一種平板清洗支架的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種平板清洗支架，包括支架本體，所述支架本體具有相對(duì)于水平面呈傾斜狀態(tài)的平板支撐面，所述平板支撐面上設(shè)置有至少四個(gè)凸出于所述平板支撐面的支撐凸點(diǎn)，所述至少四個(gè)支撐凸點(diǎn)遠(yuǎn)離所述平板支撐面的一端位于同一平面上；將平板支撐面設(shè)置成傾斜面能夠有效的節(jié)省平板清洗支架占用的空間；支架本體通過(guò)支撐凸點(diǎn)與平板接觸，減少了平板與平板支撐面的接觸面積，最大限度的避免了平板清洗支架與平板接觸時(shí)對(duì)平板造成的污染；設(shè)置有能夠使平板垂直于水平面放置的卡槽，使得能夠?qū)ζ桨鍍蓚?cè)面同時(shí)進(jìn)行沖洗、吹干操作；另外本實(shí)用新型所述的平板清洗支架結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、拆卸方便適用于多種工作場(chǎng)合。
【專利說(shuō)明】一種平板清洗支架

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備加工【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種平板清洗支架。

【背景技術(shù)】
[0002]玻璃掩膜以及層壓機(jī)鏡面鋼板在加工過(guò)程中都需要進(jìn)行清洗。如圖1所示，公開(kāi)了一種用于放置玻璃基片的清洗支架。清洗支架包括:支架本體10 ;支架板20，支架板20為多個(gè)，各支架板20分別間隔設(shè)置在支架本體10上，相鄰的兩個(gè)支架板20上對(duì)應(yīng)設(shè)置有用于放置玻璃基片的多個(gè)V型槽；提取桿30，提取桿30與支架本體10或支架板20固定連接。
[0003]上述清洗支架結(jié)構(gòu)輕巧，比較適用于清洗尺寸較小的產(chǎn)品，但是隨著玻璃掩膜以及壓縮機(jī)鏡面鋼板的尺寸增大，上述清洗支架不再適用。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)大尺寸玻璃掩膜以及壓縮機(jī)鏡面鋼板進(jìn)行清洗需要采用大型的清洗設(shè)備。大型清洗設(shè)備在大型企業(yè)中能夠得到很好的應(yīng)用。但是因?yàn)榇笮颓逑丛O(shè)備購(gòu)買成本高、占用空間大而且不經(jīng)常使用、使用頻率低，在研發(fā)單位以及實(shí)驗(yàn)室中使用會(huì)造成很大的浪費(fèi)。因此急需提供一種適用于相對(duì)狹小的空間、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、占用空間小、操作方便且能夠清洗大尺寸玻璃掩膜以及壓縮機(jī)鏡面鋼板的清洗裝置。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于:提供一種平板清洗支架，使平板在其上傾斜設(shè)置，能夠節(jié)省空間，適用于實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)中心等場(chǎng)合使用。
[0006]本實(shí)用新型的另一個(gè)目的在于:提供一種平板清洗支架，其具有能夠使平板豎直安裝的卡槽，使得平板可豎直安裝同時(shí)對(duì)平板兩側(cè)面進(jìn)行沖洗、吹干操作。
[0007]本實(shí)用新型的再一個(gè)目的在于:提供一種平板清洗支架，其在平板支撐面上設(shè)置有支撐凸點(diǎn)，減少平面與平板清洗支架的接觸面積，減少平板清洗支架對(duì)平板的污染。
[0008]為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
[0009]一種平板清洗支架，包括支架本體，所述支架本體具有相對(duì)于水平面呈傾斜狀態(tài)的平板支撐面，所述平板支撐面上設(shè)置有至少四個(gè)凸出于所述平板支撐面的支撐凸點(diǎn)，所述至少四個(gè)支撐凸點(diǎn)遠(yuǎn)離所述平板支撐面的一端位于同一平面上。
[0010]將用于支撐平板的平板支撐面設(shè)置為傾斜結(jié)構(gòu)能夠有效的減少支架本體所占用的面積，手動(dòng)清洗過(guò)程中便于操作；通過(guò)支撐凸點(diǎn)對(duì)平板進(jìn)行支撐能夠?qū)⑵桨迮c支撐面的接觸面積降到最小，減少接觸位置能夠盡量避免平板清洗支架對(duì)平板的污染。
