撥扣裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型揭示了一種撥扣裝置，所述撥扣裝置包括：用于固定所述撥扣裝置的固定部；可相對所述固定部運動的拉動部，所述拉動部與所述固定部滑動連接；多個撥扣爪，每一所述撥扣爪的一端與所述拉動部連接，所述撥扣爪的另一端設(shè)置有爪頭。本實用新型的撥扣裝置在使用時，將所述固定部與機臺等設(shè)備進行固定，拉動所述拉動部，所述拉動部帶動所述撥扣爪的一端運動，使得所述爪頭相對機臺等設(shè)備運動，觸動所述設(shè)備上的扣針等鎖扣元件，將所述鎖扣元件解扣，僅需一名工程師操作即可完成解扣節(jié)約人力，并可提高操作的可靠性。
【專利說明】撥扣裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及撥扣工具【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種撥扣裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體器件制造自動化進程的加快，越來越多的半導(dǎo)體制造機臺被應(yīng)用到半導(dǎo)體工藝的制程中。
[0003]各機臺在正常工作的時候，首先將晶圓傳送到腔體(chamber)內(nèi)，然后在腔體內(nèi)進行相應(yīng)的工藝，工藝完成后，從腔體中傳出晶圓。但是，一旦機臺出現(xiàn)異常情況而當機，晶圓會停留在腔體中，無法自動傳出腔體，需要設(shè)備工程師手動地打開腔體，取出晶圓。該手動地方法存在很大地風(fēng)險，在取晶圓的過程中容易造成晶圓的破損。
[0004]以濕法刻蝕工藝中用到的刻蝕機臺為例，其腔體包括第一部分(業(yè)界統(tǒng)稱為up-rotor,上轉(zhuǎn)盤)和第二部分(業(yè)界統(tǒng)稱為low_rotor,下轉(zhuǎn)盤)。當進行工藝時，晶圓會放在第一部分和第二部分之間，第一部分和第二部分密封閉合。當機臺當機時，第一部分和第二部分仍處于閉合狀態(tài)，需要手動地將第一部分和第二部分進行分離，從而取出晶圓。
[0005]具體如圖1所示，第二部分上有8個扣針(pin) 11，8個扣針卡11扣在彈性的O型圈(latch 0-ring) 12內(nèi)，從而將第二部分扣合在第一部分上。手動將第一部分和第二部分進行分離時，需要至少兩名工程師同時扣住8個扣針11，使8個扣針卡11與O型圈(latchΟ-ring)解扣，從而使第二部分與第一部分相分離，取出晶圓。然而，一名工程師無法手動扣住8個扣針11，并且，手動操作很容易失誤，會造成破片等問題。
實用新型內(nèi)容
[0006]本實用新型的目的在于，提供一種撥扣裝置，能夠方便的將機臺等設(shè)備進行解扣合，節(jié)約人力，提高操作的可靠性。
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種撥扣裝置，包括:
[0008]用于固定所述撥扣裝置的固定部；
[0009]可相對所述固定部運動的拉動部，所述拉動部與所述固定部滑動連接；
[0010]多個撥扣爪，每一所述撥扣爪的一端與所述拉動部連接，所述撥扣爪的另一端設(shè)置有爪頭。
[0011]可選的，所述撥扣裝置還包括吸盤，所述吸盤連接所述固定部的一端。
[0012]可選的，所述撥扣裝置還包括泄壓閥，所述泄壓閥包括壓力腔、閥芯組件、泄壓軸、用于所述閥芯組件復(fù)位的復(fù)位裝置以及泄壓口，所述閥芯組件和所述復(fù)位裝置分別設(shè)置于所述壓力腔內(nèi)，所述壓力腔的一端與所述吸盤連通，所述泄壓軸的一端與所述閥芯組件相連，所述泄壓軸的另一端從所述壓力腔的另一端伸出，所述泄壓口與所述壓力腔相連通。
[0013]可選的，所述泄壓軸還包括按壓部，所述按壓部位于所述壓力腔外，所述拉動部還包括用于按壓所述按壓部的擋片。
