晶圓傳送裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種晶圓傳送裝置，所述晶圓傳送裝置通過設(shè)置設(shè)有缺口的第一圓盤，以及位于所述第一圓盤兩側(cè)的第一傳感器的發(fā)射端和接收端，通過所述第一傳感器偵測缺口的位置來控制旋轉(zhuǎn)手臂傳送晶圓的位置，使得所述旋轉(zhuǎn)手臂傳送晶圓的位置更加精確。
【專利說明】晶圓傳送裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種晶圓傳送裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在目前工藝制造技術(shù)中，都是采用步進機來進行光刻圖形的轉(zhuǎn)移，以獲得較佳的分辨率和較佳的微粒容忍度。但是這種方式最主要的問題是需要將一片晶圓采用分區(qū)曝光方式，來完成單一圖形化的制作。因此，需要對同一晶圓進行數(shù)十次的曝光，才能完成一晶圓上的單一光阻層的制程。因此為了讓各層光刻之間的圖案的疊放能夠準(zhǔn)確無誤，在顯影制程完成后必須對晶圓進行顯影后檢查(After Develop Inspect1n，ADI)，以確保光刻階段的顯影制程合乎規(guī)格需求。
[0003]在對晶圓進行ADI檢查的過程中，晶圓需要經(jīng)過如下的傳送步驟:首先，檢測機臺的負(fù)載臂從晶圓盒內(nèi)抓取晶圓到晶圓傳送裝置上，晶圓傳送裝置將晶圓傳送給宏觀檢測裝置上，再由翻轉(zhuǎn)板翻轉(zhuǎn)查看晶圓的背面；然后晶圓傳送裝置將晶圓傳送至微觀檢測裝置，查看晶圓的標(biāo)記；最后由晶圓傳送裝置將晶圓傳送回晶圓盒內(nèi)。
[0004]在晶圓的整個過程中，要求晶圓傳送的位置非常精確，現(xiàn)有技術(shù)中ADI檢測機臺的晶圓傳送系統(tǒng)如圖1至圖3所示，其中，圖1為晶圓傳送系統(tǒng)的俯視圖，圖2為圖1沿AA’方向的截面圖，圖3為圖2中C區(qū)域的俯視圖。由圖2和圖3可知，所述晶圓傳送系統(tǒng)包括旋轉(zhuǎn)軸10，固定于所述旋轉(zhuǎn)軸10上方的旋轉(zhuǎn)手臂11，所述旋轉(zhuǎn)手臂11有三個，通過皮帶14帶動所述旋轉(zhuǎn)軸10旋轉(zhuǎn)的馬達12，固定于所述旋轉(zhuǎn)軸10上的滾盤13，與所述滾盤13配合使用的定位裝置15以及光學(xué)傳感器16，所述光學(xué)傳感器16包含發(fā)射端和接收端，所述光學(xué)傳感器發(fā)射端161和所述光學(xué)傳感器接收端162分別位于所述定位裝置15的兩側(cè)。所述馬達12帶動所述旋轉(zhuǎn)軸10旋轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)軸10帶動所述旋轉(zhuǎn)手臂11進行運動來傳送晶圓，所述旋轉(zhuǎn)手臂11傳送晶圓的位置一方面由預(yù)先系統(tǒng)中設(shè)定的旋轉(zhuǎn)角度來控制，另一方面由所述滾盤13與所述定位裝置15配合控制。請結(jié)合圖2參閱圖3，所述定位裝置15包括滾輪151、擋板152和彈性裝置153 ;所述滾盤13邊緣均勻地設(shè)有三個扇形開口 131，所述三個扇形開口 131分別對應(yīng)于所述三個旋轉(zhuǎn)手臂11所在的位置。所述扇形開口 131隨著所述滾盤13的轉(zhuǎn)動未旋轉(zhuǎn)至所述滾輪151所在的位置時，所述滾輪151的邊緣與所述滾盤13的邊緣相接觸，所述擋板152位于所述光學(xué)傳感器發(fā)射端161與所述光學(xué)傳感器接收端162之間，所述光學(xué)傳感器發(fā)射端161發(fā)射的信號被所述擋板152所阻擋，所述光學(xué)傳感器接收端162接收不到所述光學(xué)傳感器發(fā)射端161所發(fā)射的信號，所述彈性裝置153被壓緊；所述扇形開口 131隨著所述滾盤13的轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)至所述滾輪151所在的位置時，所述彈性裝置153釋放彈力，將所述擋板152從所述光學(xué)傳感器發(fā)射端161與所述光學(xué)傳感器接收端162之間的位置處推移開，且使得所述滾輪151被卡進所述扇形開口 131內(nèi)。由于沒有所述擋板152的阻擋，所述光學(xué)傳感器發(fā)射端161發(fā)射的光線被所述光學(xué)傳感器接收端162接收到，所述光學(xué)傳感器接收端162將相關(guān)信號反饋至一與所述光學(xué)傳感器相連接的控制裝置，以此來定位所述旋轉(zhuǎn)手臂11傳送晶圓的位置。
