一種用于線路板電路成像的激光器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種用于線路板電路成像的激光器，包括泵浦源和諧振腔，諧振腔由全反鏡、全反鏡、全反鏡、輸出鏡、ND:YVO4晶體、Q開(kāi)關(guān)、LBO晶體及標(biāo)準(zhǔn)具組成，光路為“Z”字型光路，泵浦源的光束通過(guò)全反鏡、激光晶體后轉(zhuǎn)換為基頻光，通過(guò)Q開(kāi)關(guān)控制，基頻光經(jīng)倍頻晶體轉(zhuǎn)換為倍頻光由輸出鏡輸出，未被轉(zhuǎn)換的基頻光由輸出鏡全反射到全反鏡，然后再經(jīng)過(guò)全反鏡反射到腔內(nèi)，采用“Z”字型腔內(nèi)倍頻，可提高輸出激光功率，使激光器結(jié)構(gòu)緊湊、獲得優(yōu)異的光束質(zhì)量。
【專利說(shuō)明】一種用于線路板電路成像的激光器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種激光器，具體涉及一種用于線路板電路成像的激光器。
【背景技術(shù)】
[0002]線路板成像領(lǐng)域目前常用的是傳統(tǒng)曝光成像工藝，該工藝的設(shè)備投入成本較大，使用成本較高，而且不易于節(jié)能環(huán)保，為降低設(shè)備投入成本、提高生產(chǎn)效率及實(shí)現(xiàn)節(jié)能環(huán)保，現(xiàn)采用激光成像工藝，激光成像工藝的效果好壞主要取決于激光器的性能，由于線路板電路成像要求很高，因此對(duì)激光器性能的要求也相應(yīng)的很高。而目前市場(chǎng)上可用于線路板電路成像的激光器價(jià)格非常昂貴，其性價(jià)比不高，影響了線路板電路激光成像工藝的推廣。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、激光輸出功率大、穩(wěn)定性好，輸出光斑小光束質(zhì)量好的可用于線路板電路成像的激光器。
[0004]本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:一種用于線路板電路成像的激光器，其包括泵浦源和諧振腔，所述諧振腔包括第一全反鏡、第二全反鏡、第三全反鏡、輸出鏡、激光晶體、Q開(kāi)關(guān)及倍頻晶體，其光路為“Z”字型光路，所述第一全反鏡為平面鏡，第三全反鏡均為平凹型鏡，所述第二全反鏡和輸出鏡均為平凹型鏡片且凹面相對(duì)，全反鏡上有532nm高反1064nm高反鍍膜，輸出鏡上有532nm高透1064nm高反鍍膜，泵浦源的光束通過(guò)第一全反鏡、激光晶體后轉(zhuǎn)換為基頻光由Q開(kāi)關(guān)控制，基頻光經(jīng)倍頻晶體轉(zhuǎn)換為倍頻光由輸出鏡輸出，未被轉(zhuǎn)換的基頻光由輸出鏡全反射到第三全反鏡，所述輸出鏡與第三全反鏡的諧振光路上設(shè)有標(biāo)準(zhǔn)具。
[0005]所述激光晶體為ND: YV04晶體。
[0006]所述倍頻晶體為L(zhǎng)BO晶體。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:采用“Z”字型腔內(nèi)倍頻，可提高輸出激光功率，使激光器結(jié)構(gòu)緊湊、獲得優(yōu)異的光束質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型的光路結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0010]如圖1所示，一種用于線路板電路成像的激光器，其包括泵浦源和諧振腔，所述諧振腔包括第一全反鏡1、第二全反鏡2、第三全反鏡3、輸出鏡4、激光晶體5、Q開(kāi)關(guān)6及倍頻晶體7，其光路為“Z”字型光路，所述第一全反鏡I為平面鏡，第三全反鏡3為平凹型鏡片，所述第二全反鏡2和輸出鏡4均為平凹型鏡片且凹面相對(duì)，全反鏡上有532nm高反1064nm高反鍍膜，輸出鏡4上有532nm高透1064nm高反鍍膜，泵浦源的光束通過(guò)第一全反鏡1、激光晶體5后轉(zhuǎn)換為基頻光由Q開(kāi)關(guān)6控制，基頻光經(jīng)倍頻晶體7轉(zhuǎn)換為倍頻光由輸出鏡4輸出，未被轉(zhuǎn)換的基頻光由輸出鏡4全反射到第三全反鏡3，所述輸出鏡4與第三全反鏡3的諧振光路上設(shè)有標(biāo)準(zhǔn)具8。
[0011]所述第一全反鏡1、第二全反鏡2和第三全反鏡3采用532nm高反1064nm高反鍍膜。采用532nm高反1064高反鍍膜的全反鏡，實(shí)現(xiàn)對(duì)波長(zhǎng)為532nm和1064nm的光束全反
射作用。
