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碳化硅接面能障蕭特基整流器的制作方法

文檔序號:11836934閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種碳化硅接面能障蕭特基整流器,其特征在于,包含有:

一具有n型重摻雜的碳化硅基板,所述碳化硅基板包含一第一表面以及一相對的第二表面;

一設置于所述第一表面并且有一n型摻雜的漂移層,所述漂移層具有一遠離所述第一表面的第三表面;

一設置于所述漂移層內并接觸所述第三表面的p型摻雜區(qū)域;

多個設置于所述漂移層內且由所述p型摻雜區(qū)域環(huán)繞而接觸所述第三表面的接面場效應區(qū)域,所述接面場效應區(qū)域各包含N個圓區(qū)域以及(N-1)個連接于兩所述圓區(qū)域之間的連接區(qū)域,N為一自然數(shù);

一設置于所述第三表面的第一金屬層,所述第一金屬層與所述接面場效應區(qū)域之間形成一蕭特基能障;以及

一設置于所述第二表面的第二金屬層,所述第二金屬層與所述碳化硅基板之間形成一奧姆接觸。

2.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅接面能障蕭特基整流器,其特征在于,所述連接區(qū)域是由連接所述圓區(qū)域的兩弧邊所形成,其中至少一所述弧邊為內凹。

3.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅接面能障蕭特基整流器,其特征在于,所述連接區(qū)域于垂直兩所述圓區(qū)域圓心的連接線的一縱方向具有一寬度,所述寬度小于所述圓區(qū)域的一直徑。

4.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅接面能障蕭特基整流器,其特征在于,N為2。

5.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅接面能障蕭特基整流器,其特征在于,更包含多個設置于所述第三表面并介于所述p型摻雜區(qū)域與所述第一金屬層之間的第三金屬層,所述第三金屬層與所述p型摻雜區(qū)域之間形成一奧姆接觸。

6.根據(jù)權利要求5所述的碳化硅接面能障蕭特基整流器,其特征在于,所述第三金屬層的材質為選自鈦、鋁、鉬、鎳、鉭、鎢以及其硅化物所組成的群組。

7.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅接面能障蕭特基整流器,其特征在于,所述第一金屬層的材質為選自鈦、鋁、鉬、鎳、鉭、鎢以及其硅化物所組成的群組。

8.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅接面能障蕭特基整流器,其特征在于,所述第二金屬層的材質為選自鈦、鋁、鉬、鎳、鉭、鎢、金、銀以及其硅化物所組成的群組。

9.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅接面能障蕭特基整流器,其特征在于,所述接面場效應區(qū)域與所述p型摻雜區(qū)域的面積比為介于4:6至9:1之間。

10.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅接面能障蕭特基整流器,其特征在于,所述第一金屬層形成一陽極,所述第二金屬層形成一陰極,一為0伏特的偏壓施加于所述陽極與所述陰極之間時,所述p型摻雜區(qū)域與所述漂移層之間具有一空乏寬度(W1),所述空乏寬度(W1)小于所述圓區(qū)域的一半徑。

11.根據(jù)權利要求1所述的碳化硅接面能障蕭特基整流器,其特征在于,所述第一金屬層形成一陽極,所述第二金屬層形成一陰極,一為額定電壓的一半的偏壓施加于所述陽極與所述陰極之間時,所述p型摻雜區(qū)域與所述漂移層之間具有一空乏寬度(W2),所述空乏寬度(W2)大于所述圓區(qū)域的一半徑。

12.根據(jù)權利要求2所述的碳化硅接面能障蕭特基整流器,其特征在于,所述弧邊與所述圓區(qū)域在連接處的切線斜率相同。

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