[0005]然而，由于上述晶圓傳送系統(tǒng)對所述旋轉(zhuǎn)手臂11傳送晶圓的位置通過預(yù)先系統(tǒng)設(shè)定旋轉(zhuǎn)角度和使用所述滾盤13與所滾輪15相結(jié)合來進行控制，如果系統(tǒng)設(shè)定的旋轉(zhuǎn)角度出現(xiàn)偏差，或者所述滾輪15由于磨損而使得直徑變小以后，就會出現(xiàn)所述滾輪15位置走多或走少的情況，會使得所述旋轉(zhuǎn)手臂11在傳送晶圓時出現(xiàn)位置偏差的問題。在所述旋轉(zhuǎn)手臂11將晶圓傳送至宏觀檢測裝置上出現(xiàn)位置偏差時，翻轉(zhuǎn)板翻轉(zhuǎn)晶圓時容易出現(xiàn)掉片的情況；當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)手臂11將晶圓由宏觀檢測裝置傳送至微觀檢測裝置上出現(xiàn)位置偏差時，會出現(xiàn)偏心的現(xiàn)象；當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)手臂11將晶圓由微觀檢測裝置傳送回晶圓盒出現(xiàn)位置偏差時，會使得晶圓碰到晶圓盒而造成對晶圓的損傷。
[0006]鑒于此，有必要設(shè)計一種新的晶圓傳送裝置用以解決上述技術(shù)問題。
實用新型內(nèi)容
[0007]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種晶圓傳送裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于系統(tǒng)設(shè)定的旋轉(zhuǎn)角度出現(xiàn)偏差或滾輪磨損直徑變小后使得旋轉(zhuǎn)手臂傳送晶圓時出現(xiàn)位置偏差而導(dǎo)致對晶圓造成損傷的問題。
[0008]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種晶圓傳送裝置，包括旋轉(zhuǎn)軸和驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置適于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，還包括:第一圓盤，套置于所述旋轉(zhuǎn)軸上，適于隨所述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動而同步轉(zhuǎn)動，且所述第一圓盤的邊緣上設(shè)有缺口 ；第一傳感器，固定于所述第一圓盤邊緣外一側(cè)，包括第一傳感器發(fā)射端和第一傳感器接收端，所述第一傳感器發(fā)射端位于所述第一圓盤的上側(cè)/下側(cè)，所述第一傳感器接收端位于與所述第一傳感器發(fā)射端所在側(cè)相對的所述第一圓盤的另一側(cè)，所述第一傳感器發(fā)射端適于發(fā)射信號照射至所述第一圓盤的邊緣，所述第一傳感器接收端適于在所述第一圓盤旋轉(zhuǎn)至所述缺口暴露出所述第一傳感器發(fā)射端時，接收所述第一傳感器發(fā)射端發(fā)射的信號；控制裝置，所述控制裝置與所述驅(qū)動裝置及所述第一傳感器相連接，適于在所述第一傳感器接收端接收到所述第一傳感器發(fā)射端所發(fā)射的信號時控制所述驅(qū)動裝置暫停工作。
[0009]作為本實用新型的晶圓傳送裝置的一種優(yōu)選方案，所述缺口為圓形缺口、扇形缺口或多邊形缺口。
[0010]作為本實用新型的晶圓傳送裝置的一種優(yōu)選方案，所述第一傳感器為光學(xué)傳感器。
[0011]作為本實用新型的晶圓傳送裝置的一種優(yōu)選方案，所述第一傳感器的發(fā)射端發(fā)射的信號垂直于所述晶圓的表面。
[0012]作為本實用新型的晶圓傳送裝置的一種優(yōu)選方案，所述控制裝置還包含一角度設(shè)定單元，適于通過預(yù)先設(shè)定角度控制所述驅(qū)動裝置，使得所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸按預(yù)先設(shè)定的角度旋轉(zhuǎn)。
[0013]作為本實用新型的晶圓傳送裝置的一種優(yōu)選方案，所述第一圓盤上缺口的個數(shù)為I個；所述第一傳感器的個數(shù)為3個，相鄰兩所述第一傳感器之間的距離相等。
