本發(fā)明涉及一種功率金氧半場(chǎng)效晶體管結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種具有底部介電層的溝槽式功率金氧半場(chǎng)效晶體管結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

功率金氧半場(chǎng)效晶體管(Power Metal Oxide Semiconductor Field Transistor,Power MOSFET)被廣泛地應(yīng)用于電力裝置的切換元件，例如是電源供應(yīng)器、整流器或低壓馬達(dá)控制器等等?，F(xiàn)今的功率金氧半場(chǎng)效晶體管多采取垂直結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，以提升元件密度。此種采垂直結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的功率金氧半場(chǎng)效晶體管也被稱為溝槽式功率型金氧半場(chǎng)效晶體管，其優(yōu)點(diǎn)是可以在耗費(fèi)低功率的狀況下，控制電壓進(jìn)行元件的操作。

影響功率型金氧半場(chǎng)效晶體管的元件特性的參數(shù)包括源極/漏極導(dǎo)通電阻(Rdson)、崩潰電壓(breakdown voltage)以及切換速度(switching speed)等。然而，對(duì)于功率金氧半場(chǎng)效晶體管而言，源極/漏極導(dǎo)通電阻(Rdson)與崩潰電壓之間成正相關(guān)。也就是說，在為了降低源極/漏極導(dǎo)通電阻而提高漂移區(qū)的摻雜濃度或者是降低漂移區(qū)厚度的同時(shí)，也會(huì)導(dǎo)致崩潰電壓降低。因此，為了在相對(duì)較低的源極/漏極導(dǎo)通電阻下，使功率金氧半場(chǎng)效晶體管仍維持較高的崩潰電壓，目前已開發(fā)多種在漂移區(qū)中的電荷平衡方式。

其中一種是方式是在柵極溝槽內(nèi)，在柵極下方填充較厚的底部氧化層。然而，為了增加元件密度以及增加崩潰電壓，溝槽的深寬比也隨之增加。請(qǐng)參照?qǐng)D1A及圖1B，分別為公知技術(shù)中具有底部氧化層的功率金氧半場(chǎng)效晶體管在不同制作過程步驟中的剖面示意圖。

由圖1A可以看出，在磊晶層110中形成溝槽111之后，會(huì)在溝槽111底部及側(cè)壁填滿氧化物112。然而，由于氧化物112的階梯覆蓋率 (step coverage)較差，容易在溝槽111開口端形成凸出部(overhang)，從而在溝槽111內(nèi)部形成空隙(void)113。接著，請(qǐng)參照?qǐng)D1B，在將位于溝槽111上半部及磊晶層110表面的部分氧化物112蝕刻去除后，在溝槽111的底部所形成的底部氧化層112’會(huì)具有一縫隙113’。并且，縫隙113’有可能由底部氧化層112’的上表面一直延伸到溝槽111的底部。

在后續(xù)于溝槽111中形成柵極結(jié)構(gòu)時(shí)，柵極結(jié)構(gòu)有可能填入縫隙113’中，并接觸到磊晶層110，這會(huì)導(dǎo)致功率金氧半場(chǎng)效晶體管的電性表現(xiàn)較差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足提供一種溝槽式功率晶體管結(jié)構(gòu)與其制造方法，其借助于形成具有不同材料的底部介電結(jié)構(gòu)，來解決在溝槽中形成縫隙的問題。

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種溝槽式功率晶體管結(jié)構(gòu)，包括基材、磊晶層、溝槽柵極結(jié)構(gòu)、基體區(qū)以及源極區(qū)；磊晶層位于基材上，并具有一溝槽；溝槽柵極結(jié)構(gòu)位于磊晶層的溝槽中，其中溝槽柵極結(jié)構(gòu)包括：底部介電結(jié)構(gòu)、柵極介電層以與柵極；底部介電結(jié)構(gòu)位于溝槽下半部，其中底部介電結(jié)構(gòu)包括一絕緣層以及一非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其中絕緣層形成于溝槽下半部的第一內(nèi)壁面，并定義出一凹槽，且非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)填充于凹槽內(nèi)；柵極介電層位成于該溝槽上半部的一第二內(nèi)壁面，而柵極位成于溝槽內(nèi)并連接?xùn)艠O介電層；基體區(qū)位于磊晶層中，并環(huán)繞溝槽柵極結(jié)構(gòu)；源極區(qū)位于基體區(qū)上方。