[0011]作為平板清洗支架的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述支架本體包括相互平行的第一側(cè)板以及第二側(cè)板，所述第一側(cè)板與所述第二側(cè)板上分別具有一條傾斜邊，兩所述傾斜邊位于同一平面內(nèi)，兩所述傾斜邊形成所述平板支撐面。
[0012]支架本體的主體由相互平行的第一側(cè)板以及第二側(cè)板構(gòu)成，該結(jié)構(gòu)能夠節(jié)省平板清洗支架制造原材料，并保證支架本體的剛性，在第一側(cè)板以及第二側(cè)板上加工傾斜面即可形成用于支撐平板的平板支撐面，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定性強(qiáng)。
[0013]作為平板清洗支架的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述平板支撐面上的支撐凸點(diǎn)為四個(gè)，分別設(shè)置在兩條傾斜邊上靠近兩端部的位置。
[0014]優(yōu)選的，所述支撐凸點(diǎn)與對(duì)應(yīng)的側(cè)板為一體式結(jié)構(gòu)，所述支撐凸點(diǎn)為在對(duì)應(yīng)側(cè)板的傾斜邊上向遠(yuǎn)離所述平板支撐面方向延伸的凸起。
[0015]進(jìn)一步的，所述支撐凸點(diǎn)沿其延伸方向橫截面積逐漸減小。
[0016]支撐凸點(diǎn)與第一側(cè)板以及第二側(cè)板為一體式結(jié)構(gòu)能夠保證支撐凸點(diǎn)與相應(yīng)側(cè)板的連接可靠，支撐凸點(diǎn)沿其延伸方向橫截面積逐漸減小能夠在保證支撐凸點(diǎn)剛性的同時(shí)減小支撐凸點(diǎn)與平板的接觸面積。
[0017]作為平板清洗支架的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述第一側(cè)板以及第二側(cè)板上位于所述傾斜邊的兩端分別設(shè)置有兩平臺(tái)，位于所述傾斜邊較低端的平臺(tái)的水平高度高于所述傾斜邊最低點(diǎn)的水平高度。
[0018]傾斜邊較低端的平臺(tái)的水平高度高于所述傾斜邊最低點(diǎn)的水平高度使得所述傾斜邊較低端的平臺(tái)與所述傾斜邊的連接處形成一臺(tái)階結(jié)構(gòu)，平板的最低端抵靠在該臺(tái)階結(jié)構(gòu)的側(cè)邊處能夠防止平板下滑，與支撐凸點(diǎn)一起完成對(duì)所述平板的支撐。
[0019]作為平板清洗支架的一種優(yōu)選技術(shù)方案，靠近所述相對(duì)于水平面呈傾斜狀態(tài)的平板支撐面的較低端位置設(shè)置有垂直于水平面的平板插槽，所述平板插槽位于所述平板支撐面的較低端與所述位于所述傾斜邊較低端的平臺(tái)之間。
[0020]垂直于水平面的平板插槽用于將平板插入其中對(duì)所述平板的正反兩面進(jìn)行沖洗吹干操作。
[0021]作為平板清洗支架的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述第一側(cè)板與所述第二側(cè)板相背的側(cè)面上均設(shè)置有至少一個(gè)用于限制平板橫向移動(dòng)的側(cè)擋塊；位于兩側(cè)板上的所述側(cè)擋塊數(shù)量相同或不同，當(dāng)位于所述兩側(cè)板上的所述側(cè)擋塊數(shù)量相同時(shí)位于兩側(cè)板上的側(cè)擋塊相互對(duì)稱設(shè)置或非對(duì)稱設(shè)置。
[0022]所述第一側(cè)板與所述第二側(cè)板具有相向的側(cè)面以及相背的側(cè)面，側(cè)擋塊設(shè)置在相背的側(cè)面上使得所述平板放置在平板支撐面上時(shí)側(cè)擋塊位于平板兩側(cè)限制所述平板的橫向移動(dòng)。
[0023]所述側(cè)擋塊至少在每塊側(cè)板上設(shè)置一個(gè)，具體數(shù)量可根據(jù)平板的尺寸確定，且兩塊側(cè)板上側(cè)擋塊的數(shù)量可以不同，只要可實(shí)現(xiàn)對(duì)平板的限位即可。