[0012]所述激光晶體5為ND: YV04晶體，摻釹釩酸釔(ND: YV04)晶體是一種性能優(yōu)良的激光晶體，適于制造激光二極管泵浦特別是中低功率的激光器。與ND = YAG相比ND:YV04對(duì)泵浦光有較高的吸收系數(shù)和更大的受激發(fā)射截面。激光二極管泵浦的ND:YV04晶體與LBO, BBO, KTP等高非線性系數(shù)的晶體配合使用，能夠達(dá)到較好的倍頻轉(zhuǎn)換效率，可以制成輸出近紅外、綠色、藍(lán)色到紫外線等類型的全固態(tài)激光器?，F(xiàn)在ND:YV04激光器已在機(jī)械、材料加工、波譜學(xué)、晶片檢驗(yàn)、顯示器、醫(yī)學(xué)檢測(cè)、激光印刷、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等多個(gè)領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。而且Nd:YV04 二極管泵浦固態(tài)激光器正在迅速取代傳統(tǒng)的水冷離子激光器和燈泵浦激光器的市場(chǎng)，尤其是在小型化和單縱模輸出方面。
[0013]所述倍頻晶體7為L(zhǎng)BO晶體，LBO, LiB305 (三硼酸鋰)的簡(jiǎn)寫。優(yōu)秀的大功率倍頻晶體，具有寬的透光波段，高的損傷閾值，大的接受角。
[0014]通過(guò)采用ND:YV04晶體和LBO晶體的配合使用，提高激光器的倍頻轉(zhuǎn)換效率。
[0015]所述第三全反鏡3與輸出鏡4之間的諧振光路上設(shè)有標(biāo)準(zhǔn)具8。所述標(biāo)準(zhǔn)具8用來(lái)控制光單向傳輸。
[0016]泵浦源的光束穿過(guò)第一全反鏡1，沿水平方向聚焦射入ND:YV04晶體，通過(guò)ND:YV04晶體將輸入的泵浦光源轉(zhuǎn)換為基頻光，由于第二全反鏡2上鍍的532nm高反1064nm高反鍍膜，第二全反鏡2將基頻光反射到輸出鏡4，在第二全反鏡2和輸出鏡4的諧振光路上分別設(shè)置Q開(kāi)關(guān)6和LBO晶體，通過(guò)Q開(kāi)關(guān)6調(diào)制形成聞峰值功率基頻光，而LBO晶體將輸入的基頻光轉(zhuǎn)換為倍頻光，輸出鏡4上鍍有532nm高透1064nm高反鍍膜，輸出鏡4將倍頻光輸出，并將未轉(zhuǎn)換的基頻光反射到第三全反鏡3，并通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)具8實(shí)現(xiàn)單頻輸出，反射到第三全反鏡3的基頻光通過(guò)第三全反鏡3反射到第一全反鏡I上再返回到諧振腔內(nèi)形成諧振。
[0017]以上結(jié)合附圖所描述的實(shí)施例僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，而并非對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍的限定，任何基于本實(shí)用新型精神所做的改進(jìn)都理應(yīng)在本實(shí)用新型保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于線路板電路成像的激光器，其特征在于:其包括泵浦源和諧振腔，所述諧振腔包括第一全反鏡(I)、第二全反鏡(2)、第三全反鏡(3)、輸出鏡(4)、激光晶體(5)、Q開(kāi)關(guān)(6)及倍頻晶體(7)，其光路為“Z”字型光路，所述第一全反鏡(I)為平鏡，第三全反鏡(3)為平凹型鏡片，所述第二全反鏡(2)和輸出鏡(4)均為平凹型鏡片且凹面相對(duì)，全反鏡上有532nm高反1064nm高反鍍膜，輸出鏡(4)上有532nm高透1064nm高反鍍膜，泵浦源的光束通過(guò)第一全反鏡(I)、激光晶體(5)后轉(zhuǎn)換為基頻光由Q開(kāi)關(guān)(6)控制，基頻光經(jīng)倍頻晶體(7)轉(zhuǎn)換為倍頻光由輸出鏡(4)輸出，未被轉(zhuǎn)換的基頻光由輸出鏡(4)全反射到第三全反鏡(3)，所述輸出鏡(4)與第三全反鏡(3)的諧振光路上設(shè)有標(biāo)準(zhǔn)具(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于線路板電路成像的激光器，其特征在于，所述激光晶體(5)為ND:YV04晶體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于線路板電路成像的激光器，其特征在于，所述倍頻晶體(7)為L(zhǎng)BO晶體。
【文檔編號(hào)】H01S3/109GK203674549SQ201420038079
【公開(kāi)日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2014年1月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月22日
【發(fā)明者】鐘正根, 鄭長(zhǎng)和 申請(qǐng)人:浙江嘉泰激光科技有限公司