本發(fā)明涉及一種應用于半導體沉積設備的腔室蓋板防墜落裝置，特別涉及一種防止腔室蓋板墜落的支撐結構。屬于半導體薄膜沉積應用及制造技術領域。

背景技術：

半導體設備制成、維護過程中，操作者的人身安全是重中之重。對人身安全造成威脅的因素很多，除氣體、電磁輻射等化學與物理因素外，機械傷害不容忽視。

在半導體設備加工、維護等過程中，有時需要操作者打開腔室蓋板，來查看及維護腔體內各個部件。

而對于腔室蓋板自動升降的半導體設備來說，控制失誤、互鎖失效，導致蓋板重力下落的安全隱患尤為嚴重。機械互鎖作為最后的安全保障，其存在及效用都尤為重要。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明以解決上述問題為目的，主要解決腔體蓋板升起后由于控制失誤、互鎖失效，導致蓋板不正常下落所帶來的安全隱患而提供一種防止腔室蓋板墜落的支撐結構。該支撐結構安裝簡便，適應腔體及蓋板接觸面結構，對角安裝，一側采用銷孔對接安裝此裝置，另一側包裹導向軸安裝，采用尼龍材質，保證絕對的耐磨性，結構簡單。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術方案：

一種防止腔室蓋板墜落的支撐結構，包括上蓋板，腔體，導向軸,該支撐結構還包括支撐裝置A，支撐裝置B；所述支撐裝置A包括支撐板A、支撐板B、鎖定銷子鎖緊裝置A，所述支撐板A與支撐板B一側通過合頁與鎖緊螺釘連接，另一側由鎖定銷子通過鎖定銷子鎖緊裝置A將支撐板A和支撐板B固定或打開；所述支撐裝置B包括支撐板C、支撐板D、固定銷釘安裝孔、鎖定銷子鎖緊裝置B、固定銷釘、銷孔，支撐板C與支撐板D的一側通過合頁與鎖緊螺釘連接，另一側由鎖定銷子通過鎖定銷子鎖定裝置B將支撐板C與支撐板D固定，防止打開，所述支撐板C與支撐板D的頂端中央的固定銷釘安裝孔將固定銷釘包裹卡住，支撐板C底部設有銷孔；所述上蓋板底部設有與固定銷釘對應的銷孔，所述腔體上端面上設有與銷孔對應的銷釘；所述支撐裝置A將導向軸包裹后再由鎖定銷子通過鎖定銷子鎖緊裝置A固定在上蓋板與腔體之間，所述支撐裝置B的固定銷釘與所述上蓋板的銷孔相對應安裝，銷孔與所述腔體的銷釘相對應安裝。

所述支撐裝置A與支撐裝置B對角安裝于所述上蓋板與腔體之間。

所述支撐裝置A與支撐裝置B為圓柱體形狀。

所述支撐板A、支撐板B、支撐板C與支撐板D均為尼龍材質。

本發(fā)明的有益效果及特點：

本發(fā)明的防止腔室蓋板墜落的支撐結構利用其支撐裝置的圓形面貼合下落的上蓋板和腔體，支撐蓋板，防止其墜落。本發(fā)明結構簡單、操作簡便，采用尼龍材質，保證絕對的耐磨性，具有較強的安全性。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的支撐裝置A1的結構示意圖；

圖2是本發(fā)明的支撐裝置B2的結構示意圖；

圖3是本發(fā)明的防止腔室蓋板墜落的支撐結構的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合實施例進一步對本發(fā)明進行詳細說明，但發(fā)明保護內容不局限于所述實施例：

實施例

參照圖1-3，一種防止腔室蓋板墜落的支撐結構，包括上蓋板11，腔體12，導向軸14，該支撐結構還包括支撐裝置A1，支撐裝置B2；所述支撐裝置A1包括支撐板A3、支撐板B4、鎖定銷子鎖緊裝置A5，所述支撐板A3與支撐板B4一側通過合頁與鎖緊螺釘連接，另一側由鎖定銷子通過鎖定銷子鎖緊裝置A5將支撐板A和支撐板B固定或打開固定或打開；所述支撐裝置B2包括支撐板C6、支撐板D7、固定銷釘安裝孔8、鎖定銷子鎖緊裝置B9、固定銷釘10、銷孔13，所述支撐板C6與支撐板D7的一側通過合頁與鎖緊螺釘連接，另一側由鎖定銷子通過鎖定銷子鎖定裝置B9將支撐板C6與支撐板D7固定，防止打開，支撐板C6與支撐板D7的頂端中央的固定銷釘安裝孔8將固定銷釘10包裹卡住，支撐板C6底部設有銷孔13；所述上蓋板11底部設有與固定銷釘10對應的銷孔，所述腔體12上端面上設有與銷孔13對應的銷釘；所述支撐裝置A1將導向軸14包裹后再由鎖定銷子通過鎖定銷子鎖緊裝置A5固定在上蓋板11與腔體12之間，所述支撐裝置B2的固定銷釘10與所述上蓋板11的銷孔相對應安裝，銷孔13與所述腔體12的上端面上的銷釘相對應安裝。

所述支撐裝置A1與支撐裝置B2對角安裝于所述上蓋板11與腔體12之 間。

所述支撐裝置A1與支撐裝置B2為圓柱體形狀。

所述支撐板A、支撐板B、支撐板C與支撐板D均為尼龍材質。

所述鎖定銷子鎖緊裝置B9與所述鎖定銷子鎖緊裝置A5結構相同。

工作時，上蓋板11升起后，導向軸14一側，打開鎖定銷子鎖緊裝置A5使支撐裝置A1將導向軸14包裹后，再由鎖定銷子通過鎖定銷子鎖緊裝置A5固定在上蓋板11與腔體12之間，導向軸14對角一側，用鎖定銷子通過鎖定銷子鎖緊裝置B9將支撐裝置B2固定，然后將固定銷釘10安裝于固定銷釘安裝孔8內，最后將支撐裝置B2的固定銷釘10與上蓋板11的銷孔相對應，銷孔13與腔體12的上端面上的銷釘相對應，保持支撐裝置A1與支撐裝置B2的垂直，下降上蓋板11，待支撐裝置B2的固定銷釘10進入上蓋板11銷孔即可。