更好地，該非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的頂部凸出于該絕緣層的頂面。

更好地，該柵極介電層完全覆蓋該絕緣層的頂面。

更好地，該絕緣層的頂面切齊或低于該基體區(qū)的最低邊緣。

更好地，該柵極為重?fù)诫s多晶硅結(jié)構(gòu)，該非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)為未摻雜的多晶硅結(jié)構(gòu)。

更好地，該柵極介電層的一部分完全覆蓋該非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的頂部表 面，以隔絕該柵極與該非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)。

更好地，該絕緣層的側(cè)厚度與該溝槽寬度的比值介于0.2至0.5之間。

本發(fā)明提供一種溝槽式功率晶體管結(jié)構(gòu)的制作方法，包括提供一基材；形成一磊晶層于基材上方；形成一溝槽于該磊晶層中；形成一底部介電結(jié)構(gòu)于溝槽的下半部，其中底部介電結(jié)構(gòu)包括一絕緣層以及一非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其中絕緣層形成于溝槽下半部的第一內(nèi)壁面，并定義出一凹槽，且非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)填充于凹槽內(nèi)；形成一柵極介電層覆蓋溝槽上半部的第二內(nèi)壁面及底部介電結(jié)構(gòu)的上表面；形成柵極于溝槽內(nèi)；對(duì)該磊晶層進(jìn)行一基體摻雜制作過程，以形成一基體區(qū)；以及進(jìn)行一源極摻雜制作過程以形成一源極區(qū)，其中源極區(qū)位于基體區(qū)上方。

更好地，形成該底部介電結(jié)構(gòu)于該溝槽的下半部的步驟包括：

形成一第一絕緣層覆蓋該溝槽的一內(nèi)壁面，其中該第一絕緣層在該溝槽內(nèi)定義出一第一凹槽；

填入一非導(dǎo)體材料于該第一凹槽內(nèi)；

去除位于該第一凹槽上半部的非導(dǎo)體材料，以在該溝槽下半部形成該非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)；以及

部分地移除位于該溝槽上半部的該第一絕緣層，以形成位于該溝槽下半部的該絕緣層。

更好地，該非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的頂部凸出于該絕緣層的頂面。

更好地，多個(gè)所述的溝槽由該磊晶層表面向下延伸至該基體區(qū)下方。

更好地，該絕緣層的頂面切齊或低于該基體區(qū)的最低邊緣。

更好地，該柵極為重?fù)诫s多晶硅結(jié)構(gòu)，該非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)為未摻雜的多晶硅結(jié)構(gòu)。

更好地，該柵極介電層的一部分完全覆蓋該非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的頂部表面，以隔絕該柵極與該非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)。

更好地，該絕緣層的側(cè)厚度與該溝槽寬度的比值介于0.2至0.5之間。

綜上所述，本發(fā)明的溝槽式功率晶體管結(jié)構(gòu)與其制造方法可避免 在溝槽中形成底部介電結(jié)構(gòu)的過程中，在溝槽中形成縫隙。另外，在溝槽中所形成的底部介電結(jié)構(gòu)也可以維持漂移區(qū)內(nèi)的電荷平衡(charge balance)，以使溝槽式功率晶體管在較高的崩潰電壓之下，仍具有較低的源極/漏極導(dǎo)通電阻。

為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下。

附圖說明

圖1A為公知技術(shù)的溝槽式功率晶體管結(jié)構(gòu)在制作過程中的局部剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖1B為公知技術(shù)的溝槽式功率晶體管結(jié)構(gòu)在制作過程中的局部剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例的溝槽式功率晶體管的局部剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明一實(shí)施例的溝槽式功率晶體管結(jié)構(gòu)制造方法的流程圖；

