一種可切換雙腔體的反應(yīng)腔的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，提供了一種可切換雙腔體的反應(yīng)腔，包括雙腔體的反應(yīng)腔，反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有控制單元以及可移動的隔板，控制單元用于控制隔板的移動，以使隔板將反應(yīng)腔分割成第一反應(yīng)腔以及第二反應(yīng)腔；反應(yīng)腔的一端連接氣體輸送系統(tǒng)以及氣體控制閥；反應(yīng)腔的另一端連接真空抽氣系統(tǒng)以及真空控制閥。本實用新型通過在雙腔體的反應(yīng)腔中設(shè)置可移動的隔板，使反應(yīng)腔分成兩個單腔體，兩個單腔體的一端分別連接氣體輸送系統(tǒng)從而分別對單腔體輸送氣體，兩個單腔體的另一端分別連接真空抽氣系統(tǒng)從而分別使單腔體排空氣體，本實用新型可靈活切換單腔體和雙腔體，避免了生產(chǎn)資源的浪費，提高了生產(chǎn)效率，降低成本。
【專利說明】一種可切換雙腔體的反應(yīng)腔

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種可切換雙腔體的反應(yīng)腔。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域中，芯片生產(chǎn)工藝流程中有很多的工藝加工設(shè)備是腔體設(shè)備，例如刻蝕設(shè)備、物理氣相沉積設(shè)備、化學(xué)氣相沉積設(shè)備等工藝設(shè)備。現(xiàn)有的反應(yīng)腔體通常包括單腔體以及雙腔體，單腔體為單片晶圓開發(fā)模式，雙腔體可同時進行雙片晶圓開發(fā)模式，雙腔體可提高工藝加工的效率。
[0003]在實際的生產(chǎn)過程中，工作人員需要根據(jù)不同需求改變工藝流程，在需要產(chǎn)能提高的時期，通常采用雙腔體作業(yè)，而在開發(fā)調(diào)試新程式時，只要對單腔體進行調(diào)試，因此，當(dāng)工作人員采用雙腔體作業(yè)時，單腔體處于閑置狀態(tài)，而工作人員采用單腔體作業(yè)時，雙腔體處于閑置狀態(tài)，從而導(dǎo)致有限的資源得不到充分利用，存在資源浪費的現(xiàn)象。
[0004]綜上，在生產(chǎn)資源成本提高的前提下，有必要對有限的設(shè)備資源加以充分利用，提高生產(chǎn)效率，節(jié)約成本；因此，對現(xiàn)有的雙腔體的反應(yīng)腔加以改進，使其在單腔體和雙腔體之間實現(xiàn)快速切換成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)難題。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型目的是提供一種可在單腔體和雙腔體之間快速切換的反應(yīng)腔，以充分利用生產(chǎn)資源。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種可切換雙腔體的反應(yīng)腔，包括雙腔體的反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有控制單元以及可移動的隔板，所述控制單元用于控制所述隔板的移動，以使所述隔板將所述反應(yīng)腔分割成第一反應(yīng)腔以及第二反應(yīng)腔；所述反應(yīng)腔的一端連接氣體輸送系統(tǒng)，所述氣體輸送系統(tǒng)包括與第一反應(yīng)腔連通的第一氣體輸送管道，以及與第二反應(yīng)腔連通的第二氣體輸送管道；其中，所述第一氣體輸送管道以及第二氣體輸送管道上均設(shè)有氣體控制閥；所述反應(yīng)腔的另一端連接真空抽氣系統(tǒng)，所述真空抽氣系統(tǒng)包括與第一反應(yīng)腔連通的第一真空抽氣管道，以及與第二反應(yīng)腔連通的第二真空抽氣管道；其中，所述第一真空抽氣管道以及第二真空抽氣管道上均設(shè)有真空控制閥。
[0007]優(yōu)選的，所述反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有可升降的隔板，且所述隔板的高度與所述反應(yīng)腔的高度相等；其中，當(dāng)所述隔板上升至其底部與所述反應(yīng)腔的頂部平齊時，所述反應(yīng)腔為雙腔體，當(dāng)所述隔板下降至其底部與所述反應(yīng)腔的底部平齊時，所述反應(yīng)腔分割成第一反應(yīng)腔以及第二反應(yīng)腔。
[0008]優(yōu)選的，所述第一反應(yīng)腔的空間與第二反應(yīng)腔的空間相等。
[0009]優(yōu)選的，所述第一真空抽氣管道與所述第二真空抽氣管道并聯(lián)于主真空抽氣管道，所述主真空抽氣管道上設(shè)有真空分子泵。
[0010]優(yōu)選的，所述主真空抽氣管道還設(shè)有用于調(diào)節(jié)氣壓的壓力伺服裝置。
[0011]優(yōu)選的，所述第一真空抽氣管道與所述第二真空抽氣管道上均設(shè)有真空分子泵。
[0012]優(yōu)選的，所述第一真空抽氣管道與所述第二真空抽氣管道上均設(shè)有用于調(diào)節(jié)氣壓的壓力伺服裝置。
[0013]優(yōu)選的，所述第一氣體輸送管道與第二氣體輸送管道并聯(lián)于主氣體輸送管道。
[0014]優(yōu)選的，所述第一反應(yīng)腔以及第二反應(yīng)腔內(nèi)均設(shè)有晶圓承載位。