[0024]優(yōu)選的，所述側(cè)擋塊設(shè)置為可在側(cè)板上滑動(dòng)的結(jié)構(gòu)，可根據(jù)平板的尺寸調(diào)整側(cè)擋塊的位置，使得側(cè)擋塊始終作用在平板的中部位置，保證對(duì)平板的限位可靠。
[0025]作為平板清洗支架的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述第一側(cè)板與所述第二側(cè)板通過(guò)支撐板進(jìn)行連接，所述第一側(cè)板、所述第二側(cè)板以及所述支撐板上設(shè)置有相互配合的卡槽，所述第一側(cè)板與所述支撐板以及所述第二側(cè)板與所述支撐板分別通過(guò)所述卡槽卡接。
[0026]優(yōu)選的，所述卡槽為矩形槽，所述支撐板上的卡槽深度為所述支撐板的寬度的一半，所述第一側(cè)板以及所述第二側(cè)板上的卡槽深度均與所述支撐板設(shè)置有卡槽的位置剩余的寬度相同，或，所述第一側(cè)板以及所述第二側(cè)板上的卡槽深度小于所述支撐板設(shè)置有卡槽的位置剩余的寬度。
[0027]作為平板清洗支架的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述支撐板包括位于所述支架本體底部的下支撐板以及位于所述支架本體上部位置且遠(yuǎn)離所述支撐平面的一側(cè)的背支撐板。
[0028]作為平板清洗支架的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述下支撐板為兩塊，兩塊所述下支撐板相互平行設(shè)置，所述背支撐板通過(guò)背支撐板固定塊固定在側(cè)板上。
[0029]作為平板清洗支架的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述第一側(cè)板以及所述第二側(cè)板上均固定設(shè)置有背支撐板固定塊，所述背支撐板通過(guò)螺栓與所述背支撐板固定塊固定連接。
[0030]優(yōu)選的，所述背支撐板固定塊成L型結(jié)構(gòu)，其一側(cè)邊通過(guò)焊接的方式與相應(yīng)的側(cè)板固定連接，另一側(cè)邊上設(shè)置有通孔，在所述背支撐板上與所述通孔對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有安裝孔，所述背支撐板與所述背支撐板固定塊通過(guò)螺栓穿過(guò)所述通孔以及所述安裝孔進(jìn)行連接。
[0031]本實(shí)用新型的有益效果為:將平板支撐面設(shè)置成傾斜面能夠有效的節(jié)省平板清洗支架占用的空間；支架本體通過(guò)支撐凸點(diǎn)與平板接觸，減少了平板與平板支撐面的接觸面積，最大限度的避免了平板清洗支架與平板接觸時(shí)對(duì)平板造成的污染；設(shè)置有能夠使平板垂直于水平面放置的卡槽，使得能夠?qū)ζ桨鍍蓚?cè)面同時(shí)進(jìn)行沖洗、吹干操作；另外本實(shí)用新型所述的平板清洗支架結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、拆卸方便、適用于多種工作場(chǎng)合。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0032]下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0033]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種清洗支架結(jié)構(gòu)示意圖。
[0034]圖2為實(shí)施例所述平板清洗支架在安裝有平板的狀態(tài)下的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0035]圖3為實(shí)施例所述平板清洗支架立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0036]圖4為實(shí)施例所述平板安裝在卡槽狀態(tài)下的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0037]圖5為實(shí)施例所述平板安裝在卡槽狀態(tài)下的側(cè)視圖。
[0038]圖6為實(shí)施例所述側(cè)板結(jié)構(gòu)示意圖。
