用于硅片擴(kuò)散的石英舟的制作方法
【專利摘要】一種用于硅片擴(kuò)散的石英舟，其特征在于，包括舟架、擋板和橫梁，所述舟架為長(zhǎng)方形，在其一端設(shè)置有掛鼻，所述擋板固定在掛鼻與舟架交界處，擋板上設(shè)置有若干通孔；每?jī)蓚€(gè)相鄰所述橫梁為一組硅片座，在每一組硅片座的橫梁內(nèi)側(cè)相對(duì)設(shè)置有弧形卡槽。本實(shí)用新型可使桂片橫向放置在舟架上，保證氣體順暢流通，提高了硅片擴(kuò)散效率和質(zhì)量；每?jī)蓚€(gè)相鄰橫梁上都可以放置硅片，提高了單個(gè)石英舟盛放硅片的數(shù)量；通過(guò)擋板與三角形掛鼻的配合，方便石英桿對(duì)石英舟的推拉操作。
【專利說(shuō)明】用于硅片擴(kuò)散的石英舟

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種硅片擴(kuò)散工藝中用的石英舟。

【背景技術(shù)】
[0002]硅片擴(kuò)散工藝是將硅片放入高溫?cái)U(kuò)散爐中，通以氮?dú)夂蚉0CL3等氣體，在高溫下分解后在硅片表面形成P-N結(jié)。高溫?cái)U(kuò)散爐的管道為石英材料的圓形管道，擴(kuò)散時(shí)，首先將硅片放在石英舟上，然后用石英桿或金屬桿將石英舟送入管道中進(jìn)行烘烤。目前的石英舟都是縱向排列硅片的，由于氣體在管道中橫向流通，因此縱向排列的硅片對(duì)氣體有阻擋，影響硅片的擴(kuò)散，而且，現(xiàn)有的石英舟的一端僅有一個(gè)圓環(huán)，在用帶鉤的石英桿或金屬桿將石英舟從管道中拉出時(shí)，石英桿或金屬桿上的鉤很難對(duì)準(zhǔn)圓環(huán)，而且盲目的操作桿子可能會(huì)損壞石英舟和硅片。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種可橫向排列硅片，方便用石英桿推拉的用于硅片擴(kuò)散的石英舟。
[0004]為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：一種用于硅片擴(kuò)散的石英舟，其特征在于，包括舟架、擋板和橫梁，所述舟架為長(zhǎng)方形，在其一端設(shè)置有掛鼻，所述擋板固定在掛鼻與舟架交界處，擋板上設(shè)置有若干通孔；每?jī)蓚€(gè)相鄰所述橫梁為一組硅片座，在每一組硅片座的橫梁內(nèi)側(cè)相對(duì)設(shè)置有弧形卡槽。
[0005]進(jìn)一步的，在所述舟架的前后兩端的底部設(shè)置有支架，所述支架的底部為與高溫?cái)U(kuò)散爐的管道相配合的弧形。
[0006]優(yōu)選的，所述掛鼻為三角形。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是：硅片可以橫向放置在舟架上，保證氣體順暢流通，提高了硅片擴(kuò)散效率和質(zhì)量；每?jī)蓚€(gè)相鄰橫梁上都可以放置硅片，提高了單個(gè)石英舟盛放硅片的數(shù)量；通過(guò)擋板與三角形掛鼻的配合，方便石英桿對(duì)石英舟的推拉操作。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說(shuō)明：
[0009]圖I為本實(shí)用新型的俯視圖；
[0010]圖2為本實(shí)用新型的左視圖；
[0011]圖3為本實(shí)用新型的主視圖；
[0012]圖4為圖I中沿A-A的剖視圖。
[0013]圖中，I舟架、11掛鼻、12支架、2擋板、21通孔、3橫梁、31弧形卡槽、4硅片座。

【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明：
[0015]如圖I至圖4所示，本實(shí)用新型的具體實(shí)施例包括舟架I、擋板2和橫梁3。
[0016]所述舟架I為長(zhǎng)方形，在其一端設(shè)置有掛鼻11，所述擋板2固定在掛鼻11與舟架I交界處，擋板2上設(shè)置有若干通孔21，通孔21的作用是保證高溫?cái)U(kuò)散爐的管道內(nèi)的氣體流暢。當(dāng)然，舟架I的兩端均可以設(shè)置一個(gè)掛鼻11和擋板2。優(yōu)選的，所述掛鼻11設(shè)計(jì)成三角形，這樣，石英桿上的掛鉤可以很容易的勾住掛鼻11。擋板2的作用既可以防止石英桿在勾取石英舟時(shí)碰到硅片，將硅片碰掉，也可以擋住石英桿，使其正好落入掛鼻11內(nèi)。
[0017]每?jī)蓚€(gè)相鄰所述橫梁3為一組娃片座4,在每一組娃片座4的橫梁3內(nèi)側(cè)相對(duì)設(shè)置有弧形卡槽31,當(dāng)圓形娃片放在娃片座4上后，正好卡入左右兩側(cè)的橫梁3的弧形卡槽31內(nèi)。如圖I所示，橫梁3左右兩側(cè)的弧形卡槽31為間隔設(shè)置，這樣可以最大限度的利用橫梁的空間，使三根橫梁3即可組成兩組硅片座4，使石英舟上放置更多的硅片。
[0018]為了保證管道內(nèi)的氣流可以從石英舟的上下兩側(cè)通過(guò)，在所述舟架I的前后兩端的底部設(shè)置有支架12，所述支架12的底部為與高溫?cái)U(kuò)散爐的管道相配合的弧形，弧形的底部可以保證石英舟穩(wěn)固的放置在管道內(nèi)。此外，加上支架12還有另一個(gè)作用：當(dāng)直徑比較小的硅片放在硅片座4上時(shí)，如果沒有支架12，硅片的底部可能會(huì)與管道接觸，造成硅片不穩(wěn)固，甚至傾倒。
[0019]以上所述只是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也被視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種用于硅片擴(kuò)散的石英舟，其特征在于，包括舟架、擋板和橫梁，所述舟架為長(zhǎng)方形，在其一端設(shè)置有掛鼻，所述擋板固定在掛鼻與舟架交界處，擋板上設(shè)置有若干通孔；每?jī)蓚€(gè)相鄰所述橫梁為一組硅片座，在每一組硅片座的橫梁內(nèi)側(cè)相對(duì)設(shè)置有弧形卡槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于硅片擴(kuò)散的石英舟，其特征在于，在所述舟架的前后兩端的底部設(shè)置有支架，所述支架的底部為與高溫?cái)U(kuò)散爐的管道相配合的弧形。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于硅片擴(kuò)散的石英舟，其特征在于，所述掛鼻為三角形。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK204029781SQ201420406587
【公開日】2014年12月17日 申請(qǐng)日期:2014年7月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月23日
【發(fā)明者】陳文學(xué) 申請(qǐng)人:濟(jì)南晶博電子有限公司