[0014]作為本實用新型的晶圓傳送裝置的一種優(yōu)選方案，所述第一圓盤上缺口的個數(shù)為3個，相鄰兩所述缺口之間的距離相等；所述第一傳感器的個數(shù)為I個。
[0015]作為本實用新型的晶圓傳送裝置的一種優(yōu)選方案，所述第一圓盤上缺口的個數(shù)為3個，相鄰兩所述缺口之間的距離相等；所述第一傳感器的個數(shù)為3個，相鄰兩所述第一傳感器之間的距離相等。
[0016]本實用新型還提供一種晶圓傳送裝置，所述晶圓傳送裝置還包括第二圓盤、第二傳感器和定位裝置；所述第二圓盤套置于所述旋轉(zhuǎn)軸上，適于隨所述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動；所述第二圓盤的邊緣均勻地設(shè)有三個開口，所述開口與所述缺口相對應(yīng)；所述第二傳感器包括第二傳感器發(fā)射端和第二傳感器接收端，所述第二傳感器發(fā)射端和所述第二傳感器接收端分別位于所述定位裝置的兩側(cè)；所述第二傳感器與所述控制裝置相連接，適于在所述第二傳感器接收端接收到所述第二傳感器發(fā)射端所發(fā)射的信號時控制所述驅(qū)動裝置暫停工作；所述定位裝置固定于所述第二圓盤邊緣外一側(cè)，且與一所述第一傳感器相對應(yīng)，包括滾輪、擋板和彈性裝置；所述擋板的一側(cè)與所述滾輪相連接，另一側(cè)與所述彈性裝置相連接；所述滾輪隨著所述第二圓盤的轉(zhuǎn)動分別與所述第二圓盤的邊緣相接觸或位于所述開口內(nèi)；所述滾輪與所述第二圓盤的邊緣相接觸時，所述擋板位于所述第二傳感器發(fā)射端與所述第二傳感器接收端之間，適于阻擋所述第二傳感器接收端接收所述第二傳感器發(fā)射端發(fā)射的信號；所述彈性裝置被壓緊，適于在所述開口隨所述第二圓盤旋轉(zhuǎn)至所述滾輪所在位置時釋放彈力，推動所述擋板從所述第二傳感器發(fā)射端與所述第二傳感器接收端之間的位置處移開，并使得所述滾輪卡進所述開口內(nèi)。
[0017]作為本實用新型的晶圓傳送裝置的一種優(yōu)選方案，所述第二圓盤邊緣的開口為扇形開口。
[0018]作為本實用新型的晶圓傳送裝置的一種優(yōu)選方案，所述第二傳感器為光學(xué)傳感器。
[0019]如上所述，本實用新型的晶圓傳送裝置，具有以下有益效果:所述晶圓傳送裝置通過設(shè)置設(shè)有缺口的第一圓盤，以及位于所述第一圓盤兩側(cè)的第一傳感器的發(fā)射端和接收端，通過所述第一傳感器偵測缺口的位置來控制旋轉(zhuǎn)手臂傳送晶圓的位置，使得所述旋轉(zhuǎn)手臂傳送晶圓的位置更加精確；將所述第一圓盤上的缺口設(shè)為三個，并設(shè)置三組第一傳感器用于缺口的偵測，且三組第一傳感器連接于一個控制裝置，所述控制裝置中設(shè)有角度設(shè)定單元預(yù)設(shè)有所述旋轉(zhuǎn)手臂的旋轉(zhuǎn)角度，如果所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)了預(yù)先設(shè)定的角度或任意一個所述第一傳感器偵測到所述缺口，所述控制裝置即會控制機臺暫時停止工作，這樣即使原先設(shè)定角度值出現(xiàn)偏差或有所述第一傳感器偵測出現(xiàn)問題，也不會使得晶圓傳送過程中出現(xiàn)位置的偏移，大大提高了晶圓傳送位置的精準(zhǔn)度；繼續(xù)在所述晶圓傳送裝置內(nèi)設(shè)定第二圓盤即定位裝置與上述裝置配合使用，更進一步提高了定位的精準(zhǔn)度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓驅(qū)動裝置的俯視圖。
[0021]圖2顯示為圖1沿AA’方向的截面圖。
[0022]圖3顯示為圖2中A區(qū)域的俯視圖。
[0023]圖4顯示為本實用新型實施例一中提供的晶圓傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖5顯示為圖4中C區(qū)域的俯視圖。
[0025]圖6顯示為本實用新型實施例一中提供的第一傳感器、控制單元與驅(qū)動裝置的連接示意圖。
[0026]圖7顯示為本實用新型實施例二中提供的晶圓傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]圖8顯示為圖7中D區(qū)域中滾輪邊緣與第二圓盤邊緣相接觸時的俯視圖。
[0028]圖9顯示為圖7中D區(qū)域中滾輪卡進第二圓盤開口時的俯視圖。
[0029]圖10顯示為本實用新型實施例二中提供的第一傳感器、第二傳感器、控制單元與驅(qū)動裝置的連接示意圖。