[0039]圖7為實(shí)施例所述側(cè)擋塊立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0040]圖8為實(shí)施例所述背支撐板固定塊立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0041]圖9為實(shí)施例所述背支撐板立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0042]圖10為實(shí)施例所述下支撐板立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0043]圖1 中:
[0044]10、支架本體；20、支架板；30、提取桿；
[0045]圖2 至 10 中:
[0046]100、平板；
[0047]200、第一側(cè)板；201、第二側(cè)板、；202、支撐凸點(diǎn)；203、傾斜邊；204、平臺(tái)；205、平板插槽；206、固定孔；
[0048]300、側(cè)擋塊；301、固定面；302、限位面；303、連接面；304、螺栓孔；
[0049]400、背支撐板；401、安裝孔；
[0050]500、下支撐板；
[0051]600、背支撐板固定塊；
[0052]601、通孔。

【具體實(shí)施方式】
[0053]下面結(jié)合附圖并通過(guò)【具體實(shí)施方式】來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。
[0054]如圖2?10所示，本實(shí)施例所述的一種平板清洗支架，包括由相互平行的兩側(cè)板以及用于固定所述側(cè)板的支撐板組成的支架本體，支架本體上形成相對(duì)于水平面呈45°傾斜角的平板支撐面，在平板支撐面上設(shè)置有用于支撐平板100時(shí)直接與平板100進(jìn)行接觸的支撐凸點(diǎn)202。
[0055]相互平行的側(cè)板分別為第一側(cè)板200以及第二側(cè)板201，兩側(cè)板為結(jié)構(gòu)完全相同的多邊形結(jié)構(gòu)，如圖6所示，具有形成平板支撐面的傾斜邊203、與地面相接處的底邊以及一側(cè)邊，在兩側(cè)板相對(duì)且相互平行設(shè)置的情況下兩條傾斜邊203所在的平面即為平板支撐面。
[0056]于本實(shí)施例中支撐凸點(diǎn)202為四個(gè)，在兩塊側(cè)板上的傾斜邊203上分別設(shè)置兩個(gè)，支撐凸點(diǎn)202與對(duì)應(yīng)的側(cè)板為一體式結(jié)構(gòu)，每塊側(cè)板上的支撐凸點(diǎn)202分別設(shè)置在該傾斜邊203上靠近端部的位置，四個(gè)支撐凸點(diǎn)202遠(yuǎn)離平板支撐面的一端位于與所述平板支撐面相平行的同一平面上。
[0057]在第一側(cè)板200以及第二側(cè)板201的傾斜邊203的兩端部分別形成兩個(gè)平臺(tái)204，其中位于傾斜邊203較低端的平臺(tái)204的水平高度高于傾斜邊203最低點(diǎn)的水平高度。使得所述傾斜邊203較低端的平臺(tái)204與所述傾斜邊203的連接處形成一臺(tái)階結(jié)構(gòu)，平板100的最低端抵靠在該臺(tái)階結(jié)構(gòu)的側(cè)邊處能夠防止平板100下滑，與支撐凸點(diǎn)202 —起完成對(duì)所述平板的支撐。
[0058]靠近相對(duì)于水平面呈傾斜狀態(tài)的平板支撐面的較低端位置設(shè)置有垂直于水平面且位于平板支撐面的較低端與位于傾斜邊203較低端的平臺(tái)204之間的平板插槽205。該平板插槽205用于將平板100插入其中對(duì)平板100的正反兩面進(jìn)行沖洗、吹干操作
[0059]第一側(cè)板200與第二側(cè)板201具有相向的側(cè)面以及相背的側(cè)表面，相向的側(cè)面朝向支架本體內(nèi)部，相背側(cè)面均朝向支架本體外部，在第一側(cè)板200與第二側(cè)板201相背的側(cè)面(即朝向支架本體外部的側(cè)面)上均設(shè)置有一個(gè)用于限制平板橫向移動(dòng)的側(cè)擋塊300;在第一側(cè)板200以及第二側(cè)板201上設(shè)置有用于固定側(cè)擋塊300的固定孔206，側(cè)擋塊300通過(guò)固定孔206以及螺栓固定安裝在側(cè)板上，且其位置處于傾斜邊203的中部。
