方面提供一種采用如上激光燒結(jié)設(shè)備的激光燒結(jié)方法，所述激光燒結(jié)方法包括:
[0069]所述第一激光頭輸出第一功率的激光；
[0070]所述第二激光頭輸出第二功率的激光；
[0071]所述第一激光頭與所述第二激光頭移動(dòng)，分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱。
[0072]較佳地，所述第一激光頭與所述第二激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱的步驟中，所述第一激光頭和所述第二激光頭以相同速率同時(shí)移動(dòng)。
[0073]本發(fā)明上述結(jié)構(gòu)的激光燒結(jié)設(shè)備，可以應(yīng)用于顯示器的封裝，通過激光對(duì)待封裝顯示器所涂覆的玻璃膠部分進(jìn)行加熱，以使玻璃膠升溫融化將顯示器的兩部分組裝在一起。因此，上述的激光燒結(jié)設(shè)備應(yīng)用于顯示器封裝時(shí)，所述待燒結(jié)裝置為待封裝顯示器，所述待燒結(jié)材料為玻璃膠。
[0074]采用本發(fā)明實(shí)施例的激光燒結(jié)方法，用于顯示器的封裝時(shí)，第二激光頭所輸出激光使玻璃膠達(dá)到溫度800至1000度，對(duì)玻璃膠進(jìn)行燒結(jié)；利用第一激光頭對(duì)玻璃膠加熱至400至500度；第一激光頭可以在第二激光頭之前先對(duì)玻璃膠進(jìn)行加熱，以在玻璃膠燒結(jié)前進(jìn)行預(yù)熱，從而減小激光燒結(jié)前相較于激光燒結(jié)時(shí)的溫度差；第一激光頭也可以在第二激光頭燒結(jié)之后再對(duì)玻璃膠進(jìn)行加熱，以進(jìn)燒結(jié)之后的玻璃膠進(jìn)行退火處理，從而減小激光燒結(jié)后溫度的下降速度，減小玻璃膠和玻璃基板的應(yīng)力，避免由于收縮應(yīng)力造成的裂紋甚至破損情況。
[0075]進(jìn)一步地，所述激光燒結(jié)方法還包括:
[0076]第三激光頭輸出第三功率的激光，其中所述第三功率和所述第一功率小于所述第二功率;
[0077]所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱。
[0078]在用于顯示器的封裝時(shí)，利用第一激光頭先對(duì)玻璃膠進(jìn)行預(yù)熱，使玻璃膠的溫度達(dá)到400至500度，之后再利用第二激光頭對(duì)玻璃膠進(jìn)行燒結(jié)，使玻璃膠的溫度達(dá)到800至1000度，再后再利用第三激光頭對(duì)玻璃膠進(jìn)行退火，使玻璃膠緩慢降溫至400至500度，采用該溫度梯度燒結(jié)和退火，減小玻璃膠和玻璃基板的應(yīng)力，避免由于收縮應(yīng)力造成的裂紋甚至破損情況，獲得較佳的效果。較佳地，在所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱的步驟中，具體地所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭以相同速率沿第一方向移動(dòng)，先后分別對(duì)待燒結(jié)材料的同一區(qū)域進(jìn)行掃描。
[0079]此外，在使所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭以相同速率沿第一方向移動(dòng)的步驟中，還包括:
[0080]調(diào)節(jié)所述第一激光頭、所述第二激光頭和/或所述第三激光頭的位置，使從所述第二激光頭至所述第一激光頭的方向、以及從所述第三激光頭至所述第二激光頭的方向始終與所述第一方向保持相同。
[0081]此外，較佳地，所述第一功率和所述第三功率相較于所述第一功率分別低20-40%。
[0082]本發(fā)明實(shí)施例所述激光燒結(jié)設(shè)備和激光燒結(jié)方法，能夠減小玻璃膠和玻璃基板的應(yīng)力，避免由于收縮應(yīng)力造成的裂紋甚至破損情況，從而提高燒結(jié)良率。
[0083]以上所述的是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明所述的原理前提下還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種激光燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述激光燒結(jié)設(shè)備包括: 第一激光頭，用于輸出第一功率的激光； 第二激光頭，用于輸出第二功率的激光； 驅(qū)動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)所述第一激光頭與所述第二激光頭移動(dòng)，使所述第一激光頭和第二激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱。
2.如權(quán)利要求1所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述激光燒結(jié)設(shè)備還包括: 第三激光頭，用于輸出第三功率的激光，其中所述第三功率以及所述第一功率小于所述第二功率； 所述驅(qū)動(dòng)裝置還用于使所述第三激光頭移動(dòng)，所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱。