[0030]元件標(biāo)號說明
[0031]10旋轉(zhuǎn)軸
[0032]11旋轉(zhuǎn)手臂
[0033]12馬達
[0034]13滾盤
[0035]131扇形開口
[0036]14皮帶
[0037]15定位裝置
[0038]151滾輪
[0039]152擋板
[0040]153彈性裝置
[0041]16光學(xué)傳感器
[0042]161光學(xué)傳感器發(fā)射端
[0043]162光學(xué)傳感器接收端
[0044]20旋轉(zhuǎn)軸
[0045]21驅(qū)動裝置
[0046]22第一圓盤
[0047]221缺口
[0048]23第一傳感器
[0049]231第一傳感器發(fā)射端
[0050]232第一傳感器發(fā)射端
[0051]24控制裝置
[0052]241角度設(shè)定單元
[0053]25第二圓盤
[0054]251開口
[0055]26第二傳感器
[0056]261第二傳感器發(fā)射端
[0057]262第二傳感器接收端
[0058]27定位裝置
[0059]271滾輪
[0060]272擋板
[0061]273彈性裝置
[0062]28旋轉(zhuǎn)手臂
[0063]29皮帶

【具體實施方式】
[0064]以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點與功效。本實用新型還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應(yīng)用，本說明書中的各項細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點與應(yīng)用，在沒有背離本實用新型的精神下進行各種修飾或改變。
[0065]請參閱圖4至圖10。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下，均應(yīng)仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0066]實施例一
[0067]請參閱圖4至圖6，所述晶圓傳送裝置包括旋轉(zhuǎn)軸20和驅(qū)動裝置21，所述驅(qū)動裝置21適于通過一皮帶29驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸20旋轉(zhuǎn)，進而帶動與所述旋轉(zhuǎn)軸20相連接的旋轉(zhuǎn)手臂28旋轉(zhuǎn)，還包括:第一圓盤22，套置于所述旋轉(zhuǎn)軸20上，適于隨所述旋轉(zhuǎn)軸20的轉(zhuǎn)動而同步轉(zhuǎn)動，且所述第一圓盤22的邊緣上設(shè)有缺口 221 (參考圖5);第一傳感器23固定于所述第一圓盤22邊緣外一側(cè)，包括第一傳感器發(fā)射端231和第一傳感器接收端232，所述第一傳感器發(fā)射端231位于所述第一圓盤22的上側(cè)/下側(cè)，所述第一傳感器接收端232位于與所述第一傳感器發(fā)射端231所在側(cè)相對的另一側(cè)，所述第一傳感器發(fā)射端231適于發(fā)射信號照射至所述第一圓盤22的邊緣，所述第一傳感器接收端232適于在所述第一圓盤22旋轉(zhuǎn)至所述缺口 221暴露出所述發(fā)射端231時，接收所述第一傳感器發(fā)射端231發(fā)射的信號；控制裝置24，所述控制裝置24與所述驅(qū)動裝置21及所述第一傳感器23相連接，適于在所述第一傳感器接收端232接收到所述第一傳感器發(fā)射端231所發(fā)射的信號時控制所述驅(qū)動裝置21暫停工作。
[0068]具體的，所述缺口 221的形狀可以為圓形缺口、扇形缺口或正方形、長方形等多邊形缺口。優(yōu)選地，本實施例中，所述缺口 221為長條形缺口。
[0069]具體的，所述第一傳感器23為光學(xué)傳感器，由于光線具有傳輸速度快，抗干擾性強，此處選有光學(xué)傳感器，更有利于提高偵測的精準(zhǔn)度。
[0070]具體的，所述第一傳感器23固定于所述第一圓盤22邊緣外一側(cè)。所述第一傳感器發(fā)射端231與所述第一傳感器接收端232上下對應(yīng)，且所述第一傳感器發(fā)射端231發(fā)射的信號垂直于所述晶圓的表面。