[0014]可選的，所述壓力腔位于所述固定部內(nèi)。[0015]可選的，所述拉動部為棒狀，所述固定部為環(huán)狀，所述固定部嵌套在所述拉動部外。
[0016]可選的，所述拉動部還包括撥扣爪固定部，所述撥扣爪的一端通過所述撥扣爪固定部與所述拉動部連接。
[0017]可選的，所述拉動部包括一拉動長度調(diào)節(jié)部。
[0018]可選的，所述撥扣裝置還包括多個連動元件，每一所述連動元件對應(yīng)一個所述撥扣爪；
[0019]所述固定部上具有多個第一連接區(qū)，每一所述連動元件的一端連接一個所述第一連接區(qū)；
[0020]每一所述撥扣爪具有一第二連接區(qū)，所述連動元件的另一端連接所述第二連接區(qū)。
[0021]可選的，所述第一連接區(qū)為多個選擇連接點，所述第二連接區(qū)為滑動連接機構(gòu)；或所述第二連接區(qū)為多個選擇連接點，所述第一連接區(qū)為滑動連接機構(gòu)。
[0022]可選的，所述連動元件包括一連動長度調(diào)節(jié)部。
[0023]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的撥扣裝置具有以下優(yōu)點:
[0024]在本實用新型提供的撥扣裝置中，該撥扣裝置包括固定部、拉動部以及多個撥扣爪，所述固定部用于將所述撥扣裝置與機臺等設(shè)備進行固定，所述拉動部可相對所述固定部滑動，每一所述撥扣爪的一端與所述拉動部連接，所述撥扣爪的另一端設(shè)置有爪頭，與現(xiàn)有技術(shù)相比，該撥扣裝置在使用時，將所述固定部與機臺等設(shè)備進行固定，拉動所述拉動部，所述拉動部帶動所述撥扣爪的一端運動，使得所述爪頭相對機臺等設(shè)備運動，觸動所述設(shè)備上的扣針等鎖扣元件，將所述鎖扣元件解扣，僅需一名工程師操作即可完成解扣節(jié)約人力，并提高操作的可靠性。
[0025]另外，所述撥扣裝置還包括吸盤，所述吸盤連接所述固定部的一端，通過所述吸盤將所述固定部固定在所述設(shè)備上，提高操作地穩(wěn)定性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中腔體扣合結(jié)構(gòu)的示意圖；
[0027]圖2為本實用新型第一實施例中撥扣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖3為本實用新型第一實施例中撥扣裝置應(yīng)用時的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖4為本實用新型第二實施例中撥扣裝置的示意圖。
【具體實施方式】
[0030]下面將結(jié)合示意圖對本實用新型的撥扣裝置進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。
[0031]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應(yīng)當認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須做出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當認為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0032]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0033]本實用新型的核心思想在于，提供一種撥扣裝置，包括:用于固定所述撥扣裝置的固定部；可相對所述固定部運動的拉動部，所述拉動部與所述固定部滑動連接；多個撥扣爪，每一所述撥扣爪的一端與所述拉動部連接，所述撥扣爪的另一端設(shè)置有爪頭。該撥扣裝置在使用時，將所述固定部與機臺等設(shè)備進行固定，拉動所述拉動部，所述拉動部帶動所述撥扣爪的一端運動，使得所述爪頭相對機臺等設(shè)備運動，觸動所述設(shè)備上的扣針等鎖扣元件，將所述鎖扣元件解扣，僅需一名工程師操作即可完成解扣節(jié)約人力，并提高操作的可靠性。