[0015]優(yōu)選的，所述晶圓承載位上設(shè)有用于固定晶圓的夾緊件。
[0016]本實用新型提供可切換雙腔體的反應(yīng)腔，通過在雙腔體的反應(yīng)腔中設(shè)置可移動的隔板，使反應(yīng)腔分成兩個單腔體，兩個單腔體的一端分別連接氣體輸送系統(tǒng)從而分別對單腔體輸送氣體，兩個單腔體的另一端分別連接真空抽氣系統(tǒng)從而分別使單腔體排空氣體，本實用新型可靈活切換單腔體和雙腔體，避免了生產(chǎn)資源的浪費，提高了生產(chǎn)效率，降低成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為本實用新型優(yōu)選實施例中可切換雙腔體的反應(yīng)腔的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018][附圖中的標(biāo)記]:
[0019]10、反應(yīng)腔；20、控制單元；30、隔板；40、第一反應(yīng)腔；50、第二反應(yīng)腔；60、氣體輸送系統(tǒng)；61、第一氣體輸送管道；62、第二氣體輸送管道；70、氣體控制閥；80、真空抽氣系統(tǒng)；81、第一真空抽氣管道；82、第二真空抽氣管道；90、真空控制閥；100、真空分子泵；110、壓力伺服裝置；120、主氣體輸送管道；130、晶圓承載位；140、主真空抽氣管道。

【具體實施方式】
[0020]為使本實用新型的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本實用新型的內(nèi)容作進一步說明。當(dāng)然本實用新型并不局限于該具體實施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本實用新型的保護范圍內(nèi)。其次，本實用新型利用示意圖進行了詳細(xì)的表述，在詳述本實用新型實例時，為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對本實用新型的限定。
[0021]需要說明的是，在下述的實施例中，利用圖1的結(jié)構(gòu)示意圖對按本實用新型可切換雙腔體的反應(yīng)腔進行了詳細(xì)的表述。在詳述本實用新型的實施方式時，為了便于說明，各示意圖不依照一般比例繪制并進行了局部放大及省略處理，因此，應(yīng)避免以此作為對本實用新型的限定。
[0022]請參考圖1，圖1為本實用新型優(yōu)選實施例中可切換雙腔體的反應(yīng)腔的結(jié)構(gòu)示意圖。本實用新型提供一種可切換雙腔體的反應(yīng)腔，包括雙腔體的反應(yīng)腔10，反應(yīng)腔10內(nèi)設(shè)有控制單元20以及可移動的隔板30，控制單元20用于控制隔板30的移動，以使隔板30將反應(yīng)腔10分割成第一反應(yīng)腔40以及第二反應(yīng)腔50。本實用新型通過在雙腔體的反應(yīng)腔10中設(shè)置可移動的隔板30，使反應(yīng)腔10分成兩個單腔體。
[0023]具體的，本實施例中，反應(yīng)腔10內(nèi)設(shè)有可升降的隔板30，且隔板30的高度與反應(yīng)腔10的高度相等；其中，當(dāng)隔板30上升至其底部與反應(yīng)腔10的頂部平齊時，反應(yīng)腔10為雙腔體，當(dāng)隔板30下降至其底部與反應(yīng)腔10的底部平齊時，反應(yīng)腔10被分割成第一反應(yīng)腔40和第二反應(yīng)腔50。較佳的，第一反應(yīng)腔40的空間與第二反應(yīng)腔50的空間相等。
[0024]值得說明的是，本實用新型中隔板30的設(shè)置可為一體結(jié)構(gòu)，也可為兩塊或兩塊以上的隔板30組成，可做升降運動也可做水平運動或其他方向的運動，本實用新型通過隔板30的移動，實現(xiàn)反應(yīng)腔10分成兩個單腔體，均在本實用新型保護的范圍內(nèi)。
[0025]同時，本實施例中反應(yīng)腔10的一端連接氣體輸送系統(tǒng)60，氣體輸送系統(tǒng)60包括與第一反應(yīng)腔40連通的第一氣體輸送管道61，以及與第二反應(yīng)腔50連通的第二氣體輸送管道62 ;其中，第一氣體輸送管道61以及第二氣體輸送管道62上均設(shè)有氣體控制閥70 ;較佳的，第一氣體輸送管道61與第二氣體輸送管道62并聯(lián)于主氣體輸送管道120。通過在反應(yīng)腔10的一端設(shè)置氣體輸送系統(tǒng)60，從而對反應(yīng)腔10內(nèi)的晶圓實現(xiàn)工藝加工。
[0026]本實施例中，反應(yīng)腔10的另一端連接真空抽氣系統(tǒng)80，真空抽氣系統(tǒng)80包括與第一反應(yīng)腔40連通的第一真空抽氣管道81，以及與第二反應(yīng)腔50連通的第二真空抽氣管道82;其中，第一真空抽氣管道81以及第二真空抽氣管道82上均設(shè)有真空控制閥90。通過在反應(yīng)腔10的另一端設(shè)置真空抽氣系統(tǒng)80，從而對晶圓工藝前預(yù)先抽空腔體內(nèi)的氣體，使腔體保持高真空的狀態(tài)，以保證晶圓加工條件。
[0027]優(yōu)選方案中，第一真空抽氣管道81與第二真空抽氣管道82并聯(lián)于主真空抽氣管道140，主真空抽氣管道140上設(shè)有真空分子泵100以及用于調(diào)節(jié)氣壓的壓力伺服裝置IlOo