圖4A至圖4I為本發(fā)明一實(shí)施例的溝槽式功率晶體管結(jié)構(gòu)在各步驟的局部剖面示意圖。

【附圖標(biāo)記說明】

基材 200

磊晶層 110、210

氧化物 112

底部氧化層 112’

空隙 113

縫隙 113’

漂移區(qū) 220

基體區(qū) 230

源極區(qū) 240

溝槽柵極結(jié)構(gòu) 250

底部介電結(jié)構(gòu) 254

柵極介電層 255

溝槽 111、210h

柵極 256

絕緣層 252

第一絕緣層 252’

第一凹槽 252h’

凹槽 252h

第二凹槽 255h

非導(dǎo)體結(jié)構(gòu) 253

非導(dǎo)體材料 253’

頂面 252a

溝槽寬度 W

表面厚度 T

側(cè)厚度 t

流程步驟 S300～S307

具體實(shí)施方式

圖2為本發(fā)明一實(shí)施例的溝槽式功率晶體管結(jié)構(gòu)的局部剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2中，基材200具有高濃度的第一型導(dǎo)電性雜質(zhì)，而形成第一重?fù)诫s區(qū)。第一重?fù)诫s區(qū)是用來作為溝槽式功率金氧半場(chǎng)效晶體管的漏極(drain)，且可分布于基材200的局部區(qū)域或是分布于整個(gè)基材200中。在本實(shí)施例的第一重?fù)诫s區(qū)是分布于整個(gè)基材200內(nèi)，但僅用于舉例而非用以限制本發(fā)明。前述的第一型導(dǎo)電性雜質(zhì)可以是N型或P型導(dǎo)電性雜質(zhì)。假設(shè)基材200為硅基材，N型導(dǎo)電性雜質(zhì)為五價(jià)元素離子，例如磷離子或砷離子，而P型導(dǎo)電性雜質(zhì)為三價(jià)元素離子，例如硼離子、鋁離子或鎵離子。

若溝槽式功率金氧半場(chǎng)效晶體管為N型，基材200摻雜N型導(dǎo)電性雜質(zhì)。另一方面，若為P型溝槽式功率金氧半場(chǎng)效晶體管，則基材200摻雜P型導(dǎo)電性雜質(zhì)。本發(fā)明實(shí)施例中，是以N型溝槽式功率金 氧半場(chǎng)效晶體管為例說明。

磊晶層(epitaxial layer)210形成于基材200上方，并具有低濃度的第一型導(dǎo)電性雜質(zhì)。也就是說，以NMOS晶體管為例，基材200為高濃度的N型摻雜(N⁺)，而磊晶層210則為低濃度的N型摻雜(N^-)。反之，以PMOS晶體管為例，基材200為高濃度的P型摻雜(P⁺doping)，而磊晶層210則為低濃度的P型摻雜(P^-doping)。磊晶層210具有至少一個(gè)溝槽210h形成于磊晶層210中，且至少一個(gè)溝槽柵極結(jié)構(gòu)250形成于磊晶層210中的對(duì)應(yīng)溝槽210h內(nèi)。

須說明的是，雖然圖2中所示兩個(gè)形成于溝槽210h中的溝槽柵極結(jié)構(gòu)250為例來闡述本發(fā)明，但溝槽柵極結(jié)構(gòu)250的數(shù)量也可以只有一個(gè)，或者是根據(jù)實(shí)際需求而有更多個(gè)，本發(fā)明中并未限制溝槽210h及溝槽柵極結(jié)構(gòu)250的數(shù)量。

另外，磊晶層210包括漂移區(qū)220、基體區(qū)(body region)230、源極區(qū)(drain region)240，其中基體區(qū)230與源極區(qū)240是形成于溝槽柵極結(jié)構(gòu)250側(cè)邊的磊晶層210中。