[0060]具體的，側(cè)擋塊300結(jié)構(gòu)如圖7所示，包括與側(cè)板相固定的固定面301以及用于限位的限位面302，在固定面301與限位面302之間設(shè)置有用于連接固定面301與限位面302的連接面303，在固定面301上設(shè)置有螺栓孔304，該螺栓孔304與側(cè)板上的固定孔206相對(duì)應(yīng)。
[0061]于本實(shí)施例中第一側(cè)板200與第二側(cè)板201通過(guò)三塊支撐板進(jìn)行連接，所述三塊支撐板包括兩塊位于支架本體底部位置的下支撐板500以及位于支架本體較長(zhǎng)的側(cè)邊的背支撐板400。
[0062]背支撐板400的結(jié)構(gòu)如圖9所示，其主體呈矩形結(jié)構(gòu)，在靠近兩端部的位置設(shè)置有卡槽，該卡槽呈矩形結(jié)構(gòu)，其的寬度與側(cè)板的厚度相對(duì)應(yīng)，深度為背支撐板400寬度的一半，在背支撐板400的兩端部與卡槽之間均設(shè)置有用于固定背支撐板400的安裝孔401。
[0063]在第一側(cè)板200以及第二側(cè)板201上與背支撐板400上卡槽相對(duì)應(yīng)的設(shè)置有卡槽，背支撐板400與第一側(cè)板200以及第二側(cè)板201之間通過(guò)卡槽配合相連接。
[0064]在第一側(cè)板200以及第二側(cè)板201上卡槽位置的上方通過(guò)焊接的方式固定安裝有背支撐板固定塊600，如圖8所示，所述背支撐板固定塊600呈L型結(jié)構(gòu)，其通過(guò)一側(cè)面與側(cè)板固定連接，另一側(cè)面上設(shè)置有與背支撐板400上安裝孔401相對(duì)應(yīng)的通孔601，通過(guò)穿過(guò)通孔601以及安裝孔401的螺栓進(jìn)一步將背支撐板400與兩側(cè)板進(jìn)行固定。
[0065]下支撐板500的結(jié)構(gòu)如圖10所示，其主體呈矩形結(jié)構(gòu)，在靠近兩端部的位置設(shè)置有卡槽，該卡槽呈矩形結(jié)構(gòu)，其的寬度與側(cè)板的厚度相對(duì)應(yīng)，深度為背支撐板400寬度的一半，在第一側(cè)板200以及第二側(cè)板201上與下支撐板500上卡槽相對(duì)應(yīng)的設(shè)置有卡槽，下支撐板500與第一側(cè)板200以及第二側(cè)板201之間通過(guò)卡槽配合相連接。
[0066]本技術(shù)方案所述的平板清洗支架可采用兩個(gè)工位對(duì)平板進(jìn)行安裝并清洗，其具體如下:
[0067]如圖2、4、5所示，為將平板放置在平板清洗支架上進(jìn)行清洗的狀態(tài)，其清洗過(guò)程如下:
[0068]1、首先將清洗支架按照?qǐng)D3中所示的結(jié)構(gòu)進(jìn)行安裝固定。
[0069]2、用清洗劑對(duì)清洗支架進(jìn)行刷洗，用凈水將清洗支架上的清洗劑沖洗干凈。
[0070]3、將待清洗平板，如玻璃掩膜或鏡面鋼板等，斜放在支架上(如圖2所示)，按照清洗清洗支架的方式用海綿和清洗劑對(duì)平板表面進(jìn)行涮洗，一面刷洗完成后，翻面進(jìn)行另一面的刷洗。鏡面鋼板需要先用磨刷機(jī)進(jìn)行表面磨刷，再用清洗劑進(jìn)行刷洗。
[0071]4、用凈水沖洗表面，正面和反面都要沖洗，將清洗劑和刷洗掉的污物沖洗干凈。
[0072]5、如圖4、5所示，將平板100插入平板插槽205，用凈水沖洗兩面。
[0073]6、氮?dú)獯蹈桑玫獨(dú)鈱⑵桨?00從上向下吹干，兩面吹干后，將平板插槽205內(nèi)的水吹干，以免在平板100上留下水痕。
[0074]7、清洗完成。
[0075]于本文的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“上”、“下”等方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述和簡(jiǎn)化操作，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”，僅僅用于在描述上加以區(qū)分，并沒(méi)有特殊的含義。
