Oled器件制造設(shè)備的制作方法
【專(zhuān)利摘要】OLED器件制造設(shè)備，屬于有機(jī)光電子產(chǎn)業(yè)【技術(shù)領(lǐng)域】，為解決OLED中的有機(jī)材料和金屬電極對(duì)水、氧敏感性和各部分單一制備的問(wèn)題，該設(shè)備中過(guò)度單元通過(guò)閘板伐連通手套箱和裝片單元，裝片單元再通過(guò)閘板伐傳入樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元，樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元前后左右，各有連接口，分別通過(guò)閘板伐連接到器件制備單元、磁控濺射單元和電子束單元；解決了OLED器件從玻璃樣品進(jìn)入，在真空狀態(tài)下，直接出產(chǎn)成品的過(guò)程，該設(shè)備采用“團(tuán)簇式”結(jié)構(gòu)，不但節(jié)約了空間，而且通過(guò)傳遞交換室使磁控濺射單元、器件蒸發(fā)單元、電子束單元和封裝單元更好的結(jié)合到了一起，真正實(shí)現(xiàn)了全真空無(wú)相互污染的OLED生產(chǎn)技術(shù)，而“團(tuán)簇式”結(jié)構(gòu)也利于設(shè)備檢修和維護(hù)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】OLED器件制造設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種OLED器件制造集成化設(shè)備，屬于有機(jī)光電子產(chǎn)業(yè)【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，OLED(有機(jī)發(fā)光二極管)的效率已經(jīng)達(dá)到照明要求，現(xiàn)在迫切需要解決壽命問(wèn)題。由于OLED中的有機(jī)材料和金屬電極對(duì)空氣中的水、氧極度敏感，在器件制備和工作過(guò)程中，空氣中的氧氣和濕氣很容易使有機(jī)材料的光化學(xué)和電化學(xué)穩(wěn)定性變差，造成熒光淬滅，大大影響其穩(wěn)定性。同時(shí)，其金屬電極也很容易與空氣中的水和氧反應(yīng)，破壞電極的功能性，降低器件的使用壽命。因此OLED器件制造設(shè)備對(duì)保證器件穩(wěn)定性和壽命就顯得十分重要。OLED的制造工藝過(guò)程通常包括內(nèi)耦合層和ITO導(dǎo)電電極的制備、ITO導(dǎo)電電極的等離子體處理、OLED器件的有機(jī)和金屬電極的蒸鍍、OLED器件的封裝，目前通常的OLED器件制造設(shè)備基本還都是獨(dú)立單元，在無(wú)法保證器件效率和穩(wěn)定性的同時(shí)，也無(wú)法滿(mǎn)足OLED器件生產(chǎn)的連續(xù)性要求和性能優(yōu)化。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]為解決OLED中的有機(jī)材料和金屬電極對(duì)水、氧敏感性和各部分單一制備的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了可以連續(xù)的進(jìn)行OLED的光提取膜和無(wú)機(jī)封裝膜的電子束鍍膜、ITO磁控濺射鍍膜、ITO氧等離子體處理、OLED有機(jī)層和金屬電極鍍膜和封裝手套箱的集成化設(shè)備。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0005]OLED器件制造設(shè)備，其特征是，該設(shè)備中過(guò)度單元通過(guò)閘板伐連通手套箱和裝片單元，裝片單元再通過(guò)閘板伐傳入樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元，樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元前后左右，各有連接口，分別通過(guò)閘板伐連接到器件制備單元、磁控濺射單元和電子束單元。
[0006]清洗過(guò)的玻璃樣片，通過(guò)惰性氣體手套箱裝入過(guò)度單元；打開(kāi)閘板伐聯(lián)通過(guò)度單元和裝片單元，通過(guò)齒輪架穿過(guò)閘板伐傳入裝片單元；完成交接關(guān)閉閘板伐，然后打開(kāi)閘板伐，打開(kāi)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元內(nèi)的真空機(jī)械手通過(guò)閘板伐伸入裝片單元把玻璃樣片拖回到樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元中；打開(kāi)閘板伐通過(guò)真空機(jī)械手將玻璃樣片送入電子束單元，無(wú)機(jī)內(nèi)耦合薄膜完成后，打開(kāi)閘板伐通過(guò)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元內(nèi)的真空機(jī)械手將玻璃樣片送入磁控濺射單元，ITO薄膜完成后，再通過(guò)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元內(nèi)的真空機(jī)械手穿過(guò)閘板伐將玻璃樣片送入到裝片單元，進(jìn)行等離子體處理；之后再通過(guò)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元內(nèi)的真空機(jī)械手穿過(guò)閘板伐將玻璃樣片送入到器件制備單元，器件制備完畢后再通過(guò)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元內(nèi)的真空機(jī)械手穿過(guò)閘板伐、閘板伐將器件送入裝片單元，并通過(guò)齒輪架穿過(guò)閘板伐進(jìn)入過(guò)度單元送入惰性氣體手套箱進(jìn)行封裝。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:解決了 OLED器件從玻璃樣品進(jìn)入，在真空狀態(tài)下，直接出產(chǎn)成品的過(guò)程，該設(shè)備采用“團(tuán)簇式”結(jié)構(gòu)，不但節(jié)約了空間，而且通過(guò)傳遞交換室使磁控濺射單元、器件蒸發(fā)單元、電子束單元和封裝單元更好的結(jié)合到了一起，真正實(shí)現(xiàn)了全真空無(wú)相互污染的OLED生產(chǎn)技術(shù)，而“團(tuán)簇式”結(jié)構(gòu)也利于設(shè)備檢修和維護(hù)。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1:本實(shí)用新型OLED器件制造設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0010]如圖1所示，本實(shí)用新型OLED器件制造設(shè)備，該設(shè)備中過(guò)度單元I通過(guò)閘板伐7連通手套箱8和裝片單元2 (也是等離子體處理單元)，裝片單元2再通過(guò)閘板伐7-1傳入樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元3、樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元3前后左右，各有連接口。樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元3分別通過(guò)閘板伐7-2連接到器件制備單元4、7-3連接到磁控濺射單元5、7-4連接到電子束單兀6。
