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熱電變換裝置以及熱電變換裝置的制造方法與流程

文檔序號(hào):12288952閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種熱電變換裝置,其特征在于,具有:

基板,具有高度相互不同的第1區(qū)域以及第2區(qū)域;以及

熱電元件,具有與所述第1區(qū)域相接的高溫側(cè)端部以及與所述第2區(qū)域相接的低溫側(cè)端部,

所述熱電元件具有在所述第1區(qū)域與所述第2區(qū)域之間的空間架設(shè)的橋部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱電變換裝置,其特征在于,

所述基板具有平坦部以及凹部,

所述第1區(qū)域以及所述第2區(qū)域的一方設(shè)置于所述平坦部,所述第1區(qū)域以及所述第2區(qū)域的另一方設(shè)置于所述凹部的底面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的熱電變換裝置,其特征在于,

所述熱電元件的高溫側(cè)端部以及低溫側(cè)端部的一方與具有與該熱電元件不同的導(dǎo)電類型的其它熱電元件相接,

所述熱電元件的高溫側(cè)端部以及低溫側(cè)端部的另一方與導(dǎo)體相接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的熱電變換裝置,其特征在于,

所述基板是具有兩個(gè)硅層、和在該兩個(gè)硅層之間的絕緣體層的絕緣體上硅基板,

所述兩個(gè)硅層的上表面具有相互不同的結(jié)晶方位。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的熱電變換裝置,其特征在于,

在連接于引擎的排氣管的高溫配管與冷卻液流通的低溫配管之間設(shè)置有所述熱電變換裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的熱電變換裝置,其特征在于,

所述熱電元件包括p型的熱電材料或者n型的熱電材料,

所述p型的熱電材料從包括1)對(duì)Mg2Si摻雜Ag而得到的材料、2)對(duì)β-FeSi2摻雜Mn或者Al而得到的材料、3)MnSi2、4)FeSb系列材料以及5)PbTe系列材料的群選擇,

所述n型的熱電材料從包括1)對(duì)Mg2Si摻雜Al、Sb或者Bi而得到的材料、2)對(duì)β-FeSi2摻雜Co、Ni或者B而得到的材料、3)CoSi2、4)CoSb系列材料以及5)PbTe系列材料的群選擇。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的熱電變換裝置,其特征在于,

所述熱電元件包含摻雜有Al或者In2O3的ZnO。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任一項(xiàng)所述的熱電變換裝置,其特征在于,

在所述熱電元件的橋部形成有切口。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的熱電變換裝置,其特征在于,

所述熱電元件的橋部在俯視時(shí)蜿蜒地延伸。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任一項(xiàng)所述的熱電變換裝置,其特征在于,

所述熱電元件具有形成于所述橋部的拐折部,或者所述橋部具有彎曲形狀。

11.一種熱電變換裝置的制造方法,其特征在于,包括:

準(zhǔn)備基板的工序;

對(duì)所述基板進(jìn)行各向異性蝕刻的工序;

使熱電材料沉積在所述基板之上的工序;以及

對(duì)所述基板進(jìn)行各向同性蝕刻而形成凹部,由此在該凹部?jī)?nèi)的空間架設(shè)熱電材料的工序。

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