進(jìn)一步而言，基體區(qū)230是借助于在磊晶層210中摻雜第二型導(dǎo)電性雜質(zhì)而形成，而源極區(qū)240則是借助于在基體區(qū)230摻雜高濃度的第一型導(dǎo)電性雜質(zhì)而形成，且源極區(qū)240是形成于基體區(qū)230的上半部。舉例而言，對(duì)NMOS晶體管而言，基體區(qū)230為P型摻雜(如P型井，P-well)，而源極區(qū)240為N型摻雜。此外，基體區(qū)230的摻雜濃度小于源極區(qū)240的摻雜濃度。

也就是說，借助于在不同區(qū)域摻雜不同濃度及不同類型的導(dǎo)電性雜質(zhì)，磊晶層210可被區(qū)分為漂移區(qū)220、基體區(qū)230及源極區(qū)240?；w區(qū)230與源極區(qū)240是緊鄰于溝槽柵極結(jié)構(gòu)250的兩側(cè)，漂移區(qū)220則靠近基材200。換言之，基體區(qū)230與源極區(qū)240是形成于磊晶層210的上半部，漂移區(qū)220則形成于磊晶層210的下半部。

溝槽柵極結(jié)構(gòu)250包括底部介電結(jié)構(gòu)254、柵極介電層255與柵極256，其中底部介電結(jié)構(gòu)254、柵極介電層255與柵極256皆形成于溝槽210h內(nèi)。

要特別說明的是，本發(fā)明實(shí)施例的溝槽具有深溝槽(deep trench) 結(jié)構(gòu)。也就是說，溝槽210h由磊晶層210的表面向下延伸至基體區(qū)230以下，并延伸至漂移區(qū)220中，并且溝槽210h的底部較靠近基材210。

前述的深溝槽結(jié)構(gòu)有助于增加溝槽式晶體管的崩潰電壓。在一實(shí)施例中，溝槽210h具有相對(duì)較高的深寬比，其大約為5至15。然而，深溝槽結(jié)構(gòu)卻會(huì)增加源極/漏極導(dǎo)通電阻(Rdson)。為了降低源極/漏極導(dǎo)通電阻(Rdson)，可增加漂移區(qū)220的摻雜濃度。

然而，為了改善因增加漂移區(qū)220的摻雜濃度而造成崩潰電壓下降的問題，溝槽210h下半部中形成底部介電結(jié)構(gòu)254。另外須說明的是，在本發(fā)明實(shí)施例中，是以基體區(qū)230的下緣為基準(zhǔn)面，將溝槽210h大致區(qū)分為上半部及下半部。

底部介電結(jié)構(gòu)254包括一絕緣層252及一非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253，其中絕緣層252是形成于溝槽210h下半部的第一內(nèi)壁面，并在溝槽210h內(nèi)定義出一凹槽252h。絕緣層252具有一頂面252a，頂面252a所在的位置低于基體區(qū)230的最低邊緣。

另外，絕緣層252的厚度和溝槽的寬度W以及制作過程上的限制有關(guān)，在一實(shí)施例中，絕緣層252的側(cè)厚度t和溝槽210h寬度W的比值可介于0.2至0.5之間。具體而言，若溝槽210h的寬度W為0.3um時(shí)，絕緣層252的厚度介于600A至1300A之間。絕緣層252可以是單層或者是疊層結(jié)構(gòu)。舉例而言，構(gòu)成絕緣層252的材料可以是氧化物或氮化物，例如：氧化硅(SiOx)或氮化硅，或者是氧化物/氮化物/氧化物疊層結(jié)構(gòu)。

