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半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:12474144閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),其特征在于,所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包含:

一基板,具有一第一傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料;

一外延層,設(shè)置于所述基板上,并具有所述第一傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料;

一主動區(qū),為所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的工作區(qū)域;以及

一邊緣保護(hù)區(qū),用以保護(hù)所述主動區(qū),且所述邊緣保護(hù)區(qū)包含:

一第一接面終極延伸JTE區(qū),設(shè)置于所述外延層中,所述第一JTE區(qū)為一第二傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料;

一第二JTE區(qū),設(shè)置于所述外延層中并接觸于所述第一JTE區(qū),所述第二JTE區(qū)為所述第二傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料;以及

至少一第一反向摻雜區(qū),為所述第一傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料且設(shè)置于所述第二JTE區(qū)內(nèi);

其中,所述第一傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料與所述第二傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料的傳導(dǎo)類型相異。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一反向摻雜區(qū)中所述第一傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料的濃度是依據(jù)所述第一反向摻雜區(qū)的寬度或濃度調(diào)整。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一反向摻雜區(qū)中的所述第一傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料濃度沿一方向呈線性或非線性遞增。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述方向是遠(yuǎn)離所述第一JTE區(qū)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一反向摻雜區(qū)部分區(qū)域設(shè)置于所述第二JTE區(qū)之外。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述主動區(qū)包含:

一摻雜區(qū),設(shè)置于所述外延層中并接觸所述第一JTE區(qū),并具有所述第二傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料;以及

一第一電極,所述基板設(shè)置于所述第一電極上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述結(jié)構(gòu)更包含:

一第二電極,設(shè)置于部分所述摻雜區(qū)上;以及

一介電層,接觸所述第二電極并設(shè)置于部分所述摻雜區(qū)、所述第一JTE區(qū)、所述 第二JTE區(qū)以及所述外延層上;以及

至少一第三JTE區(qū),設(shè)置于所述外延層中,具有所述第二傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料,且所述第三JTE區(qū)與所述第二JTE區(qū)相鄰。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的結(jié)構(gòu),其特征在于,當(dāng)所述第一傳導(dǎo)類型材料為一N型傳導(dǎo)類型材料時,第二傳導(dǎo)類型材料為一P型傳導(dǎo)類型材料;以及,當(dāng)所述第一傳導(dǎo)類型材料為一P型傳導(dǎo)類型材料時,第二傳導(dǎo)類型材料為一N型傳導(dǎo)類型材料。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一反向摻雜區(qū)的濃度介于1×1011/cm2~1×1014/cm2,所述第一反向摻雜區(qū)于所述第二JTE區(qū)的深度為0.1um~3um。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述結(jié)構(gòu)更包含:

兩個第三JTE區(qū),鄰近的所述第三JTE區(qū)具有一分隔區(qū)域;

其中,鄰近的所述第三JTE區(qū)是不連續(xù)的區(qū)域。

11.一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),其特征在于,所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包含:

一基板,具有一第一傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料;

一外延層,設(shè)置于所述基板上,并具有所述第一傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料;

一主動區(qū),為所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的工作的區(qū)域;以及

一邊緣保護(hù)區(qū),用以保護(hù)所述主動區(qū),且所述邊緣保護(hù)區(qū)包含:

一接面終極延伸JTE區(qū),設(shè)置于所述外延層中,所述JTE區(qū)為一第二傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料;以及

至少一反向摻雜區(qū),為所述第一傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料且設(shè)置于JTE區(qū)內(nèi);所述反向摻雜區(qū)于所述JTE區(qū)具有一預(yù)設(shè)深度,且部分所述反向摻雜區(qū)超出所述JTE區(qū)的邊緣并接觸所述外延層;

其中,所述第一傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料與所述第二傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料的傳導(dǎo)類型相異;所述反向摻雜區(qū)中所述第一傳導(dǎo)類型的半導(dǎo)體材料濃度沿一方向遞增。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的結(jié)構(gòu),其中,所述反向摻雜區(qū)的濃度介于1×1011/cm2~1×1014/cm2,所述第一反向摻雜區(qū)于所述JTE區(qū)的預(yù)設(shè)深度為0.1um~3um。

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