[0034]以下列舉所述集成電路中撥扣裝置的幾個實施例，以清楚說明本實用新型的內(nèi)容，應(yīng)當明確的是，本實用新型的內(nèi)容并不限制于以下實施例，其他通過本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的常規(guī)技術(shù)手段的改進亦在本實用新型的思想范圍之內(nèi)。
[0035]【第一實施例】
[0036]在本實施例中，所述撥扣裝置用于刻蝕機臺例如Semitool的raider刻蝕機臺的第一部分和第二部分解扣。以下請參考圖2-圖3詳細說明該撥扣裝置。其中，圖2為本實用新型第一實施例中撥扣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為本實用新型第一實施例中撥扣裝置應(yīng)用時的結(jié)構(gòu)示意圖。所述 第一連接區(qū)為多個選擇連接點，所述第二連接區(qū)為滑動連接機構(gòu)。
[0037]如圖2所示，所述撥扣裝置I包括固定部110、拉動部120以及多個撥扣爪130。所述固定部Iio用于將所述撥扣裝置I與所述第二部分進行固定，所述拉動部120可相對所述固定部110滑動，每一所述撥扣爪130的一端與所述拉動部120連接，所述撥扣爪130的另一端設(shè)置有爪頭131，所述爪頭131用于撥動扣針(pin)等鎖扣元件。在本實施例中，刻蝕機臺的第二部分具有8個pin，所以，所述撥扣裝置I相對應(yīng)的包括8個撥扣爪130。當所述撥扣裝置I用于其他設(shè)備的解扣時，可以根據(jù)具體的需要設(shè)置所述撥扣爪130的數(shù)量，在此不做具體限制。
[0038]在本實施例中，所述拉動部120為棒狀,所述固定部110為環(huán)狀,所述固定部110嵌套在所述拉動部120外，如圖2所示。其中，所述拉動部120可以為圓柱棒，所述固定部110為圓環(huán)狀，可以方便地使所述拉動部120滑動，此外，所述拉動部120還可以為方柱棒，所述固定部110為方環(huán)狀等。另外，所述拉動部120并不限于為棒狀，所述固定部110并不限于為環(huán)狀，所述固定部110還可以為棒狀，所述拉動部120為所述固定部110上的一個滑塊，也可以使所述拉動部120相對所述固定部110滑動，亦在本實用新型的思想范圍之內(nèi)。
[0039]為了調(diào)節(jié)所述拉動部120的長度，所述拉動部120優(yōu)選包括一拉動長度調(diào)節(jié)部121，從而使得所述撥扣裝置I適用于多種型號的機臺的解扣。所述拉動長度調(diào)節(jié)部121可以為螺旋桿結(jié)構(gòu)、抽拉桿結(jié)構(gòu)等等，具體不做限制。
[0040]可選的，所述拉動部120還包括撥扣爪固定部122，所述撥扣爪130的一端通過所述撥扣爪固定部122與所述拉動部120連接，可以提高所述撥扣爪130與所述拉動部120的牢固度。由于本實施例中的所述拉動部120為棒狀，所述述拉動部120可以為嵌套在所述拉動部120外的環(huán)。
[0041]可選的,所述撥扣裝置I還包括多個連動元件140,每一所述連動元件140對應(yīng)一個所述撥扣爪130，所述連動元件140有利于對所述撥扣爪130加以固定。所述固定部110上具有多個第一連接區(qū)111，每一所述連動元件140的一端連接一個所述第一連接區(qū)111 ;每一所述撥扣爪130具有一第二連接區(qū)132，所述連動元件140的另一端連接所述第二連接區(qū) 132。
[0042]在本實施例中，所述第一連接區(qū)111為多個選擇連接點，所述連動元件140可以選擇與任意一個所述選擇連接點連接，有利于增加所述撥扣爪130的活動范圍；所述第二連接區(qū)132為滑動連接機構(gòu)，所述連動元件140可以在所述滑動連接機構(gòu)上進行滑動，有利于增加所述撥扣爪130的活動范圍。