非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253形成于絕緣層252所定義出的凹槽252h內(nèi)。在一實(shí)施例中，非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253的頂部會(huì)凸出于絕緣層252的頂面252a。然而，在其他實(shí)施例中，非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253的頂部也可以和絕緣層252的頂面252a切齊或者是略為低于絕緣層252的頂面252a。也就是說，非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253只要填滿絕緣層252所定義出的凹槽252h，并不限制非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253的形狀。在本實(shí)施例中，構(gòu)成非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253的材料可以是絕緣材料或是本質(zhì)(intrinsic)半導(dǎo)體材料，其中半導(dǎo)體材料例如是IVA族或III-V族材料，如硅、鍺、砷化鎵等等。在一實(shí)施例中，非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253為未摻雜的多晶硅結(jié)構(gòu)或是未摻雜的非晶硅結(jié)構(gòu)。

需先說明的是，位于每一個(gè)溝槽柵極結(jié)構(gòu)250中的底部介電結(jié)構(gòu)254，可以使位于兩相鄰溝槽210h之間的漂移區(qū)220達(dá)到電荷平衡(charge balance)，從而提高溝槽式晶體管單元201的崩潰電壓。在崩潰電壓增加的情況下，漂移區(qū)220的摻雜濃度上限值可被提高，以進(jìn)一步降低源極/漏極導(dǎo)通電阻。

當(dāng)構(gòu)成底部介電結(jié)構(gòu)254的材料為部分氧化物，部分本質(zhì)半導(dǎo)體時(shí)，由于本質(zhì)半導(dǎo)體材料也是絕緣材料，因此底部介電結(jié)構(gòu)254整體仍可維持兩相鄰溝槽210h間的漂移區(qū)220的電荷平衡，而達(dá)到相同的功效。此外，相較于氧化物層而言，本質(zhì)半導(dǎo)體材料具有更好的填縫性，因此在具有高深寬比的溝槽210h內(nèi)制作底部介電結(jié)構(gòu)254時(shí)，不易在底部介電結(jié)構(gòu)254中產(chǎn)生空隙。底部介電結(jié)構(gòu)254的制作過程將在后文中進(jìn)行詳細(xì)說明，在此并不贅述。

柵極介電層255形成于溝槽210h上半部的第二內(nèi)壁面。在一實(shí)施例中，柵極介電層255的厚度小于絕緣層252的厚度。另外，柵極介電層255的一部分完全覆蓋于非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253的頂部表面。在圖2所示的實(shí)施例中，柵極介電層255亦覆蓋絕緣層252的頂面252a。然而，在其他實(shí)施例中，柵極介電層255并不一定需要完全覆蓋絕緣層252的頂面。構(gòu)成柵極介電層255的材料可以是氮化物或氧化物，例如：氮化硅、氧化硅、氧化鋁或者其他的過渡金屬氧化物，本發(fā)明并未限制柵極介電層255的材料。

柵極256形成于溝槽210h的上半部空間內(nèi)，并位于非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253上方。具體而言，柵極256是通過柵極介電層255與磊晶層210電性絕緣。此外，當(dāng)構(gòu)成柵極256與非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253的材料分別為重?fù)诫s的多晶硅與未摻雜的多晶硅時(shí)，柵極256通過覆蓋于非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253表面的柵極介電層255與非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253隔離，以避免柵極256中所摻雜的雜質(zhì)擴(kuò)散至非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253中。在一實(shí)施例中，柵極256是重?fù)诫s多晶硅結(jié)構(gòu)。

然而，在其他實(shí)施例中，當(dāng)構(gòu)成非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253的材料不是本質(zhì)半導(dǎo)體，而是絕緣體時(shí)，柵極介電層255也可以不覆蓋非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253的頂部，而使柵極256直接接觸非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253。

另外，當(dāng)柵極介電層255的厚度小于絕緣層252的厚度時(shí)，柵極256的寬度會(huì)大于非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253的寬度。另外，柵極256的底部是低于基體區(qū)230的最低邊緣，以確保在基體區(qū)230內(nèi)可形成載子通道。以NMOS晶體管為例，當(dāng)對(duì)柵極256的施加正偏壓時(shí)，基體區(qū)230的負(fù)電荷會(huì)累積至溝槽210h側(cè)邊而形成源極與漏極之間的載子通道，使溝槽式晶體管單元201處于導(dǎo)通狀態(tài)。

