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一種采用DLC的有機電致發(fā)光器件的制作方法

文檔序號:12180600閱讀:339來源:國知局
一種采用DLC的有機電致發(fā)光器件的制作方法與工藝

本發(fā)明屬于有機電致發(fā)光器件制造領(lǐng)域,尤其涉及一種采用DLC的有機電致發(fā)光器件。



背景技術(shù):

最近隨著顯示器的大型化,空間占有率小的顯示器件的需求越來越大。電致發(fā)光器件作為所述的顯示器件中的一種,分為有機電致發(fā)光器件和無機電致發(fā)光器件。

所述的無機電致發(fā)光器件:通常輸入高電壓,加速電子,使得加速的電子沖擊發(fā)光層而發(fā)光的器件。有機電致發(fā)光器件:向陰極(電子注入電極)和陽極(空穴注入電極)之間的有機膜上注入電荷的話,電子和空穴成雙抵消,從而發(fā)光。所以有機電致發(fā)光器件具有低電壓驅(qū)動,消耗電流低,輕量,色感等特征,比無機電致發(fā)光器件更優(yōu)秀。

有機電致發(fā)光器件具有層疊結(jié)構(gòu),分為單層結(jié)構(gòu)和多層結(jié)構(gòu)。單層結(jié)構(gòu)是基板上面依次是陽極(空穴注入電極),有機發(fā)光層,陰極(電子注入電極);多層結(jié)構(gòu)是陽極和有機發(fā)光層之間包括空穴傳輸層,陰極和有機發(fā)光層之間包括電子傳輸層;所以多層結(jié)構(gòu)比起單層結(jié)構(gòu)的話,具有陽子效率高,低電壓驅(qū)動,發(fā)光效率高等優(yōu)點。

絕緣膜的作用:抑制在陰極的邊緣上,根據(jù)局部的電場增加現(xiàn)象而發(fā)生的器件的退化現(xiàn)象,并防止陽極和陰極直接接觸而導致的短路現(xiàn)象。

圖1是一般的有機電致發(fā)光器件的構(gòu)成圖。有機電致發(fā)光器件,由基板a(10)上面的顯示區(qū)域(D)和分離區(qū)域(s)組成。此時,顯示區(qū)域(D)從下往上的構(gòu)成是:基板a(10),陽極(30),有機發(fā)光層(32),陰極(34);分離區(qū)域(S)的從下往上的構(gòu)成是:所定的基板(10),絕緣膜(36)和陰極隔離柱(38)。

所述的絕緣膜c(36)和陰極隔離柱(38)采用透明的光刻膠,但是存在從外部射入的光通過絕緣膜c(36),重新從陰極(34)和陰極隔離柱(38)上反射,從而對比度下降,并且因為對比度下降,需要增加一個黑矩陣,使得工序變得復雜等問題。

往常為了在基板(10)的分離區(qū)域(S)上形成絕緣膜c(36)和陰極隔離柱(38),而采用透明的光刻膠,實施光刻工序。

圖2a和圖2b是傳統(tǒng)的有機電致發(fā)光器件的絕緣膜圖形的制作工序。首先,如圖2a所示,在所定的基板a(10)上面涂布透明的光刻膠,形成絕緣膜a(12);然后,如圖2b所示,采用光刻工序,對所述的絕緣膜a(12)進行光刻,得到絕緣膜圖形a(14)。但是這樣的方法存在的問題:僅是適用于可以采用光刻工序進行光刻的物質(zhì)。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是:為了解決以往存在的問題,在基板的區(qū)域上形成DLC材質(zhì) 的絕緣膜圖形,置于有機電致發(fā)光器件的分離區(qū)域。提供可以同時做傳統(tǒng)的絕緣膜形狀和黑矩陣或傳統(tǒng)的陰極隔離柱和黑矩陣的作用的有機電致發(fā)光器件。

本發(fā)明的技術(shù)方案是,一種采用DLC的有機電致發(fā)光器件,包括基板和絕緣膜;所述設(shè)有間隔的設(shè)有絕緣膜;所述絕緣膜采用DLC來形成;所述絕緣膜置于有機發(fā)光器件的分離區(qū)域。

本發(fā)明的有益效果:在基板的區(qū)域上形成DLC材質(zhì)的絕緣膜圖形,采用黑色的DLC絕緣物質(zhì)置于有機電致發(fā)光器件的分離區(qū)域,得到絕緣膜圖形。這樣的話,可以同時做傳統(tǒng)的絕緣膜形狀和黑矩陣或傳統(tǒng)的陰極隔離柱和黑矩陣的作用。