[0043]為了調(diào)節(jié)所述連動元件140的長度，所述連動元件140包括還可以連動長度調(diào)節(jié)部，從而使得所述撥扣裝置I適用于多種型號的機臺的解扣。所述連動長度調(diào)節(jié)部可以為螺旋桿結(jié)構(gòu)、抽拉桿結(jié)構(gòu)等等，具體不做限制。根據(jù)本實用新型的上述描述，所述連動長度調(diào)節(jié)部為本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解的，在圖2中未具體示出。
[0044]可選的，在本實施例中，所述撥扣裝置I還可以包括吸盤150，所述吸盤150連接所述固定部Iio的一端，通過所述吸盤150將所述固定部110固定在所述設(shè)備上，提高操作地穩(wěn)定性。但是，所述撥扣裝置I并不限于通過所述吸盤150固定在所述設(shè)備上，還可以將工程師的手按住所述固定部110，以固定在所述設(shè)備上。 [0045]可選的，所述撥扣裝置I還包括泄壓閥160，所述泄壓閥160包括壓力腔163、閥芯組件161、泄壓軸162、用于所述閥芯組件161復(fù)位的復(fù)位裝置164以及泄壓口 165，所述閥芯組件161和所述復(fù)位裝置164分別設(shè)置于所述壓力腔163內(nèi)。所述壓力腔163的一端與所述吸盤150連通，用于對所述吸盤150泄壓。所述泄壓軸162的一端與所述閥芯組件161相連，所述泄壓軸162的另一端從所述壓力腔163的另一端伸出，所述泄壓口 165與所述壓力腔163相連通。較佳的，所述壓力腔163位于所述固定部110內(nèi)，可以節(jié)約所述撥扣裝置I的體積。
[0046]可選的，所述泄壓軸162還包括按壓部166，所述按壓部166位于所述壓力腔163外，所述拉動部120還包括用于按壓所述按壓部166的擋片123，所述擋片123按壓所述按壓部166，以對所述吸盤150自動泄壓。
[0047]在本實施例中，所述撥扣裝置I在使用時，將所述吸盤150吸在所述第二部分上，以將所述固定部110與所述第二部分進行固定。拉動所述拉動部120，所述拉動部120帶動所述撥扣爪130的一端運動，使得所述爪頭131向內(nèi)撥動，如圖3所示，所述爪頭131撥動所述第二部件上的8個pin，使得pin與O型圈解扣，所述第二部分與第一部分相分離，取出晶圓。從而僅需一名工程師操作即可完成解扣，節(jié)約人力，并提高操作的可靠性。
[0048]【第二實施例】
[0049]以下請參考圖4，圖4為本實用新型第二實施例中撥扣裝置的示意圖。在圖中，相同的參考標號表不等同于圖2-圖3中的標號。第二實施例在第一實施例的基礎(chǔ)上，區(qū)別在于，所述第二連接區(qū)132為多個選擇連接點，所述第一連接區(qū)211為滑動連接機構(gòu)。所述第一連接區(qū)211為多個選擇連接點，所述連動元件140可以選擇與任意一個所述選擇連接點連接，有利于增加所述撥扣爪130的活動范圍；所述第二連接區(qū)132為滑動連接機構(gòu)，所述連動元件140可以在所述滑動連接機構(gòu)上進行滑動，有利于增加所述撥扣爪130的活動范圍。
[0050]在本實施例中，所述撥扣裝置2在使用時，將所述吸盤150吸在所述第二部分上，以將所述固定部110與所述第二部分進行固定。拉動所述拉動部120，所述拉動部120帶動所述撥扣爪130的一端運動，使得所述爪頭131向外撥動，如圖3所示，所述爪頭131撥動所述第二部件上的8個pin，使得pin與O型圈解扣，所述第二部分與第一部分相分離，取出晶圓。從而僅需一名工程師操作即可完成解扣，節(jié)約人力，并提高操作的可靠性。
[0051]本實用新型的較佳實施例如上所述，但是，本實用新型的撥扣裝置并不限于用于Semitool的raider刻蝕機臺的第一部分和第二部分解扣，只要是需要通過撥動解扣的裝置，亦可用過本實用新型的撥扣裝置進行解扣；另外，所述第一連接區(qū)和所述第二連接區(qū)還可以分別為多個選擇連接點，或分別為滑動連接機構(gòu)等。