另外，本發(fā)明實(shí)施例提供溝槽式功率晶體管的制造方法。請(qǐng)參照?qǐng)D3并配合參照?qǐng)D4A至圖4I。圖3為本發(fā)明一實(shí)施例的溝槽式功率晶體管制造方法的流程圖。圖4A至圖4I為本發(fā)明一實(shí)施例的溝槽式功率晶體管在各步驟的局部剖面示意圖。

在步驟S300中，提供一基材。接著于步驟S301中，形成一磊晶層(epitaxial layer)210于基材200上。請(qǐng)配合參照?qǐng)D4A。圖4A中所示基材200，并且于基材200上已形成一磊晶層(epitaxial layer)210，其中基材200例如為硅基板(silicon substrate)，其具有高摻雜濃度的第一重?fù)诫s區(qū)以作為溝槽式功率金氧半場(chǎng)效晶體管的漏極(drain)，磊晶層210則為低摻雜濃度。

接著，進(jìn)行步驟S302，形成一個(gè)溝槽于磊晶層中。請(qǐng)參照?qǐng)D4B，磊晶層210中形成一個(gè)或多個(gè)溝槽210h。在一實(shí)施例中，是利用光罩(圖中未示出)先定義出預(yù)定形成柵極的位置，再以干蝕刻或濕蝕刻的方式在磊晶層210內(nèi)制作出一個(gè)或多個(gè)溝槽210h。在本實(shí)施例中，溝槽210h具有高深寬比，大約5至15。

接著，進(jìn)行步驟S303，形成一底部介電結(jié)構(gòu)于溝槽的下半部，其中底部介電結(jié)構(gòu)包括一絕緣層以及一非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其中絕緣層形成于溝槽下半部的第一內(nèi)壁面，并定義出一凹槽，且非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)填充于凹槽內(nèi)。詳細(xì)的制作流程請(qǐng)參照?qǐng)D4C至4F。

請(qǐng)先參照?qǐng)D4C，先形成一第一絕緣層252’于磊晶層210上。第一絕緣層252’可為氧化物層或氮化物層。舉例而言，第一絕緣層252’為氧化硅(SiOx)，并利用熱氧化的制作方法來形成。在其他實(shí)施例中，也可以利用物理氣相沉積或化學(xué)氣相沉積方式來形成第一絕緣層252’。第一絕緣層252’形成于磊晶層210的表面以及溝槽210h的內(nèi) 壁面(包含溝槽底面與兩側(cè)壁面)。

須說明的是，在沉積第一絕緣層252’時(shí)，第一絕緣層252’位于磊晶層210表面的厚度T會(huì)大于第一絕緣層252’位于溝槽210h的內(nèi)側(cè)壁面的側(cè)厚度t。因此，在本實(shí)施例中，在位于溝槽210h的開口邊緣的第一絕緣層252’尚未將溝槽210h的開口閉合之前，即停止沉積第一絕緣層252’。詳細(xì)而言，在本實(shí)施例中，第一絕緣層252’在溝槽210h內(nèi)定義出一第一凹槽252h’。在一實(shí)施例中，第一絕緣層252’位于溝槽210h內(nèi)側(cè)壁的側(cè)厚度t與溝槽210h的寬度W比值介于0.2至0.5之間。

接著，請(qǐng)參照?qǐng)D4D，填入一非導(dǎo)體材料253’于第一凹槽252h’內(nèi)。詳細(xì)而言，非導(dǎo)體材料253’全面地覆蓋位于磊晶層210表面的第一絕緣層252’，并將第一凹槽252h’填滿。

在一實(shí)施例中，非導(dǎo)體材料253’為填縫性較佳的絕緣材料。舉例而言，非導(dǎo)體材料253’為本質(zhì)(intrinsic)半導(dǎo)體材料，其中半導(dǎo)體材料例如是IVA族或III-V族材料。在一較佳實(shí)施例中，非導(dǎo)體材料253’為未摻雜的多晶硅材料或是未摻雜的非晶硅材料。