[0071]具體的，請參閱圖6，所述控制裝置24內(nèi)設(shè)有一角度設(shè)定單元241，所述角度設(shè)定單元241預(yù)先設(shè)定好控制所述驅(qū)動裝置21帶動所述旋轉(zhuǎn)軸20轉(zhuǎn)動的角度。使得所述旋轉(zhuǎn)軸20轉(zhuǎn)過所設(shè)定的角度后，所述驅(qū)動裝置21即暫停工作，待所述旋轉(zhuǎn)手臂28完成晶圓傳送工作后，所述驅(qū)動裝置21繼續(xù)驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸20至旋轉(zhuǎn)相同的角度，如此循環(huán)。
[0072]具體的，由于所述旋轉(zhuǎn)手臂28共3條，且所述3條旋轉(zhuǎn)手臂28夾角相同，所述3條旋轉(zhuǎn)手臂28要不間斷地將晶圓精確地依次從晶圓盒中抓取出傳送至宏觀檢測裝置、微觀檢測裝置，而后將所述晶圓傳送回晶圓盒，所以，要精確地同時控制所述3條旋轉(zhuǎn)手臂28的旋轉(zhuǎn)角度。同時，由于所述旋轉(zhuǎn)手臂28將所述晶圓傳送至所需的位置后，需要將晶圓放下進行檢測，所以，此時需要所述旋轉(zhuǎn)軸有個短暫的暫時停止，當(dāng)所述晶圓被檢測完畢后，所述旋轉(zhuǎn)手臂28抓取晶圓將其傳送至下一位置處。為了實現(xiàn)這一功能，在所述旋轉(zhuǎn)軸20帶動所述第一圓盤22旋轉(zhuǎn)一周的過程中，所述旋轉(zhuǎn)軸20需要有三次停頓，根據(jù)實際所述，可以進行如下設(shè)計:所述第一圓盤22上所述缺口 221的個數(shù)為I個，所述第一傳感器23的個數(shù)為3個，其中，兩相鄰所述第一傳感器23之間的距離相等；或所述第一圓盤22上所述缺口 221的個數(shù)為3個，其中，兩相鄰所述缺口 221之間的距離相等，所述第一傳感器23的個數(shù)為一個；亦或所述第一圓盤22上所述缺口 221的個數(shù)為3個，其中，兩相鄰所述缺口 221之間的距離相等，所述第一傳感器23的個數(shù)為3個，其中，兩相鄰所述第一傳感器23之間的距離相等。所述晶圓傳送裝置通過設(shè)置設(shè)有缺口 221的第一圓盤22，并在設(shè)置所述第一傳感器23用于偵測所述缺口 221的位置，通過所述第一傳感器23偵測所述缺口 221的位置來控制所述旋轉(zhuǎn)手臂28傳送晶圓的位置，可以使得所述旋轉(zhuǎn)手臂28傳送晶圓的位置更加精確。
[0073]具體的，請參閱5至圖6，優(yōu)選地，本實施例中，所述第一圓盤22上所述缺口 221的個數(shù)為3個，其中，兩相鄰所述缺口 221之間的距離相等，所述第一傳感器23的個數(shù)為3個，其中，兩相鄰所述第一傳感器23之間的距離相等。將所述第一圓盤22上的所述缺口 221設(shè)為三個，并設(shè)置三組所述第一傳感器23用于所述缺口 221的偵測，且三組所述第一傳感器23連接于一個所述控制裝置24，所述控制裝置24中設(shè)有角度設(shè)定單元241預(yù)設(shè)有所述旋轉(zhuǎn)手臂28的旋轉(zhuǎn)角度，如果所述旋轉(zhuǎn)軸20旋轉(zhuǎn)了預(yù)先設(shè)定的角度或任意一個所述第一傳感器23偵測到所述缺口 221，所述控制裝置24即會控制機臺暫時停止工作，這樣即使原先設(shè)定角度值出現(xiàn)偏差或有所述第一傳感器23偵測出現(xiàn)問題，也不會使得晶圓傳送過程中出現(xiàn)位置的偏移，大大提高了晶圓傳送位置的精準(zhǔn)度。
[0074]具體的，所述晶圓傳送裝置的工作原理為:首先，一個所述旋轉(zhuǎn)手臂28旋轉(zhuǎn)至晶圓盒所在的位置，此時，所述缺口 221與所述第一傳感器23的位置相對應(yīng)，所述傳感器23能夠偵測到缺口 221，所述控制裝置24控制所述驅(qū)動裝置21暫時停止驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸20旋轉(zhuǎn)；其次，當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)手臂28從晶圓中抓取晶圓以后，所述控制單元24控制所述驅(qū)動裝置21繼續(xù)驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸20旋轉(zhuǎn)，當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)手臂28旋轉(zhuǎn)至宏觀檢測裝置上方指定的位置時，所述第一圓盤22旋轉(zhuǎn)1/3個圓周的弧度，所述第一傳感器23再次偵測到所述缺口221，所述控制裝置24控制所述驅(qū)動裝置21暫時停止驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸20旋轉(zhuǎn)；第三，所述旋轉(zhuǎn)手臂28將所述晶圓放置于所述宏觀檢測裝置上完成偵測并將所述晶圓重新抓取起來以后，所述控制單元24控制所述驅(qū)動裝置21繼續(xù)驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸20旋轉(zhuǎn)，當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)手臂28旋轉(zhuǎn)至微觀檢測裝置上方指定的位置時，所述第一圓盤22又旋轉(zhuǎn)1/3個圓周的弧度，所述第一傳感器23再次偵測到所述缺口 221，所述控制裝置24控制所述驅(qū)動裝置21暫時停止驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸20旋轉(zhuǎn)；最后，所述旋轉(zhuǎn)手臂28將所述晶圓放置于所述微觀檢測裝置上完成偵測并將所述晶圓重新抓取起來以后，所述控制單元24控制所述驅(qū)動裝置21繼續(xù)驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸20旋轉(zhuǎn)，當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)手臂28旋轉(zhuǎn)至所述晶圓盒所在的位置時，所述第一圓盤22再次旋轉(zhuǎn)1/3個圓周的弧度，所述第一傳感器23再次偵測到所述缺口 221，所述控制裝置24控制所述驅(qū)動裝置21暫時停止驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸20旋轉(zhuǎn)，完成整個一次傳送循環(huán)。
[0075]具體的，所述控制裝置24中的角度設(shè)定單元241同時參與整個控制過程，以所述旋轉(zhuǎn)手臂28位于所述晶圓盒所在的位置為起點，所述角度設(shè)定單元241設(shè)定所述旋轉(zhuǎn)軸20旋轉(zhuǎn)一次的角度為120°，這保證了所述角度設(shè)定單元241對所述驅(qū)動裝置24的控制與所述第一偵測器23通過偵測所述第一圓盤22上的缺口 221對所示驅(qū)動裝置24的控制結(jié)果同步。
[0076]需要說明的是，所述旋轉(zhuǎn)軸20兩次旋轉(zhuǎn)之間的時間間隔可以根據(jù)實際工藝需要預(yù)先設(shè)定，也可以在機臺端設(shè)定一控制按鈕，在相應(yīng)位置上的操作完成后，通過控制按鈕使得所述驅(qū)動裝置21繼續(xù)驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸20旋轉(zhuǎn)。
[0077]實施例二
[0078]本實用新型還提供一種晶圓傳送裝置，請參閱圖7至圖10，所述晶圓傳送裝置在實施例一的基礎(chǔ)上增設(shè)了第二圓盤25、第二傳感器26和定位裝置27 ;所述第二圓盤25套置于所述旋轉(zhuǎn)軸20上，隨著所述旋轉(zhuǎn)軸20同步轉(zhuǎn)動；所述第二圓盤25的邊緣均勻地設(shè)有三個開口 251 ;所述第二傳感器26包括發(fā)射端和接收端，所述第二傳感器發(fā)射端261和所述第二傳感器接收端262分別位于所述定位裝置27的兩側(cè)；所述第二傳感器26與所述控制裝置24相連接，適于在所述第二傳感器接收端262接收到所述第二傳感器發(fā)射端261所發(fā)射的信號時控制所述驅(qū)動裝置24暫停工作；所述定位裝置27固定于所述第二圓盤25邊緣外一側(cè)，且與一所述第一傳感器23相對應(yīng)，所述固定裝置27包括滾輪271、擋板272和彈性裝置273 ;所述擋板272的一側(cè)與所述滾輪271相連接，另一側(cè)與所述彈性裝273置相連接；所述滾輪271隨著所述第二圓盤25的轉(zhuǎn)動分別與所述第二圓盤25的邊緣相接觸或位于所述開口 251內(nèi)。
[0079]具體的，請參閱圖8，圖8為為圖7中D區(qū)域中滾輪邊緣與第二圓盤邊緣相接觸時的俯視圖。由圖8可知，所述第二圓盤25兩相鄰開口 251之間的區(qū)域轉(zhuǎn)動至所述滾輪271所在的位置時，所述滾輪271的邊緣與所述第二圓盤25的邊緣相接觸，所述擋板272位于所述第二傳感器發(fā)射端261與所述第二傳感器接收端262之間，所述彈性裝置273被壓緊。此時，所述第二傳感器發(fā)射端261所發(fā)射的信號被所述擋板272所阻擋，所述第二傳感器接收端262不能接收到所述第二傳感器發(fā)射端261發(fā)射的信號。