[0052]綜上所述，本實用新型提供一種撥扣裝置，該撥扣裝置包括固定部、拉動部以及多個撥扣爪，所述固定部用于將所述撥扣裝置與機臺等設(shè)備進行固定，所述拉動部可相對所述固定部滑動，每一所述撥扣爪的一端與所述拉動部連接，所述撥扣爪的另一端設(shè)置有爪頭。該撥扣裝置在使用時，將所述固定部與機臺等設(shè)備進行固定，拉動所述拉動部，所述拉動部帶動所述撥扣爪的一端運動，使得所述爪頭相對機臺等設(shè)備運動，觸動所述設(shè)備上的扣針等鎖扣元件，將所述鎖扣元件解扣，僅需一名工程師操作即可完成解扣節(jié)約人力，并提高操作的可靠性。此外，所述撥扣裝置還包括吸盤，所述吸盤連接所述固定部的一端，通過所述吸盤將所述固定部固定在所述設(shè)備上，提高操作地穩(wěn)定性。
[0053]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種撥扣裝置，其特征在于，包括: 固定部； 拉動部，所述拉動部與所述固定部滑動連接；以及 多個撥扣爪，每一所述撥扣爪的一端與所述拉動部連接，所述撥扣爪的另一端設(shè)置有爪頭。
2.如權(quán)利要求1所述的撥扣裝置，其特征在于，所述撥扣裝置還包括吸盤，所述吸盤連接所述固定部的一端。
3.如權(quán)利要求2所述的撥扣裝置，其特征在于，所述撥扣裝置還包括泄壓閥，所述泄壓閥包括壓力腔、閥芯組件、泄壓軸、用于所述閥芯組件復(fù)位的復(fù)位裝置以及泄壓口，所述閥芯組件和所述復(fù)位裝置分別設(shè)置于所述壓力腔內(nèi)，所述壓力腔的一端與所述吸盤連通，所述泄壓軸的一端與所述閥芯組件相連，所述泄壓軸的另一端從所述壓力腔的另一端伸出，所述泄壓口與所述壓力腔相連通。
4.如權(quán)利要求3所述的撥扣裝置，其特征在于，所述泄壓軸還包括按壓部，所述按壓部位于所述壓力腔外，所述拉動部還包括用于按壓所述按壓部的擋片。
5.如權(quán)利要求3所述的撥扣裝置，其特征在于，所述壓力腔位于所述固定部內(nèi)。
6.如權(quán)利要求1所述的撥扣裝置，其特征在于，所述拉動部的形狀為棒狀，所述固定部的形狀為環(huán)狀，所述固定部嵌套在所述拉動部外。
7.如權(quán)利要求1所述的撥扣裝置，其特征在于，所述拉動部還包括撥扣爪固定部，所述撥扣爪的一端通過所述撥扣爪固定部與所述拉動部連接。
8.如權(quán)利要求1所述的撥扣裝置，其特征在于，所述拉動部包括一拉動長度調(diào)節(jié)部。
9.如權(quán)利要求1至8中任意一項所述的撥扣裝置，其特征在于，所述撥扣裝置還包括多個連動元件，每一所述連動元件對應(yīng)一個所述撥扣爪； 所述固定部上具有多個第一連接區(qū)，每一所述連動元件的一端連接一個所述第一連接區(qū)； 每一所述撥扣爪具有一第二連接區(qū)，所述連動元件的另一端連接所述第二連接區(qū)。
10.如權(quán)利要求9所述的撥扣裝置，其特征在于，所述第一連接區(qū)為多個選擇連接點，所述第二連接區(qū)為滑動連接機構(gòu)；或所述第二連接區(qū)為多個選擇連接點，所述第一連接區(qū)為滑動連接機構(gòu)。
11.如權(quán)利要求9所述的撥扣裝置，其特征在于，所述連動元件包括一連動長度調(diào)節(jié)部。
【文檔編號】H01L21/67GK203812858SQ201420234763
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2014年5月8日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月8日
【發(fā)明者】吳遠征, 曹效鋮, 李廣寧 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司