另外，非導(dǎo)體材料253’可以通過化學(xué)氣相沉積制作方法來形成于第一凹槽252h’內(nèi)以及磊晶層210上。經(jīng)過實(shí)際試驗(yàn)，在利用化學(xué)氣相沉積法來形成非導(dǎo)體材料時(shí)，相較于用來形成氧化物的前驅(qū)物氣體而言，用來形成多晶硅材料的前驅(qū)物氣體具有較佳的流動(dòng)性與填縫性。據(jù)此，當(dāng)非導(dǎo)體材料為未摻雜的多晶硅材料，且以化學(xué)氣相沉積法將未摻雜的多晶硅材料填入第一凹槽252h’時(shí)，不會(huì)在溝槽210h內(nèi)形成空隙(void)。

因此，在本發(fā)明實(shí)施例中，當(dāng)?shù)谝唤^緣層252’為氧化物層時(shí)，不需要先將第一絕緣層252’回蝕之后，再重復(fù)進(jìn)行沉積制作過程來形成另一氧化物層，來避免空隙產(chǎn)生。也就是說，借助于選擇將未摻雜的多晶硅材料填入第一凹槽252h’內(nèi)，可省去多次重復(fù)沉積與蝕刻氧化物層的步驟，而可降低制作過程復(fù)雜度及成本。

接著，請(qǐng)參照?qǐng)D4E。如圖4E所示，回蝕(etch back)去除第一絕緣層252’表面上所覆蓋的非導(dǎo)體材料253’，以及位于溝槽210h上 半部的非導(dǎo)體材料253’，以形成位于溝槽210h下半部的非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253。

請(qǐng)參照?qǐng)D4F，進(jìn)行一蝕刻制作過程，以將覆蓋于磊晶層210表面的第一絕緣層252’以及覆蓋于溝槽210h上半部的第一絕緣層252’去除。在一實(shí)施例中，可以利用非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253做為罩冪，來進(jìn)行選擇性蝕刻制作過程，來移除部分第一絕緣層252’。

要特別說明的是，由于在圖4E所示的步驟中，形成非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253于溝槽210h下半部，所以位于溝槽210h下半部的第一絕緣層252’的厚度并不受到影響。部分第一絕緣層252’被移除之后，于溝槽210h下半部形成絕緣層252。并且，在一實(shí)施例中，絕緣層252的頂面252a會(huì)低于非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253的頂面。

接著，進(jìn)行步驟S304，形成柵極介電層覆蓋溝槽上半部的第二內(nèi)壁面。

如圖4G所示，形成柵極介電層255順形地覆蓋在溝槽210h上半部的第二內(nèi)壁面，并形成于磊晶層210的表面。另外，柵極介電層255并在溝槽210h內(nèi)定義出一第二凹槽255h。

在本實(shí)施例中，柵極介電層255覆蓋底部介電結(jié)構(gòu)254的上表面，也就是非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253的頂部表面以及絕緣層252的頂面252a。但在其他實(shí)施例中，當(dāng)構(gòu)成非導(dǎo)體結(jié)構(gòu)253的材料為絕緣體時(shí)，柵極介電層255也可以只覆蓋溝槽210h上半部的第二內(nèi)壁面。形成柵極介電層255的制作過程，和圖4C中用來形成第一絕緣層252’的制作方法可以是相同的制作方法，例如沉積柵極介電層255與沉積第一絕緣層252’可以皆利用熱氧化制作方法。但在其他實(shí)施例中，形成柵極介電層255的制作過程，和圖4C中用來形成第一絕緣層252’的制作過程也可以不同。另外，構(gòu)成柵極介電層255的材料可以是氧化物層或是氮化物層。在本發(fā)明實(shí)施例中，柵極介電層255的厚度比絕緣層252的厚度薄。