[0076]需要聲明的是，上述【具體實(shí)施方式】?jī)H僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例及所運(yùn)用技術(shù)原理，在本實(shí)用新型所公開(kāi)的技術(shù)范圍內(nèi)，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員所容易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種平板清洗支架，其特征在于，包括支架本體，所述支架本體具有相對(duì)于水平面呈傾斜狀態(tài)的平板支撐面，所述平板支撐面上設(shè)置有至少四個(gè)凸出于所述平板支撐面的支撐凸點(diǎn)，所述至少四個(gè)支撐凸點(diǎn)遠(yuǎn)離所述平板支撐面的一端位于同一平面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板清洗支架，其特征在于，所述支架本體包括相互平行的第一側(cè)板以及第二側(cè)板，所述第一側(cè)板與所述第二側(cè)板上分別具有一條傾斜邊，兩所述傾斜邊位于同一平面內(nèi)，兩所述傾斜邊形成所述平板支撐面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的平板清洗支架，其特征在于，所述平板支撐面上的支撐凸點(diǎn)為四個(gè)，分別設(shè)置在兩條傾斜邊上靠近兩端部的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的平板清洗支架，其特征在于，所述第一側(cè)板以及第二側(cè)板上位于所述傾斜邊的兩端分別設(shè)置有兩平臺(tái)，位于所述傾斜邊較低端的平臺(tái)的水平高度高于所述傾斜邊最低點(diǎn)的水平高度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的平板清洗支架，其特征在于，靠近所述相對(duì)于水平面呈傾斜狀態(tài)的平板支撐面的較低端位置設(shè)置有垂直于水平面的平板插槽，所述平板插槽位于所述平板支撐面的較低端與所述位于所述傾斜邊較低端的平臺(tái)之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至5中任一項(xiàng)所述的平板清洗支架，其特征在于，所述第一側(cè)板與所述第二側(cè)板相背的側(cè)面上均設(shè)置有至少一個(gè)用于限制平板橫向移動(dòng)的側(cè)擋塊；位于兩側(cè)板上的所述側(cè)擋塊數(shù)量相同或不同，當(dāng)位于所述兩側(cè)板上的所述側(cè)擋塊數(shù)量相同時(shí)位于兩側(cè)板上的側(cè)擋塊相互對(duì)稱設(shè)置或非對(duì)稱設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的平板清洗支架，其特征在于，所述第一側(cè)板與所述第二側(cè)板通過(guò)支撐板進(jìn)行連接，所述第一側(cè)板、所述第二側(cè)板以及所述支撐板上設(shè)置有相互配合的卡槽，所述第一側(cè)板與所述支撐板以及所述第二側(cè)板與所述支撐板分別通過(guò)所述卡槽卡接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的平板清洗支架，其特征在于，所述支撐板包括位于所述支架本體底部的下支撐板以及位于所述支架本體上部位置且遠(yuǎn)離所述支撐平面的一側(cè)的背支撐板。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的平板清洗支架，其特征在于，所述下支撐板為兩塊，兩塊所述下支撐板相互平行設(shè)置，所述背支撐板通過(guò)背支撐板固定塊固定在側(cè)板上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的平板清洗支架，其特征在于，所述第一側(cè)板以及所述第二側(cè)板上均固定設(shè)置有背支撐板固定塊，所述背支撐板通過(guò)螺栓與所述背支撐板固定塊固定連接。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK204045553SQ201420397716
【公開(kāi)日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2014年7月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月17日
【發(fā)明者】于中堯, 孫瑜, 郭學(xué)平 申請(qǐng)人:華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心有限公司