[0080]具體的，請參閱圖9，圖9為圖7中D區(qū)域中滾輪卡進第二圓盤開口時的俯視圖。由圖9可知，所述開口 251轉(zhuǎn)動至所述滾輪271所在的位置時，在所述彈性裝置273釋放彈力，推動所述擋板272從所述所述第二傳感器發(fā)射端261與所述第二傳感器接收端262之間的位置處移開，并使得所述滾輪271被卡進所述開口 251內(nèi)。此時，所述第二傳感器發(fā)射端261所發(fā)射的信號被第二傳感器接收端262接收到，所述控制裝置24控制所述驅(qū)動裝置21暫停工作。
[0081]具體的，所述第二圓盤25邊緣的開口 251為扇形開口，將所述開口 251設(shè)定為扇形開口，便于所述滾輪271從所述開口 251中移出。
[0082]具體的，所述第二傳感器26為光學(xué)傳感器。
[0083]具體的，請參閱圖10，所述第二傳感器26同三組所述第一傳感器23 —起連接于所述控制裝置24，所述控制裝置24與所述驅(qū)動裝置21相連接，所述控制裝置24中還設(shè)有角度設(shè)定單元241預(yù)設(shè)有所述旋轉(zhuǎn)手臂28的旋轉(zhuǎn)角度，如果所述旋轉(zhuǎn)軸20旋轉(zhuǎn)了預(yù)先設(shè)定的角度或任意一個所述第一傳感器23偵測到所述缺口 221，抑或第二傳感器26偵測到了開口 251，，所述控制裝置24即會控制機臺暫時停止工作，這樣即使原先設(shè)定角度值出現(xiàn)偏差或有所述第一傳感器23或第二傳感器26偵測出現(xiàn)問題，也不會使得晶圓傳送過程中出現(xiàn)位置的偏移，大大提高了晶圓傳送位置的精準(zhǔn)度。
[0084]在實施例一的基礎(chǔ)上增設(shè)所述第二圓盤25及所述定位裝置27，更進一步提高了定位的精準(zhǔn)度。
[0085]綜上所述，本實用新型提供一種晶圓傳送裝置，所述晶圓傳送裝置通過設(shè)置設(shè)有缺口的第一圓盤，以及位于所述第一圓盤兩側(cè)的第一傳感器的發(fā)射端和接收端，通過所述第一傳感器偵測缺口的位置來控制旋轉(zhuǎn)手臂傳送晶圓的位置，使得所述旋轉(zhuǎn)手臂傳送晶圓的位置更加精確；將所述第一圓盤上的缺口設(shè)為三個，并設(shè)置三組第一傳感器用于缺口的偵測，且三組第一傳感器連接于一個控制裝置，所述控制裝置中設(shè)有角度設(shè)定單元預(yù)設(shè)有所述旋轉(zhuǎn)手臂的旋轉(zhuǎn)角度，如果所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)了預(yù)先設(shè)定的角度或任意一個所述第一傳感器偵測到所述缺口，所述控制裝置即會控制機臺暫時停止工作，這樣即使原先設(shè)定角度值出現(xiàn)偏差或有所述第一傳感器偵測出現(xiàn)問題，也不會使得晶圓傳送過程中出現(xiàn)位置的偏移，大大提高了晶圓傳送位置的精準(zhǔn)度；繼續(xù)在所述晶圓傳送裝置內(nèi)設(shè)定第二圓盤即定位裝置與上述裝置配合使用，更進一步提高了定位的精準(zhǔn)度。
[0086]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓傳送裝置，包括旋轉(zhuǎn)軸和驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置適于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，其特征在于，還包括: 第一圓盤，套置于所述旋轉(zhuǎn)軸上，適于隨所述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動而同步轉(zhuǎn)動，且所述第一圓盤的邊緣上設(shè)有缺口； 第一傳感器，固定于所述第一圓盤邊緣外一側(cè)，包括第一傳感器發(fā)射端和第一傳感器接收端，所述第一傳感器發(fā)射端位于所述第一圓盤的上側(cè)/下側(cè)，所述第一傳感器接收端位于與所述第一傳感器發(fā)射端所在側(cè)相對的所述第一圓盤的另一側(cè)，所述第一傳感器發(fā)射端適于發(fā)射信號照射至所述第一圓盤的邊緣，所述第一傳感器接收端適于在所述第一圓盤旋轉(zhuǎn)至所述缺口暴露出所述第一傳感器發(fā)射端時，接收所述第一傳感器發(fā)射端發(fā)射的信號; 