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高壓半導(dǎo)體裝置及其制備方法與流程

文檔序號(hào):11956128閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種高壓半導(dǎo)體裝置,包括:

阱區(qū),其具有第一導(dǎo)電型,在基板的表面部形成;

柵極,其設(shè)置在所述阱區(qū)上;

源區(qū),其在所述阱區(qū)臨近所述柵極的第一表面部形成;

漏區(qū),其在所述阱區(qū)臨近所述柵極的第二表面部形成;

漂移區(qū),其具有第二導(dǎo)電型,設(shè)置在所述漏區(qū)和所述阱區(qū)之間;

2.如權(quán)利要求1中所述的高壓半導(dǎo)體裝置,其中所述基板具有第二導(dǎo)電型。

3.如權(quán)利要求1中所述的高壓半導(dǎo)體裝置,其中所述漂移區(qū)設(shè)置在所述阱區(qū)中。

4.如權(quán)利要求1中所述的高壓半導(dǎo)體裝置,其中所述漏區(qū)包括:

第二漂移區(qū),其具有第一導(dǎo)電型,設(shè)置在所述漂移區(qū)上;

第二阱區(qū),其具有第一導(dǎo)電型,設(shè)置在所述第二漂移區(qū)上;以及

第一摻雜區(qū),其具有第一導(dǎo)電型,設(shè)置在所述第二阱區(qū)上。

5.如權(quán)利要求4中所述的高壓半導(dǎo)體裝置,其中所述第二阱區(qū)至少部分圍繞所述第一摻雜區(qū),且所述第二漂移區(qū)至少部分圍繞所述第二阱區(qū)。

6.如權(quán)利要求4中所述的高壓半導(dǎo)體裝置,其中所述第二漂移區(qū)具有第一摻雜濃度,第一摻雜濃度高于所述阱區(qū)的摻雜濃度,所述第二阱區(qū)具有第二摻雜濃度,第二摻雜濃度高于所述第二漂移區(qū)的摻雜濃度,且所述第一摻雜區(qū)具有第三摻雜濃度,第三摻雜濃度高于所述第二阱區(qū)的摻雜濃度。

7.如權(quán)利要求1中所述的高壓半導(dǎo)體裝置,其中所述源區(qū)包括:

第二摻雜區(qū),其具有第一導(dǎo)電型,在所述阱區(qū)的表面部形成;

第三阱區(qū),其具有第二導(dǎo)電型,至少部分圍繞所述第二摻雜區(qū)。

8.如權(quán)利要求7中所述的高壓半導(dǎo)體裝置,其中所述源區(qū)還包括第三摻雜區(qū),其設(shè)置在所述第二摻雜區(qū)的一側(cè),所述第三摻雜區(qū)具有第一導(dǎo)電型,且其摻雜濃度低于所述第二摻雜區(qū)的摻雜濃度。

9.如權(quán)利要求7中所述的高壓半導(dǎo)體裝置,其中所述源區(qū)還包括第四摻雜區(qū),其設(shè)置在所述第二摻雜區(qū)的另一側(cè),所述第四摻雜區(qū)具有第二導(dǎo)電型,且其摻雜濃度高于所述第三阱區(qū)的摻雜濃度。

10.如權(quán)利要求1中所述的高壓半導(dǎo)體裝置,還包括柵場(chǎng)板,其設(shè)置在所述柵極和所述漏區(qū)之間。

11.制備高壓半導(dǎo)體裝置的方法,所述方法包括:

在基板的表面部形成具有第一導(dǎo)電型的阱區(qū);

在所述阱區(qū)中形成具有第二導(dǎo)電型的漂移區(qū);

在所述漂移區(qū)上形成漏區(qū);

在與所述漏區(qū)隔開(kāi)處形成源區(qū);且

在所述阱區(qū)上所述漏區(qū)和所述源區(qū)之間形成柵極。

12.如權(quán)利要求11中所述的方法,其中所述形成漏區(qū)包括:

在所述漂移區(qū)上形成具有第一導(dǎo)電型的第二漂移區(qū);

在所述第二漂移區(qū)中形成具有第一導(dǎo)電型的第二阱區(qū);且

在所述第二阱區(qū)中形成具有第一導(dǎo)電型的第一摻雜區(qū)。

13.如權(quán)利要求12中所述的方法,其中所述第二漂移區(qū)具有第一摻雜濃度,第一摻雜濃度高于所述阱區(qū)的摻雜濃度,所述第二阱區(qū)具有第二摻雜濃度,第二摻雜濃度高于所述第一摻雜濃度,且所述第一摻雜區(qū)具有第三摻雜濃度,第三摻雜濃度高于所述第二摻雜濃度。

14.如權(quán)利要求12中所述的方法,還包括在所述阱區(qū)和所述第二漂移區(qū)上形成柵場(chǎng)板。

15.如權(quán)利要求14中所述的方法,其中所述柵場(chǎng)板通過(guò)局部硅氧化過(guò)程形成。

16.如權(quán)利要求11中所述的方法,其中所述形成源區(qū)包括:

在所述阱區(qū)的表面部形成具有第二導(dǎo)電型的第三阱區(qū);且

在所述第三阱區(qū)的表面部形成具有第一導(dǎo)電型的第二摻雜區(qū)。

17.如權(quán)利要求16中所述的方法,其中所述形成源區(qū)還包括:

在所述第二摻雜區(qū)的一側(cè)形成第三摻雜區(qū),所述第三摻雜區(qū)具有第一導(dǎo)電型且其摻雜濃度低于所述第二摻雜區(qū)的摻雜濃度;且

在所述第二摻雜區(qū)的另一側(cè)形成第四摻雜區(qū),所述第四摻雜區(qū)具有第二導(dǎo)電型且其摻雜濃度高于所述第三阱區(qū)的摻雜濃度。

18.如權(quán)利要求17中所述的方法,其中所述第二、第三和第四摻雜區(qū)在所述第三阱區(qū)中形成。

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