[0011 ] 清洗過(guò)的玻璃樣片，通過(guò)惰性氣體手套箱8裝入過(guò)度單元I。打開(kāi)閘板伐7聯(lián)通過(guò)度單元I和裝片單元2，通過(guò)齒輪架穿過(guò)閘板伐7傳入裝片單元2。完成交接關(guān)閉閘板伐7，然后打開(kāi)閘板伐7-1，打開(kāi)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元3內(nèi)的真空機(jī)械手通過(guò)閘板伐7-1伸入裝片單元2把玻璃樣片拖回到樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元3中。打開(kāi)閘板伐7-4通過(guò)真空機(jī)械手將玻璃樣片送入電子束單元6，無(wú)機(jī)藕合模完成后，打開(kāi)閘板伐7-3通過(guò)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元3內(nèi)的真空機(jī)械手將玻璃樣片送入磁控濺射單元5，ITO薄膜完成后，再通過(guò)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元3內(nèi)的真空機(jī)械手穿過(guò)閘板伐7-2將玻璃樣片送入到器件制備單元4，器件制備完畢后，通過(guò)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元3內(nèi)的真空機(jī)械手穿過(guò)閘板伐7-4、閘板伐7-1送入裝片單元2，通過(guò)齒輪架穿過(guò)閘板伐7進(jìn)入過(guò)度單元I送入惰性氣體手套箱8進(jìn)行封裝。封裝結(jié)束后成品完成。
[0012]采用韓國(guó)DASA的DTR3-2205T型機(jī)械臂，X、Y和Z軸的最大工作移動(dòng)范圍分別為200mm、200mm和50mm，X和Y軸的工作移動(dòng)速度在5-500mm/sec范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，Z軸的工作移動(dòng)速度在2.5-250mm/sec范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，X、Y和Z軸的往返精度為0.01mm。
【權(quán)利要求】
1.0LED器件制造設(shè)備，其特征是，該設(shè)備中過(guò)度單元(I)通過(guò)閘板伐(7)連通手套箱(8)和裝片單元(2)，裝片單元(2)再通過(guò)閘板伐(7-1)傳入樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元(3)、樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元(3)前后左右，各有連接口 ；樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元(3)分別通過(guò)閘板伐連接到器件制備單元(4)、磁控濺射單元(5)、閘板伐(7-4)和電子束單元(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED器件制造設(shè)備，其特征在于，清洗過(guò)的玻璃樣片通過(guò)惰性氣體手套箱(8)裝入過(guò)度單元(I);打開(kāi)閘板伐(7)聯(lián)通過(guò)度單元(I)和裝片單元(2)，通過(guò)齒輪架穿過(guò)閘板伐(7)將玻璃樣片傳入裝片單元(2);完成交接后關(guān)閉閘板伐(7)，然后打開(kāi)閘板伐(7-1)，打開(kāi)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元(3)內(nèi)的真空機(jī)械手通過(guò)閘板伐(7-1)伸入裝片單元(2)把玻璃樣片拖回到樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元(3)中；打開(kāi)閘板伐(7-4)通過(guò)真空機(jī)械手將玻璃樣片送入電子束單元出)，無(wú)機(jī)內(nèi)耦合薄膜完成后，打開(kāi)閘板伐(7-3)通過(guò)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元(3)內(nèi)的真空機(jī)械手將玻璃樣片送入磁控濺射單元(5)，ITO薄膜完成后，再通過(guò)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元(3)內(nèi)的真空機(jī)械手穿過(guò)閘板伐(7-2)將玻璃樣片送入到裝片單元(2)，進(jìn)行等離子體處理；之后再通過(guò)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元(3)內(nèi)的真空機(jī)械手穿過(guò)閘板伐將玻璃樣片送入到器件制備單元(4)，器件制備完畢后再通過(guò)樣片傳遞轉(zhuǎn)換單元(3)內(nèi)的真空機(jī)械手穿過(guò)閘板伐(7-4)、閘板伐(7-1)將器件送入裝片單元(2)，并通過(guò)齒輪架穿過(guò)閘板伐(7)進(jìn)入過(guò)度單元(I)送入惰性氣體手套箱(8)進(jìn)行封裝。
【文檔編號(hào)】H01L51/56GK203941951SQ201420243831
【公開(kāi)日】2014年11月12日 申請(qǐng)日期:2014年5月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月13日
【發(fā)明者】馬東閣, 錢(qián)進(jìn), 劉一鵬 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春應(yīng)用化學(xué)研究所