控制裝置，所述控制裝置與所述驅(qū)動裝置及所述第一傳感器相連接，適于在所述第一傳感器接收端接收到所述第一傳感器發(fā)射端所發(fā)射的信號時控制所述驅(qū)動裝置暫停工作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳送裝置，其特征在于:所述缺口為圓形缺口、扇形缺口或多邊形缺口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳送裝置，其特征在于:所述第一傳感器為光學(xué)傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳送裝置，其特征在于:所述第一傳感器的發(fā)射端發(fā)射的信號垂直于所述晶圓的表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳送裝置，其特征在于:所述控制裝置還包含一角度設(shè)定單元，適于通過預(yù)先設(shè)定角度控制所述驅(qū)動裝置，使得所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)軸按預(yù)先設(shè)定的角度旋轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的晶圓傳送裝置，其特征在于:所述第一圓盤上所述缺口的個數(shù)為I個；所述第一傳感器的個數(shù)為3個，相鄰兩所述第一傳感器之間的距離相等。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的晶圓傳送裝置，其特征在于:所述第一圓盤上所述缺口的個數(shù)為3個，相鄰兩所述缺口之間的距離相等；所述第一傳感器的個數(shù)為I個。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的晶圓傳送裝置，其特征在于:所述第一圓盤上所述缺口的個數(shù)為3個，相鄰兩所述缺口之間的距離相等；所述第一傳感器的個數(shù)為3個，相鄰兩所述第一傳感器之間的距離相等。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳送裝置，其特征在于，還包括:第二圓盤、第二傳感器和定位裝置； 所述第二圓盤套置于所述旋轉(zhuǎn)軸上，適于隨所述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動；所述第二圓盤的邊緣均勻地設(shè)有三個開口，所述開口與所述缺口相對應(yīng)； 所述第二傳感器包括第二傳感器發(fā)射端和第二傳感器接收端，所述第二傳感器發(fā)射端和所述第二傳感器接收端分別位于所述定位裝置的兩側(cè)；所述第二傳感器與所述控制裝置相連接，適于在所述第二傳感器接收端接收到所述第二傳感器發(fā)射端所發(fā)射的信號時控制所述驅(qū)動裝置暫停工作； 所述定位裝置固定于所述第二圓盤邊緣外一側(cè)，且與一所述第一傳感器相對應(yīng)，包括滾輪、擋板和彈性裝置；所述擋板的一側(cè)與所述滾輪相連接，另一側(cè)與所述彈性裝置相連接；所述滾輪隨著所述第二圓盤的轉(zhuǎn)動分別與所述第二圓盤的邊緣相接觸或位于所述開口內(nèi)； 所述滾輪與所述第二圓盤的邊緣相接觸時，所述擋板位于所述第二傳感器發(fā)射端與所述第二傳感器接收端之間，適于阻擋所述第二傳感器接收端接收所述第二傳感器發(fā)射端發(fā)射的信號；所述彈性裝置被壓緊，適于在所述開口隨所述第二圓盤旋轉(zhuǎn)至所述滾輪所在位置時釋放彈力，推動所述擋板從所述第二傳感器發(fā)射端與所述第二傳感器接收端之間的位置處移開，并使得所述滾輪卡進所述開口內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓傳送裝置，其特征在于:所述第二圓盤邊緣的開口為扇形開口。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓傳送裝置，其特征在于:所述第二傳感器為光學(xué)傳感器。
【文檔編號】H01L21/67GK204257608SQ201420600040
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年10月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月16日
【發(fā)明者】楊艷全 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司