接著，進(jìn)行步驟S305，形成柵極于溝槽中，如圖4H所示。詳細(xì)而言，當(dāng)柵極256為重?fù)诫s的多晶硅結(jié)構(gòu)時(shí)，形成柵極于溝槽210h中的步驟可以是先毯覆式地形成一多晶硅結(jié)構(gòu)覆蓋于柵極介電層255上， 并填入柵極介電層255所定義的第二凹槽255h中。另外，多晶硅結(jié)構(gòu)具有重?fù)诫s區(qū)。舉例而言，多晶硅結(jié)構(gòu)可摻雜P型導(dǎo)電性雜質(zhì)，例如：硼、鋁或鎵，或N型導(dǎo)電性雜質(zhì)，例如：磷、砷等而形成重?fù)诫s區(qū)。形成多晶硅結(jié)構(gòu)時(shí)，可以直接以在內(nèi)摻雜化學(xué)氣相沉積制作方法(in situ doping CVD process)形成。

要說明的是，以在內(nèi)摻雜化學(xué)氣相沉積制作過程來沉積摻雜導(dǎo)電性雜質(zhì)的多晶硅結(jié)構(gòu)可節(jié)省離子布植(ion implant)和退火的時(shí)間與成本。然而，在其他實(shí)施例中，也可以先形成未摻雜的多晶硅結(jié)構(gòu)，再以離子布植制作過程對(duì)多晶硅結(jié)構(gòu)進(jìn)行摻雜，再進(jìn)行退火制作過程。

之后，再回蝕去除位于磊晶層210上的多晶硅結(jié)構(gòu)，留下位于溝槽210h內(nèi)的多晶硅結(jié)構(gòu)而形成柵極256。

接著，進(jìn)行步驟S306及步驟S307。在步驟S306中，對(duì)磊晶層進(jìn)行一基體摻雜制作過程，以形成一基體區(qū)。在步驟S307中，進(jìn)行一源極摻雜制作過程以形成一源極區(qū)，其中源極區(qū)位于基體區(qū)上方。

請(qǐng)參照?qǐng)D4I，對(duì)磊晶層210進(jìn)行一基體摻雜制作過程后，在磊晶層210遠(yuǎn)離基材200的一側(cè)形成第一摻雜區(qū)。在形成第一摻雜區(qū)之后，對(duì)第一摻雜區(qū)進(jìn)行一源極摻雜制作過程以形成源極區(qū)240與基體區(qū)230。要說明的是，源極摻雜制作過程可包括在對(duì)第一摻雜區(qū)進(jìn)行離子布植之后，再進(jìn)行一熱擴(kuò)散制作過程，以形成源極區(qū)240。

另外，由圖4I可看出，本實(shí)施例中的基體區(qū)230的最低邊緣高于絕緣層252的頂面252a所在的水平位置。經(jīng)由上述實(shí)施例的說明，本技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)可以輕易推知其他實(shí)施結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，在此不加贅述。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例的溝槽式功率晶體管與其制造方法，適用于在具有高深寬比的溝槽下半部形成底部介電結(jié)構(gòu)。本發(fā)明實(shí)施例所提供的制造方法可避免在溝槽中形成底部介電結(jié)構(gòu)的過程中，于溝槽中形成縫隙。另外，在溝槽中所形成的底部介電結(jié)構(gòu)也可以維持兩相鄰溝槽柵極結(jié)構(gòu)之間的漂移區(qū)內(nèi)的電荷平衡(charge balance)，以提高溝槽式功率晶體管的崩潰電壓。據(jù)此，漂移區(qū)內(nèi)的摻雜濃度上限值可提高，以使溝槽式功率晶體管具有較低的源極/漏極導(dǎo)通電阻。

雖然本發(fā)明的實(shí)施例已揭示如上，然本發(fā)明并不受限于上述實(shí)施例，任何本領(lǐng)域普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明所揭示的范圍內(nèi)，可以做適當(dāng)?shù)母鼊?dòng)與調(diào)整，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求書中所界定的內(nèi)容為準(zhǔn)。