附圖說明

圖1為一般的有機電致發(fā)光器件的構(gòu)成圖。;

圖2中圖2a和圖2b是傳統(tǒng)的有機電致發(fā)光器件的絕緣膜圖形的制造工藝圖;

圖3中圖3a至圖3d是本發(fā)明的有機電致發(fā)光器件的絕緣膜圖形的制造工藝圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體的實施例對本發(fā)明作進一步的闡述。

基板的區(qū)域上形成的絕緣膜圖形由黑色的DLC絕緣物質(zhì)構(gòu)成,置于有機電致發(fā)光器件的分離區(qū)域。

基板上面涂布光刻膠的步驟。

采用光刻工序,在所述的基板的所定區(qū)域上,形成光刻膠圖形的步驟。

在所述的光刻膠圖形的正面做絕緣膜的步驟。

把所述的絕緣膜平坦化,曝光光刻膠圖形的步驟。

剝離所述的光刻膠圖形,在基板的分離區(qū)域得到絕緣膜圖形。

包含所述過程的本發(fā)明中,基板上的絕緣膜圖形是置于所述的分離區(qū)域,由無法用光刻工序進行光刻的物質(zhì)構(gòu)成,特別是以黑色的DLC絕緣物質(zhì)為特征。

參考附圖,詳細說明絕緣膜的圖形形成方法。

圖3a~圖3d是本發(fā)明的有機電致發(fā)光器件的絕緣膜圖形制造工序。如圖3d所示,在基板b 20上面,采用黑色的DLC絕緣物質(zhì),形成絕緣膜圖形b 24,然后置于有機電致發(fā)光器件的分離區(qū)域。

所述的DLC是非結(jié)晶質(zhì)高品質(zhì)碳的一種,具有與金剛石(diamond)相似的高硬度,耐磨性,潤滑性,電絕緣性,化學穩(wěn)定性,光學特性等特征的材料。如圖1所示,把他作為絕緣膜圖形24使用的話,不僅可以做傳統(tǒng)的絕緣膜圖形a 14的功能,還可以起到黑矩陣的作用。

黑矩陣的作用:提高有機電致發(fā)光器件的對比度。此時,對比度是下列的(a)公式,反射光是下列的(b)公式,本發(fā)明采用黑色的DLC,可以減少表面擴散反射率,提高對比度。

第二,觀察本發(fā)明的有機電致發(fā)光器件的絕緣膜圖形形成方法。

首先,在所定的基板b 20上面涂布光刻膠,形成如圖3a所示的光刻膠膜26;然后,采用光刻工序,對所述的光刻膠膜26進行光刻,得到光刻膠圖形28。此時的光刻膠圖形28與要求的圖3d的絕緣膜圖形24的negative形態(tài)是一樣的。

然后,在所述的已經(jīng)形成光刻膠圖形28的所定的基板20的前面,涂布如圖3d所示的物質(zhì),得到絕緣膜b 22。為了形成絕緣膜圖形b 24而涂布的物質(zhì)是采用無法用光刻工序進行光刻的物質(zhì),特別是采用本發(fā)明所述的DLC。(參考圖3c)。

最后,采用通常的方法來平坦化所述的絕緣膜b 22。如圖3d所述,曝光所述的光刻膠圖形28后,然后采用干式蝕刻或濕式蝕刻的方法,清除掉所述的經(jīng)過曝光的光刻膠圖形28,然后在基板b 20的分離區(qū)域上得到絕緣膜圖形b 24。(參考圖3d)。

本發(fā)明采用黑色的DLC絕緣物質(zhì)置于有機電致發(fā)光器件的分離區(qū)域,得到絕緣膜圖形。這樣的話,可以同時做傳統(tǒng)的絕緣膜形狀和黑矩陣或傳統(tǒng)的陰極隔離柱和黑矩陣的作用。并且采用Lift-off工序,利用光刻工序中無法光刻的物質(zhì),在基板的分離區(qū)域上形成絕緣膜圖形。

本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將會意識到,這里所述的實施例是為了幫助讀者理解本發(fā)明的原理,應(yīng)被理解為本發(fā)明的保護范圍并不局限于這樣的特別陳述和實施例。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以根據(jù)本發(fā)明公開的這些技術(shù)啟示做出各種不脫離本發(fā)明實質(zhì)的其它各種具體變形和組合,這些變形和組合仍然在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。

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