[0028]同樣，第一真空抽氣管道81與第二真空抽氣管道82上也可均設(shè)真空分子泵100以及用于調(diào)節(jié)氣壓的壓力伺服裝置110。
[0029]此外，第一反應(yīng)腔40以及第二反應(yīng)腔50內(nèi)均設(shè)有晶圓承載位130用于承載晶圓，晶圓承載位130上設(shè)有用于固定晶圓的夾緊件。
[0030]綜上所述，本實用新型提供可切換雙腔體的反應(yīng)腔，通過在雙腔體的反應(yīng)腔10中設(shè)置可移動的隔板30，使反應(yīng)腔10分成兩個單腔體，兩個單腔體的一端分別連接氣體輸送系統(tǒng)60從而分別對單腔體輸送氣體，兩個單腔體的另一端分別連接真空抽氣系統(tǒng)80從而分別使單腔體排空氣體，本實用新型可靈活切換單腔體和雙腔體，避免了生產(chǎn)資源的浪費，提高了生產(chǎn)效率，降低成本。
[0031]以上所述僅是實用新型的優(yōu)選實施方式的描述，應(yīng)當(dāng)指出，由于文字表達(dá)的有限性，而在客觀上存在無限的具體結(jié)構(gòu)，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案保護的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種可切換雙腔體的反應(yīng)腔，包括雙腔體的反應(yīng)腔，其特征在于，所述反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有控制單元以及可移動的隔板，所述控制單元用于控制所述隔板的移動，以使所述隔板將所述反應(yīng)腔分割成第一反應(yīng)腔以及第二反應(yīng)腔； 所述反應(yīng)腔的一端連接氣體輸送系統(tǒng)，所述氣體輸送系統(tǒng)包括與第一反應(yīng)腔連通的第一氣體輸送管道，以及與第二反應(yīng)腔連通的第二氣體輸送管道；其中，所述第一氣體輸送管道以及第二氣體輸送管道上均設(shè)有氣體控制閥； 所述反應(yīng)腔的另一端連接真空抽氣系統(tǒng)，所述真空抽氣系統(tǒng)包括與第一反應(yīng)腔連通的第一真空抽氣管道，以及與第二反應(yīng)腔連通的第二真空抽氣管道；其中，所述第一真空抽氣管道以及第二真空抽氣管道上均設(shè)有真空控制閥。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可切換雙腔體的反應(yīng)腔，其特征在于，所述反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有可升降的隔板，且所述隔板的高度與所述反應(yīng)腔的高度相等；其中，當(dāng)所述隔板上升至其底部與所述反應(yīng)腔的頂部平齊時，所述反應(yīng)腔為雙腔體，當(dāng)所述隔板下降至其底部與所述反應(yīng)腔的底部平齊時，所述反應(yīng)腔分割成第一反應(yīng)腔以及第二反應(yīng)腔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可切換雙腔體的反應(yīng)腔，其特征在于，所述第一反應(yīng)腔的空間與第二反應(yīng)腔的空間相等。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可切換雙腔體的反應(yīng)腔，其特征在于，所述第一真空抽氣管道與所述第二真空抽氣管道并聯(lián)于主真空抽氣管道，所述主真空抽氣管道上設(shè)有真空分子栗O
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可切換雙腔體的反應(yīng)腔，其特征在于，所述主真空抽氣管道還設(shè)有用于調(diào)節(jié)氣壓的壓力伺服裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可切換雙腔體的反應(yīng)腔，其特征在于，所述第一真空抽氣管道與所述第二真空抽氣管道上均設(shè)有真空分子泵。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的可切換雙腔體的反應(yīng)腔，其特征在于，所述第一真空抽氣管道與所述第二真空抽氣管道上均設(shè)有用于調(diào)節(jié)氣壓的壓力伺服裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1?7任一所述的可切換雙腔體的反應(yīng)腔，其特征在于，所述第一氣體輸送管道與第二氣體輸送管道并聯(lián)于主氣體輸送管道。
9.根據(jù)權(quán)利要求1?7任一所述的可切換雙腔體的反應(yīng)腔，其特征在于，所述第一反應(yīng)腔以及第二反應(yīng)腔內(nèi)均設(shè)有晶圓承載位。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的可切換雙腔體的反應(yīng)腔，其特征在于，所述晶圓承載位上設(shè)有用于固定晶圓的夾緊件。
【文檔編號】H01L21/67GK204257586SQ201420858571
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年12月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月25日
【發(fā)明者】顧曉冬 申請人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司