3.如權(quán)利要求1所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)所述第一激光頭和所述第二激光頭以相同速率同時(shí)移動(dòng)。
4.如權(quán)利要求2所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括: 第一控制結(jié)構(gòu)，用于使所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭以相同速率沿第一方向移動(dòng)對(duì)待燒結(jié)材料進(jìn)行掃描； 第二控制結(jié)構(gòu)，用于調(diào)節(jié)所述第一激光頭、所述第二激光頭和丨或所述第三激光頭的位置，使從所述第二激光頭至所述第一激光頭的方向、以及從所述第三激光頭至所述第二激光頭的方向始終與所述第一方向保持相同。
5.如權(quán)利要求2所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述激光燒結(jié)設(shè)備還包括一固定臺(tái)，所述固定臺(tái)上設(shè)置有環(huán)形軌道，所述第二激光頭固定設(shè)置于所述環(huán)形軌道的中心，所述第一激光頭和所述第三激光頭設(shè)置于所述環(huán)形軌道上，并分設(shè)于所述第二激光頭的兩側(cè)。
6.如權(quán)利要求5所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括與所述第一激光頭連接的第一馬達(dá)，用于使所述第一激光頭繞所述環(huán)形軌道移動(dòng)；還包括與所述第三激光頭連接的第二馬達(dá)，用于使所述第三激光頭繞所述環(huán)形軌道移動(dòng)。
7.如權(quán)利要求2至6任一項(xiàng)所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述第一功率和所述第三功率相較于所述第二功率分別低20-40%。
8.如權(quán)利要求2至6任一項(xiàng)所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述第二激光頭與所述第一激光頭以及所述第二激光頭與所述第三激光頭之間的距離分別為2-5！^。
9.如權(quán)利要求2至6任一項(xiàng)所述的激光燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭的光路相互平行。
10.一種采用權(quán)利要求1所述激光燒結(jié)設(shè)備的激光燒結(jié)方法，其特征在于，所述激光燒結(jié)方法包括: 所述第一激光頭輸出第一功率的激光； 所述第二激光頭輸出第二功率的激光； 所述第一激光頭與所述第二激光頭移動(dòng)，分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱。
11.如權(quán)利要求10所述的激光燒結(jié)方法，其特征在于，所述激光燒結(jié)方法還包括: 第三激光頭輸出第三功率的激光，其中所述第三功率和所述第一功率小于所述第二功率； 所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱。
12.如權(quán)利要求11所述的激光燒結(jié)方法，其特征在于，在所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱的步驟中，具體地使所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭以相同速率沿第一方向移動(dòng)，先后分別對(duì)待燒結(jié)材料的同一區(qū)域進(jìn)行掃描。
13.如權(quán)利要求12所述的激光燒結(jié)方法，其特征在于，在使所述第一激光頭、所述第二激光頭和所述第三激光頭以相同速率沿第一方向移動(dòng)的步驟中，還包括: 調(diào)節(jié)所述第一激光頭、所述第二激光頭和丨或所述第三激光頭的位置，使從所述第二激光頭至所述第一激光頭的方向、以及從所述第三激光頭至所述第二激光頭的方向始終與所述第一方向保持相同。
14.如權(quán)利要求11至13任一項(xiàng)所述的激光燒結(jié)方法，其特征在于，所述第一功率和所述第三功率相較于所述第一功率分別低20-40%。
15.如權(quán)利要求10所述的激光燒結(jié)方法，其特征在于，所述第一激光頭與所述第二激光頭分別對(duì)待燒結(jié)材料上的同一區(qū)域進(jìn)行加熱的步驟中，所述第一激光頭和所述第二激光頭以相同速率同時(shí)移動(dòng)。
【文檔編號(hào)】H01L51/56GK104466033SQ201410777659
【公開日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年12月15日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月15日
【發(fā)明者】肖昂 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司