技術總結
提供了一種石墨烯槽波導光探測器，該石墨烯槽波導光探測器相比于普通的石墨烯波導光探測器具有較高的探測響應度和光電轉(zhuǎn)換效率。該石墨烯槽波導光探測器包括：下套層(10)；間隔設置于下套層(10)上的至少兩個芯層(11)，至少兩個芯層(11)中的至少一個芯層(11)與下套層(10)接觸；設置于下套層(10)上、各相鄰芯層(11)之間的槽層(12)，槽層(12)的數(shù)量大于等于1，槽層(12)的折射率均小于與該槽層(12)相鄰的兩個芯層(11)的折射率；石墨烯層(13)以及兩個金屬電極(14)，石墨烯層(13)與槽層(12)中的至少一個槽層(12)接觸或者石墨烯層(13)設置在槽層(12)中的至少一個槽層(12)中，石墨烯層(13)與兩個金屬電極(14)中的至少一個金屬電極(14)接觸。

技術研發(fā)人員：王志仁;劉磊;鄧舒鵬
受保護的技術使用者：華為技術有限公司
文檔號碼：201480081823
技術研發(fā)日：2014.12.31
技術公布日：2017.05.17