晶圓定位起托器的制造方法
【專利摘要】晶圓定位起托器，包括盒體，還包括刻度盤、繞軸、鍥型塊和繩索，刻度盤與繞軸連接在一起，同軸轉(zhuǎn)動(dòng)，繩索一端鎖定在繞軸上，另一端連接在鍥形塊上，所述的鍥形塊、繩索安放在盒體中，刻度盤放置在盒體外，繞軸垂直穿過盒體側(cè)壁。根據(jù)經(jīng)驗(yàn)值在刻度盤上標(biāo)注編號(hào)，通過刻度盤轉(zhuǎn)動(dòng)來托起晶圓。
【專利說明】晶圓定位起托器 所屬【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及晶圓轉(zhuǎn)送過程中使用的輔助裝置，具體地說，涉及一種晶圓定位 起托器?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002] 在晶圓生產(chǎn)制造過程中，操作工根據(jù)檢測(cè)需要，從晶舟盒中抽取指定的晶圓用于 檢測(cè)。晶舟盒上標(biāo)注有編號(hào)，操作工根據(jù)指令抽取在指定的編號(hào)處從晶舟盒中抽取晶圓。編 號(hào)通常印刷在晶舟盒的側(cè)面，由于晶圓的厚度很薄，擺放在晶舟盒中，編號(hào)通常很密集，較 難辨識(shí)。人工抽取過程中，容易抽取到錯(cuò)誤編號(hào)位置的晶圓，造成生產(chǎn)事故。因此需要設(shè)計(jì) 一種方便易識(shí)別的晶圓定位起托器，可以減少錯(cuò)誤。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓定位起托器，定位指定編號(hào)的晶圓并托起。
[0004] 本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：晶圓定位起托器，包括盒體，還 包括刻度盤、繞軸、鍥型塊和繩索，刻度盤與繞軸連接在一起，同軸轉(zhuǎn)動(dòng)，繩索一端鎖定在繞 軸上，另一端連接在鍥形塊上，所述的鍥形塊、繩索安放在盒體中，刻度盤放置在盒體外，繞 軸垂直穿過盒體側(cè)壁。刻度盤的直徑與盒體高度相等。繞軸與刻度盤通過鉚釘連接。
[0005] 本實(shí)用新型的有益效果是，根據(jù)經(jīng)驗(yàn)值在刻度盤上標(biāo)注編號(hào)，通過刻度盤轉(zhuǎn)動(dòng)來 托起晶圓。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006] 下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
[0007] 圖1是晶圓定位起托器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008] 圖中1.盒體，2.刻度盤，3.繞軸，4.繩索，5.鍥形塊。

【具體實(shí)施方式】
[0009] 晶圓定位起托器，包括盒體1，還包括刻度盤2、繞軸3、鍥型塊5和繩索4,刻度盤 2與繞軸3連接在一起，同軸轉(zhuǎn)動(dòng)，繩索4 一端鎖定在繞軸3上，另一端連接在鍥形塊5上， 所述的鍥形塊5、繩索4安放在盒體中，刻度盤2放置在盒體1外，繞軸3垂直穿過盒體1側(cè) 壁?？潭缺P2的直徑與盒體1高度相等。繞軸3與刻度盤2通過鉚釘連接。繩索4可以是 鋼絲繩。
[〇〇1〇] 根據(jù)經(jīng)驗(yàn)值在刻度盤上標(biāo)注編號(hào)，通過刻度盤轉(zhuǎn)動(dòng)來托起晶圓。
【權(quán)利要求】
1. 晶圓定位起托器，包括盒體，其特征是：還包括刻度盤、繞軸、鍥型塊和繩索，刻度盤 與繞軸連接在一起，同軸轉(zhuǎn)動(dòng)，繩索一端鎖定在繞軸上，另一端連接在鍥形塊上，所述的鍥 形塊、繩索安放在盒體中，刻度盤放置在盒體外，繞軸垂直穿過盒體側(cè)壁。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓定位起托器，其特征是：所述刻度盤的直徑與盒體高度 相等。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓定位起托器，其特征是：繞軸與刻度盤通過鉚釘連接。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓定位起托器，其特征是：繩索為鋼絲繩。
【文檔編號(hào)】H01L21/687GK203895424SQ201420223895
【公開日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2014年5月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月5日
【發(fā)明者】房勇 申請(qǐng)人:房勇