一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，屬于夾持裝置【技術(shù)領(lǐng)域】。本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，包括長軸，所述長軸外部設置有軸套，所述長軸的上端開有吊掛孔，所述長軸的下端設置有下支撐，所述下支撐上通過銷軸活動設置有多個卡爪，所述卡爪的上端通過銷軸與斜拉桿的下端活動連接，所述斜拉桿的上端通過銷軸與所述軸套活動連接，所述卡爪的下端設置有水平夾持臂，所述水平夾持臂與旋轉(zhuǎn)夾持臂配合連接。本發(fā)明通過一次夾緊晶圓，根據(jù)需要轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)夾持臂，晶圓隨之轉(zhuǎn)動，從而實現(xiàn)很方便地對晶圓作各種檢測以及清洗。
【專利說明】一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，屬于夾持裝置【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]在晶圓加工完畢后，需要通過夾持裝置將完成的晶圓固定，以方便作各種檢測以及清洗，傳統(tǒng)的夾持裝置不能實現(xiàn)一次夾緊就能解決晶圓兩個面的檢測和清洗目的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述技術(shù)問題，克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明提供一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置。
[0004]本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，包括長軸，所述長軸外部設置有軸套，所述長軸的上端開有吊掛孔，所述長軸的下端設置有下支撐，所述下支撐上通過銷軸活動設置有多個卡爪，所述卡爪的上端通過銷軸與斜拉桿的下端活動連接，所述斜拉桿的上端通過銷軸與所述軸套活動連接，所述卡爪的下端設置有水平夾持臂，所述水平夾持臂與旋轉(zhuǎn)夾持臂配合連接。
[0005]更進一步地說，所述下支撐與所述長軸之間設置有鎖緊固定的彈簧墊圈和螺母。
[0006]更進一步地說，所述水平夾持臂上開有凹槽，所述旋轉(zhuǎn)夾持臂靠近水平夾持臂的一側(cè)設置有與所述凹槽配合的凸棱。
[0007]更進一步地說，所述凹槽為兩個互相垂直相交的凹槽。
[0008]更進一步地說，所述卡爪的個數(shù)為2個。
[0009]更進一步地說，所述卡爪上設置有加強支撐桿。
[0010]本發(fā)明所達到的有益效果:通過一次夾緊晶圓，根據(jù)需要轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)夾持臂，晶圓隨之轉(zhuǎn)動，從而實現(xiàn)很方便地對晶圓作各種檢測以及清洗。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖2是本發(fā)明的水平夾持臂上凹槽的一種實施例的示意圖。
[0013]圖3是本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)夾持臂上凸起的一種實施例的示意圖。
[0014]圖中標記的含義:1_長軸，2-軸套，3-吊掛孔，4-下支撐，5-彈簧墊圈，6-彈簧，7-銷軸，8-卡爪，9-加強支撐桿，10-斜拉桿，11-水平夾持臂，12-旋轉(zhuǎn)夾持臂，13-晶圓。

【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而不能以此來限制本發(fā)明的保護范圍。
[0016]如圖1所示的是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明提供一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，包括長軸1，長軸I外部設置有軸套2，長軸I的上端開有吊掛孔3，長軸I的下端設置有下支撐4，下支撐4上通過銷軸7活動設置有多個卡爪8，卡爪8的上端通過銷軸7與斜拉桿10的下端活動連接，斜拉桿10的上端通過銷軸7與軸套2活動連接，卡爪8的下端設置有水平夾持臂11，所述水平夾持臂11與旋轉(zhuǎn)夾持臂12配合連接。
[0017]優(yōu)選地，下支撐4與長軸I之間設置有鎖緊固定的彈簧墊圈5和螺母6。
[0018]優(yōu)選地，卡爪8的個數(shù)為2個。
[0019]優(yōu)選地，卡爪8上設置有加強支撐桿9。
[0020]優(yōu)選地，水平夾持臂11上開有凹槽，旋轉(zhuǎn)夾持臂12靠近水平夾持臂11的一側(cè)設置有與凹槽配合的凸棱。
[0021]優(yōu)選地，凹槽為兩個互相垂直相交的凹槽I如圖2和圖3所示的是互相配合的凹槽和凸棱的一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)夾持臂12，晶圓13隨之轉(zhuǎn)動，從而實現(xiàn)很方便地對晶圓13作各種檢測以及清洗。
[0022]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進和變形，這些改進和變形也應視為本發(fā)明的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，包括長軸，所述長軸外部設置有軸套，所述長軸的上端開有吊掛孔，所述長軸的下端設置有下支撐，所述下支撐上通過銷軸活動設置有多個卡爪，所述卡爪的上端通過銷軸與斜拉桿的下端活動連接，所述斜拉桿的上端通過銷軸與所述軸套活動連接，所述卡爪的下端設置有水平夾持臂，所述水平夾持臂與旋轉(zhuǎn)夾持臂配合連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，所述下支撐與所述長軸之間設置有鎖緊固定的彈簧墊圈和螺母。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，所述水平夾持臂上開有凹槽，所述旋轉(zhuǎn)夾持臂靠近水平夾持臂的一側(cè)設置有與所述凹槽配合的凸棱。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，所述凹槽為兩個互相垂直相交的凹槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，所述卡爪的個數(shù)為2個。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓可旋轉(zhuǎn)的夾持裝置，其特征在于，所述卡爪上設置有加強支撐桿。
【文檔編號】H01L21/687GK104505364SQ201410821519
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月26日
【發(fā)明者】劉思佳 申請人:蘇州凱锝微電子有限公司